JPH0534593A

JPH0534593A - 縮小投影レンズ

Info

Publication number: JPH0534593A
Application number: JP28122391A
Authority: JP
Inventors: Kokichi Kenno; 研野孝吉
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1991-05-22
Filing date: 1991-10-28
Publication date: 1993-02-12

Abstract

(57)【要約】【目的】レンズ系硝材総肉厚が薄くて透過率が良く、
広い露光領域と高い解像力を持った物体側、像側両テレ
セントリック縮小投影レンズ。【構成】正の第１レンズ群Ｉ、負の第２レンズ群II、
正の第３レンズ群III 、像側に凹面を向けたメニスカス
レンズを少なくとも１枚有する正の第４レンズ群IVで構
成され、各レンズ群は屈折率１．６以下のガラス材料か
らなる単数又は複数のレンズにより構成され、かつ、第
２レンズ群II、第４レンズ群IVにそれぞれ少なくとも１
面の非球面が配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、縮小投影レンズに関
し、特に、縮小投影露光法によって回路パターンの描か
れたマスク等から回路パターン等を転写する際に用いる
縮小投影レンズに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、投影レンズによる投影像の解像
力はその開口数に比例し、使用する波長に反比例する。
近年、回路パターンの高集積化が一段と進み、さらに解
像力の良いレンズが要求されてきており、開口数を大き
くして行くとそれに比例して解像力は良くなって行く
が、焦点深度が浅くなり、焦点合わせを非常に正確に行
う必要が生ずる。また、回路パターンを転写するシリコ
ンウエハーの平坦度も非常に厳しい値が要求され、実用
には向かなくなってしまう。

【０００３】そのため、近年では、開口数を大きくする
よりも、使用波長を短くして焦点深度を保ちつつ解像力
を上げることが行われるようになった。

【０００４】現在では、水銀灯による波長４３６ｎｍか
ら３６５ｎｍの光が使用されるようになっているが、近
年、２４８ｎｍを発光スペクトルとするＫｒＦエキシマ
レーザを使用する特開昭６０−１４０３１０号等の提案
がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、使用波長が
２５０ｎｍ以下になると、使用できる硝材は、透過率か
ら、ＳｉＯ₂又はＣａＦ₂に限られ、しかも加工性等を
考慮すると、ＳｉＯ₂しか使用できる硝材はない。さら
に、２００ｎｍ以下では、このＳｉＯ₂を使用しても、
透過率が低いために、硝材総肉厚は、２００ｍｍ前後以
下にしないと、透過率が５０％以下になってしまう。そ
こで、レンズ系の硝材総肉厚が少しでも短いことが必要
条件になってくるが、上記した特開昭６０−１４０３１
０号等のものにおいては、レンズ系の硝材総肉厚が２０
０ｍｍより厚いものである。また、回路パターンを転写
するときのフォーカスエラーによって生ずる投影倍率の
変化がないように、射出瞳位置が実質的に無限遠の像側
テレセントリックな光学系にすることが知られている。
しかし、解像力が高くなるに従って、この投影倍率の変
化は、さらに厳しいものが要求されてきており、像側だ
けにとどまらず物体側のマスクの平坦度による倍率変化
も起きないように、物体側テレセントリックな光学系が
要求されている。

【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、レンズ系硝材総肉厚を物像間
距離の４分の１以下にして透過率を良くし、なおかつ、
広い露光領域と高い解像力を持った物体側、像側両テレ
セントリック縮小投影レンズを提供することである。

【０００７】なお、本発明の投影レンズにおいては、１
９３ｎｍを主な発光スペクトルとするＡｒＦエキシマレ
ーザ等を用いるが、２４８ｎｍを主な発光スペクトルと
するＫｒＦエキシマレーザにおいても使用できることは
当然である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の縮小投影レンズは、物体側より順に、正の
第１レンズ群、負の第２レンズ群、正の第３レンズ群、
像側に凹面を向けたメニスカスレンズを少なくとも１枚
有する正の第４レンズ群で構成され、各レンズ群は屈折
率１．６以下のガラス材料からなる単数又は複数のレン
ズにより構成され、かつ、第２レンズ群、第４レンズ群
にそれぞれ少なくとも１面の非球面が配置されているこ
とを特徴とするものである。

【０００９】この場合、入射瞳及び射出瞳位置が十分に
遠くに設定された両テレセントリックに構成されるのが
望ましい。

【００１０】

【作用】以下、上記のような構成を採用した理由と作用
について説明する。高解像力と広い露光領域を確保する
ためには、像面湾曲をほぼ完全に補正しなければならな
いことは良く知られている。

