JPH116957A - 投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法 - Google Patents

投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法

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JPH116957A
JPH116957A JP10106805A JP10680598A JPH116957A JP H116957 A JPH116957 A JP H116957A JP 10106805 A JP10106805 A JP 10106805A JP 10680598 A JP10680598 A JP 10680598A JP H116957 A JPH116957 A JP H116957A
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JP
Japan
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lens group
refractive power
optical system
lens
image plane
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Pending
Application number
JP10106805A
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English (en)
Inventor
Kotaro Yamaguchi
弘太郎 山口
Kiyoshi Hayashi
清志 林
Yuuto Takahashi
友刀 高橋
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Priority to US09/067,771 priority patent/US6008884A/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70241—Optical aspects of refractive lens systems, i.e. comprising only refractive elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/24—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for reproducing or copying at short object distances
    • G02B13/26—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for reproducing or copying at short object distances for reproducing with unit magnification

Abstract

(57)【要約】 【課題】非球面形状のレンズ面を使用することによって
大きなＮＡと広い露光領域を確保し、諸収差を極めて良
好に補正し得るコンパクトで高性能な投影光学系を提供
する。 【解決手段】物体側から像面側へ向かって順に、正の屈
折力の第１レンズ群と、負の屈折力の第２レンズ群と、
少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体と
して正の屈折力の第３レンズ群と、少なくとも３枚以上
の負屈折力のレンズを有し、全体として負の屈折力の第
４レンズ群と、少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズ
を有し、全体として正の屈折力の第５レンズ群と、正の
屈折力の第６レンズ群と、を含み、前記第４レンズ群ま
たは前記第５レンズ群に非球面を少なくとも１面以上含
むように構成したことを特徴とする投影光学系を提供す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体のパターンを
像面に投影するための投影光学系に関するものであり、
特に、物体としてレチクル（マスク）上に形成された半
導体用または液晶用のパターンを、像面としての基板
（ウェハ、プレート等）上に投影露光するのに好適な投
影光学系に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】レチクル上のパターンをウェハ上に投影
露光するための投影光学系において、複数のレンズ面を
非球面形状で構成した場合には、使用されるレンズ枚数
を低減することができ、これによってより高い透過率を
有し、より軽い光学系を得ることが可能となる。このよ
うな技術として、特開平１−３１５７０９号公報、特開
平５−３４５９３号公報、特開平７−１２８５９２号公
報に開示された投影光学系が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、集積
回路のパターンの微細化が進むに従って、ウェハへのパ
ターン焼き付けに用いられる投影光学系に対して要求さ
れる性能もますます厳しくなってきている。このような
状況の中で、投影光学系の解像力の向上のためには、投
影光学系の開口数（ＮＡ）を大きくすることが考えられ
ている。
【０００４】上記各特許公報に開示された光学系では、
光学系の硝材総肉厚を薄くして透過率を向上させる目的
で非球面形状のレンズ面を使用しており、十分大きなＮ
Ａではなく、露光領域も広いものではない。本発明はこ
のような問題点に鑑みてなされたものであり、非球面形
状のレンズ面を使用することによって大きなＮＡと広い
露光領域を確保し、諸収差を極めて良好に補正し得るコ
ンパクトで高性能な投影光学系を提供することを目的と
している。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、物体側から像面側へ向かって順に、正
の屈折力の第１レンズ群と、負の屈折力の第２レンズ群
と、少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズを有し、全
体として正の屈折力の第３レンズ群と、少なくとも３枚
以上の負屈折力のレンズを有し、全体として負の屈折力
の第４レンズ群と、少なくとも３枚以上の正屈折力のレ
ンズを有し、全体として正の屈折力の第５レンズ群と、
正の屈折力の第６レンズ群と、を含み、前記第４レンズ
群または前記第５レンズ群に非球面を少なくとも１面以
上含むように構成したことを特徴とする投影光学系を提
供する。
【０００６】また、本発明では、上記投影光学系を搭載
した投影露光装置も提供する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の投影光学系では、物体側
から順に、正屈折力の第１レンズ群Ｇ１、負屈折力の第
２レンズ群Ｇ２、正屈折力の第３レンズ群Ｇ３、負屈折
力の第４レンズ群Ｇ４、正屈折力の第５レンズ群Ｇ５、
及び正屈折力の第６レンズ群Ｇ６を少なくとも有する構
成としている。
【０００８】正の屈折力を持つ第１レンズ群Ｇ１は、テ
レセントリック性を維持しながら主に歪曲収差の補正に
寄与している。第１レンズ群Ｇ１では正の歪曲収差を発
生させることにより、第２レンズ群Ｇ２以降のレンズ群
にて発生する負の歪曲収差をバランス良く補正してい
る。負の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２及び正の屈折力
を持つ第３レンズ群Ｇ３では、この２つの群において逆
望遠系を形成し、投影光学系の全長を短くすることに寄
与している。
【０００９】また、負の屈折力を持つ第２レンズ群Ｇ２
及び第４レンズ群Ｇ４は、主にペッツバール和の補正に
寄与し、像面の平坦化を図っている。それぞれ正の屈折
力を持つ第５レンズ群Ｇ５及び第６レンズ群Ｇ６は、負
の歪曲収差の発生を抑えつつ、像面側での高ＮＡ化に対
応するために特に球面収差の発生を極力抑えることに寄
与している。
【００１０】上述のように、第２レンズ群Ｇ２及び第３
レンズ群Ｇ３によって逆望遠系を形成しているが、本発
明では、特に、第３レンズ群Ｇ３によって発生するコマ
収差を良好に補正するために、第３レンズ群Ｇ３で３枚
以上の正屈折力のレンズを用いている。また、ペッツバ
ール和をゼロに近づけるために、第４レンズ群Ｇ４で３
枚以上の負屈折力のレンズを用い、球面収差を良好に補
正するために、第５レンズ群Ｇ５で３枚以上の正屈折力
のレンズを用いている。
【００１１】さらに、第４レンズ群Ｇ４中に非球面を配
置することによって、屈折系の球面レンズのみで構成さ
れた明るい光学系で残存しがちな画角に関する収差、特
にサジタル方向のコマ収差を抑えることが可能となる。
この場合、非球面としては、凹面にレンズ周辺で光軸近
傍の屈折力を弱める形状の非球面を設けることが好まし
い。
【００１２】また、第５レンズ群Ｇ５中に非球面を配置
することによって、高ＮＡに関する収差、特に高次の球
面収差を補正することが可能となる。これは、第４レン
ズ群Ｇ４中のレンズ面であっても、より像面側のレンズ
面に非球面を配置すれば同じ効果を得ることができる。
この場合、非球面化を行うレンズ面が凸面ならば、レン
ズ周辺で光軸近傍の屈折力を弱める形状にすることが好
ましく、非球面化を行うレンズ面が凹面ならば、レンズ
周辺で光軸近傍の屈折力を強める形状にすることが好ま
しい。つまり高ＮＡで広い露光領域の投影光学系を構成
するには、少なくとも第４レンズ群Ｇ４中又は第５レン
ズ群Ｇ５中に非球面形状のレンズ面を配置することが収
差補正上好ましい。
【００１３】また、第４レンズ群Ｇ４及び第５レンズ群
Ｇ５以外のレンズ群のレンズ面に非球面を配置しても収
差補正に有効である。例えば、第１レンズ群Ｇ１に非球
面を配置すると主に歪曲収差を補正でき、第２レンズ群
Ｇ２に非球面を配置すれば主に入射瞳の収差（物体高に
対応する入射瞳位置のずれ）を小さくできる。また、第
３レンズ群Ｇ３又は第６レンズ群Ｇ６に非球面を配置す
ると、主にコマ収差を補正することが可能である。尚、
上記各群の光学要素の一部が平行平面板のように屈折力
を持たない光学要素であっても非球面形状にすれば同様
の効果を得ることができる。
【００１４】また、本発明では、以下の条件を満足する
ことが好ましい。 ０．１ ＜ ｆ１／ｆ３ ＜ １５ （１） ０．０５ ＜ ｆ２／ｆ４ ＜ ６ （２） ０．０１ ＜ ｆ５／Ｌ ＜ １．２ （３） ０．０２ ＜ ｆ６／Ｌ ＜ １．８ （４） ここで、ｆ１は第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、ｆ２は第
２レンズ群Ｇ２の焦点距離、ｆ３は第３レンズ群Ｇ３の
焦点距離、ｆ４は第４レンズ群Ｇ４の焦点距離、ｆ５は
第５レンズ群Ｇ５の焦点距離、ｆ６は第６レンズ群Ｇ６
の焦点距離、及びＬは物体から像面までの距離とする。
【００１５】条件（１）では、正の屈折力の第１レンズ
群Ｇ１の焦点距離ｆ１と正の屈折力の第３レンズ群Ｇ３
の焦点距離ｆ３との最適な比率を規定している。この条
件（１）は主に歪曲収差をバランス良く補正するための
