JP3298131B2

JP3298131B2 - 縮小投影レンズ

Info

Publication number: JP3298131B2
Application number: JP02283792A
Authority: JP
Inventors: 研野孝吉
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1991-10-24
Filing date: 1992-02-07
Publication date: 2002-07-02
Anticipated expiration: 2017-07-02
Also published as: JPH05173065A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、投影露光法によってＩ
Ｃ等の集積回路パターン等を描いたマスク等から半導体
ウエーハ上に回路パターン等を転写する際に用いられる
縮小投影レンズに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、集積回路等の集積度が上がるにつ
れて、より微細な回路パターンを形成する必要が生じて
いる。このため、高い解像力を得るのにレンズ系のＮＡ
（開口数）を上げるのが一般的方法である。以前は、こ
の方法により高ＮＡ化が行われてきたが、近年では、あ
まりに高ＮＡでは、焦点深度が浅くなり、オートフォー
カスの要求精度が非常に厳しくなったり、半導体ウェー
ハの反り等によって不都合が生じるため、実用的にＮＡ
は０．５前後が最適である。そこで、使用波長の短波長
化に力点が移されてきた。例えば、ｇ線（４３６ｎｍ）
からｉ線（３６５ｎｍ）を使用するレンズ系が発明さ
れ、今後はＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）を光源
とするレンズ系が主流となると言われているし、特許出
願が盛んに行われている。

【０００３】一方、回路パターンが微細になればなるほ
ど、回路パターンの歪みもより少ないレンズ系が要求さ
れてきている。しかし、いくらレンズ系の歪みが少なく
ても、露光する半導体ウェーハ基板の平面度を厳しく抑
えないと、ウェーハ基板等の反りによる像の歪みが発生
してしまう。そのために、像側の射出瞳位置を無限遠に
した像側テレセントリック光学系にすることが行われて
いた。

【０００４】なお、公知の縮小投影露光レンズとしは、
特開昭６３−１５５０１４号、特開昭６０−１４０３１
０号、特開昭６３−１２１８１０号、特開昭６３−１１
８１１５号等のものがある。また、本出願人が出願した
特願平２−２８３８２７号等のものがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の縮小投影法に使用される縮小投影レンズに
は、２４８ｎｍ等の短波長光を光源として、投影レンズ
の射出側のみならず、入射側の入射瞳位置も像面から比
較的遠くにあり、物体面の平面度が悪くても像の歪みが
小さくてすむ高解像力で焦点深度の広い縮小投影レンズ
は存在しなかった。

【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、この像歪みを小さくするため
に、縮小投影レンズの入射瞳位置が物体面から比較的遠
くにあり、短波長光を光源とする高解像力で焦点深度の
広い縮小投影レンズを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の縮小投影レンズは、マスクに描かれたパターンの像
を基板に転写する縮小投影レンズにおいて、物体側より
順に、互いに凹面を向かい合わせた一対のメニスカスレ
ンズを含む負の屈折力を持つ第１レンズ群と、少なくと
も２枚のレンズにより構成された正の屈折力を持つ第２
レンズ群と、正の屈折力を持つ第３レンズ群とを有し、
前記縮小投影レンズの第１面より測った入射瞳位置を
Ｅ，物像間距離をＬ，前記第１レンズ群の焦点距離をＦ
₁とそれぞれするとき、０．５＜｜Ｅ／Ｌ｜０．２＜｜Ｆ₁／Ｌ｜なる条件を満足し、前記第３レンズ群は、互いに向き合
った凹面を持つ２組のレンズ群と、該２組のレンズ群の
間に配置された少なくとも１つの正の屈折力を持つレン
ズ面とを有し、前記２組のレンズ群はそれぞれにおいて
前記向き合った２つの凹面の屈折力を各々φ ₁ 、φ ₂ とす
るとき、１／Ｌ＜｜φ ₁ ｜＜２０／Ｌ１／Ｌ＜｜φ ₂ ｜＜２０／Ｌなる条件を満足することを特徴とするものである。

【０００８】この場合、前記第２レンズ群の焦点距離を
Ｆ₂とするとき、０．１＜｜Ｆ₂／Ｌ｜＜０．３なる条件を満足することが望ましく、また、前記第３レ
ンズ群の焦点距離をＦ₃とするとき、０．０４＜｜Ｆ₃／Ｌ｜＜０．１なる条件を満足することが望ましい。また、本発明で
は、縮小投影レンズは、｜Ｆ₁／Ｌ｜＜１なる条件を満足することが望ましい。また、本発明で
は、縮小投影レンズは、１＜｜Ｆ₁／Ｆ₂｜＜５なる条件を満足することが望ましい。また、本発明で
は、前記第３レンズ群は、前記２組のレンズ群よりも像
側に配置された正のレンズ群と、該正のレンズ群よりも
像側に配置された像側に凹面を向けたメニスカスレンズ
とを有し、前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズの
凹面の屈折力をφ₃とするとき、１／Ｌ＜｜φ₃｜＜２０／Ｌなる条件を満足することが望ましい。また、本発明によ
る投影露光法では、以上に記載の何れかの縮小投影レン
ズを用いて前記マスクに描かれたパターンの像を前記基
板に転写することが望ましい。

【０００９】

【作用】以下、本発明の構成を採用した理由と作用につ
いて説明する。レンズ系への入射瞳が物体に近いと、軸
外光束が光軸となす角度が大きくなって、物体面の面精
度が悪いと、物点位置の光軸方向へのズレが縮小投影さ
れた像の歪みとして大きくなるという問題がある。物体
高Ｉ、レンズ系の第１面より測った入射瞳位置Ｅ、縮小
倍率Ｂ、物体面の光軸方向の撓み量ｄと像の歪みＤとの
関係は、次式で表される。