【００１１】また、物体側、像側の両テレセントリック
光学系では、レンズ系中央付近にある瞳を物体側、像側
の双方で無限遠に投影する必要があり、物体近傍と像近
傍に正のレンズ群を配し、レンズ系中央付近の瞳を無限
遠方に結像させるようにしている。

【００１２】さらに、レンズ系総肉厚を薄くするために
は、レンズ１枚１枚を薄くする必要があり、かつ、各々
のレンズ群を構成するレンズエレメントの数を減らすこ
とが重要である。

【００１３】上記３つの必要条件は、互いに矛盾する点
が多い。例えば、像面湾曲を補正するためにペッツバー
ル和をほとんんどゼロに補正するために、マージナル光
線が比較的低い物体近傍か像近傍に負レンズを配す必要
がある。

【００１４】以上のように、高解像力と広い露光領域を
確保するために、両テレセントリック系レンズにするこ
ととレンズ系の総肉厚を薄くするという条件は、非常に
難しい制限条件となる。

【００１５】本発明は、以上のように相互に矛盾する制
限条件を満足するためになされたものであり、以下に各
群の配置と作用に関して説明をする。

【００１６】テレセントリック光学系にするために、第
１レンズ群と第４レンズ群に正のレンズ系を配してい
る。

【００１７】第１レンズ群の正パワーは、無限遠の入射
瞳をレンズ系中央にある強い正の屈折力を持つ第３レン
ズ群近傍に投影し、この第３レンズ群で発生するコマ収
差を小さくするためのものである。

【００１８】第２レンズ群は、ペッツバール和の補正と
光線高を高くするために強い負レンズとなっている。広
い露光領域を確保するためには、像面湾曲のないレンズ
系にする必要があり、そのためには、ペッツバール和を
小さくすることが一般によく知られている。また、強い
負のレンズ系を用いると、強い負の球面収差が発生し、
他の群で発生する正の球面収差とバランスさせることが
できなくなる。そこで、第２レンズ群に非球面を使うこ
とで、さらに良好な球面収差に補正することができる。

【００１９】第３レンズ群は、第２レンズ群の負の屈折
力を強くさせる働きがある。第３レンズ群は、第２レン
ズ群で発散光束となってしまった物体からの光束を概略
平行光束にするために、正の屈折力を有する必要があ
り、第３レンズ群の正の屈折力が弱いと、第２レンズ群
の負の屈折力も弱くなり、上記ペッツバール和が良好に
補正できない。

【００２０】第４レンズ群は、両テレセントリック光学
系で、全系の物像間距離Ｄと倍率βを決める群となる。
この強い正の屈折力のため、レンズ系の構成要素が少な
い本発明の場合は、球面レンズ系では必ず正の球面収差
が発生してしまう。そこで、本発明では、この第４レン
ズ群にも非球面を少なくとも１面使用することにより、
第４レンズ群で発生する球面収差を良好に補正してい
る。もし、非球面を用いない場合には、第４レンズ群で
発生する球面収差を補正しようとしても、本発明のよう
にレンズエレメントの数が少ないレンズ系においては、
他の群で補正することが不可能である。

【００２１】また、第３レンズ群と第４レンズ群の合成
焦点距離をｆ₃₄とし、物像間距離をＤとし、｜ｆ₃₄｜＜Ｄ／５・・・の条件を満足するようにすると、レンズ系全長を小さく
することができる。この条件の範囲を越えると、物像
間距離Ｄが実用になる距離を遙かに越え、このレンズ系
を用いる縮小投影露光装置が非常に大型となり、実用に
耐えなくなる。

【００２２】また、第４レンズ群は、両テレセントリッ
ク光学系において全系の物像間距離Ｄと倍率βを決める
群となるので、この群の焦点距離をｆ₄とすると、ｆ₄＜Ｄ／２・・・なる条件を満足する必要がある。

【００２３】

【実施例】以下、この発明の実施例を示す。実施例１〜
３のレンズ系の断面図をそれぞれ図１〜図３に示す。何
れの実施例においても、第１群Ｉは両凸正レンズ１枚か
ら、第２群IIは両凹負レンズ１枚から、第３群III は両
凸正レンズ１枚の前群と凹面が向き合った２枚の負メニ
スカスレンズの後群とからなる。第４群IVは、実施例１
においては、両凸正レンズと像側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズの２枚からなり、実施例２においては、両
凸正レンズ２枚と像側に凹面を向けた負メニスカスレン
ズの３枚からなり、実施例３においては、両凸正レンズ
と像側に凹面を向けた正メニスカスレンズの２枚からな
る。