ものであり、この条件（１）の下限を越えると、第３レ
ンズ群Ｇ３の屈折力が第１レンズ群Ｇ１の屈折力に対し
て相対的に弱くなるため、負の歪曲収差が大きく発生す
る。また条件（１）の上限を越えると、第１レンズ群Ｇ
１の屈折力が第３レンズ群Ｇ３の屈折力に対して相対的
に弱くなるため、負の歪曲収差が大きく発生する。
【００１６】条件（２）では、負の屈折力の第２レンズ
群Ｇ２の焦点距離ｆ２と負の屈折力の第４レンズ群Ｇ４
の焦点距離ｆ４との最適な比率を規定している。この条
件（２）は、主にペッツバール和を小さく（０に近く）
して、広い露光領域を確保しつつ像面湾曲を良好に補正
するためのものである。条件（２）の下限を越えると、
第４レンズ群の屈折力が第２レンズ群の屈折力に対して
相対的に弱くなるため正のペッツバール和が大きく発生
する。この条件（２）の上限を越えると、第２レンズ群
の屈折力が第４レンズ群の屈折力に対して相対的に弱く
なるため正のペッツバール和が大きく発生する。
【００１７】条件（３）では、第５レンズ群Ｇ５の最適
な屈折力を規定している。この条件（３）は、大きな開
口数を保ちながら球面収差、歪曲収差及びペッツバール
和をバランス良く補正するためのものである。この条件
（３）の下限を越えると、第５レンズ群Ｇ５の屈折力が
大きくなり過ぎ、この第５レンズ群Ｇ５にて負の歪曲収
差のみならず負の球面収差が甚大に発生するようにな
る。また、この条件（３）の上限を越えると、第５レン
ズ群Ｇ５の屈折力が弱くなり過ぎ、これに伴って負の屈
折力の第４レンズ群Ｇ４の屈折力も必然的に弱くなり、
この結果、ペッツバール和を良好に補正することができ
ない。
【００１８】条件（４）では、第６レンズ群Ｇ６の最適
な屈折力を規定している。この条件（４）は、大きな開
口数を保ちながら高次の球面収差及び負の歪曲収差の発
生を抑えるためのものである。この条件（４）の下限を
越えると、第６レンズ群Ｇ６自身にて負の歪曲収差が大
きく発生し、この条件（４）の上限を越えると、高次の
球面収差が発生する。
【００１９】また、第４レンズ群Ｇ４は、次の条件を満
足することが好ましい。 −０．３ ＜ ｆ４／Ｌ ＜ −０．００５ （５） 条件（５）では、第４レンズ群Ｇ４の最適な屈折力を規
定している。条件（５）の下限を越えると、球面収差の
補正が困難となるため好ましくない。また、条件（５）
の上限を越えると、コマ収差が発生するため好ましくな
い。球面収差及びペッツバール和を良好に補正するため
には、条件（５）の下限値を−０．０７８とすることが
好ましく、さらにコマ収差の発生を抑えるためには条件
（５）の上限値を−０．０４７とすることが好ましい。
【００２０】また、第２レンズ群Ｇ２は、次の条件を満
足することが好ましい。 −０．５ ＜ ｆ２／Ｌ ＜ −０．００５ （６） 条件（６）では、第２レンズ群Ｇ２の最適な屈折力を規
定している。ここで、条件（６）の下限を越えると、ペ
ッツバール和が正の大きな値になるため好ましくない。
また、条件（６）の上限を越えると、負の歪曲収差が発
生するため好ましくない。なお、ペッツバール和をさら
に良好に補正するためには、条件（６）の下限値を−
０．１６とすることが好ましく、負のディストーション
とコマ収差とをさらに良好に補正するためには、条件
（６）の上限値を−０．０７１０とすることが好まし
い。
【００２１】さらに、ペッツバール和の値と歪曲収差と
をより良好に補正するためには、第２レンズ群Ｇ２は、
負の屈折力を持つレンズを少なくとも３枚以上含み、第
２レンズ群Ｇ２中の第３レンズから第５レンズまでの合
成焦点距離をｆ２ｎとし、物体から像面までの距離をＬ
とするとき、以下の条件を満足することが好ましい。 −０．３ ＜ ｆ２ｎ／Ｌ ＜ −０．０１ （７） ここで、条件（７）の下限を越えると、ペッツバール和
が正の大きな値になるため好ましくない。また、条件
（７）の上限を越えると、負の歪曲収差が発生するため
好ましくない。
【００２２】また、第５レンズ群Ｇ５は、負メニスカス
レンズを含み、第５レンズ群Ｇ５中の負メニスカスレン
ズにおける凹面の曲率半径をＲ５ｎとし、物体から像面
までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足すること
が好ましい。 ０．１ ＜ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＜０．５ （８） 第５レンズ群中の少なくとも１枚負メニスカスレンズを
配置することにより、高ＮＡに応じて発生する高次の球
面収差を補正することができる。
【００２３】ここで、条件（８）の下限を越えると、球
面収差が補正過剰の方向に大きく発生するため好ましく
ない。また、条件（８）の上限を越えると、球面収差は
補正不足の方向に大きく発生するため好ましくない。よ
り良好に収差補正を行うためには、上限を０．３とし、
下限を０．１５とすることが好ましい。さらに、第６レ
ンズ群Ｇ６は、負メニスカスレンズを含み、第６レンズ
群Ｇ６中の負メニスカスレンズにおける凹面の曲率半径
をＲ６ｎとし、物体から像面までの距離をＬとすると
き、以下の条件を満足することが好ましい。
【００２４】 ０．０３ ＜ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＜０．１５ （９） 第６レンズ群中に少なくとも１枚の負メニスカスレンズ
を配置することにより、第６レンズ群中の正レンズから
発生する負の球面収差及び負の歪曲収差を補正すること
が可能になる。この条件（９）の下限を越えると、歪曲
収差及び球面収差を共に補正することが困難となり、こ
の条件（９）の上限を越えると、コマ収差が大きく発生
するため好ましくない。収差を良好に補正するために
は、条件（９）の下限値を０．０５とすることが好まし
い。
【００２５】さらに、前記第１レンズ群Ｇ１は、負の屈
折力を持つレンズを含み、第１レンズ群Ｇ１中の負の屈
折力を持つレンズの像面側の曲率半径をＲ１ｎとすると
き、以下の条件を満足することが好ましい。 ０．１ ＜ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＜ ０．５ （１０） この条件（１０）の下限を越えると、負の歪曲収差が大
きく発生し、この条件（１０）の上限を越えると、像面
湾曲の補正が困難となるため好ましくない。
【００２６】
【実施例】以下に、本発明による各実施例を示す。ここ
で、各実施例中、非球面形状は、以下の式で与えられる
ものとする。
【００２７】
【数１】
【００２８】また、各実施例における諸元表で、ｒは曲
率半径を表し、ｄは面間隔を表し、ｎは波長２４８．４
ｎｍでの屈折率を表している。 〔第１実施例〕第１実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１２．８０５
９７０で、最大像高が１４．５である。
【００２９】 〔諸元〕 面番号 r d n 1 -552.07638 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2 265.90878 3.120094 3 303.56674 25.392455 1.50839 4 -350.79337 0.500000 5 290.31959 23.811936 1.50839 6 -624.97721 0.500000 7 312.56146 21.494338 1.50839 8 -797.18857 0.500000 9 261.54552 29.172376 1.50839 Ｇ２ 10 125.42248 18.785151 11 624.94963 13.000000 1.50839 12 168.74192 19.573060 13 -425.29079 13.000000 1.50839 14 305.76133 20.876454 15 -199.33811 13.000000 1.50839 16 856.47160 28.817472 17 -133.88550 13.515883 1.50839 18 -1224.09463 12.256929 19 -424.87732 25.795588 1.50839 Ｇ３ 20 -190.54844 1.165877 21 -1188.77588 34.579068 1.50839 22 -245.12631 0.500000 23 -17375.73600 39.303374 1.50839 24 -300.00000 0.500000 25 619.48904 39.230416 1.50839 26 -600.00000 0.500000 27 333.78553 38.548189 1.50839 28 -3403.39561 0.834915 29 200.00000 35.678083 1.50839 30 595.18114 18.729269 31 1345.40672 15.064622 1.50839 Ｇ４ 32 150.40751 33.085337 33 -2376.89219 13.177083 1.50839 34 153.73077 46.252835 非球面 35 -154.61578 13.177083 1.50839 36 -693.63984 27.484948 37 -151.27474 23.185494 1.50839 38 -41891.41764 18.186222 39 -780.08694 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 40 -216.11014 2.191161 41 0.00000 12.650000 絞り 42 11593.32693 39.563021 1.50839 43 -286.19552 0.500000 44 449.04044 49.373870 1.50839 45 -449.10638 19.592109 46 -285.87741 21.961806 1.50839 47 -400.00000 4.525940 48 404.59626 28.919442 1.50839 49 2500.00000 3.401017 50 278.77327 34.590495 1.50839 51 1210.33063 0.500000 52 161.00000 37.613837 1.50839 53 344.55156 1.726253 54 149.63156 28.524224 1.50839 Ｇ６ 55 292.14056 9.604067 56 550.00000 13.000000 1.50839 57 88.88938 27.500000 58 85.56699 65.287238 1.50839 59 492.74526 〔非球面データ〕 ３４面 κ : 0.090293 Ａ :-.697976E-08 Ｂ :-.581788E-12 Ｃ :-.238374E-16 Ｄ :-.634191E-21 ３９面 κ : 4.380884 Ａ :-.197323E-08 Ｂ :0.451378E-13 Ｃ :-.151975E-17 Ｄ :0.174755E-21 Ｅ :-.741606E-26 Ｆ :0.143029E-30 Ｇ :-.390455E-36 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．６２２ ｆ２／ｆ４ ＝ ０．９６０ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１６ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３５１ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５０ ｆ２／Ｌ ＝−０．０４８ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０９３ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２３８ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７４ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２２２ 図１として、本実施例の光学系の断面図を示す。図中、