【００１０】Ｄ＝Ｉ／Ｅ×Ｂ×ｄ本出願人が先に出願した特願平２−２８３８２７号のエ
キシマレーザを光源とする実施例の場合には、物体面の
反り量が１μｍの場合に、像面上の歪みとして０．０３
６μｍが発生する（Ｉ＝９０、Ｅ＝４９０、Ｂ＝０．
２）。

【００１１】この物体面の反りによる像歪みを十分小さ
くするためには、入射瞳位置を物体から遠くにする必要
がある。上記条件式は、この入射瞳位置を規定したも
のである。この条件を満足しないと、物体面を射出す
る軸外主光線傾角が大きくなり、物体面の反りによる像
面上での歪みが無視できなくなる。

【００１２】しかし、単に特願平２−２８３８２７号の
レンズ構成で入射瞳位置を遠くにすると、レンズ系の主
な正の屈折力を持つレンズ群の中央近傍から瞳がズレて
しまう。このため、このレンズ群を通る軸外物点の上側
光束と下側光束の対称性が崩れ、この主な正の屈折力を
持つレンズ群でのコマ収差の発生が大きくなり、広い露
光領域を確保することが不可能となる。

【００１３】そこで、物体近くに正のレンズ群を付加し
て、主な正の屈折力を持つレンズ群の中央近傍に瞳位置
を投影することが考えられる。しかし、軸外主光線の高
い物体近傍に正レンズ群を配することになり、ペッツバ
ール和が悪化すると共に、この正レンズ群により発生す
るコマ収差が他の群で補正不可能となってしまう。この
コマ収差とペッツバール和を良好に補正するためには、
物体近傍の正のレンズ群のさらに物体側に、凹面が向き
合う一対のメニスカスレンズを含み負の屈折力を持つレ
ンズ群を配置することが収差補正上重要になる。

【００１４】したがって、本発明では、上記物体側の負
のレンズ群を第１群、次の正レンズ群を第２群、主な屈
折力を持つレンズ群を第３群とした３群構成としてい
る。

【００１５】次に、この第１群、第２群、第３群の役割
に付いて説明する。第１群の互いに向き合った凹面を持
つメニスカスレンズは、コマ収差を負側に補正してい
る。前記条件式の範囲を越えて焦点距離が短くなる
と、第１群で発生するコマ収差が大きくなりすぎ、第２
群とのコマ収差補正のバランスが崩れ、第１群と第２群
を合わせたトータルのコマ収差補正が不可能となる。な
お、条件式に上限を設けて、｜Ｆ₁／Ｌ｜＜１なる条
件を満足するようにすると、他のレンズ群で発生する正
のペッツバール和を補正するために必要な負のペッツバ
ール和を発生させることができ、全系のペッツバール和
をより良好にすることができる。

【００１６】さらに好ましくは、第２群は、第１群の負
のパワーによって発散してしまう入射瞳を第３群の中央
付近に投影する役目を持っている。前記条件式は、こ
の入射瞳の投影条件を規定している関係式である。この
条件式の上限を越えても、下限を越えても、瞳の投影を
第３群の中央近傍にすることができなくなる。つまり、
条件は、前記した条件と同様に、レンズ全系で発生
するコマ収差を補正するために必要な条件であり、この
条件を外れると、第３群で発生するコマ収差が大きくな
りすき、他の群でこれを補正することが不可能となって
しまう。

【００１７】また、第１群と第２群の屈折力の配分は、１＜｜Ｆ₁／Ｆ₂｜＜５の条件を満足すると、第１群と第２群で発生するコマフ
レアーの発生を全系で補正するのによい結果が得られ
る。

【００１８】第３群は、レンズ系全体の投影倍率等の近
軸量を決定しているレンズ群であり、条件式の上限を
越えると、投影倍率が大きくなり、下限を越えると小さ
くなり、何れも所望の倍率が得られなくなってしまう。

【００１９】さて、縮小投影光学系において、高い解像
力と広い露光領域とを確保するためには、第３群で発生
する像面湾曲をほぼ完全に補正しなくてはならない。こ
のような目的のため、互いに向き合った凹面を持つガウ
スタイプが写真レンズ等ではよく用いられるが、本発明
では、第３群の中に向き合った凹面を持つレンズ群を少
なくとも１組設けることにより、ペッツバール和を補正
する。

【００２０】また、縮小投影法では、基板の平面度によ
って部分的な像歪が生じないように、射出瞳を無限遠に
近くなるようにしている。本発明でも、少なくとも像面
側の射出瞳を無限遠に近くするために、第３群の向き合
った凹面により構成されたレンズ群のさらに像面側に、
正のレンズ群と像面側に凹面を向けたメニスカスレンズ
を配置している。この正レンズ群は、レンズ系の中にあ
る瞳を無限遠に結像する作用を持つ。像面側に凹面を向
けたメニスカスレンズは、ペッツバール和を補正するた
めのもので、コマ収差を劣化させないようにするため、
面に対する光線の傾角が小さくなる向き、すなわち、凹
面が像面側になるように配置している。

【００２１】なお、この像面側に凹面を向けたメニスカ
スレンズの凹面の屈折力をφ₃、物像間距離をＬとする
と、１／Ｌ＜｜φ₃｜＜２０／Ｌなる条件を満足することによって、広い露光領域が確保
される。この条件の下限を越えた場合には、凹面での屈
折力が弱くなりすぎてしまい、広い露光領域を得ること
が難しくなる。また、その上限を越えると、負の屈折力
が強くなりすぎてしまい、ペッツバール和は補正できる
が、コマ収差の発生が大きくなり、他の面で補正するこ
とが難しくなる。

【００２２】

【実施例】以下に、本発明の縮小投影レンズの実施例に
ついて説明する。実施例１〜８のレンズ配置を示すレン
ズ断面図を図１〜図８に示す。本発明の縮小投影レンズ
では、縮小倍率が小さくなると、ペッツバール和が補正
し難くなるため、第３群に設けた向き合った凹面の負の
屈折力が強くなりがちである。しかし、この向き合った
凹面の負の屈折力を強くしすぎると、ペッツバール和は
小さくなるが、あまりに凹面が強くなりすぎると、この
面で発生するコマ収差が大きくなり、他の面ではこれを
補正できなくなってしまう。

