JPH0750155B2 - アルゴリズミツクパタ−ン発生装置 - Google Patents

アルゴリズミツクパタ−ン発生装置

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JPH0750155B2
JPH0750155B2 JP60015339A JP1533985A JPH0750155B2 JP H0750155 B2 JPH0750155 B2 JP H0750155B2 JP 60015339 A JP60015339 A JP 60015339A JP 1533985 A JP1533985 A JP 1533985A JP H0750155 B2 JPH0750155 B2 JP H0750155B2
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郁夫 川口
昌明 稲舘
修司 菊地
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Hitachi Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31919Storing and outputting test patterns
    • G01R31/31921Storing and outputting test patterns using compression techniques, e.g. patterns sequencer

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、LSI試験用パターン発生装置に係わり、特
に、高速にメモリ試験用パターンを発生するのに好適と
されたアルゴリズミックパターン発生装置に関するもの
である。
〔従来の技術〕
この種の技術に係る従来例としては、“アイ・イー・イ
ー・イー・コンファランス'80,頁56〜67"(IEEE Confer
ence '80,PP56-67)に記載された“100MHz アルゴリズ
ミック パターン ジェネレータ フォー メモリ テ
スティング”(100MHz Algorithmic Pattern Generator
for Memory Testing)が知られている。この従来例に
よる場合、マイクロプログラミング制御によって、アル
ゴリズミックパターンを発生せしめることの基本的な考
え方が開示されたものとなっている。
ところで、近年での半導体技術の進展に伴い、半導体メ
モリの動作速度はより一層高速化される傾向にあり、し
たがって、これら半導体メモリに対し試験用パターンを
発生するためのアルゴリズミックパターン発生装置とし
ても、その高速化が必須となっているのが実情である。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、半導体メモリを試験する際に使用され
るアルゴリズミックパターンを高速に、しかもダミーサ
イクルを生じさせることなく高速に発生し得るアルゴリ
ズミックパターン発生装置を供するにある。
〔発明の概要〕
これまで、半導体メモリの試験用パターンとしては、マ
ーチングやギャロッピングといったものがよく知られて
いるが、これら試験用パターンは、メモリ試験装置一般
においては、マイクロプログラム制御によるアルゴリズ
ミックパターン発生器(以下、ALPGと称す)を用い発生
されるものとなっている。ところで、その際での発生パ
ターン量、即ち、マイクロプログラムとしてのステップ
数としては、被試験メモリ容量をNとした場合、それぞ
れN、N2となり、したがって、極めて大量のパターンデ
ータの発生が要求されていることが判る。
そのため、現在では、被試験メモリへのアドレスアクセ
ス手順の規則性を利用し、制御メモリ内容の書替えだけ
で、種々な試験用パターンの発生が可能とされたマイク
ロプログラム制御方式が採用されているのが実情であ
る。
一方、MOSメモリのようなDRAM(ダイナミック ランダ
ム アクセス メモリ:Dynamic Random Access Memor
y)では、試験用パターン中に無効なパターン(ダミー
サイクル)を発生することは好ましくなく、したがっ
て、ジャンプなどのシーケンス動作のため、フィードバ
ックループを有するALPGにとっては、試験用パターンを
高速に発生せしめることが可能とされている、いわゆる
パイプライン構成を採用することは困難となっており、
これがために、試験用パターン発生の高速化は遅々とし
て進展していないのが現状である。
そこで、本発明は、パターン発生器から順次発生される
試験用パターンがパターン発生・書込み期間twに亘って
メモリに低速度で書込まれた直後に、該試験用パターン
がパターン読出し期間trに亘って該メモリから高速度で
順次読み出されるべく構成されたアルゴリズミックパタ
ーン発生ユニットを1単位として、このアルゴリズミッ
クパターン発生ユニットを複数単位含むアルゴリズミッ
クパターン発生装置を供しようというものである。より
具体的には、アルゴリズミックパターン発生装置は、パ
ターン発生・書込み期間twとパターン読出し期間trとが
tw=n×tr(n:2以上の任意の整数)なる関係にあるも
のとして、周期T(T=tw+tr)的に、かつtr相当の位
相遅れを以て順次動作せしめられている同一構成のn+
1個のアルゴリズミックパターン発生ユニット各々がパ
ターン読出し期間trにある間、マルチプレクサで順次サ
イクリックに選択されることによって、該マルチプレク
サからは被試験対象への試験用パターンが連続的に得ら