ＡＳは非球面を表している。また、図２に本実施例の光
学系の横収差を、図３に本実施例の光学系の球面収差、
非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡは開口数
を表し、Ｙは像高を表している。 〔第２実施例〕第２実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１４．７２８
１５８で、最大像高が１４．５である。
【００３０】 〔諸元〕 r d n 1: -417.40181 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 294.54444 3.333675 3: 334.45870 24.993761 1.50839 4: -339.46258 0.500000 5: 388.46405 22.695257 1.50839 6: -475.96837 0.500000 7: 261.49728 22.822544 1.50839 8: -1115.97742 0.500000 9: 212.83142 29.172376 1.50839 Ｇ２ 10: 124.37798 17.392876 11: 398.03023 13.000000 1.50839 12: 147.41084 19.332678 13: -791.18158 13.000000 1.50839 14: 201.19761 21.922400 15: -247.90314 13.000000 1.50839 16: 465.71573 30.747889 非球面 17: -130.57945 13.011599 1.50839 18: -934.63444 12.339136 19: -407.40602 25.381972 1.50839 Ｇ３ 20: -188.40893 1.223561 21: -1400.47996 34.176948 1.50839 22: -252.53836 0.500000 23: -17379.23724 39.131937 1.50839 24: -300.00000 0.500000 25: 606.80606 39.230416 1.50839 26: -600.00000 0.500000 27: 353.96511 38.782843 1.50839 28: -2125.11370 2.168618 29: 208.12823 34.974979 1.50839 30: 681.68307 18.204990 31: 1293.20817 14.087040 1.50839 Ｇ４ 32: 150.44667 33.112502 33: -2376.89219 13.177083 1.50839 34: 157.22015 46.101506 非球面 35: -155.71365 13.177083 1.50839 36: -849.18622 27.476866 37: -152.68796 20.775187 1.50839 38: -8671.69720 16.726849 39: -661.58711 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 40: -204.76811 2.156136 41: 0.00000 12.650000 絞り 42: 5120.14440 41.798891 1.50839 43: -294.95271 0.500000 44: 446.90928 49.373870 1.50839 45: -451.25900 18.201385 46: -280.36427 21.961806 1.50839 47: -400.00000 4.804497 48: 387.56604 34.446973 1.50839 49: 2500.00000 4.429387 50: 273.26334 35.779749 1.50839 51: 1264.70932 0.500000 52: 161.00000 35.902736 1.50839 53: 324.49673 0.500000 54: 144.97966 30.031914 1.50839 Ｇ６ 55: 292.80624 9.288710 56: 550.00000 13.000000 1.50839 57: 88.32098 26.733677 58: 86.45884 61.662542 1.50839 59: 502.09604 〔非球面データ〕 １６面 κ : -2.932132 Ａ :-.264382E-08 Ｂ :-.678762E-12 Ｃ :-.836895E-17 Ｄ :-.537613E-21 ３４面 κ : 0.122316 Ａ :-.747792E-08 Ｂ :-.577389E-12 Ｃ :-.256679E-16 Ｄ :-.256545E-21 ３９面 κ : 2.181635 Ａ :-.108977E-08 Ｂ :0.154837E-13 Ｃ :-.107182E-17 Ｄ :0.935404E-22 Ｅ :0.174717E-26 Ｆ :-.388438E-30 Ｇ :0.118356E-34 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．６６６ ｆ２／ｆ４ ＝ １．０００ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１７ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３４９ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５０ ｆ２／Ｌ ＝−０．０５０ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０９０ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２３４ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７４ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２４５ 図４として、本実施例の光学系の断面図を示す。図中、
ＡＳは非球面を表している。また、図５に本実施例の光
学系の横収差を、図６に本実施例の光学系の球面収差、
非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡは開口数
を表し、Ｙは像高を表している。 〔第３実施例〕第３実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１４．５７１
１２４で、最大像高が１４．５である。
【００３１】 〔諸元〕 r d n 1: -444.41905 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 263.95589 3.115278 3: 306.30710 25.595388 1.50839 非球面 4: -353.72876 0.500000 5: 401.53161 22.629592 1.50839 6: -458.32974 0.500000 7: 260.42411 22.384483 1.50839 8: -1332.14165 0.500000 9: 201.56696 29.172376 1.50839 Ｇ２ 10: 123.44572 17.498236 11: 391.40156 13.000000 1.50839 12: 148.83020 19.339575 13: -756.35940 13.000000 1.50839 14: 199.64333 21.883300 15: -251.99565 13.000000 1.50839 16: 457.35347 30.933422 非球面 17: -130.24344 13.000000 1.50839 18: -920.27012 12.350072 19: -409.12942 25.374524 1.50839 Ｇ３ 20: -188.90615 1.181273 21: -1424.75959 34.047906 1.50839 22: -253.26753 0.500000 23: -17379.22377 39.132597 1.50839 24: -300.00000 0.500000 25: 606.80606 39.230416 1.50839 26: -600.00000 0.500000 27: 354.99225 38.635587 1.50839 28: -2087.99596 2.226818 29: 207.60159 35.002784 1.50839 30: 675.59635 18.256602 31: 1287.29080 14.110578 1.50839 Ｇ４ 32: 150.42360 33.005885 33: -2376.89219 13.177083 1.50839 34: 157.03647 46.068055 非球面 35: -155.91252 13.177083 1.50839 36: -866.58591 27.490041 37: -153.16663 20.801532 1.50839 38: -8493.66686 16.758746 39: -660.86379 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 40: -205.11225 2.176870 41: 0.00000 12.650000 絞り 42: 4630.94239 0.000000 1.50839 43: -296.67705 0.612232 44: 450.13834 49.373870 1.50839 45: -448.11047 18.090639 46: -280.56579 21.961806 1.50839 47: -400.00000 4.069219 48: 387.42237 34.838224 1.50839 49: 2500.00000 4.694122 50: 