【００２３】この問題に対処するため、実施例１〜５に
示した縮小投影倍率が１／５のレンズ系においては、上
記の向き合った凹面で構成するレンズ群を２組用いてい
る。この場合、２組のレンズ群を単に並べただけでは、
凹面による光線の発散作用を持ったレンズ群がレンズ系
の一部に集まってしまうため、全系の屈折力を所定の屈
折力にするために、上記の向き合った凹面の屈折力が弱
くなってしまう。つまり、ペッツバール和を小さくする
作用を持った向き合った凹面は増えるが、凹面の負の屈
折力が弱くなり、結局ペッツバール和は小さくならな
い。

【００２４】そこで、これらの実施例１〜５において
は、この向き合った凹面で構成された２組のレンズ群を
有効にペッツバール和の補正に使うため、上記２組のレ
ンズ群の間に少なくとも１つの正の屈折力を持つレンズ
面を配置する。この正の屈折力のレンズ面によってはじ
めて、物体側と像側の向き合った凹面で構成された２組
のレンズ群のそれぞれの凹面が、ペッツバール和とコマ
収差に対して適切な屈折力を持ち得ることになる。上記
の適切な屈折力とは、上記の向き合った２つの凹面の屈
折力を各々φ₁、φ₂とし、物像間距離をＬとしたと
き、上記２組のレンズ群が共に、１／Ｌ｜φ₁｜＜２０／Ｌ、１／Ｌ｜φ₂｜＜２０／
Ｌなる条件を満足することである。これらの条件式の上
限、下限の意味は、条件式について述べたことと同じ
である。

【００２５】ところで、上記の実施例では、第３群の主
点を像面側に置くために、第３群全体をレトロフォーカ
ス的なパワー配置にしてあり、凹面を向き合わせたレン
ズ群の中の像側にある群が、このレトロフォーカス配置
の負のパワーの役割を担っている。

【００２６】しかし、投影倍率が１／４と大きくなる
と、レンズ系の主たる屈折力を負担する第３群の主点位
置が像側から物体側に移動する。このため、上記のレト
ロフォーカス的配置が不要となり、このレンズ群の負の
屈折力を弱くすることができる。その結果、凹面を向き
合わせた２組のレンズ群の一方を省略することができ
る。実施例６〜８では、このような理由により、凹面を
向き合わせたレンズ群の数は１つになっている。

【００２７】なお、倍率１／４の実施例６〜８では、後
記のレンズデータから明らかなように、倍率１／５の実
施例１〜５のものに比較して、開口数、露光領域が共に
大きくなっている。

【００２８】以下、より具体的に、実施例１〜５におい
ては、第１群Ｉは第１レンズから第３レンズの３枚から
なり、第２群IIは第４レンズと第５レンズの２枚からな
る。第３群III は、実施例１から実施例４は、第６レン
ズから第２３レンズの１８枚からなり、実施例５は第６
レンズから第２４レンズの１９枚からなる。また、実施
例６〜８においては、第１群Ｉは第１レンズから第３レ
ンズの３枚からなり、第２群IIは第４レンズから第６レ
ンズの３枚からなる。第３群III は、実施例６、実施例
８は、第７レンズから第２４レンズの１８枚からなり、
実施例７は、第７レンズから第２３レンズの１７枚から
なる。何れのレンズも溶融石英（ＳｉＯ₂）からなる。

【００２９】また、第３群中の向き合った凹面について
は、上記したように、実施例１〜５においては２組用い
ており、何れの実施例においても、第１４面（φ₁）と
第１９面（φ₂）、第２８面（φ₁）と第２９面
（φ₂）がそれらの組を構成しており、また、上記メニ
スカスレンズの像面側の面は、第４０面（φ₃）が構成
している。また、実施例６〜８においては、第３群中に
向き合った凹面を１組用いており、実施例６、８におい
ては、第１６面（φ₁）と第２３面（φ₂）がその組を
構成しており、実施例７においては、第１４面（φ₁）
と第２１面（φ₂）がその組を構成している。メニスカ
スレンズの像面側の面は、実施例６、８においては、第
４０面（φ₃）が、実施例７においては、第３６面（φ
₃）が、それぞれ構成している。

【００３０】次に、これら実施例１〜８のレンズデータ
を示すが、記号については、上記の外、ｒ_iは物体側よ
り順に第ｉ番目のレンズ面の曲率半径、ｄ_iは物体側よ
り順に第ｉ番目のレンズ面間間隔（ただし、実施例１〜
８のｄ₀は物体面から第１レンズ面までの距離、実施例
１〜４、７のｄ₄₆、実施例５、６、８のｄ₄₈はレンズ系
の最終レンズ面から像面までの距離）、ｎ_248,iは物体
側より順に第ｉ番目のレンズの波長２４８ｎｍでの屈折
率、ＮＡは開口数、Ｅは第１レンズ面より測った入射瞳
位置であり、また、上記したように、何れのレンズも溶
融石英から構成され、そのｎ_248,iは１．５０８３であ
る。

【００３１】なお、実施例１〜５においては、倍率β＝
１／５、物像間距離Ｌ＝１０００ｍｍであり、実施例６
〜８においては、倍率β＝１／４、物像間距離Ｌ＝１０
００ｍｍである。