れるべく構成されたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を第1図、第2図により説明する。
先ず本発明によるアルゴリズミックパターン発生装置に
ついて説明すれば、第1図はその一例での具体的構成を
示したものである。図示のように、本例でのアルゴリズ
ミックパターン発生装置内には、3個の同一構成のアル
ゴリズミックパターン発生ユニットPG1〜PG3が具備せし
められており、これらアルゴリズミックパターン発生ユ
ニットPG1〜PG3はインターリーブ制御方式によって動作
せしめられたものとなっている。また、アルゴリズミッ
クパターン発生ユニットPG1〜PG3各々は、コントロール
回路(CTL)7〜9、ALPG1〜3、カウンタ10〜12および
メモリ(PDB)4〜6より構成されたものとなってい
る。
また、アルゴリズミックパターン発生装置には、アルゴ
リズミックパターン発生ユニットPG1〜PG3以外に、CPU1
5、メモリ16、共通バス49、インタフェース(I/F)14、
マルチプレクサ(MUX)13が具備されたものとなってい
る。アルゴリズミックパターン発生ユニットPG1〜PG3と
CPU15とは、共通バス49、インタフェース14を介し各種
データ/制御信号が授受可とされているものである。
さて、第2図はアルゴリズミックパターン発生ユニット
PG1〜PG3内メモリ(PDB)4〜6各々への試験用パター
ンの書込み、それらメモリ(PDB)4〜6各々からの試
験用パターンの読出しにおけるインターリーブ動作上で
のシーケンスを示したものである。
ここで、アルゴリズミックパターン発生ユニットPG1〜P
G3各々について説明するが、これらは同一構成とされて
いることから、代表として、アルゴリズミックパターン
発生ユニットPG1のみについて詳細に説明する。ALPG1か
らはマイクロプログラム制御方式によってアルゴリズミ
ックパターンが順次発生された上、メモリ4に低速度で
順次格納された直後に、メモリ4からは高速度でアルゴ
リズミックパターンが読み出されるものとなっている。
アルゴリズミックパターンの書込み、読出しは、カウン
タ10からメモリ4への読込み/読出しアドレスによって
いるものである。カウンタ10、ALPG1およびマルチプレ
クサ13はコントロール回路7によって所定に制御されて
いるものである。さて、アルゴリズミックパターン発生
ユニットPG1には低速クロック(CK-L)44、高速クロッ
ク(CK-H)45が装置外部から選択的に導入せしめられて
おり、低速クロック44はアルゴリズミックパターンがメ
モリ4に書込まれる際での書込みクロックとして、ま
た、高速クロック45はメモリ4からアルゴリズミックパ
ターンが読み出される際での読出しクロックとして使用
されるものとなっている。
既述のように、フィードバックループを有するALPGで
は、ダミーサイクルの発生防止の観点から、パイプライ
ン構成による高速化は困難とされている。そのため、先
ず最初に低速クロック44を用いALPG1を動作せしめ、ALP
G1からのアルゴリズミックパターンはメモリ4に低速度
で一旦格納されるものとなっている。その際、メモリ4
への書込みアドレス38はカウンタ10から発生されるもの
となっている。メモリ4への書込みに先立って、カウン
タ10はそのカウント値が予めクリア信号(CLR)29によ
りセットされているが、このリセット状態から低速クロ
ック44が順次カウントされることによって、そのカウン
ト値が(書込み)アドレス(先頭アドレスの値は“0")
38として得られているものである。なお、その際での最
終アドレスはCPU15からインタフェース14を介し、カウ
ンタ10に設定されており、カウンタ10のカウント値が最
終アドレスに一致した時点で、カウンタ10からはカウン
トアップ信号(C/U)35が出力されるものとなってい
る。このカウントアップ信号35はコントロール回路7を
介しALPG1に動作停止制御信号26として出力されること
で、ALPG1での動作は停止され、したがって、アルゴリ
ズミックパターンの発生が停止されているものである。
さて、以上のALPG1の動作停止と同時に、コントロール
回路7からのクリア信号29によりカウンタ10は再びリセ
ットされた上、カウンタ10では、それまでの低速クロッ
ク44に代って、リセット状態から高速クロック45がカウ
ントされる一方、メモリ4ではその動作モードが切替信
号52により読出しモードに切替えされるものとなってい
る。この結果、メモリ4に格納されているアルゴリズミ
ックパターンは、カウンタ10からのカウント値を(読出
し)アドレス(先頭アドレスの値は“0")38として、メ
モリ4から順次高速に読み出されるものである。一般的
に、単純にデータを読み出すだけのメモリ4では、複雑
な構成のALPG1での動作速度に比し、その数倍の速度を
以て読出し動作が可能とされているものである。
以上、アルゴリズミックパターン発生ユニットPG1での
動作について説明した。アルゴリズミックパターン発生
ユニットPG2,PG3でも全く同様に動作しているわけであ
るが、アルゴリズミックパターン発生ユニットPG1〜PG3
各々はインタリーブ動作せしめられる関係上、本例での
場合、ALPG1〜3各々では、第2図に示すように、その
動作はALPG動作時間(=パターン発生・書込み期間tw
を2等分した位相遅れを以て順次開始せしめられるもの
となっている。本例では、ALPG1〜3各々での動作速度
に対し、メモリ4〜6各々での動作速度が2倍の場合を
示したのである。即ち、パターン発生・書込み期間tw
パターン読出し期間trとの関係はtw=2×trとして設定
