JPH0744167B2 - スプレー洗浄装置 - Google Patents
スプレー洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0744167B2 JPH0744167B2 JP2060936A JP6093690A JPH0744167B2 JP H0744167 B2 JPH0744167 B2 JP H0744167B2 JP 2060936 A JP2060936 A JP 2060936A JP 6093690 A JP6093690 A JP 6093690A JP H0744167 B2 JPH0744167 B2 JP H0744167B2
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- JP
- Japan
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- cleaning
- nozzle group
- cleaned
- spray
- tank
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、洗浄液の噴射によって、被洗浄物を洗浄する
スプレ洗浄装置に関するものである。
スプレ洗浄装置に関するものである。
洗浄液を用いて行う洗浄装置においては、被洗浄物の表
面に対して、例えばブラシ洗いをするとか超音波エネル
ギを利用するとかの各種機械力を用いる効果が、極めて
大きいことは周知の通りである。しかし、上記機械力が
もたらす効果は、被洗浄物の形状によって左右される。
例えば、凹みがある物体の内側はブラシ洗浄が実用的で
あるとはいえず、また、超音波洗浄では音波の陰になる
部分を洗浄することができない。上記機械力利用の一例
として、高速の洗浄液噴流を吹きつける方法もしばしば
用いられ、特に微小な凹部に対して洗浄効果が大きいこ
とが実証されている。
面に対して、例えばブラシ洗いをするとか超音波エネル
ギを利用するとかの各種機械力を用いる効果が、極めて
大きいことは周知の通りである。しかし、上記機械力が
もたらす効果は、被洗浄物の形状によって左右される。
例えば、凹みがある物体の内側はブラシ洗浄が実用的で
あるとはいえず、また、超音波洗浄では音波の陰になる
部分を洗浄することができない。上記機械力利用の一例
として、高速の洗浄液噴流を吹きつける方法もしばしば
用いられ、特に微小な凹部に対して洗浄効果が大きいこ
とが実証されている。
しかしながら、洗浄液噴流を用いる従来技術では、噴流
の与え方について配慮されておらず、一般には洗浄槽の
内側周壁に沿って設けた洗浄液配管の多くの細孔から、
洗浄液を噴射させるものであるが、通常のスプレー効果
が流速によって決まり、スプレーノズルを被洗浄物にで
きるだけ近づける方がよいにもかわらず、距たった距離
から噴射する上記方法は効率的でなかった。
の与え方について配慮されておらず、一般には洗浄槽の
内側周壁に沿って設けた洗浄液配管の多くの細孔から、
洗浄液を噴射させるものであるが、通常のスプレー効果
が流速によって決まり、スプレーノズルを被洗浄物にで
きるだけ近づける方がよいにもかわらず、距たった距離
から噴射する上記方法は効率的でなかった。
本発明は、被洗浄物の表面を一様に効率よく洗浄でき
る、スプレー洗浄装置を得ることを目的とする。
る、スプレー洗浄装置を得ることを目的とする。
上記目的は、洗浄槽内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗
浄するスプレー洗浄装置において、噴流発生用のノズル
群と、該ノズル群をノズルの配列と直角の水平方向に往
復させる駆動機構と、待機状態の上記ノズル群を収納す
る洗浄槽側面拡張部と、上記ノズル群に加圧した洗浄液
を送り込むフレキシブルホースとを備え、上記ノズル群
から出射する噴流を効果的に浴びる位置に被洗浄物を配
置し、洗浄液を噴射させながら上記ノズル群を往復させ
る構成とすることにより達成される。
浄するスプレー洗浄装置において、噴流発生用のノズル
群と、該ノズル群をノズルの配列と直角の水平方向に往
復させる駆動機構と、待機状態の上記ノズル群を収納す
る洗浄槽側面拡張部と、上記ノズル群に加圧した洗浄液
を送り込むフレキシブルホースとを備え、上記ノズル群
から出射する噴流を効果的に浴びる位置に被洗浄物を配
置し、洗浄液を噴射させながら上記ノズル群を往復させ
る構成とすることにより達成される。
被洗浄物を効率よくスプレー洗浄するために、スプレー
ノズルを被洗浄物にできるだけ近づけ、被洗浄物の全面
（被洗浄物が小物部品である場合は、洗浄用のバスケッ
トに多数並べて置く）を一様にスプレーするには、平面
状に分布したノズル群を被洗浄物に近接させて洗浄液を
噴射するか、または、直線状に分布したノズル群を被洗
浄物に近接して一定距離を保ちながら移動し、洗浄液を
噴射することが考えられる。いずれの場合も被洗浄物の
直上の空間にノズル群を配置する必要があり、先端にほ
ぼ直線状に複数のノズルを配列したノズル群を、被洗浄
物の支持腕間をくぐって水平に往復させる本装置では、
被洗浄物の出し入れに対して上記ノズル群が邪魔しない
ように、上記ノズル群と被洗浄物との相対位置が問題に
なる。ノズル群を洗浄槽の横壁に取付けて斜め下方にス
プレーする従来の方法は、上記のような被洗浄物の出し
入れに邪魔にならないが、ノズル群を被洗浄物に近接さ
せるという課題は満足できない。
ノズルを被洗浄物にできるだけ近づけ、被洗浄物の全面
（被洗浄物が小物部品である場合は、洗浄用のバスケッ