【００３２】実施例１ＮＡ=0.50 露光領域16.7×16.7ｍｍＥ= ∞ ｄ₀=41.667 ｒ₁= 158.8180 ｄ₁=41.667 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 155.6344 ｄ₂=62.989 ｒ₃= 521.3761 ｄ₃=18.467 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 154.8448 ｄ₄=50.923 ｒ₅= -109.4408 ｄ₅=12.500 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -119.5306 ｄ₆=16.162 ｒ₇= 366.1980 ｄ₇=37.475 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -256.3179 ｄ₈= 0.083 ｒ₉= 353.4320 ｄ₉=40.072 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀= -667.9980 ｄ₁₀=35.047 ｒ₁₁= 131.6928 ｄ₁₁=23.349 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂= 248.4079 ｄ₁₂= 1.511 ｒ₁₃= 142.7179 ｄ₁₃=41.065 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 60.8060 ｄ₁₄=27.503 ｒ₁₅= -167.3935 ｄ₁₅=12.500 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₁₆= -107.3010 ｄ₁₆= 0.083 ｒ₁₇= -721.4791 ｄ₁₇=12.500 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= 101.6271 ｄ₁₈=20.585 ｒ₁₉= -62.1308 ｄ₁₉=12.500 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 213.2965 ｄ₂₀=22.453 ｒ₂₁= -290.4600 ｄ₂₁=41.667 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= -142.1379 ｄ₂₂= 0.083 ｒ₂₃= 710.6183 ｄ₂₃=25.767 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= -157.4733 ｄ₂₄= 0.083 ｒ₂₅= 176.7278 ｄ₂₅=20.056 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= 2143.3574 ｄ₂₆= 0.083 ｒ₂₇= 212.7948 ｄ₂₇=38.145 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= 108.7235 ｄ₂₈=25.747 ｒ₂₉= -135.8758 ｄ₂₉=12.500 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 487.8604 ｄ₃₀=32.627 ｒ₃₁= -559.6964 ｄ₃₁=35.123 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= -219.9666 ｄ₃₂= 0.083 ｒ₃₃= 905.5655 ｄ₃₃=24.259 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= -198.0141 ｄ₃₄= 0.083 ｒ₃₅= 229.0919 ｄ₃₅=40.041 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆= -753.1448 ｄ₃₆=12.508 ｒ₃₇= 129.3415 ｄ₃₇=22.495 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 293.9816 ｄ₃₈= 0.124 ｒ₃₉= 87.6213 ｄ₃₉=41.667 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 59.4786 ｄ₄₀=18.051 ｒ₄₁=-1548.7213 ｄ₄₁=25.915 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂= 161.4997 ｄ₄₂= 0.083 ｒ₄₃= 72.3482 ｄ₄₃=20.560 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 90.3115 ｄ₄₄= 0.580 r₄₅= 58.8494 ｄ₄₅=20.566 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= ∞ ｄ₄₆=10.000 Ｆ₁=-509.343 Ｆ₂= 187.569 Ｆ₃= 51.157 φ₁=-0.00836 φ₂=-0.00818 φ₁=-0.00468 φ₂=-0.00374 φ₃=-0.00855 。

【００３３】実施例２ＮＡ=0.48 露光領域 20×20 ｍｍＥ=20842.22 ｄ₀=50.000 ｒ₁= 141.2698 ｄ₁=33.671 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 152.0192 ｄ₂=29.286 ｒ₃= 666.2277 ｄ₃=15.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 151.1574 ｄ₄=26.859 ｒ₅= -108.1434 ｄ₅=15.000 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -118.8647 ｄ₆=14.745 ｒ₇= 460.9167 ｄ₇=43.187 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -276.6500 ｄ₈= 0.100 ｒ₉= 275.5863 ｄ₉=35.557 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀=-1203.1428 ｄ₁₀= 0.131 ｒ₁₁= 160.4572 ｄ₁₁=34.632 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂= 661.6698 ｄ₁₂= 0.222 ｒ₁₃= 214.4262 ｄ₁₃=41.178 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 71.8816 ｄ₁₄=64.177 ｒ₁₅= -166.9853 ｄ₁₅=15.006 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= -121.2880 ｄ₁₆= 4.026 ｒ₁₇= -947.7400 ｄ₁₇=24.617 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= 96.3131 ｄ₁₈=21.706 ｒ₁₉= -63.8413 ｄ₁₉=15.000 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₂₀= 236.8715 ｄ₂₀=21.763 ｒ₂₁= -295.4267 ｄ₂₁=49.126 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= -152.0088 ｄ₂₂= 0.100 ｒ₂₃= 777.0670 ｄ₂₃=29.069 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= -157.5230 ｄ₂₄= 0.100 ｒ₂₅= 168.4778 ｄ₂₅=22.530 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= 1074.2257 ｄ₂₆= 0.100 ｒ₂₇= 251.5811 ｄ₂₇=20.491 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= 131.9121 ｄ₂₈=28.754 ｒ₂₉= -137.1541 ｄ₂₉=15.000 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 425.5107 ｄ₃₀=22.730 ｒ₃₁= -682.4012 ｄ₃₁=26.847 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= -241.5028 ｄ₃₂= 0.100 ｒ₃₃= 1049.8203 ｄ₃₃=28.249 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= -182.7013 ｄ₃₄= 0.100 ｒ₃₅= 226.6109 ｄ₃₅=25.505 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆=-1068.8899 ｄ₃₆= 0.100 ｒ₃₇= 141.2526 ｄ₃₇=21.972 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 329.5029 ｄ₃₈= 0.146 ｒ₃₉= 98.8268 ｄ₃₉=41.393 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 66.7276 ｄ₄₀=26.108 ｒ₄₁= -517.3678 ｄ₄₁=38.814 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂= 186.4744 ｄ₄₂= 0.100 ｒ₄₃= 74.2966 ｄ₄₃=36.835 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 94.9398 ｄ₄₄= 0.101 ｒ₄₅= 58.8202 ｄ₄₅=21.753 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= ∞ ｄ₄₆= 8.013 Ｆ₁=-516.940 Ｆ₂= 198.765 Ｆ₃= 52.931 φ₁=-0.00707 φ₂=-0.00796 φ₁=-0.00385 φ₂=-0.00371 φ₃=-0.00762 。