【００２４】実施例４〜９のレンズ系の断面図をそれぞ
れ図４〜９に示す。何れの実施例においても、第１群Ｉ
は物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ１枚から、
第２群IIは、両凹負レンズ１枚から、第３群III は両凸
正レンズ１枚からなる。第４群IVは、実施例４、７にお
いては、像側に凹面を向けた正メニスカスレンズと像側
に凹面を向けた負メニスカスレンズの２枚からなり、実
施例５、６、８、９においては、両凸正レンズと像側に
凹面を向けた負メニスカスレンズの２枚からなる。

【００２５】非球面については、実施例１においては、
第１レンズ群、第２レンス群それぞれの第１面、第３レ
ンズ群の第１面と第４面、第４レンズ群の第１面と最終
面の６面に用いており、実施例２においては、第１レン
ズ群、第２レンズ群それぞれの第１面、第３レンズ群の
第４面、第４レンズ群の第１面と最終面の第５面に用い
ており、また、実施例３においては、第１レンズ群、第
２レンズ群それぞれの第１面、第３レンズ群の第１面と
第４面と第６面、第４レンズ群の第１面と最終面の７面
に用いている。

【００２６】実施例４〜９においては、実施例４では、
第２レンズ群の第２面、第３レンズ群の第１面、第４レ
ンズ群の最終面の３面に用いており、実施例５では、第
１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群それぞれの第
１面、第４レンズ群の第１面と最終面の５面に用いてお
り、実施例６では、第２レンズ群、第３レンズ群それぞ
れの第１面、第４レンズ群の第１面と最終面の４面に用
いており、実施例７では、第１レンズ群、第２レンズ
群、第３レンズ群それぞれの第１面、第４レンズ群の最
終面の４面に用いており、実施例８では、第１レンズ群
の第１面、第２レンズ群の第２面、第３レンズ群の第１
面、第４レンズ群の第１面と最終面の５面に用いてお
り、実施例９では、第２レンズ群の第２面、第３レンズ
群の第１面、第４レンズ群の第１面と最終面の４面に用
いている。

【００２７】本発明において、ペッツバール和の補正と
コマ収差の補正が収差補正上重要な位置を占めること
は、上記した通りである。そこで、実施例１〜３と実施
例４〜９の違いについて説明する。

【００２８】ペッツバール和を小さくするためには、レ
ンズ系の中の負の屈折力を持った凹面を多くするか、又
は、その屈折力を強くすることが重要である。実施例１
〜３の場合は、これを、凹面向かい合わせたガウスタイ
プを使うことによって、負の屈折力を持つ面を増やして
解決している。実施例４〜９では、第２レンズ群IIから
所定量距離をおいて正の屈折力を持つ第３レンズ群III
を配置することで、第２レンズ群IIの負の屈折力を強く
して、ペッツバール和を補正している。

【００２９】なお、コマ収差については、第３レンズ群
III にコマ収差の補正能力を積極的に持たせたガウスタ
イプを採用したのが実施例１〜３であり、実施例４〜９
では第３レンズ群III で発生するコマ収差をなるべく小
さくして、他のレンズ群によって補正している。

【００３０】さらに、好ましくは、実施例１〜３では、
第１レンズ群Ｉの焦点距離ｆ₁は、ｆ₁＜Ｄ／２．５・・・なる条件を満足することが重要である。この上限を越え
ると、第３レンズ群III後群の向き合った凹面でのコマ
収差補正能力が低くなってしまうからである。この向き
合った凹面で構成されたメニスカスレンズは、この後群
を通過する光線の上側光束と下側光束の対称性から、コ
マフレアーの補正を行うのに有効である。なお、このメ
ニスカスレンズの中心肉厚は、全系の透過率の問題か
ら、有効径の１／４以下とするのが好ましい。さらに、
瞳位置をはさんで凹面が向き合っているために、歪曲収
差と非点収差を発生させないことが良く知られている。
また、この向き合った凹面で構成されたメニスカスレン
ズの各面の働きを十分に引き出すためには、これらメニ
スカスレンズを通過する光線高を高くすることが必要で
ある。

