JPH0793032B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH0793032B2
JPH0793032B2 JP10830989A JP10830989A JPH0793032B2 JP H0793032 B2 JPH0793032 B2 JP H0793032B2 JP 10830989 A JP10830989 A JP 10830989A JP 10830989 A JP10830989 A JP 10830989A JP H0793032 B2 JPH0793032 B2 JP H0793032B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は絶縁ゲート型電界効果型トランジスタを主な構
成要素とする半導体記憶装置に関し、特に、高速度を要
求される半導体記憶装置の読み出し回路に関する。
[従来の技術] 第7図は従来の半導体記憶装置の読み出し回路の主要部
を示したものである。
以下に、第7図を用いて、従来における読み出し時の動
作について説明する。
メモリセルアレイ100は、列方向,行方向に記憶素子が
マトリクス状に配置された構成となっており、列方向は
Yアドレス線Yi,行方向はXアドレス線Xjにより1ビッ
トの記憶素子が選択される。説明を簡単にするために選
択された記憶素子MCとして1ビットのみを図示する。
記憶素子MCは書き込み時に2種のしきい値電圧のうちい
ずれか一方が設定される。仮に2種のしきい値電圧をそ
れぞれVTLOW,VTHiと称し、また読み出し時に選択した
記憶素子MCのゲートに印加する電圧をVGとするとVTLO
W<VG<VTHiなる関係を満たすように、それぞれの電
圧を設定する。
読み出し時にしきい値電圧がVTLOWである記憶素子MCが
選択された場合、この記憶素子は導通状態となるので、
以下、この記憶素子をONビットと称する。
一方、しきい値電圧がVTHiである場合、記憶素子は非
導通状態となるので、以下、OFFビットと称する。
さて、第7図において選択された記憶素子MCがONビット
であれば、記憶素子MCには電流IMが流れ、節点SAの電
圧は低下し、節点SBの電圧が上昇し、Nチャネル型電解
効果トランジスタQ2が導通して節点SCの電圧は第8図に
示す負荷曲線上をVCC−VTP(すなわち、電源電圧VCC
とトランジスタQ1のしきい値電圧VTPとの差)から移動
し、点P1(以下、VSC(ON)と称する)で平衡する。こ
の時、Pチャネル型電解効果トランジスタQ1にも電流I
Mが流れ、さらにPチャネル型電解効果トランジスタQ33
にはn・IM(n:実数)なる電流が流れるようトランジ
スタQ33のディメンジョンを設計している。
一方、OFFビットが選択された場合、記憶素子MCは非導
通であり、節点SCの電圧VSCは、第8図中の点S1で平衡
する。点S1の電圧はVCC−VTPであり、以下この値をV
SC(OFF)と称する。
第7図に示す基準電圧発生回路320において、前記記憶
素子MCと同一の構造であるダミーセルMRはONビットであ
り、読み出し時に電流IR(=IM)を流す。
センスアンプ回路310と部分回路330はNチャネル型電解
効果トランジスタQ34とQR34についてのみ相違点を有
し、トランジスタQ34のゲート幅/ゲート長=β1,トラ
ンジスタQR34のそれをβ2と定義すると、β1:β2=
m:1(m:実数)となるように設計されている。Pチャネ
ル型電解効果トランジスタQR33に流れる電流はn・IR
(=n・IM)であり、トランジスタQ34に流れる電流は
ONビット選択の時n/m・IMであり、OFFビット選択の時
には電流は流れない。
第9図にセンスアンプ回路310の電流電圧特性を示す。
トランジスタQ33,Q34,QR33に流れる電流をそれぞれI33,
I34,IR33とすると、OFFビット選択の時はI33には電流が
流れないので、節点SJの電圧VSJはGND(接地)レベル
である。
一方、ONビット選択の時は2本のI−V曲線が交わる点
の電位VSJ(ON)が出力される。
第10図にONビットを選択したときの各節点SA,SB,SC,SJ,
SO3の電圧波形を示す。すなわち、節点SAの微小な電圧
変化を増幅し出力を得ることを示している。
[発明が解決しようとする課題] 上述した従来の半導体記憶装置のセンスアンプ出力SJの
反転速度はトランジスタQ33,Q34に流れる電流I33,I34に
依存する。I33=n・IM,I34=n/m・IR(=n/m・IM)