【００３４】実施例３ＮＡ=0.50 露光領域 20×20 ｍｍＥ=725.58 ｄ₀=50.000 ｒ₁= 106.2081 ｄ₁=19.183 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 112.7090 ｄ₂=14.582 ｒ₃= 243.1751 ｄ₃=15.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 102.7156 ｄ₄=59.376 ｒ₅= -121.6125 ｄ₅=15.000 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -136.4936 ｄ₆=17.234 ｒ₇= 295.0056 ｄ₇=33.106 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -389.3950 ｄ₈= 0.100 ｒ₉= 228.2290 ｄ₉=30.132 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀=-1157.4165 ｄ₁₀= 0.100 ｒ₁₁= 239.1661 ｄ₁₁=24.828 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂=-2736.2711 ｄ₁₂= 0.239 ｒ₁₃= 200.6372 ｄ₁₃=15.000 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 74.3536 ｄ₁₄=40.122 ｒ₁₅= -124.0785 ｄ₁₅=15.631 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= -112.5088 ｄ₁₆= 0.100 ｒ₁₇=-1081.6120 ｄ₁₇=75.311 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= 99.0951 ｄ₁₈=25.286 ｒ₁₉= -61.2676 ｄ₁₉=15.000 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 290.7525 ｄ₂₀=13.838 ｒ₂₁= -264.3925 ｄ₂₁=42.982 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= -142.3785 ｄ₂₂= 0.100 ｒ₂₃=-2574.3470 ｄ₂₃=33.911 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₂₄= -128.0224 ｄ₂₄= 0.100 ｒ₂₅= 178.8290 ｄ₂₅=27.785 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆=14133.9919 ｄ₂₆= 0.100 ｒ₂₇= 366.2486 ｄ₂₇=15.000 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= 145.1509 ｄ₂₈=39.190 ｒ₂₉= -134.1619 ｄ₂₉=15.000 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 546.4401 ｄ₃₀=18.673 ｒ₃₁= -510.4058 ｄ₃₁=24.615 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= -230.2698 ｄ₃₂= 0.100 ｒ₃₃= 1032.2937 ｄ₃₃=39.467 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= -175.7421 ｄ₃₄= 0.100 ｒ₃₅= 253.8440 ｄ₃₅=30.345 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆= -784.4228 ｄ₃₆= 0.100 ｒ₃₇= 165.8967 ｄ₃₇=22.259 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 348.5753 ｄ₃₈= 0.100 ｒ₃₉= 111.5420 ｄ₃₉=43.105 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 79.1769 ｄ₄₀=31.484 ｒ₄₁= -513.011 ｄ₄₁=51.270 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂= 236.3217 ｄ₄₂= 0.100 ｒ₄₃= 89.8217 ｄ₄₃=54.275 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 110.2619 ｄ₄₄= 0.100 ｒ₄₅= 61.3966 ｄ₄₅=22.570 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= ∞ ｄ₄₆= 8.000 Ｆ₁=-449.873 Ｆ₂= 181.832 Ｆ₃= 47.071 φ₁=-0.00684 φ₂=-0.00830 φ₁=-0.00350 φ₂=-0.00379 φ₃=-0.00642 。

【００３５】実施例４ＮＡ=0.48 露光領域 20×20 ｍｍＥ=1478.10 ｄ₀=100.000 ｒ₁= 137.2562 ｄ₁=25.000 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 147.6178 ｄ₂=15.558 ｒ₃= 444.0530 ｄ₃=25.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 137.1186 ｄ₄=47.265 ｒ₅= -120.4597 ｄ₅=25.000 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -140.3130 ｄ₆= 7.696 ｒ₇= 467.8743 ｄ₇=32.991 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -359.6274 ｄ₈= 1.000 ｒ₉= 557.3871 ｄ₉=30.000 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀= -515.5693 ｄ₁₀= 1.000 ｒ₁₁= 123.7905 ｄ₁₁=41.484 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂= 643.8987 ｄ₁₂= 1.000 ｒ₁₃= 171.4587 ｄ₁₃=25.016 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 66.5180 ｄ₁₄=41.583 ｒ₁₅= -152.4686 ｄ₁₅=20.000 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= -126.9177 ｄ₁₆=23.751 ｒ₁₇= ∞ ｄ₁₇=15.000 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= 92.5666 ｄ₁₈=24.103 ｒ₁₉= -65.0156 ｄ₁₉=15.000 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 260.3267 ｄ₂₀=18.623 ｒ₂₁= -272.8242 ｄ₂₁=47.402 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= -150.2897 ｄ₂₂= 1.000 ｒ₂₃= 700.4601 ｄ₂₃=32.885 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= -147.3217 ｄ₂₄= 1.000 ｒ₂₅= 198.8265 ｄ₂₅=23.375 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= ∞ ｄ₂₆= 1.000 ｒ₂₇= 276.9653 ｄ₂₇=22.000 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₂₈= 139.4304 ｄ₂₈=30.352 ｒ₂₉= -135.7057 ｄ₂₉=22.000 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 425.1163 ｄ₃₀=16.299 ｒ₃₁= -488.1142 ｄ₃₁=23.000 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= -221.2312 ｄ₃₂= 1.000 ｒ₃₃= 793.9923 ｄ₃₃=29.322 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= -178.4943 ｄ₃₄= 1.000 ｒ₃₅= 230.7597 ｄ₃₅=24.399 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆=-1400.000 ｄ₃₆= 1.000 ｒ₃₇= 143.8285 ｄ₃₇=22.630 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 346.4978 ｄ₃₈= 1.000 ｒ₃₉= 92.4396 ｄ₃₉=46.822 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 59.0889 ｄ₄₀=17.769 ｒ₄₁= ∞ ｄ₄₁=48.415 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂= 100.6209 ｄ₄₂= 1.000 ｒ₄₃= 59.7465 ｄ₄₃=25.260 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 92.1960 ｄ₄₄= 1.000 ｒ₄₅= 57.9881 ｄ₄₅=15.000 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= ∞ ｄ₄₆= 8.001 Ｆ₁=-487.258 Ｆ₂= 235.341 Ｆ₃= 67.839 φ₁=-0.00764 φ₂=-0.00782 φ₁=-0.00365 φ₂=-0.00375 φ₃=-0.00860 。