【００３１】一方、実施例４〜９では、第１レンズ群Ｉ
の焦点距離をｆ₁とすると、Ｄ／３＜ｆ₁＜Ｄ・・・なる条件の範囲にすると、第３レンズ群III 近傍に入射
瞳が投影され、第３レンズ群III で発生するコマ収差が
少なくなり、より広い露光領域を確保することができ
る。この条件から外れると、第３レンズ群III で発生
するコマ収差が大きくなり、コマ収差の補正のために他
のレンズエレメントの数が多くなり、レンズ系の総肉厚
が厚くなってしまう。

【００３２】また、第２レンズ群IIは、ペッツバール和
の補正のため、強い負レンズとなっている。実施例１〜
３では、さらに好ましくは、第２レンズ群IIの焦点距離
をｆ₂とし、｜ｆ₂｜＜Ｄ／５・・・なる条件を満足することが重要である。この条件の上
限を越えて、負の焦点距離が延びてしまうと、ペッツバ
ール和の補正ができなくなってしまう。なお、このペッ
ツバール和の補正のために、第３レンズ群III 後群の負
の屈折力を強くしてしまうと、第３レンズ群III 後群で
補正しているコマ収差とコマフレアーの発生が大きくな
って、広い露光領域が確保できなくなる。

【００３３】一方、実施例４〜９では、向き合った凹面
で構成する第３レンズ群III 後群がないために、第２レ
ンズ群IIでコマ収差の発生が多くなりすぎると、他の群
で補正することが困難になる。そこで、第２レンズ群II
の焦点距離をｆ₂とし、Ｄ／１０＜｜ｆ₂｜・・・なる条件を満足することが重要である。この条件式
は、レンズ系全体を通して負のレンズ群はこの第２レン
ズ群IIのみとなる実施例４〜９において、負レンズの焦
点距離を短くすると、ペッツバール和の補正に効果があ
り、フラットな像面を得るには好都合である。しかし、
上記条件の下限を越えて、第２レンズ群IIの焦点距離
が短くなると、負レンズの屈折力が強くなりすぎ、コマ
収差等に悪影響を与える。そこで、実施例４〜９の場合
は、向き合った凹面がない代わりに、第２レンズ群IIと
第３レンズ群III の間隔を短くし、第３レンズ群III 近
傍に瞳位置を置いて、第２レンズ群IIでの軸外主光線の
光線高を低く抑えることに成功したため、第２レンズ群
IIで発生するコマ収差が少なくなっている。

【００３４】次に、これら実施例のレンズデータを示す
が、硝材は全て溶融石英ＳｉＯ₂からなる。記号は、ｆ
₁、ｆ₂、ｆ₃、ｆ₄はそれぞれ第１レンズ群ないし第
４レンズ群の焦点距離、ｆ₃₄は第３レンズ群と第４レン
ズ群の合成焦点距離、ｒ₁、ｒ₂…は各レンズ面の曲率
半径、ｄ₁、ｄ₂…は各レンズ面間の間隔、ｎ₁₉₃₁、ｎ
₁₉₃₂…は各レンズの１９３ｎｍでの屈折率、ν₁、ν₂
…は各レンズのアッベ数であり、また、非球面形状は、
光軸方向をｘ、光軸に直交する方向をｙとした時、次の
式で表される。

【００３５】ｘ=(ｙ²/ｒ）／［1+｛1-Ｐ( ｙ²/ｒ²)｝^1/2］＋A₄ｙ⁴＋A₆ｙ⁶＋A₈ｙ⁸＋A₁₀ｙ¹⁰ ただし、ｒは近軸曲率半径、Ｐは円錐係数、A₄、A₆、
A₈、A₁₀は非球面係数である。

【００３６】なお、各実施例の倍率は１／５、開口数Ｎ
Ａは０．４５、物像間距離Ｄは１０００ｍｍ、露光領域
は、実施例１、２、４〜９においては１０×１０ｍｍ、
実施例３においては１５×１５ｍｍである。また、焦点
距離については、本発明の投影レンズは物体側、像側に
両テレセントリックなレンズ系であるので、何れの実施
例も無限大である。