で示されるように、I33,I34は記憶素子の相互コンダク
タンスgmが支配する。
ところが大容量の半導体記憶装置においては、メモリセ
ルアレイの集積度を高めるために、記憶素子のゲート幅
を極力小さくする、あるいは記憶素子の縦積み方法を採
用するなど、記憶素子の相互コンダクタンスgmは低い値
に設定されがちである。
例えば大容量マスクROMにおいては、 I33=n・IM=4・15μA=60μA程度に設定されてお
り、出力バッファへ至る反転増幅器340を駆動する能力
が不足していることに加えて、センスアンプ出力電圧V
SJの振幅が大きいため、節点SJの反転速度が遅い。
従って、従来の半導体記憶装置では、大容量かつ高速性
が要求される半導体記憶装置には適さないという欠点が
ある。
本発明は上記従来の事情に鑑みなされたもので、高速度
な読み出し動作を実現する半導体記憶装置を提供するこ
とを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明の半導体記憶装置は、複数の記憶素子と、前記記
憶素子の記憶内容に応じて変化するデジット線の電圧を
検出するセンスアンプ回路とを有する半導体記憶装置に
おいて、前記センスアンプ回路は前記デジット線を入力
とする第1の反転増幅器と、前記第1の反転増幅器の出
力がゲートに、ソースが前記デジット線に電気的に接続
された第2の電界効果型トランジスタと、電源がソース
に、前記第2のトランジスタのドレインがゲート及びド
レインに接続された第1の電界効果型トランジスタと、
前記第1の電界効果型トランジスタのドレインをゲート
入力とし、ソースを電源に接続した第3の電界効果型ト
ランジスタと、前記第3の電界効果型トランジスタのド
レインがゲート及びドレインに、ソースが接地に接続さ
れた第4の電界効果型トランジスタと、前記第1の電界
効果型トランジスタのドレインをゲート入力とし、ドレ
インを電源にソースを前記比較検出器の入力に接続した
第5の電界効果型トランジスタと、前記第3の電界効果
型トランジスタのドレインをゲートに、前記第5の電界
効果型トランジスタのソースがトレインに、接地がソー
スに接続された第6の電界効果型トランジスタとを備え
て構成されていることを特徴とする。
[発明の従来技術に対する相違点] 上述した従来の半導体記憶装置に対し、本発明はセンス
アンプ回路において、電流の増幅率が高く、かつセンス
アンプ出力電圧の振幅を縮小しているので、センスアン
プ出力の反転速度が速いという相違点を有する。
[実施例] 次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図に本発明の一実施例を示す。従来例と同一の箇所
については同一の符号を付してある。
本実施例の半導体記憶装置は、複数の記憶素子MCと、記
憶素子MCの記憶内容「0」または「1」に応じて変化す
るデジット線101の電圧を検出するセンスアンプ回路110
と、出力が「0」に対応するセンスアンプ回路110の出
力電圧VSEと、「1」に対応するセンスアンプ回路110
の出力電圧VSEとの中間電圧VREを出力する基準電圧発
生回路120と、センスアンプ回路110の出力電圧と基準電
圧発生回路120の出力電圧との差を比較して検出する比
較検出器140とを有している。
そして、前記センスアンプ回路110は、デジット線101を
入力とする第1の反転増幅器111と、第1の反転増幅器1
11の出力がゲートに、ソースがデジット線101に電気的
に接続された第2のNチャネル型電解効果トランジスタ
Q2と、電源がソースに第2のトランジスタQ2のドレイン
がゲート及びドレインに接続された第1のPチャネル型
電解効果トランジスタQ1と、第1のトランジスタQ1のド
レインをゲート入力としソースを電源に接続した第3の
Pチャネル型電解効果トランジスタQ3と、第3のトラン
ジスタQ3のドレインがゲート及びドレインにソースが接
地に接続された第4のNチャネル型電解効果トランジス
タQ4と、第1のトランジスタQ1のドレインをゲート入力
としドレインを電源にソースを比較検出器140の入力に
接続した第5のNチャネル型電解効果トランジスタQ5
と、第3のトランジスタQ3のドレインをゲートに第5の
トランジスタQ5のソースがドレインに、接地がソースに
接続された第6のNチャネル型電解効果トランジスタQ6
とから構成されている。
また、前記基準電圧発生回路120は、前記センスアンプ