【００３６】実施例５ＮＡ=0.47 露光領域 25×25 ｍｍＥ= ∞ ｄ₀=100.000 ｒ₁= 158.8170 ｄ₁=19.241 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 239.7566 ｄ₂=25.114 r₃= -520.0778 ｄ₃=15.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 173.3822 ｄ₄=55.581 ｒ₅= -134.3573 ｄ₅=12.500 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -158.9506 ｄ₆= 0.833 ｒ₇=11353.9937 ｄ₇=30.783 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -260.7941 ｄ₈= 0.833 ｒ₉= 236.4466 ｄ₉=41.454 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀= -965.9305 ｄ₁₀= 0.833 ｒ₁₁= 197.3572 ｄ₁₁=33.902 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂= 2305.5231 ｄ₁₂= 0.833 ｒ₁₃= 155.2685 ｄ₁₃=39.333 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 74.2733 ｄ₁₄=33.505 ｒ₁₅= -833.0055 ｄ₁₅=16.231 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= -173.1079 ｄ₁₆=15.107 ｒ₁₇= -132.3474 ｄ₁₇=12.500 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= 107.5686 ｄ₁₈=39.258 ｒ₁₉= -71.6995 ｄ₁₉=12.500 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 231.6966 ｄ₂₀=17.492 ｒ₂₁= -526.9275 ｄ₂₁=36.447 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= -188.3114 ｄ₂₂= 0.833 ｒ₂₃= 866.0416 ｄ₂₃=36.994 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= -156.0137 ｄ₂₄= 0.833 ｒ₂₅= 274.4281 ｄ₂₅=33.991 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= -342.0398 ｄ₂₆= 0.833 ｒ₂₇= 228.3407 ｄ₂₇=25.104 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= 113.0798 ｄ₂₈=44.582 ｒ₂₉= -145.4000 ｄ₂₉=12.500 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 785.8063 ｄ₃₀=14.521 ｒ₃₁= -572.7342 ｄ₃₁=18.677 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₃₂= -210.7349 ｄ₃₂= 0.833 ｒ₃₃= 615.9888 ｄ₃₃=33.977 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= -184.3613 ｄ₃₄= 0.833 ｒ₃₅= 243.9015 ｄ₃₅=21.294 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆= ∞ ｄ₃₆= 0.833 ｒ₃₇= 145.8836 ｄ₃₇=20.377 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 349.6684 ｄ₃₈= 0.833 ｒ₃₉= 99.0981 ｄ₃₉=56.543 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 55.1839 ｄ₄₀=21.646 ｒ₄₁= -279.6333 ｄ₄₁=12.500 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂= -140.8099 ｄ₄₂= 8.770 ｒ₄₃= -187.9892 ｄ₄₃=18.628 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 89.6294 ｄ₄₄= 0.833 ｒ₄₅= 57.9895 ｄ₄₅=30.250 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= 155.8950 ｄ₄₆= 0.833 ｒ₄₇= 57.2342 ｄ₄₇=14.113 ｎ_248,24=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₈= ∞ ｄ₄₈= 8.750 Ｆ₁=-343.449 Ｆ₂= 217.296 Ｆ₃= 70.923 φ₁=-0.00685 φ₂=-0.00709 φ₁=-0.00450 φ₂=-0.00350 φ₃=-0.00921 。

【００３７】実施例６ＮＡ=0.48 露光領域 25×25 ｍｍＥ=1000 ｄ₀=100.000 ｒ₁= 122.2218 ｄ₁=42.000 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 131.8406 ｄ₂=26.527 ｒ₃= -456.7383 ｄ₃=15.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 146.7156 ｄ₄=58.920 r₅= -109.3340 ｄ₅=15.000 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -124.4118 ｄ₆=16.650 ｒ₇=-1603.5903 ｄ₇=30.631 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -230.6638 ｄ₈= 1.000 ｒ₉= 306.7289 ｄ₉=40.340 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀= -589.4298 ｄ₁₀= 1.000 ｒ₁₁= 344.7579 ｄ₁₁=27.251 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂=-7346.6854 ｄ₁₂= 1.000 ｒ₁₃= 208.1925 ｄ₁₃=26.911 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 663.0676 ｄ₁₄= 1.000 ｒ₁₅= 99.4529 ｄ₁₅=15.000 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= 71.1583 ｄ₁₆=43.911 ｒ₁₇= -572.6484 ｄ₁₇=15.000 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= -241.4067 ｄ₁₈= 9.511 ｒ₁₉= -515.5571 ｄ₁₉=15.000 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 125.7783 ｄ₂₀= 9.188 ｒ₂₁= 594.4223 ｄ₂₁=15.000 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= 136.9477 ｄ₂₂=24.889 ｒ₂₃= -73.8735 ｄ₂₃=15.000 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= 453.6327 ｄ₂₄=13.350 ｒ₂₅= -173.8233 ｄ₂₅=20.397 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= -131.9886 ｄ₂₆= 1.000 ｒ₂₇= 245.6658 ｄ₂₇=27.993 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= -324.3616 ｄ₂₈= 3.841 ｒ₂₉=-1493.8830 ｄ₂₉=15.000 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 511.5606 ｄ₃₀= 9.729 ｒ₃₁= -931.9050 ｄ₃₁=15.000 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= 259.1839 ｄ₃₂=14.889 ｒ₃₃=-2876.7613 ｄ₃₃=24.510 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₃₄=
-225.4203 ｄ₃₄= 1.000 ｒ₃₅= 396.8058 ｄ₃₅=40.820 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆= -211.6756 ｄ₃₆= 1.000 ｒ₃₇= 160.4017 ｄ₃₇=37.780 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 1933.4335 ｄ₃₈= 1.000 ｒ₃₉= 157.5349 ｄ₃₉=48.675 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 289.4471 ｄ₄₀=49.305 ｒ₄₁= 603.3704 ｄ₄₁=50.000 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂=-4086.5298 ｄ₄₂= 6.206 ｒ₄₃= -128.0736 ｄ₄₃=15.000 ｎ_248,22=1.5080 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 80.1338 ｄ₄₄= 1.000 ｒ₄₅= 54.7881 ｄ₄₅=16.776 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= 181.4529 ｄ₄₆= 1.000 ｒ₄₇= 85.3329 ｄ₄₇=10.000 ｎ_248,24=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₈= ∞ ｄ₄₈= 9.000 Ｆ₁=-287.448 Ｆ₂= 174.217 Ｆ₃= 69.301 φ₁=-0.00714 φ₂=-0.00688 φ₃=-0.00176 。