273.67184 35.838683 1.50839 51: 1255.46173 0.539463 52: 161.00000 35.919890 1.50839 53: 325.11630 0.500000 54: 144.91170 30.069410 1.50839 55: 293.52341 9.245852 Ｇ６ 56: 550.00000 13.000000 1.50839 57: 88.42714 26.801733 58: 86.53412 61.790454 1.50839 59: 498.55162 〔非球面データ〕 ３面 κ : 0.651961 Ａ :0.288809E-08 Ｂ :-.142241E-12 Ｃ :0.138026E-16 Ｄ :-.260214E-20 Ｅ :0.163779E-24 Ｆ :0.112908E-28 Ｇ :-.964063E-33 １６面 κ : -2.416851 Ａ :-.203332E-08 Ｂ :-.639430E-12 Ｃ :-.155725E-16 Ｄ :-.489171E-22 ３４面 κ : 0.129246 Ａ :-.729364E-08 Ｂ :-.586956E-12 Ｃ :-.260844E-16 Ｄ :-.284984E-21 ３９面 κ : 2.269617 Ａ :-.113325E-08 Ｂ :0.135572E-13 Ｃ :-.115763E-17 Ｄ :0.101617E-21 Ｅ :0.188022E-27 Ｆ :-.278178E-30 Ｇ :0.871254E-35 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．７０５ ｆ２／ｆ４ ＝ １．０１７ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１７ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３４９ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５０ ｆ２／Ｌ ＝−０．０５１ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０９１ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２３４ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７４ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２２０ 図７として、本実施例の光学系の断面図を示す。図中、
ＡＳは非球面を表している。また、図８に本実施例の光
学系の横収差を、図９に本実施例の光学系の球面収差、
非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡは開口数
を表し、Ｙは像高を表している。 〔第４実施例〕第４実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１４．４１２
６７２で、最大像高が１４．５である。
【００３２】 〔諸元〕 r d n 1: -468.68095 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 252.77895 3.233640 3: 298.24991 25.839827 1.50839 非球面 4: -360.06032 0.500000 5: 417.93565 22.562122 1.50839 6: -441.51797 0.500000 7: 263.82049 22.126107 1.50839 8: -1375.42189 0.500000 9: 198.61141 29.172376 1.50839 Ｇ２ 10: 125.13733 17.593360 11: 416.27288 13.000000 1.50839 12: 154.18091 19.238100 13: -668.92020 13.000000 1.50839 14: 199.41335 21.813538 15: -256.36164 13.000000 1.50839 16: 444.96150 31.095384 非球面 17: -130.59220 13.000000 1.50839 18: -921.24542 12.380140 19: -411.14738 25.384580 1.50839 Ｇ３ 20: -189.32775 1.174238 21: -1445.99115 33.934711 1.50839 22: -253.88856 0.500000 23: -17379.37023 39.125426 1.50839 24: -300.00000 0.500000 25: 596.09906 39.230416 1.50839 26: -610.85050 0.500000 27: 355.24038 38.551690 1.50839 28: -2079.35584 2.303654 29: 207.42218 35.035451 1.50839 30: 673.51306 18.314100 非球面 31: 1277.16954 14.138411 1.50839 Ｇ４ 32: 150.32702 32.930730 33: -2376.89219 13.177083 1.50839 34: 156.56831 46.042396 非球面 35: -155.65637 13.177083 1.50839 36: -845.75387 27.494867 37: -151.25828 20.850589 1.50839 38: -4346.25296 16.782509 39: -616.99314 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 40: -202.18912 2.221807 41: INFINITY 12.650000 絞り 42: 4310.61591 41.857209 1.50839 43: -298.03165 0.760827 44: 448.01359 49.373870 1.50839 45: -450.13834 18.123926 46: -280.66611 21.961806 1.50839 47: -400.00000 3.771463 48: 388.15249 35.013919 1.50839 49: 2500.00000 4.945986 50: 274.68742 35.755123 1.50839 51: 1268.22336 0.500000 52: 161.00000 35.804931 1.50839 53: 325.39957 0.500000 54: 144.80153 30.033841 1.50839 Ｇ６ 55: 293.86133 9.204704 56: 550.00000 13.000000 1.50839 57: 89.52230 26.819022 58: 87.53044 61.711363 1.50839 59: 495.57398 〔非球面データ〕 ３面 κ : 0.965373 Ａ :0.469769E-08 Ｂ :-.190197E-12 Ｃ :0.112631E-16 Ｄ :-.355099E-20 Ｅ :0.709289E-24 Ｆ :-.916514E-28 Ｇ :0.586833E-32 １６面 κ : -2.033092 Ａ :-.153014E-08 Ｂ :-.574525E-12 Ｃ :-.170686E-16 Ｄ :0.650293E-21 ３０面 κ : -0.023006 Ａ :-.104624E-10 Ｂ :0.152933E-14 Ｃ :0.581088E-18 Ｄ :-.550392E-22 Ｅ :0.124756E-26 ３４面 κ : 0.135728 Ａ :-.715391E-08 Ｂ :-.607874E-12 Ｃ :-.350272E-16 Ｄ :0.234373E-21 ３９面 κ : 2.262632 Ａ :-.112080E-08 Ｂ :0.686428E-14 Ｃ :-.143140E-17 Ｄ :0.112838E-21 Ｅ :-.714641E-27 Ｆ :-.208714E-30 Ｇ :0.705742E-35 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．７２２ ｆ２／ｆ４ ＝ １．０２３ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１７ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３５０ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５０ ｆ２／Ｌ ＝−０．０５２ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０９０ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２３４ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７５ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２１１ 図１０として、本実施例の光学系の断面図を示す。図
中、ＡＳは非球面を表している。また、図１１に本実施
例の光学系の横収差を、図１２に本実施例の光学系の球
面収差、非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡ
は開口数を表し、Ｙは像高を表している。 〔第５実施例〕第５実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１４．１６５
００６で、最大像高が１４．５である。