回路110と同一回路構成を取り、前記デジット線101に相
当する節点が常に導通するように制御された電解効果型
トランジスタMRのドレインに接続された構成されてい
る。
次いで、本実施例の作用を説明する。電界効果型トラン
ジスタQ1〜Q6,QR1〜QR6に流れる電流をI1〜I6,IR1〜I
R6と称し、各節点の電圧をONビット選択時、OFFビット
選択時にそれぞれV__(ON),V__(OFF)と称する。
さて、センスアンプ回路の部分回路115において、トラ
ンジスタQ3のゲート幅/ゲート長=β3とし、トランジ
スタQ1のそれをβ1とすると、β1:β3=1:n1(n1:実
数)となるように設計を行う。この時ONビット選択時に
記憶素子MCに流れる電流がIMであるから、I1=IM,I3
=n1・IMなる関係が成立する。つまり、トランジスタQ
3はIMをn1倍に増幅する。ここで第2図にセンスアンプ
回路の電流電圧特性を示す。第2図(a)はトランジス
タQ3,Q4の電流電圧特性を示すものであり、2本の曲線
が交わる点が、ONビット選択時の節点SDの電圧VSD(O
N)となり、OFFビット選択時の節点SDの電圧VSD(OF
F)はトランジスタQ4のしきい値電圧VT4となる。
トランジスタQ4及びQ6のゲート幅/ゲート長をそれぞれ
β4,β6とすると、β4:β6=1:n2(n2:実数)と設計
することにより、トランジスタQ6には、I6=n1・n2・I
Mなる電流が流れる。
第2図(b)において、I5(ONビット選択)=I6となる
点が、ONビット選択時の節点SEの電圧VSE(ON)であ
り、VSE(ON)=VSC(ON)−VTN5−αとなる。
ここで、VTP,VTN5はそれぞれトランジスタQ1,Q5のしき
い値電圧であり、αはトランジスタQ5のゲート幅/ゲー
ト長とトランジスタQ6のゲート幅/ゲート長の比で決ま
る値である。
一方、OFFビット選択時の節点SEの電圧VSE(OFF)はV
SE(OFF)=VSC(OFF)=VSC(OFF)−VTN5で示され
る。基準電圧発生回路120においてダミーセルMRは読み
出し時にIR=IMなる電流が流れるように設定されてい
る。また、センスアンプ回路の部分回路115と基準電圧
発生回路の部分回路130とは、トランジスタQ3,QR3のゲ
ート幅/ゲート長のみが異なる。
トランジスタQ3のゲート幅/ゲート長=β3,トランジス
タQR3のそれをβR3とすると、β3:βR3=k:1(k:実
数)と設計することにより、IR6には、IR6=n1/k・n4
・IRここでn2=n4,IM=IRであるから、IR6=n1/k・n
2・IM=I6/kなる電流がトランジスタQR6に流れる。従
って、VSE(ON)に比べてVREは高い電位で平衡し、V
SE(ON)<VRE<VSE(OFF)なる関係が成立する。
尚、第2図(c),(d)にトランジスタQR3〜QR6の
電流電圧特性を示す。これはIR3,IR6がそれぞれI3,I6
の1/kになり、その結果VSD(OFF)<VRD<VSD(O
N),VSE(ON)<VRE<VSE(OFF)となることを図示し
ている。
次に、140は比較検出器の一例を示したものであり、一
対のNチャネル型電解効果トランジスタQ41,Q42と一対
のPチャネル型電解効果トランジスタQ43,Q44とから構
成され、基準電圧VREとセンスアンプ回路出力VSEとを
比較して出力を得る。すなわち、ONビット選択の時はV
SE(ON)<VREであるから、節点SFの電圧VSFは上昇
し、反転増幅器145の出力電圧VSOはGND(接地)レベル
となる。
一方、OFFビット選択の時はVRE<VSE(OFF)となり、
VSFは低下し、VSOはVCC(電源電圧)レベルとなる。
第3図に各節点SA,SB,SC,SF,SOの電圧波形を示す。この
図からわかるように、第10図に図示した従来例のセンス
アンプ出力SJと比較して、本実施例のセンスアンプ出力
SEは反転速度が速い。
これは上述したように、本実施例は従来例に比べ、セン
スアンプ回路内で電流の増幅率を高めたことと、出力SE
の振幅を縮小したこととによる。
第4図に本発明の他の一実施例を示す。前述の実施例と
同一の箇所については、同一の符号を用いて示し説明は
省略する。
本実施例における電界効果型トランジスタQ20はNチャ
ネルノンドープ型である。第5図にトランジスタQ6,Q20
の電流電圧特性を示す。ここでVTN20はトランジスタQ2
0のしきい値電圧であり、約0Vである。よってVSG(OF
F)=VSC(OFF)−VTN20=VSC(OFF)=VCC−VTP