【００３７】実施例１ｒ₁= 451.692 (非球面) ｄ₁= 6.713 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -288.953 ｄ₂= 217.576 ｒ₃= -91.166 (非球面) ｄ₃= 5.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 91.869 ｄ₄= 101.863 r₅= 735.532 (非球面) ｄ₅= 26.997 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 ｒ₆= -136.072 ｄ₆= 0.339 ｒ₇= 108.940 ｄ₇= 8.578 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= 97.643 (非球面) ｄ₈= 245.090 ｒ₉= -118.470 ｄ₉= 9.457 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= -139.413 ｄ₁₀= 14.230 ｒ₁₁= 248.505 (非球面) ｄ₁₁= 49.436 ｎ₁₉₃₆ =1.56(SiO₂) ν₆=67.8 ｒ₁₂= -228.156 ｄ₁₂= 114.603 ｒ₁₃= 67.874 ｄ₁₃= 44.827 ｎ₁₉₃₇ =1.56(SiO₂) ν₇=67.8 ｒ₁₄= 75.136 (非球面) 非球面係数第１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 2.93249×10^-8 A₆ ＝-6.01561×10^-13 A₈ ＝ 7.75262×10^-17 A₁₀＝-1.59422×10^-20 第３面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.70739×10^-7 A₆ ＝-9.00445×10^-12 A₈ ＝-1.88095×10^-16 A₁₀＝ 3.32351×10^-18 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 3.77679×10^-9 A₆ ＝ 1.18388×10^-13 A₈ ＝-6.91515×10^-17 A₁₀＝ 1.78302×１０^−２１第８面Ｐ＝１Ａ_４＝ 2.24951×10^-8 A₆ ＝ 5.83034×10^-13 A₈ ＝ 1.81963×10^-17 A₁₀＝ 3.58875×10^-21 第１１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-2.18203×10^-8 A₆ ＝-5.58764×10^-13 A₈ ＝-3.39369×10^-18 A₁₀＝ 4.26460×10^-22 第１４面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 4.78744×10^-7 A₆ ＝ 9.95229×10^-11 A₈ ＝ 1.82581×10^-14 A₁₀＝ 9.52854×10^-18 ｆ₁＝ 315.709 ｆ₂＝ -80.917 ｆ₃＝ 219.905 ｆ₄＝ 152.611 ｆ₃₄＝ 608.503 。

【００３８】実施例２ｒ₁= 346.678 (非球面) ｄ₁= 8.996 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₂= -211.745 ｄ₂= 116.945 ｒ₃= -84.931 (非球面) ｄ₃= 5.000 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₄= 92.254 ｄ₄= 73.419 r₅= 690.064 ｄ₅= 18.505 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₆= -118.105 ｄ₆= 221.548 ｒ₇= 110.508 ｄ₇= 6.107 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₈= 94.010 (非球面) ｄ₈= 215.600 ｒ₉= -116.782 ｄ₉= 5.000 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₀= -135.508 ｄ₁₀= 0.100 ｒ₁₁= 254.527 (非球面) ｄ₁₁= 12.600 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₂=-7731.132 ｄ₁₂= 0.100 ｒ₁₃= 321.598 ｄ₁₃= 38.382 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₄= -249.389 ｄ₁₄= 97.319 ｒ₁₅= 54.043 ｄ₁₅= 46.683 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₆= 45.969 (非球面) 非球面係数第１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 3.50944×10^-8 A₆ ＝-1.17311×10^-12 A₈ ＝-9.39000×10^-17 A₁₀＝-1.18581×10^-20 第３面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.51045×10^-7 A₆ ＝ 3.15495×10^-11 A₈ ＝ 7.17742×10^-15 A₁₀＝ 1.17334×10^-18 第８面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 2.41442×10^-8 A₆ ＝-1.37501×10^-13 A₈ ＝-3.82684×10^-17 A₁₀＝-4.07941×10^-21 第１１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-2.85336×10^-8 A₆ ＝-9.27780×10^-13 A₈ ＝-9.61658×10^-18 A₁₀＝ 5.57595×10^-22 第１６面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.69376×10^-6 A₆ ＝ 1.04389×10^-9 A₈ ＝ 4.87186×10^-13 A₁₀＝ 7.55304×10^-16 ｆ₁＝ 236.105 ｆ₂＝ -78.173 ｆ₃＝ 150.720 ｆ₄＝ 114.477 ｆ₃₄＝-147.329 。