【００３３】 〔諸元〕 r d n 1: -468.07699 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 250.12651 3.380259 3: 300.99856 25.794382 1.50839 非球面 4: -362.12163 0.500000 5: 400.86991 22.811466 1.50839 6: -450.23466 0.500000 7: 268.97200 22.038806 1.50839 8: -1313.26659 0.500000 9: 197.05591 29.172376 1.50839 Ｇ２ 10: 124.31498 17.663331 11: 407.81022 13.000000 1.50839 12: 161.89912 19.175412 13: -566.17721 13.000000 1.50839 14: 197.37620 21.758555 15: -263.68269 13.000000 1.50839 16: 429.32073 31.288348 非球面 17: -131.12939 13.039244 1.50839 18: -917.99488 12.437120 19: -413.92024 25.461495 1.50839 Ｇ３ 20: -189.63472 1.144736 21: -1419.86877 33.734236 1.50839 22: -253.10206 0.500000 23: -17379.50305 39.118922 1.50839 24: -300.00000 0.500000 25: 585.23935 39.230416 1.50839 26: -622.70279 0.500000 27: 352.49897 38.565268 1.50839 28: -2181.80512 2.424434 29: 208.28348 35.119714 1.50839 30: 683.31272 18.431385 非球面 31: 1260.29479 14.211733 1.50839 Ｇ４ 32: 150.00119 32.620701 33: -2376.89219 13.177083 1.50839 34: 154.81553 45.778399 非球面 35: -157.58025 13.177083 1.50839 36: -865.39866 27.070384 37: -153.61567 20.819650 1.50839 38: -64924.10051 16.788651 39: -712.18966 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 40: -206.41949 2.097883 41: INFINITY 12.650000 絞り 42: 3973.02616 41.592649 1.50839 43: -299.72179 0.500000 44: 447.61811 49.373870 1.50839 45: -450.53837 19.003149 46: -279.78056 21.961806 1.50839 47: -404.06473 6.780768 48: 379.72454 33.386064 1.50839 49: 2500.00000 4.142460 50: 283.16075 35.076227 1.50839 51: 1489.01547 0.500000 52: 164.88650 35.591626 1.50839 53: 339.88457 0.500000 54: 144.51257 30.264029 1.50839 Ｇ６ 55: 294.74328 9.221153 56: 550.00000 13.000000 1.50839 非球面 57: 92.59167 25.876306 58: 90.49578 63.008413 1.50839 59: 487.58159 〔非球面データ〕 ３面 κ : 1.188206 Ａ :0.616724E-08 Ｂ :-.261943E-12 Ｃ :0.117836E-16 Ｄ :-.276255E-20 Ｅ :0.421652E-24 Ｆ :-.526812E-28 Ｇ :0.415909E-32 １６面 κ : -1.301521 Ａ :-.465204E-09 Ｂ :-.629003E-12 Ｃ :-.166260E-16 Ｄ :0.121986E-20 ３０面 κ : -0.350261 Ａ :-.149448E-09 Ｂ :0.999815E-14 Ｃ :0.678281E-18 Ｄ :-.619666E-22 Ｅ :0.152611E-26 ３４面 κ : 0.145290 Ａ :-.672935E-08 Ｂ :-.638504E-12 Ｃ :-.369923E-16 Ｄ :0.382079E-21 ３９面 κ : 2.321086 Ａ :-.116397E-08 Ｂ :0.107347E-13 Ｃ :-.124164E-17 Ｄ :0.119458E-21 Ｅ :-.185166E-26 Ｆ :-.163469E-30 Ｇ :0.519016E-35 ５６面 κ : -0.669816 Ａ :-.531655E-09 Ｂ :0.331972E-13 Ｃ :-.471706E-17 Ｄ :0.347702E-21 Ｅ :-.101574E-25 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．７３４ ｆ２／ｆ４ ＝ １．０３６ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１８ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３５７ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５０ ｆ２／Ｌ ＝−０．０５２ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０９１ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２３３ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７７ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２０８ 図１３として、本実施例の光学系の断面図を示す。図
中、ＡＳは非球面を表している。また、図１４に本実施
例の光学系の横収差を、図１５に本実施例の光学系の球
面収差、非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡ
は開口数を表し、Ｙは像高を表している。 〔第６実施例〕第６実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１２．６４７
２７０で、最大像高が１４．５である。
【００３４】 〔諸元〕 r d n 1: -420.30684 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 304.38947 4.844904 3: 409.93724 25.000000 1.50839 4: -345.79137 0.500000 5: 344.48673 24.000000 1.50839 6: -492.43913 0.500000 7: 268.47429 22.000000 1.50839 8: -561.19048 0.500000 9: 228.49034 29.172376 1.50839 Ｇ２ 10: 124.66129 21.915174 11: 2782.29168 13.000000 1.50839 12: 168.55342 21.234352 13: -322.47044 13.000000 1.50839 14: 323.01386 22.100306 15: -182.39320 13.000000 1.50839 16: 1378.53916 26.743800 17: -144.71537 13.000000 1.50839 18: -834.60001 13.279960 19: -543.83120 27.401869 1.50839 Ｇ３ 20: -205.14464 0.500000 21: -800.01554 34.638631 1.50839 22: -224.70509 0.500000 23: -25065.93947 39.466543 1.50839 24: -301.52652 0.500000 25: 345.26248 39.230416 1.50839 26: -2517.70773 0.500000 27: 314.76800 38.166279 1.50839 28: -17038.75030 0.500000 29: 200.00000 34.537615 1.50839 30: 557.24026 17.007268 31: 2180.25083 13.025262 1.50839 Ｇ４ 32: 123.59069 61.421633 33: -205.98730 13.177083 1.50839 34: 202.28713 68.572390 非球面 35: -159.41306 24.495231 1.50839 36: -3005.44394 14.667092 37: -697.48612 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 38: -225.08993 0.500000 39: 0.00000 12.650000 絞り 40: 1639.18095 38.602593 1.50839 41: -334.50135 0.500000 42: 578.12145 49.373870 1.50839 43: -367.69622 15.341733 44: -266.45720 21.961806 1.50839 45: -400.63356 0.733794 46: 387.43403 35.000000 1.50839 47: 2408.33297 0.500000 48: 250.43557 35.000000 1.50839 49: 806.42950 0.500000 50: 175.00000 35.921145 1.50839 51: 377.77144 1.715742 52: 146.02491 30.182778 1.50839 Ｇ６ 53: 302.71543 10.356697 54: 550.00000 13.000000 1.50839 55: 88.62882 21.641507 56: 89.87518 67.897884 1.50839 57: 610.57068 〔非球面データ〕 ３４面 κ : 0.022695 Ａ :-.127712E-07 Ｂ :-.986372E-12 Ｃ :0.160059E-16 Ｄ :0.143506E-20 ３７面 κ : -6.954337 Ａ :0.176680E-09 Ｂ :0.544891E-13 Ｃ :0.110204E-17 Ｄ :0.158373E-21 Ｅ :-.249194E-26 Ｆ :0.166870E-30 Ｇ :-.294689E-36 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．５８４ ｆ２／ｆ４ ＝ ０．９３０ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１７ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３６１ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５２ ｆ２／Ｌ ＝−０．０４８ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０８２ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２２２ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７４ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２５４ 図１６として、本実施例の光学系の断面図を示す。図
