JPS581763B2 - 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ - Google Patents
回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズInfo
- Publication number
- JPS581763B2 JPS581763B2 JP7392778A JP7392778A JPS581763B2 JP S581763 B2 JPS581763 B2 JP S581763B2 JP 7392778 A JP7392778 A JP 7392778A JP 7392778 A JP7392778 A JP 7392778A JP S581763 B2 JPS581763 B2 JP S581763B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- diffraction
- magnification copying
- diaphragm
- limited resolution
- Prior art date
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- Expired
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- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はI.C.製造の為の非接触焼付用の複写レンズ
に関するものである。
に関するものである。
これに要求されるレンズの性能はスペクトル線のg線の
単色光により直径約50mmの乳剤面の全面に400〜
500本/mmの同折限界解像力を有することである。
単色光により直径約50mmの乳剤面の全面に400〜
500本/mmの同折限界解像力を有することである。
本発明はこのきびしい要求に十分にこたえることができ
るように収差を極力微小に補正したレンズ系であって、
第1図に示された7群9枚のレンズ系を第2図のように
絞りに関して完全に対称に配置したものである。
るように収差を極力微小に補正したレンズ系であって、
第1図に示された7群9枚のレンズ系を第2図のように
絞りに関して完全に対称に配置したものである。
本発明は、この全系の2つの負の主点に物面と像面を配
置し、倍率−1で使用するもので14群18枚からなり
、絞の前部及び後部の系はそれぞれ7群9枚のレンズ系
であり、全系の屈折面の曲率半径を物体面に最も近い方
から順次r1 ,r2………r32とし、それらの屈折
面間隔をd1,d2………d31とし、各レンズを構成
するガラスのスペクトル線のg線の屈折率を順次にN1
,N2………N18とし、そのアツベ数を1瞳次にν1
,ν2………ν18として、全系の焦点距離fを171
.0835、開口数0.164、像高25なるときのよ
うにレンズ系の諸元をきめたものである。
置し、倍率−1で使用するもので14群18枚からなり
、絞の前部及び後部の系はそれぞれ7群9枚のレンズ系
であり、全系の屈折面の曲率半径を物体面に最も近い方
から順次r1 ,r2………r32とし、それらの屈折
面間隔をd1,d2………d31とし、各レンズを構成
するガラスのスペクトル線のg線の屈折率を順次にN1
,N2………N18とし、そのアツベ数を1瞳次にν1
,ν2………ν18として、全系の焦点距離fを171
.0835、開口数0.164、像高25なるときのよ
うにレンズ系の諸元をきめたものである。
次表に上記レンズの倍率−1におけるザイデル収差係数
を示す。
を示す。
但しS1は球面収差係数、S2はコマ収差係数、S3は
非点収差係数、Pはペツツバール係数、S,は歪曲収差
係数、Σは諸係数の各面についての和を表わす。
非点収差係数、Pはペツツバール係数、S,は歪曲収差
係数、Σは諸係数の各面についての和を表わす。
第3図は上記レンズ系の倍率−1(物体距離−104.
783)における収差補正状態を示すもので、極めて良
好に補正されていることがわかる。
783)における収差補正状態を示すもので、極めて良
好に補正されていることがわかる。
また本発明は前述の諸元の如くレンズ系を構成したので
、I.C.製造の為の非接触焼付用の複写レンズとして
要求される、スペクトル線のg線の単色光により直径約
50mmの乳剤面の全面に400〜500本/mmの回
折限界解像力を有する、と云うきびしいレンズ性能を満
足できたものである。
、I.C.製造の為の非接触焼付用の複写レンズとして
要求される、スペクトル線のg線の単色光により直径約
50mmの乳剤面の全面に400〜500本/mmの回
折限界解像力を有する、と云うきびしいレンズ性能を満
足できたものである。
第1図は本発明レンズの絞より後部の系の構成図、第2
図は第1図の系を絞を対称面として対称に配置した本発
明の等倍レンズ系の構成図、第3図は本発明レンズの収
差図である。
図は第1図の系を絞を対称面として対称に配置した本発
明の等倍レンズ系の構成図、第3図は本発明レンズの収
差図である。
Claims (1)
- 1 14群18枚構成のレンズ系であり、絞より前部及
び後部に絞を対称而とする様に屈折面を配置した完全対
称光学系であって、絞の前部及び後部の系はそれぞれ7
群9枚のレンズ系からなり、全系の屈折而の曲率半径を
物体面に最も近い方から順次r1,r2………r32と
し、それらの屈折而間隔をd1,d2………d31とし
、各レンズを構成するガラスのスペクトル線のg線の屈
折率を順次にN1,N2………N18とし、そのアツベ
数を順次にν1,ν2………ν18として、全系の焦点
距離fを171.0835、開口数0.164、像高2
5なるときの様にレンズ系の諸元を決めた回折限界の解
像力を有する等倍複写用レンズ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7392778A JPS581763B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7392778A JPS581763B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5512902A JPS5512902A (en) | 1980-01-29 |
JPS581763B2 true JPS581763B2 (ja) | 1983-01-12 |
Family
ID=13532253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7392778A Expired JPS581763B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | 回折限界の解像力を有する等倍複写用レンズ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS581763B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3396935B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2003-04-14 | 株式会社ニコン | 投影光学系及び投影露光装置 |
JP3360387B2 (ja) * | 1993-11-15 | 2002-12-24 | 株式会社ニコン | 投影光学系及び投影露光装置 |
JPH08179204A (ja) | 1994-11-10 | 1996-07-12 | Nikon Corp | 投影光学系及び投影露光装置 |
JP3500745B2 (ja) * | 1994-12-14 | 2004-02-23 | 株式会社ニコン | 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法 |
USRE38465E1 (en) | 1994-12-14 | 2004-03-16 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
JP3454390B2 (ja) * | 1995-01-06 | 2003-10-06 | 株式会社ニコン | 投影光学系、投影露光装置及び投影露光方法 |
JP3864399B2 (ja) * | 1996-08-08 | 2006-12-27 | 株式会社ニコン | 投影露光装置及び該投影露光装置に用いられる投影光学系並びにデバイス製造方法 |
JP3757536B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2006-03-22 | 株式会社ニコン | 投影光学系及びそれを備えた露光装置並びにデバイス製造方法 |
JPH116957A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Nikon Corp | 投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法 |
JP3925576B2 (ja) | 1997-07-24 | 2007-06-06 | 株式会社ニコン | 投影光学系、該光学系を備えた露光装置、及び該装置を用いたデバイスの製造方法 |
US6700645B1 (en) | 1998-01-22 | 2004-03-02 | Nikon Corporation | Projection optical system and exposure apparatus and method |
JPH11214293A (ja) | 1998-01-22 | 1999-08-06 | Nikon Corp | 投影光学系及び該光学系を備えた露光装置並びにデバイス製造方法 |
CN108780211B (zh) * | 2016-05-20 | 2020-08-14 | 奥林巴斯株式会社 | 中继光学系统和具备该中继光学系统的硬式内镜 |
-
1978
- 1978-06-19 JP JP7392778A patent/JPS581763B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5512902A (en) | 1980-01-29 |
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