【００３９】実施例３ｒ₁= 226.862 (非球面) ｄ₁= 21.097 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₂= -331.243 ｄ₂= 156.694 ｒ₃= -74.083 (非球面) ｄ₃= 84.138 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₄= 84.138 ｄ₄= 104.086 ｒ₅= 652.171 (非球面) ｄ₅= 28.328 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₆= -137.525 ｄ₆= 20.895 ｒ₇= 117.445 ｄ₇= 5.000 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₈= 103.697 (非球面) ｄ₈= 236.472 r₉= -128.167 ｄ₉= 6.469 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₀= -154.631 (非球面) ｄ₁₀= 6.469 ｒ₁₁= 190.291 (非球面) ｄ₁₁= 22.633 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₂= -308.181 ｄ₁₂= 117.017 ｒ₁₃= 68.215 ｄ₁₃= 49.275 ｎ₁₉₃ =1.56(SiO₂) ν =67.8 ｒ₁₄= 87.724 (非球面) 非球面係数第１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.01346×10^-8 A₆ ＝-6.39640×10^-13 A₈ ＝-1.03771×10^-17 A₁₀＝-3.19138×10^-22 第３面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 3.88528×10^-7 A₆ ＝ 3.09256×10^-11 A₈ ＝ 3.92110×10^-15 A₁₀＝ 2.74269×10^-18 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 4.35316×10^-9 A₆ ＝-9.04323×10^-13 A₈ ＝ 9.26304×10^-17 A₁₀＝-6.78193×10^-21 第８面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.82229×10^-8 A₆ ＝-2.70904×10^-13 A₈ ＝ 1.92104×10^-17 A₁₀＝ 7.81170×10^-21 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-9.39398×10^-10 A₆ ＝-7.71154×10^-14 A₈ ＝-2.42008×10^-18 A₁₀＝-1.25911×10^-21 第１１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-2.21247×10^-8 A₆ ＝-6.04358×10^-13 A₈ ＝-1.70217×10^-17 A₁₀＝ 3.49063×10^-22 第１４面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 6.77267×10^-7 A₆ ＝ 1.17636×10^-10 A₈ ＝ 2.34623×10^-14 A₁₀＝ 1.16254×10^-17 ｆ₁＝ 243.746 ｆ₂＝ -59.072 ｆ₃＝ 220.394 ｆ₄＝ 162.576 ｆ₃₄＝ 671.921 。

【００４０】実施例４ｒ₁= -572.0476 ｄ₁= 10.000 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -184.8433 ｄ₂= 409.771 r₃= -458.4715 ｄ₃= 10.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 202.4878(非球面) ｄ₄= 190.139 ｒ₅= 286.1623(非球面) ｄ₅= 45.952 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 ｒ₆= -214.2468 ｄ₆= 45.952 ｒ₇= 187.2298 ｄ₇= 29.313 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= 2521.0651 ｄ₈= 97.435 ｒ₉= 69.7454 ｄ₉= 44.735 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= 42.0656(非球面) 非球面係数第４面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.59538×10^-7 A₆ ＝ 8.3103 ×10^-12 A₈ ＝ 5.1193 ×10^-16 A₁₀＝-3.9590 ×10^-20 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-3.72611×10^-8 A₆ ＝ 6.90136×10^-14 A₈ ＝ 7.79908×10^-18 A₁₀＝-1.74025×10^-22 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 9.15018×10^-7 A₆ ＝ 6.01403×10^-10 A₈ ＝ 1.35777×10^-13 A₁₀＝ 5.31287×10^-16 ｆ₁＝ 483.16993 ｆ₂＝-249.45725 f₃＝ 226.24081 ｆ₄＝ 425.39731 ｆ₃₄＝ 105.47071 。

【００４１】実施例５ｒ₁= -541.2251(非球面) ｄ₁= 10.000 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -178.508 ｄ₂= 380.563 ｒ₃= -116.7046(非球面) ｄ₃= 10.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 167.246 ｄ₄= 88.289 ｒ₅= 493.1745(非球面) ｄ₅= 31.836 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 ｒ₆= -167.779 ｄ₆= 152.364 ｒ₇= 171.5560(非球面) ｄ₇= 39.607 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= -486.272 ｄ₈= 114.281 ｒ₉= 62.349 ｄ₉= 48.557 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= 47.5491(非球面) 非球面係数第１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 2.03175×10^-8 A₆ ＝ 3.10104×10^-13 A₈ ＝ 3.35603×10^-17 A₁₀＝-1.06665×10^-20 第３面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-8.73843×10^-8 A₆ ＝ 2.43775×10^-12 A₈ ＝ 3.77550×10^-16 A₁₀＝ 1.31565×10^-19 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-1.65516×10^-8 A₆ ＝-4.46539×10^-13 A₈ ＝ 3.83871×10^-17 A₁₀＝-1.09113×10^-21 第７面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-2.77045×10^-8 A₆ ＝-6.49105×10^-13 A₈ ＝-1.28276×10^-17 A₁₀＝-3.27926×10^-22 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.06582×10^-6 A₆ ＝ 5.51608×10^-10 A₈ ＝ 2.17457×10^-13 A₁₀＝ 2.85959×10^-16 ｆ₁＝ 470.98184 ｆ₂＝-121.21548 ｆ₃＝ 227.48599 ｆ₄＝ 163.54116 ｆ₃₄＝ 134.92856 。