【００３８】実施例７ＮＡ=0.48 露光領域 25×25 ｍｍＥ=1000 ｄ₀=100.000 ｒ₁= 123.3658 ｄ₁=18.768 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 123.8122 ｄ₂=31.218 ｒ₃= -498.8768 ｄ₃=15.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 172.6737 ｄ₄=49.975 ｒ₅= -110.7247 ｄ₅=15.000 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -129.4457 ｄ₆= 1.000 ｒ₇=-3947.7165 ｄ₇=32.190 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₈= -232.1087 ｄ₈= 1.000 ｒ₉= 389.1147 ｄ₉=39.911 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀= -430.7653 ｄ₁₀= 1.000 ｒ₁₁= 192.5059 ｄ₁₁=44.254 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂=-1743.8050 ｄ₁₂= 1.000 ｒ₁₃= 132.0319 ｄ₁₃=34.793 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 74.3519 ｄ₁₄=42.281 ｒ₁₅= -332.3886 ｄ₁₅=15.827 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= -167.3614 ｄ₁₆= 1.000 ｒ₁₇= -241.8117 ｄ₁₇=43.457 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= 171.1876 ｄ₁₈= 7.936 ｒ₁₉= 1020.6841 ｄ₁₉=15.000 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 174.9693 ｄ₂₀=28.528 ｒ₂₁= -71.1009 ｄ₂₁=35.689 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= 887.0010 ｄ₂₂=12.714 ｒ₂₃= -285.9543 ｄ₂₃=25.520 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= -167.7632 ｄ₂₄= 1.113 ｒ₂₅=-4840.1342 ｄ₂₅=32.591 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= -178.2112 ｄ₂₆=52.896 ｒ₂₇=80941.2159 ｄ₂₇=33.607 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= -229.9629 ｄ₂₈= 1.000 ｒ₂₉= 546.6617 ｄ₂₉=25.562 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= -718.3377 ｄ₃₀= 1.000 ｒ₃₁= 190.6956 ｄ₃₁=28.558 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= 945.1528 ｄ₃₂= 1.000 ｒ₃₃= 165.1537 ｄ₃₃=19.762 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= 272.3522 ｄ₃₄= 1.000 ｒ₃₅= 108.8985 ｄ₃₅=36.791 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆= 82.9680 ｄ₃₆=18.432 r₃₇= 650.5592 ｄ₃₇=25.135 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= -325.9244 ｄ₃₈= 1.986 ｒ₃₉= -275.1850 ｄ₃₉=15.000 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 68.8076 ｄ₄₀=33.857 ｒ₄₁= 61.0827 ｄ₄₁=26.023 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₂= 140.8818 ｄ₄₂= 1.000 ｒ₄₃= 76.1085 ｄ₄₃=10.000 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= -210.8257 ｄ₄₄= 1.624 ｒ₄₅= -183.0680 ｄ₄₅=10.000 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= ∞ ｄ₄₆= 9.001 Ｆ₁=-254.075 Ｆ₂= 141.816 Ｆ₃= 49.773 φ₁=-0.00684 φ₂=-0.00715 φ₃=-0.00613 。

【００３９】実施例８ＮＡ=0.52 露光領域 25×25 ｍｍＥ=874.0 ｄ₀=100.000 ｒ₁= 111.7880 ｄ₁=16.214 ｎ_248,1=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂= 123.4881 ｄ₂=35.706 ｒ₃= -348.6845 ｄ₃=15.000 ｎ_248,2=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄= 164.8758 ｄ₄=56.185 ｒ₅= -104.1790 ｄ₅=19.988 ｎ_248,3=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₆= -127.9442 ｄ₆= 1.000 ｒ₇= -988.3088 ｄ₇=35.450 ｎ_248,4=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₈= -202.1689 ｄ₈= 1.000 ｒ₉= 396.2774 ｄ₉=42.997 ｎ_248,5=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₀= -455.9975 ｄ₁₀= 1.000 ｒ₁₁= 317.7947 ｄ₁₁=33.108 ｎ_248,6=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₂=-2661.3524 ｄ₁₂= 1.000 r₁₃= 190.6737 ｄ₁₃=30.320 ｎ_248,7=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₄= 565.1670 ｄ₁₄= 1.000 ｒ₁₅= 96.2734 ｄ₁₅=15.000 ｎ_248,8=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₆= 68.6751 ｄ₁₆=43.994 ｒ₁₇=-9282.0807 ｄ₁₇=16.617 ｎ_248,9=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₁₈= -271.6829 ｄ₁₈= 1.000 ｒ₁₉= -406.2942 ｄ₁₉=15.000 ｎ_248,10=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₀= 118.7133 ｄ₂₀=11.932 ｒ₂₁= 1567.6905 ｄ₂₁=15.000 ｎ_248,11=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₂= 134.3926 ｄ₂₂=27.019 ｒ₂₃= -74.6080 ｄ₂₃=15.000 ｎ_248,12=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₄= 503.2389 ｄ₂₄=13.695 ｒ₂₅= -189.2346 ｄ₂₅=16.706 ｎ_248,13=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₆= -130.1851 ｄ₂₆= 1.000 ｒ₂₇= 247.8524 ｄ₂₇=30.749 ｎ_248,14=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₂₈= -271.8151 ｄ₂₈= 1.000 ｒ₂₉= -788.0965 ｄ₂₉=15.000 ｎ_248,15=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₀= 454.5327 ｄ₃₀=10.242 ｒ₃₁=-1211.5252 ｄ₃₁=15.000 ｎ_248,16=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₂= 257.7440 ｄ₃₂=15.420 ｒ₃₃=-4049.8333 ｄ₃₃=25.467 ｎ_248,17=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₄= -229.8300 ｄ₃₄= 1.000 ｒ₃₅= 391.4166 ｄ₃₅=44.040 ｎ_248,18=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₆= -208.8223 ｄ₃₆= 1.000 ｒ₃₇= 159.7557 ｄ₃₇=40.383 ｎ_248,19=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₃₈= 1991.5753 ｄ₃₈= 1.000 ｒ₃₉= 147.8854 ｄ₃₉=49.645 ｎ_248,20=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₀= 182.5940 ｄ₄₀=50.209 ｒ₄₁= 169.5532 ｄ₄₁=38.119 ｎ_248,21=1.5083 (ＳｉＯ₂) r₄₂= 616.6126 ｄ₄₂= 7.377 ｒ₄₃= -144.3126 ｄ₄₃=15.000 ｎ_248,22=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₄= 73.4065 ｄ₄₄= 1.000 ｒ₄₅= 53.1077 ｄ₄₅=16.417 ｎ_248,23=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₆= 138.8285 ｄ₄₆= 1.000 ｒ₄₇= 81.6751 ｄ₄₇=10.000 ｎ_248,24=1.5083 (ＳｉＯ₂) ｒ₄₈= ∞ ｄ₄₈= 9.001 Ｆ₁=-240.598 Ｆ₂= 167.965 Ｆ₃= 66.235 φ₁=-0.00740 φ₂=-0.00681 φ₃=-0.00278 。