中、ＡＳは非球面を表している。また、図１７に本実施
例の光学系の横収差を、図１８に本実施例の光学系の球
面収差、非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡ
は開口数を表し、Ｙは像高を表している。 〔第７実施例〕第７実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７５で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１２００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
６０．０で、最終面から像面までの距離が１２．５９８
２３６で、最大像高が１４．５である。
【００３５】 〔諸元〕 r d n 1: -394.79113 18.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 316.86963 3.432096 3: 385.17199 23.971420 1.50839 4: -332.08412 0.500000 5: 385.76588 23.018363 1.50839 6: -462.41329 0.500000 7: 261.83315 24.873425 1.50839 8: -662.07882 0.500000 9: 217.44326 26.470552 1.50839 Ｇ２ 10: 130.19538 18.160493 11: 577.89686 13.000000 1.50839 12: 151.58758 21.170084 13: -399.45469 13.000000 1.50839 14: 213.97370 23.645709 15: -198.33421 13.000000 1.50839 16: 596.96132 28.357042 非球面 17: -145.18221 13.000000 1.50839 18: -662.45369 12.854593 19: -556.70481 27.433961 1.50839 Ｇ３ 20: -204.71209 0.500000 21: -1365.15240 34.520424 1.50839 22: -251.45530 0.500000 23: 16097.83839 39.574978 1.50839 24: -310.66803 0.500000 25: 443.70292 39.230416 1.50839 26: -946.94062 0.500000 27: 322.23157 38.264073 1.50839 28: -5486.68682 0.500000 29: 217.22460 34.776707 1.50839 30: 799.91884 18.173304 31: 12387.52204 13.000000 1.50839 Ｇ４ 32: 125.69696 61.545246 33: -192.59778 13.177083 1.50839 34: 191.97054 68.673889 非球面 35: -173.96143 23.724806 1.50839 36: -1430.00455 12.091296 37: -518.50264 25.875000 1.50839 Ｇ５ 非球面 38: -213.41585 0.500095 39: 0.00000 12.650000 絞り 40: 1394.83283 38.762785 1.50839 41: -348.55455 0.514756 42: 589.68098 49.373870 1.50839 43: -363.24607 18.952009 44: -261.91151 21.961806 1.50839 45: -400.00000 0.500000 46: 380.51168 35.000000 1.50839 47: 2500.00000 0.500000 48: 255.67104 35.000000 1.50839 49: 850.67403 0.500000 50: 175.00000 33.349227 1.50839 51: 354.54268 0.500000 52: 147.57414 30.804902 1.50839 Ｇ６ 53: 309.21683 8.726274 54: 550.00000 13.000000 1.50839 55: 92.71485 21.778859 56: 94.51983 75.002069 1.50839 57: 660.56474 12.598236 〔非球面データ〕 １６面 κ : -0.080829 Ａ :0.257830E-08 Ｂ :-.623179E-12 Ｃ :-.103089E-17 Ｄ :0.254598E-21 ３４面 κ : -0.091698 Ａ :-.162846E-07 Ｂ :-.980291E-12 Ｃ :0.203271E-16 Ｄ :0.178089E-20 ３７面 κ : -6.872295 Ａ :0.413563E-09 Ｂ :0.166773E-12 Ｃ :0.144211E-17 Ｄ :0.194986E-21 Ｅ :-.432989E-27 Ｆ :0.197137E-30 Ｇ :-.735338E-36 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．６０２ ｆ２／ｆ４ ＝ ０．９３３ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１１９ ｆ６／Ｌ ＝ ０．３６１ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５２ ｆ２／Ｌ ＝−０．０４９ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０７９ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２１８ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＝ ０．０７７ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２６４ 図１９として、本実施例の光学系の断面図を示す。図
中、ＡＳは非球面を表している。また、図２０に本実施
例の光学系の横収差を、図２１に本実施例の光学系の球
面収差、非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡ
は開口数を表し、Ｙは像高を表している。 〔第８実施例〕第８実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．８０で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１５００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
９２．０で、最終面から像面までの距離が２７．７４
で、最大像高が１４．５である。
【００３６】 〔諸元〕 r d n 1: 718.85125 20.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 419.76270 10.000000 3: 37714.38709 22.138562 1.50839 4: -310.65200 0.100000 5: 350.56680 25.585801 1.50839 6: -839.94573 0.100000 7: 187.27742 15.000000 1.50839 8: 129.63561 10.193899 9: 185.52772 37.726567 1.50839 10: -359.67498 10.000000 11: -380.92840 10.032688 1.50839 Ｇ２ 12: 117.09613 32.010931 13: -287.93550 10.000000 1.50839 14: 194.76378 32.284079 非球面 15: -158.72745 10.003793 1.50839 16: -1178.65823 36.540933 17: -123.26109 29.351802 1.50839 Ｇ３ 18: -133.12159 1.000000 19: -502.15858 25.000000 1.50839 20: -302.23345 0.100000 21: 7363.85681 43.843308 1.50839 22: -425.68991 0.100000 23: 1729.87203 45.555947 1.50839 24: -600.00000 0.200000 25: 865.80263 40.012505 1.50839 26: -1554.86289 2.156975 27: 509.31991 43.360383 1.50839 28: 99999.00000 3.749801 29: 378.69505 44.864067 1.50839 30: 3000.00000 0.000001 31: 308.96606 53.780418 1.50839 32: 506.87544 5.000000 33: 802.31214 13.801460 1.50839 Ｇ４ 34: 146.21750 72.358454 35: -229.01266 15.000000 1.50839 非球面 36: 241.96265 73.389500 37: -309.06925 10.000000 1.50839 38: 551.94211 6.102207 39: 752.97283 45.581180 1.50839 Ｇ５ 40: -416.05599 15.000000 非球面 41: INFINITY 15.000000 絞り 42: -4226.71251 38.697035 1.50839 43: -420.41230 0.100000 44: 546.12722 57.018027 1.50839 45: -752.79962 36.208246 46: -292.99042 25.000000 1.50839 47: -526.52023 4.113016 48: 1204.71132 54.118430 1.50839 49: -639.03474 0.100000 50: 556.47285 50.363514 1.50839 51: -1972.93848 0.100000 52: 244.15849 53.094475 1.50839 53: 700.00000 0.100000 54: 192.23824 49.559672 1.50839 Ｇ６ 55: 568.53429 14.794053 56 : 99999.00000 30.754870 1.50839 57: 307.32702 11.653900 58: 186.45334 68.559500 1.50839 59: 1043.98610 〔非球面データ〕 １４面 κ : 0.000000 Ａ :-.825926E-07 Ｂ :-.220422E-11 Ｃ :-.447231E-16 Ｄ :-.146561E-19 Ｅ :0.184702E-23 Ｆ :-.287752E-27 ３５面 κ : 0.000000 Ａ :-.502044E-08 Ｂ :-.264019E-12 Ｃ :-.964365E-17 Ｄ :-.133885E-23 Ｅ :-.303209E-25 Ｆ :0.972304E-30 ４０面 κ : 0.000000 Ａ :0.295553E-08 Ｂ :0.182366E-12 Ｃ :0.650083E-17 Ｄ :0.376932E-21 Ｅ :-.240887E-26 Ｆ :0.849451E-30 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．１３４ ｆ２／ｆ４ ＝ ０．８３６ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１３３ ｆ６／Ｌ ＝ ０．２８０ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５２ ｆ２／Ｌ ＝−０．０４３ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０４３ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．１９５ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２８０ 図２２として、本実施例の光学系の断面図を示す。図