【００４２】実施例６ｒ₁= -639.5688 ｄ₁= 10.000 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -172.8565 ｄ₂= 336.346 ｒ₃= -117.7121(非球面) ｄ₃= 10.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 138.9428 ｄ₄= 86.675 ｒ₅= 428.5867(非球面) ｄ₅= 28.263 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 r₆= -173.7725 ｄ₆= 167.149 ｒ₇= 160.0200(非球面) ｄ₇= 35.5094 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= -583.8214 ｄ₈= 101.926 ｒ₉= 65.1302 ｄ₉= 56.228 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= 50.5856(非球面) 非球面係数第３面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-4.97515×10^-8 A₆ ＝ 1.00710×10^-11 A₈ ＝ 5.58840×10^-16 A₁₀＝ 2.85451×10^-19 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-9.69048×10^-9 A₆ ＝-7.78872×10^-13 A₈ ＝ 5.68133×10^-17 A₁₀＝-1.88990×10^-21 第７面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-3.18894×10^-8 A₆ ＝-7.74915×10^-13 A₈ ＝-2.05000×10^-17 A₁₀＝-7.26451×10^-22 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.18566×10^-6 A₆ ＝ 5.38757×10^-10 A₈ ＝ 2.21170×10^-13 A₁₀＝ 1.78106×10^-16 ｆ₁＝ 419.75575 ｆ₂＝-112.22444 ｆ₃＝ 224.57070 ｆ₄＝ 151.85925 ｆ₃₄＝ 140.86807 。

【００４３】実施例７ｒ₁= -177.6669(非球面) ｄ₁= 10.000 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -114.2492 ｄ₂= 419.764 ｒ₃= -340.0667(非球面) ｄ₃= 10.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 147.5802 ｄ₄= 94.540 ｒ₅= 316.7103(非球面) ｄ₅= 36.042 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 ｒ₆= -150.7398 ｄ₆= 229.790 ｒ₇= 142.6463 ｄ₇= 19.393 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= 2500.1875 ｄ₈= 32.167 ｒ₉= 60.8011 ｄ₉= 64.565 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= 38.4152(非球面) 非球面係数第１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 2.96198×10^-8 A₆ ＝ 2.80539×10^-12 A₈ ＝ 3.32053×10^-16 A₁₀＝-3.12952×10^-20 第３面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-1.53160×10^-7 A₆ ＝-7.02996×10^-12 A₈ ＝-6.64599×10^-16 A₁₀＝-2.96550×10^-20 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-3.63247×10^-8 A₆ ＝-3.24021×10^-13 A₈ ＝ 2.73201×10^-17 A₁₀＝-5.07985×10^-22 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 2.72286×10^-6 A₆ ＝ 2.66106×10^-9 A₈ ＝ 1.32154×10^-12 A₁₀＝ 6.12735×10^-15 ｆ₁＝ 540.93912 ｆ₂＝-182.43733 ｆ₃＝ 187.56708 ｆ₄＝ 163.65149 ｆ₃₄＝ 144.89599 。

【００４４】実施例８ｒ₁= -770.5823(非球面) ｄ₁= 10.000 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -181.1563 ｄ₂= 323.852 ｒ₃= -104.2579 ｄ₃= 10.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 152.4160(非球面) ｄ₄= 83.320 ｒ₅= 687.3939(非球面) ｄ₅= 27.073 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 ｒ₆= -152.2819 ｄ₆= 199.438 ｒ₇= 165.5278(非球面) ｄ₇= 37.254 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= -521.4727 ｄ₈= 110.829 r₉= 64.7358 ｄ₉= 55.673 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= 51.6125(非球面) 非球面係数第１面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.33179×10^-8 A₆ ＝ 1.51140×10^-13 A₈ ＝-4.98385×10^-17 A₁₀＝ 7.93760×10^-21 第４面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 2.63093×10^-8 A₆ ＝-8.62168×10^-12 A₈ ＝-5.04964×10^-16 A₁₀＝ 5.54964×10^-20 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-1.75977×10^-8 A₆ ＝-2.26585×10^-14 A₈ ＝ 7.86457×10^-18 A₁₀＝-2.01203×10^-22 第７面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-2.71075×10^-8 A₆ ＝-6.98608×10^-13 A₈ ＝-1.54543×10^-17 A₁₀＝-4.67852×10^-22 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.20203×10^-6 A₆ ＝ 5.58619×10^-10 A₈ ＝ 1.88633×10^-13 A₁₀＝ 2.53098×10^-16 ｆ₁＝ 420.35709 ｆ₂＝-109.02802 ｆ₃＝ 225.22159 ｆ₄＝ 152.37870 ｆ₃₄＝ 167.04208 。