【００４０】以上の実施例１〜８の球面収差、非点収
差、歪曲収差、コマ収差を表す収差図をそれぞれ図９か
ら図１６に示す。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の縮小投影
レンズによると、入射瞳位置を物体面から比較的遠くに
位置させ、像歪みが小さく、短波長光を光源とする高解
像力で焦点深度の広い縮小投影レンズを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図２】本発明の実施例２の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図３】本発明の実施例３の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図４】本発明の実施例４の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図５】本発明の実施例５の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図６】本発明の実施例６の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図７】本発明の実施例７の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図８】本発明の実施例８の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図９】実施例１の球面収差、非点収差、歪曲収差、コ
マ収差を表す収差図である。

【図１０】実施例２の図９の同様な収差図である。

【図１１】実施例３の図９の同様な収差図である。

【図１２】実施例４の図９の同様な収差図である。

【図１３】実施例５の図９の同様な収差図である。

【図１４】実施例６の図９の同様な収差図である。

【図１５】実施例７の図９の同様な収差図である。

【図１６】実施例８の図９の同様な収差図である。

【符号の説明】

Ｉ …第１レンズ群 II …第２レンズ群 III …第３レンズ群

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】マスクに描かれたパターンの像を基板に転
写する縮小投影レンズにおいて、物体側より順に、互いに凹面を向かい合わせた一対のメ
ニスカスレンズを含む負の屈折力を持つ第１レンズ群
と、少なくとも２枚のレンズにより構成された正の屈折
力を持つ第２レンズ群と、正の屈折力を持つ第３レンズ
群とを有し、前記縮小投影レンズの第１面より測った入射瞳位置を
Ｅ，物像間距離をＬ，前記第１レンズ群の焦点距離をＦ
₁とそれぞれするとき、０．５＜｜Ｅ／Ｌ｜０．２＜｜Ｆ₁／Ｌ｜なる条件を満足し、前記第３レンズ群は、互いに向き合った凹面を持つ２組
のレンズ群と、該２組のレンズ群の間に配置された少な
くとも１つの正の屈折力を持つレンズ面とを有し、前記２組のレンズ群はそれぞれにおいて前記向き合った
２つの凹面の屈折力を各々φ ₁ 、φ ₂ とするとき、１／Ｌ＜｜φ ₁ ｜＜２０／Ｌ１／Ｌ＜｜φ ₂ ｜＜２０／Ｌなる条件を満足することを
特徴とする縮小投影レンズ。
【請求項２】前記第２レンズ群の焦点距離をＦ₂とする
とき、０．１＜｜Ｆ₂／Ｌ｜＜０．３なる条件を満足することを特徴とする請求項１記載の縮
小投影レンズ。
【請求項３】前記第３レンズ群の焦点距離をＦ₃とする
とき、０．０４＜｜Ｆ₃／Ｌ｜＜０．１なる条件を満足することを特徴とする請求項１又は２記
載の縮小投影レンズ。
【請求項４】前記縮小投影レンズは、｜Ｆ₁／Ｌ｜＜１なる条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３の
何れか一項に記載の縮小投影レンズ。
【請求項５】前記縮小投影レンズは、１＜｜Ｆ₁／Ｆ₂｜＜５なる条件を満足することを特徴とする請求項１乃至４の
何れか一項に記載の縮小投影レンズ。
【請求項６】前記第３レンズ群は、前記２組のレンズ群
よりも像側に配置された正のレンズ群と、該正のレンズ
群よりも像側に配置された像側に凹面を向けたメニスカ
スレンズとを有し、前記像側に凹面を向けたメニスカスレンズの凹面の屈折
力をφ ₃ とするとき、１／Ｌ＜｜φ ₃ ｜＜２０／Ｌなる条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５の
何れか一項に記載の縮小投影レンズ。
【請求項７】請求項１乃至６の何れか１項に記載の縮小
投影レンズを用いて前記マスクに描かれたパターン像を
前記基板に転写することを特徴とする縮小投影露光法。