中、ＡＳは非球面を表している。また、図２３に本実施
例の光学系の横収差を、図２４に本実施例の光学系の球
面収差、非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡ
は開口数を表し、Ｙは像高を表している。 〔第９実施例〕第９実施例で示す投影光学系は、ＮＡが
０．７８で、倍率が１／４倍で、物体から像面までの距
離が１５００で、物体から第１面までの光軸上の距離が
９２．０で、最終面から像面までの距離が１９．０９５
５６９で、最大像高が１４．５である。
【００３７】 〔諸元〕 r d n 1: 500.00000 20.000000 1.50839 Ｇ１ 2: 430.00000 10.000000 3: 931.80900 23.718892 1.50839 4: -362.97952 O.100000 5: 332.06640 25.995825 1.50839 6: -732.52220 13.842797 7: 206.89029 15.000000 1.50839 Ｇ２ 8: 149.50025 15.414059 9: 511.22833 39.506945 1.50839 10: 149.73196 30.626199 11: -187.69536 10.000000 1.50839 12: 215.87573 24.165184 非球面 13: -280.84891 15.000000 1.50839 14: -1495.99441 32.241853 15: -132.56240 23.125310 1.50839 16: -193.90245 O.536304 17: -246.39953 33.677028 1.50839 Ｇ３ 18: -170.42850 O.449647 19: -18093.58705 52.266017 1.50839 20: -307.72240 O.100000 21: 1028.99344 52.040848 1.50839 22: -564.72447 O.200000 23: 463.92013 47.252819 1.50839 24: -5413.06676 10.736526 25: 565.81685 37.800000 1.50839 26: 2892.95526 6.361992 27: 298.99587 75.000000 1.50839 28: -3000.00000 5.000000 29: INFINITY 24.356049 1.50839 Ｇ４ 非球面 30: 164.11897 50.949748 31: -357.71936 10.000000 1.50839 32: 195.03967 58.555088 33: -182.56313 41.236081 1.50839 34: 5843.26761 11.029510 35: -883.21453 48.737208 1.50839 Ｇ５ 36: -295.17959 5.000000 非球面 37: INFINITY 25.000000 絞り 38: -5542.32804 44.564616 1.50839 39: -367.50993 O.100000 40: 443.75606 75.000000 1.50839 41: -1085.66088 30.000000 42: -400.26612 25.000000 1.50839 43: -525.63201 4.113016 44: 658.76285 48.097310 1.50839 45: -5983.44019 O.100000 46: 345.33254 43.329194 1.50839 47: 1409.15145 O.100000 48: 262.42521 46.228330 1.50839 49: 750.00000 O.100000 50: 198.86479 48.865418 1.50839 Ｇ６ 51: 623.68097 17.416378 52: -942.86893 30.754870 1.50839 非球面 53: 625.62224 11.553900 54: 196.70372 68.559500 1.50839 55: 860.93535 〔非球面データ〕 １２面 κ : 0.000000 Ａ :-.415050E-07 Ｂ :-.756052E-12 Ｃ :0.260560E-16 Ｄ :0.209992E-20 Ｅ :-.237405E-24 Ｆ :0.483178E-29 ２９面 κ : 0.000000 Ａ :0.102099E-09 Ｂ :-.188042E-13 Ｃ :0.267234E-17 Ｄ :-.475339E-22 Ｅ :-.256151E-27 Ｆ :0.160661E-31 ３６面 κ : 0.000000 Ａ :0.403820E-09 Ｂ :0.262131E-13 Ｃ :0.256593E-18 Ｄ :-.436766E-22 Ｅ :-.138744E-26 Ｆ :0.520594E-31 ５２面 κ : 0.000000 Ａ :0.118684E-07 Ｂ :-.447939E-12 Ｃ :0.245274E-16 Ｄ :-.116536E-20 Ｅ :0.385264E-25 Ｆ :-.631033E-30 〔条件対応値〕 ｆ１／ｆ３ ＝ １．６５８ ｆ２／ｆ４ ＝ １．０３３ ｆ５／Ｌ ＝ ０．１２８ ｆ６／Ｌ ＝ ０．２８０ ｆ４／Ｌ ＝−０．０５３ ｆ２／Ｌ ＝−０．０５５ ｆ２ｎ／Ｌ ＝−０．０７０ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２６７ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＝ ０．２８７ 図２５として、本実施例の光学系の断面図を示す。図
中、ＡＳは非球面を表している。また、図２６に本実施
例の光学系の横収差を、図２７に本実施例の光学系の球
面収差、非点収差及び歪曲収差を示す。収差図中、ＮＡ
は開口数を表し、Ｙは像高を表している。
【００３８】なお、上記各実施例では、硝材として、石
英ガラスのみを使用した投影光学系を開示したが、硝材
としては、石英ガラスに限らず、蛍石やフッ化リチウム
等も使用可能である。続いて、上記各実施例の投影光学
系を搭載することのできる投影露光装置の実施例を、図
２８を参照しながら、説明する。
【００３９】投影光学系ＰＬの物体面には所定の回路パ
ターンが形成された投影原版としてのレチクルＲが配置
されており、投影光学系ＰＬの像面には、基板としての
ウェハＷが配置されている。レチクルＲはレチクルステ
ージＲＳに保持されており、ウェハＷはウェハステージ
ＷＳに保持されている。また、レチクルＲの上方には、
レチクルＲを均一に照明するための照明光学系ＩＳが配
置されている。
【００４０】以上の構成により、照明光学系ＩＳから供
給される光は、レチクルＲを照明し、投影光学系ＰＬの
瞳位置（上記各実施例の投影光学系では、開口絞りＤＦ
位置とすることが好ましい。）には照明光学系ＩＳ中の
光源の像が形成され、所謂ケーラー照明がなされる。そ
して、投影光学系ＰＬによって、ケーラー照明されたレ
チクルＲのパターン像が、投影光学系ＰＬによりウェハ
Ｗ上に露光（転写）される。
【００４１】本実施例では、照明光学系ＩＳの光源とし
て、２４８．４ｎｍの露光波長のＫｒＦエキシマレーザ
ーを使用したが、投影光学系ＰＬを適宜修正すること
で、ＫｒＦエキシマレーザーに限らず、例えば、ＡｒＦ
エキシマレーザー、半導体高調波レーザー、水銀ランプ
等が使用可能となる。また、上記で開示した投影露光装
置は、所謂ステップアンドリピート方式やステップアン
ドスキャン方式に好適なものである。
【００４２】
【発明の効果】以上に示したように、本発明によって、
大きなＮＡと広い露光領域を確保し、諸収差を極めて良
好に補正し得るコンパクトで高性能な投影光学系を提供
することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、第１実施例の投影光学系の断面図であ
る。
【図２】図２は、第１実施例の投影光学系の横収差図で
ある。
【図３】図３は、第１実施例の投影光学系の諸収差図で
ある。
【図４】図４は、第２実施例の投影光学系の断面図であ
る。
【図５】図５は、第２実施例の投影光学系の横収差図で
ある。
【図６】図６は、第２実施例の投影光学系の諸収差図で
ある。
【図７】図７は、第３実施例の投影光学系の断面図であ
る。
【図８】図８は、第３実施例の投影光学系の横収差図で
ある。
【図９】図９は、第３実施例の投影光学系の諸収差図で
ある。
【図１０】図１０は、第４実施例の投影光学系の断面図
である。
【図１１】図１１は、第４実施例の投影光学系の横収差
図である。
【図１２】図１２は、第４実施例の投影光学系の諸収差
図である。
【図１３】図１３は、第５実施例の投影光学系の断面図
である。
【図１４】図１４は、第５実施例の投影光学系の横収差
図である。
【図１５】図１５は、第５実施例の投影光学系の諸収差
図である。
【図１６】図１６は、第６実施例の投影光学系の断面図
である。
【図１７】図１７は、第６実施例の投影光学系の横収差
図である。
【図１８】図１８は、第６実施例の投影光学系の諸収差
図である。
【図１９】図１９は、第７実施例の投影光学系の断面図
である。
【図２０】図２０は、第７実施例の投影光学系の横収差
図である。
【図２１】図２１は、第７実施例の投影光学系の諸収差
図である。
【図２２】図２２は、第８実施例の投影光学系の断面図
である。
【図２３】図２３は、第８実施例の投影光学系の横収差
図である。
【図２４】図２４は、第８実施例の投影光学系の諸収差
図である。
【図２５】図２５は、第９実施例の投影光学系の断面図
である。