【００４５】実施例９ｒ₁= -689.8204 ｄ₁= 10.000 ｎ₁₉₃₁ =1.56(SiO₂) ν₁=67.8 ｒ₂= -175.7935 ｄ₂= 335.963 ｒ₃= -117.2918 ｄ₃= 10.000 ｎ₁₉₃₂ =1.56(SiO₂) ν₂=67.8 ｒ₄= 133.7268(非球面) ｄ₄= 85.589 ｒ₅= 489.8047(非球面) ｄ₅= 28.595 ｎ₁₉₃₃ =1.56(SiO₂) ν₃=67.8 ｒ₆= -164.6619 ｄ₆= 165.824 ｒ₇= 164.5730(非球面) ｄ₇= 36.401 ｎ₁₉₃₄ =1.56(SiO₂) ν₄=67.8 ｒ₈= -519.6006 ｄ₈= 102.620 ｒ₉= 65.0957 ｄ₉= 55.004 ｎ₁₉₃₅ =1.56(SiO₂) ν₅=67.8 ｒ₁₀= 51.1461(非球面) 非球面係数第４面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 4.70544×10^-8 A₆ ＝-9.70520×10^-12 A₈ ＝-7.80392×10^-16 A₁₀＝ 5.09643×10^-20 第５面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-1.03988×10^-8 A₆ ＝-2.91909×10^-13 A₈ ＝ 8.42545×10^-18 A₁₀＝-3.31289×10^-23 第７面Ｐ＝ 1 A₄ ＝-2.93977×10^-8 A₆ ＝-7.99535×10^-13 A₈ ＝-1.74429×10^-17 A₁₀＝-4.57788×10^-22 第１０面Ｐ＝ 1 A₄ ＝ 1.13344×10^-6 A₆ ＝ 5.02843×10^-10 A₈ ＝ 1.71824×10^-13 A₁₀＝ 1.87329×10^-16 ｆ₁＝ 418.35278 ｆ₂＝-110.00832 ｆ₃＝ 223.56611 ｆ₄＝ 152.68722 ｆ₃₄＝ 141.63892 。

【００４６】以上の実施例１〜３の球面収差、非点収
差、歪曲収差、横収差を示す収差図を図１０〜図１８に
示す。図中、Ｙは像高比、Ｍはメリジオナル像面、Ｓは
サジタル像面を示す。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
広い露光領域と高い解像力を持った透過率の良い、物体
側及び像側共にテレセントリックな構成の縮小投影レン
ズを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図２】本発明の実施例２の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図３】本発明の実施例３の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図４】本発明の実施例４の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図５】本発明の実施例５の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図６】本発明の実施例６の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図７】本発明の実施例７の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図８】本発明の実施例８の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図９】本発明の実施例９の縮小投影レンズの断面図で
ある。

【図１０】実施例１の収差図である。

【図１１】実施例２の収差図である。

【図１２】実施例３の収差図である。

【図１３】実施例４の収差図である。

【図１４】実施例５の収差図である。

【図１５】実施例６の収差図である。

【図１６】実施例７の収差図である。

【図１７】実施例８の収差図である。

【図１８】実施例９の収差図である。

【符号の説明】Ｉ …第１群 II …第２群 III …第３群 IV …第４群

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物体側より順に、正の第１レンズ群、負
の第２レンズ群、正の第３レンズ群、像側に凹面を向け
たメニスカスレンズを少なくとも１枚有する正の第４レ
ンズ群で構成され、各レンズ群は屈折率１．６以下のガ
ラス材料からなる単数又は複数のレンズにより構成さ
れ、かつ、第２レンズ群、第４レンズ群にそれぞれ少な
くとも１面の非球面が配置されていることを特徴とする
縮小投影レンズ。
【請求項２】入射瞳及び射出瞳位置が十分に遠くに設
定された両テレセントリックに構成されていることを特
徴とする請求項１記載の縮小投影レンズ。