となる。
またVSG(ON)=VSC(ON)−VTN20−α=VSC(ON)
−α=VCC−VTP−αであり、αはトランジスタQ20とQ
6のそれぞれのゲート幅/ゲート長の比で決まる値であ
る。本実施例においては、αの値を大きく設定し、つま
りセンスアンプ回路出力電圧VSGの振幅を大きく設定す
ることにより、反転増幅器220の反転動作を確実にす
る。第6図に第4図中の各節点SB,SC,SG,SH,SO2の電圧
波形を示す。この図から判るように、この実施例では従
来例に比べて、電流の増幅率が高いので、SGの反転速度
が速い。更に節点SGの振幅を所望の値に設定し、比較検
出器を介さずに反転増幅器220を駆動することができ、
従来例における基準電圧発生回路320が不要となり、回
路構成が簡素である。尚、反転増幅器220のしきい値電
圧VT220はVSG(ON)<VT220<VSG(OFF)となるよ
うに設定する。
上記のように本実施例は読み出しにおいて高速化が可能
でかつ回路構成を容易にできるという特徴を持つ。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明は従来例よりもセンスアン
プ回路において、電流の増幅率を高め、かつ、センスア
ンプ出力の振幅を縮小することにより、センスアンプ出
力の反転速度が高速となり、読み出しにおいて高速度が
要求される半導体記憶装置に適用するという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係る半導体記憶装置の回路
図、第2図はセンスアンプ回路の電流電圧特性図、第3
図は半導体記憶装置の各節点における電圧波形図、第4
図は本発明の他の一実施例に係る半導体記憶装置の回路
図、第5図はセンスアンプ回路の電流電圧特性図、第6
図は半導体記憶装置の各節点における電圧波形図、第7
図は従来例の回路図、第8図はセンスアンプ回路の負荷
特性図、第9図はセンスアンプ回路の電流電圧特性図、
第10図は各節点の電圧波形図である。 100……メモリセルアレイ、 MC……記憶素子、 Yi……Yセレクタ、 110……センスアンプ回路、 111……第1の反転増幅器、 115……第1の部分回路、 120……基準電圧発生回路、 130,135……部分回路、 140……比較検出器、 145……反転増幅器、 Q__……電界効果型トランジスタ、 Q1……第1の電解効果トランジスタ、 Q2……第2の電解効果トランジスタ、 Q3……第3の電解効果トランジスタ、 Q4……第4の電解効果トランジスタ、 Q5……第5の電解効果トランジスタ、 Q6……第6の電解効果トランジスタ、 210……センスアンプ回路、 220,230,340……反転増幅器、 Q20……電解効果トランジスタ(Nチャネルノンドープ
型)、 310……センスアンプ回路、 330……部分回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の記憶素子と、前記記憶素子の記憶内
    容に応じて変化するデジット線の電圧を検出するセンス
    アンプ回路とを有する半導体記憶装置において、前記セ
    ンスアンプ回路は前記デジット線を入力とする第1の反
    転増幅器と、前記第1の反転増幅器の出力がゲートに、
    ソースが前記デジット線に電気的に接続された第2の電
    界効果型トランジスタと、電源がソースに、前記第2の
    トランジスタのドレインがゲート及びドレインに接続さ
    れた第1の電界効果型トランジスタと、前記第1の電界
    効果型トランジスタのドレインをゲート入力とし、ソー
    スを電源に接続した第3の電界効果型トランジスタと、
    前記第3の電界効果型トランジスタのドレインがゲート
    及びドレインに、ソースが接地に接続された第4の電界
    効果型トランジスタと、前記第1の電界効果型トランジ
    スタのドレインをゲート入力とし、ドレインを電源にソ
    ースを前記比較検出器の入力に接続した第5の電界効果
    型トランジスタと、前記第3の電界効果型トランジスタ
    のドレインをゲートに、前記第5の電界効果型トランジ
    スタのソースがトレインに、接地がソースに接続された
    第6の電界効果型トランジスタとを備えて構成されてい
    ることを特徴とする半導体記憶装置。
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