【図２６】図２６は、第９実施例の投影光学系の横収差
図である。
【図２７】図２７は、第９実施例の投影光学系の諸収差
図である。
【図２８】図２８は、本発明による投影露光装置の概略
図である。
【符号の説明】 Ｇ１ 第１レンズ群 Ｇ２ 第２レンズ群 Ｇ３ 第３レンズ群 Ｇ４ 第４レンズ群 Ｇ５ 第５レンズ群 Ｇ６ 第６レンズ群 ＡＳ 非球面 ＤＦ 開口絞り ＰＬ 投影光学系 ＩＳ 照明光学系 Ｒ レチクル ＲＳ レチクルステージ Ｗ ウェハ ＷＳ ウェハステージ

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】物体側から像面側へ向かって順に、 正の屈折力の第１レンズ群と、 負の屈折力の第２レンズ群と、 少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体と
    して正の屈折力の第３レンズ群と、 少なくとも３枚以上の負屈折力のレンズを有し、全体と
    して負の屈折力の第４レンズ群と、 少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体と
    して正の屈折力の第５レンズ群と、 正の屈折力の第６レンズ群と、を含み、 前記第４レンズ群または前記第５レンズ群に非球面を少
    なくとも１面以上含むように構成したことを特徴とする
    投影光学系。
  2. 【請求項２】前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１とし、
    前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、前記第３レン
    ズ群の焦点距離をｆ３とし、前記第４レンズ群の焦点距
    離をｆ４とし、前記第５レンズ群の焦点距離をｆ５と
    し、前記第６レンズ群の焦点距離をｆ６とし、前記物体
    から前記像面までの距離をＬとするとき、以下の条件を
    満足することを特徴とする請求項１記載の投影光学系。 ０．１ ＜ ｆ１／ｆ３ ＜ １５ ０．０５ ＜ ｆ２／ｆ４ ＜ ６ ０．０１ ＜ ｆ５／Ｌ ＜ １．２ ０．０２ ＜ ｆ６／Ｌ ＜ １．８
  3. 【請求項３】前記第４レンズ群の焦点距離をｆ４とし、
    前記物体から前記像面までの距離をＬとするとき、以下
    の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２記載
    記載の投影光学系。 −０．３ ＜ ｆ４／Ｌ ＜ −０．００５
  4. 【請求項４】前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、
    前記物体から前記像面までの距離をＬとするとき、以下
    の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３の何
    れか一項に記載の投影光学系。 −０．５ ＜ ｆ２／Ｌ ＜ −０．００５
  5. 【請求項５】前記第２レンズ群は、負の屈折力を持つレ
    ンズを少なくとも３枚以上含み、 前記第２レンズ群中の第３レンズから第５レンズまでの
    合成焦点距離をｆ２ｎとし、前記物体から前記像面まで
    の距離をＬとするとき、以下の条件式を満足することを
    特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の投影光
    学系。 −０．３ ＜ ｆ２ｎ／Ｌ ＜ −０．０１
  6. 【請求項６】前記第２レンズ群中に非球面を少なくとも
    １面以上含むことを特徴とする請求項１乃至５の何れか
    一項に記載の投影光学系。
  7. 【請求項７】前記第１レンズ群中に非球面を少なくとも
    １面以上含むことを特徴とする請求項１乃至６の何れか
    一項に記載の投影光学系。
  8. 【請求項８】前記第３レンズ群中に非球面を少なくとも
    １面以上含むことを特徴とする請求項１乃至７の何れか
    一項に記載の投影光学系。
  9. 【請求項９】前記第６レンズ群中に非球面を少なくとも
    １面以上含むことを特徴とする請求項１乃至８の何れか
    一項に記載の投影光学系。
  10. 【請求項１０】前記第５レンズ群は、負メニスカスレン
    ズを含み、 前記第５レンズ群中の前記負メニスカスレンズにおける
    凹面の曲率半径をＲ５ｎとし、前記物体から前記像面ま
    での距離をＬとするとき、以下の条件式を満足すること
    を特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の投影
    光学系。 ０．１ ＜ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＜０．５
  11. 【請求項１１】前記第６レンズ群は、負メニスカスレン
    ズを含み、 前記第６レンズ群中の前記負メニスカスレンズにおける
    凹面の曲率半径をＲ６ｎとし、前記物体から前記像面ま
    での距離をＬとするとき、以下の条件式を満足すること
    を特徴とする請求項１乃至１０記載の何れか一項に記載
    の投影光学系。 ０．０３ ＜ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＜０．１５
  12. 【請求項１２】前記第１レンズ群は、負の屈折力を持つ
    レンズを含み、 前記第１レンズ群中の前記負の屈折力を持つレンズの像
    面側の曲率半径をＲ１ｎとし、前記物体から前記像面ま
    での距離をＬとするとき、以下の条件式を満足すること
    を特徴とする請求項１乃至１１記載の何れか一項に記載
    の投影光学系。 ０．１ ＜ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＜ ０．５
  13. 【請求項１３】物体と、該物体を照明するための照明光
    学系と、該照明光学系によって照明された前記物体を投
    影するための投影光学系と、を有する投影露光装置にお
    いて、 前記投影光学系は、前記物体側から像面側へ向かって順
    に、 正の屈折力の第１レンズ群と、 負の屈折力の第２レンズ群と、 少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体と
    して正の屈折力の第３レンズ群と、 少なくとも３枚以上の負屈折力のレンズを有し、全体と
    して負の屈折力の第４レンズ群と、 少なくとも３枚以上の正屈折力のレンズを有し、全体と
    して正の屈折力の第５レンズ群と、 正の屈折力の第６レンズ群と、を含み、 前記第４レンズ群または前記第５レンズ群に非球面を少
    なくとも１面以上含むように構成したことを特徴とする
    投影露光装置。
  14. 【請求項１４】前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１と
    し、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、前記第３
    レンズ群の焦点距離をｆ３とし、前記第４レンズ群の焦
    点距離をｆ４とし、前記第５レンズ群の焦点距離をｆ５
    とし、前記第６レンズ群の焦点距離をｆ６とし、前記物
    体から前記像面までの距離をＬとするとき、以下の条件
    を満足することを特徴とする請求項１３記載の投影露光
    装置。 ０．１ ＜ ｆ１／ｆ３ ＜ １５ ０．０５ ＜ ｆ２／ｆ４ ＜ ６ ０．０１ ＜ ｆ５／Ｌ ＜ １．２ ０．０２ ＜ ｆ６／Ｌ ＜ １．８
  15. 【請求項１５】前記第４レンズ群の焦点距離をｆ４と
    し、前記物体から前記像面までの距離をＬとするとき、
    以下の条件を満足することを特徴とする請求項１３又は
    １４記載記載の投影露光装置。 −０．３ ＜ ｆ４／Ｌ ＜ −０．００５
  16. 【請求項１６】前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２と
    し、前記物体から前記像面までの距離をＬとするとき、
    以下の条件を満足することを特徴とする請求項１３乃至
    １５の何れか一項に記載の投影露光装置。 −０．５ ＜ ｆ２／Ｌ ＜ −０．００５
  17. 【請求項１７】前記第２レンズ群は、負の屈折力を持つ
    レンズを少なくとも３枚以上含み、 前記第２レンズ群中の第３レンズから第５レンズまでの
    合成焦点距離をｆ２ｎとし、前記物体から前記像面まで
    の距離をＬとするとき、以下の条件式を満足することを
    特徴とする請求項１３乃至１６の何れか一項に記載の投
    影露光装置。 −０．３ ＜ ｆ２ｎ／Ｌ ＜ −０．０１
  18. 【請求項１８】前記第２レンズ群中に非球面を少なくと
    も１面以上含むことを特徴とする請求項１３乃至１７の
    何れか一項に記載の投影露光装置。
  19. 【請求項１９】前記第１レンズ群中に非球面を少なくと
    も１面以上含むことを特徴とする請求項１３乃至１８の
    何れか一項に記載の投影露光装置。
  20. 【請求項２０】前記第３レンズ群中に非球面を少なくと
    も１面以上含むことを特徴とする請求項１３乃至１９の
    何れか一項に記載の投影露光装置。
  21. 【請求項２１】前記第６レンズ群中に非球面を少なくと
    も１面以上含むことを特徴とする請求項１３乃至２０の
    何れか一項に記載の投影露光装置。
  22. 【請求項２２】前記第５レンズ群は、負メニスカスレン
    ズを含み、 前記第５レンズ群中の前記負メニスカスレンズにおける
    凹面の曲率半径をＲ５ｎとし、前記物体から前記像面ま
    での距離をＬとするとき、以下の条件式を満足すること
    を特徴とする請求項１３乃至２１の何れか一項に記載の
    投影露光装置。 ０．１ ＜ ｜Ｒ５ｎ｜／Ｌ ＜０．５
  23. 【請求項２３】前記第６レンズ群は、負メニスカスレン
    ズを含み、 前記第６レンズ群中の前記負メニスカスレンズにおける
    凹面の曲率半径をＲ６ｎとし、前記物体から前記像面ま
    での距離をＬとするとき、以下の条件式を満足すること
    を特徴とする請求項１３乃至２２記載の何れか一項に記
    載の投影露光装置。 ０．０３ ＜ ｜Ｒ６ｎ｜／Ｌ ＜０．１５
  24. 【請求項２４】前記第１レンズ群は、負の屈折力を持つ
    レンズを含み、 前記第１レンズ群中の前記負の屈折力を持つレンズの像
    面側の曲率半径をＲ１ｎとし、前記物体から前記像面ま
    での距離をＬとするとき、以下の条件式を満足すること
    を特徴とする請求項１３乃至２２記載の何れか一項に記
    載の投影露光装置。 ０．１ ＜ ｜Ｒ１ｎ｜／Ｌ ＜ ０．５
  25. 【請求項２５】請求項１３乃至２４記載の何れか一項に
    記載の投影露光装置を用いて、物体上に形成されたパタ
    ーンを、像面としての基板上に投影露光することを特徴
    とする投影露光方法。
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