されているものである。アルゴリズミックパターン発生
ユニットPG2は、アルゴリズミックパターン発生ユニッ
トPG1よりtw/2遅れた時点からその動作が開始され、更
に、アルゴリズミックパターン発生ユニットPG3は、ア
ルゴリズミックパターン発生ユニットPG2の動作開始時
点から、tw/2遅れた時点から動作が開始されているもの
である。
以上のようにして、メモリ4〜6各々からは、パターン
読出し期間trに亘って、アルゴリズミックパターンが高
速に順次読み出されるが、そのパターン読出し期間tr
同期してコントロール回路7〜9各々からは選択出力制
御信号41〜43がマルチプレクサ13に送出されることによ
って、マルチプレクサ13からは被試験対象への試験用パ
ターン50が連続的に得られるものである。
なお、その際、例えばアルゴリズミックパターン発生ユ
ニットPG1に着目した場合、ある周期T(T=tw+tr
でのメモリ4からの読出し後、次周期で発生されるべき
アルゴリズミックパターンは、メモリ4〜6各々で発生
させたステップ数の次からのアルゴリズミックパターン
を発生させることが必要となるため、アルゴリズミック
パターン発生ユニットPG1についてのパターン読出し期
間tr内に、ALPG1内レジスタ等には必要なパターン発生
制御データがCPU15から書込みされるものとなってい
る。アルゴリズミックなパターンは決められた手順に従
って演算処理により発生されるものであり、第2図に示
すような動作実行前に、ALPG1〜3各々に対しパターン
読出し期間tr各々で、如何なるデータを与えれば、メモ
リ4〜6各々の容量で与えられるステップ数を飛越えた
途中からそのメモリ(PDB)分だけのパターン発生が行
われるかは事前に知れていることから、周期T毎にALPG
1〜3各々からは所望にアルゴリズミックパターンが発
生され得るものである。
ところで、以上の例では、パターン発生・書込み期間tw
とパターン読出し期間trとの関係はtw=2×trである場
合が想定されているが、一般的にその関係が、tw=n×
trである場合には、類維結果から、アルゴリズミックパ
ターン発生ユニットはn+1個必要となることが判る。
なお、以上の説明では、パターン読出し期間tr内にALPG
内レジスタ等へのパターン発生制御データ書込みがCPU
から行われているが、CPUによることなくALPG自体の内
部処理だけでパターン発生制御データの書込みを行うこ
とも可能となっている。また、本例には、具体的に言
及、開示されていないが、パターン発生速度遅い場合に
は、本例のような(ALPG+PDB)といった、いわばハイ
ブリット(複合)形ではなく、直接ALPG出力がアルゴリ
ズミックパターン発生ユニットPG出力として得られるよ
うなデータ出力経路を持たせることも考えられ、更に、
カウンタ10〜12にしても、アップカウンタには限定され
なく、ダウンカウンタであっても同様な動作が可能とな
っている。更にまた、メモリ(4〜6)は、一般的なロ
ジックLSI試験用のランダムパターンデータを格納・発
生するメモリとしても用いることが可能であり、LSIメ
モリ、ロジックLSI兼用のパターン発生装置としても使
用し得るものであり、広範囲への応用が考えられるもの
となっている。
〔発明の効果〕
以上、説明したように、本発明によれば、半導体メモリ
を試験する際に使用されるアルゴリズミックパターンを
高速に、しかもダミーサイクルを生じさせることなく高
速に発生し得るアルゴリズミックパターン発生装置が得
られるものとなっている。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によるアルゴリズミックパターン発生
装置の一例での具体的構成を示す図、第2図は、その動
作シーケンスを示す図である。 PG1〜PG3……アルゴリズミックパターン発生ユニット、
1〜3……アルゴリズミックパターン発生器、4〜6…
…メモリ、7〜9……コントロール回路、10〜12……カ
ウンタ、13……マルチプレクサ、15……CPU

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】パターン発生器から順次発生される試験用
    パターンがパターン発生・書込み期間twに亘ってメモリ
    に低速度で書込まれた直後に、該試験用パターンがパタ
    ーン読出し期間trに亘って該メモリから高速度で順次読
    み出されるべく構成されたアルゴリズミックパターン発
    生ユニットを1単位として、該アルゴリズミックパター
    ン発生ユニットを複数単位含むアルゴリズミックパター
    ン発生装置であって、パターン発生・書込み期間twとパ
    ターン読出し期間trとがtw=n×tr(n:2以上の任意の
    整数、以下、同様)なる関係にあるものとして、周期T
    (T=tw+tr)的に、かつtr相当の位相遅れを以て順次
    動作せしめられている同一構成のn+1個のアルゴリズ
    ミックパターン発生ユニット各々からパターン読出し期
    間trに亘って順次読み出される試験用パターンは、マル
    チプレクサで順次サイクリックに選択されることによっ
    て、該マルチプレクサからは被試験対象への試験用パタ
    ーンが連続的に得られるようにしたアルゴリズミックパ
    ターン発生装置。
JP60015339A 1985-01-31 1985-01-31 アルゴリズミツクパタ−ン発生装置 Expired - Lifetime JPH0750155B2 (ja)

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