トに多数並べて置く）を一様にスプレーするには、平面
状に分布したノズル群を被洗浄物に近接させて洗浄液を
噴射するか、または、直線状に分布したノズル群を被洗
浄物に近接して一定距離を保ちながら移動し、洗浄液を
噴射することが考えられる。いずれの場合も被洗浄物の
直上の空間にノズル群を配置する必要があり、先端にほ
ぼ直線状に複数のノズルを配列したノズル群を、被洗浄
物の支持腕間をくぐって水平に往復させる本装置では、
被洗浄物の出し入れに対して上記ノズル群が邪魔しない
ように、上記ノズル群と被洗浄物との相対位置が問題に
なる。ノズル群を洗浄槽の横壁に取付けて斜め下方にス
プレーする従来の方法は、上記のような被洗浄物の出し
入れに邪魔にならないが、ノズル群を被洗浄物に近接さ
せるという課題は満足できない。
本発明では洗浄槽の側面に拡張部を設けてノズル群を収
納し、洗浄に際しては駆動装置を備えた上記ノズル群
が、上記被洗浄物の近傍を水平に往復するようにしたも
のである。
納し、洗浄に際しては駆動装置を備えた上記ノズル群
が、上記被洗浄物の近傍を水平に往復するようにしたも
のである。
また、スプレー動作によって飛散するミストで周囲を汚
染するのを防ぐ必要があるのと、上記飛散ミストが洗浄
槽および拡張部内に充満して、瞬時にして槽内の圧力が
増すのを防ぐため、上記洗浄槽の開口部に、少なくとも
洗浄中はカバーをかぶせて覆い、上記洗浄槽の側面に設
けた拡張部には排気ダクトを設け、上記排気ダクトの入
口付近にはミストセパレータを組込み、洗浄槽および上
記拡張部内に飛散する洗浄液滴の回収を行っている。
染するのを防ぐ必要があるのと、上記飛散ミストが洗浄
槽および拡張部内に充満して、瞬時にして槽内の圧力が
増すのを防ぐため、上記洗浄槽の開口部に、少なくとも
洗浄中はカバーをかぶせて覆い、上記洗浄槽の側面に設
けた拡張部には排気ダクトを設け、上記排気ダクトの入
口付近にはミストセパレータを組込み、洗浄槽および上
記拡張部内に飛散する洗浄液滴の回収を行っている。
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。第１図
は本発明によるスプレー洗浄装置の一実施例を示す図
で、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は洗浄槽の側断面説明
図、第２図は上記スプレー洗浄装置の他の実施例を示す
全体構成図である。第１図において、被洗浄物１の洗浄
を行う洗浄槽２の側面には拡張部17を設け、上記拡張部
17内に支持パイプ６に支持されたノズル群５を収納し、
上記ノズル群５は駆動機構７によって上記支持パイプ６
とともに水平に往復運動を行う。支持パイプ６にはフレ
キシブルホース８が接続され、固定部分に設けたフィル
タ10を経て、ポンプ11により洗浄液タンク12内の洗浄液
13を汲み上げ加圧して、先端に設けたノズル群５から噴
射する。上記拡張部17には、入口付近にミストセパレー
タ15を組込んだ排気ダクト16が取付けられている。洗浄
槽２には被洗浄物１を搬送する搬送アーム３を貫通さ
せ、上記アーム３に沿って摺動するカバー４が洗浄槽２
の開口部を覆い、上記洗浄槽２の底部には塵埃除去用の
ストレーナ14が取付けられている。
は本発明によるスプレー洗浄装置の一実施例を示す図
で、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は洗浄槽の側断面説明
図、第２図は上記スプレー洗浄装置の他の実施例を示す
全体構成図である。第１図において、被洗浄物１の洗浄
を行う洗浄槽２の側面には拡張部17を設け、上記拡張部
17内に支持パイプ６に支持されたノズル群５を収納し、
上記ノズル群５は駆動機構７によって上記支持パイプ６
とともに水平に往復運動を行う。支持パイプ６にはフレ
キシブルホース８が接続され、固定部分に設けたフィル
タ10を経て、ポンプ11により洗浄液タンク12内の洗浄液
13を汲み上げ加圧して、先端に設けたノズル群５から噴
射する。上記拡張部17には、入口付近にミストセパレー
タ15を組込んだ排気ダクト16が取付けられている。洗浄
槽２には被洗浄物１を搬送する搬送アーム３を貫通さ
せ、上記アーム３に沿って摺動するカバー４が洗浄槽２
の開口部を覆い、上記洗浄槽２の底部には塵埃除去用の
ストレーナ14が取付けられている。
前工程から搬送されてきた搬送アーム３が、上記カバー
４を洗浄槽２の開口部に残して被洗浄物１を洗浄槽２内
に吊り下げ、所定位置に停止すると、駆動機構７が働い
て支持パイプ６を押出し、先端に設けられたノズル群５
が上記被洗浄物１の上面および下面に沿って、ノズルの
配列とは直角の水平方向に移動するとともに、ポンプ11
で加圧された洗浄液タンク12内の洗浄液13が、フィルタ
10で微細な塵埃を取除いたのち、上記ノズル群５から被
洗浄物１に向けて噴射する。上記被洗浄物１は第１図
（ｂ）に示すように、両端を搬送アーム３に吊り下げ、
これらの吊り下げ支持棒の間のノズル群５が前進および
後退する構造になっている。本実施例では上記ノズル群
５が２個相対し被洗浄物１の上下両面に向けて設けられ
ているが、ノズル群５が１個で被洗浄物の片面に向けて
だけ噴射することもできる。被洗浄物１および洗浄槽内
部から滴下した洗浄液は、洗浄槽２の下端に設けたスト
レーナ14を介して洗浄液タンク12に回収される。なお、
洗浄時には洗浄槽２の開口部がカバー４で塞がれている
ため、洗浄液を含むミストが洗浄槽２および拡張部17に
充満し、瞬時に槽内の圧力が増すが、これを防ぐため
に、上記拡張部17に排気ダクトを取付け、上記排気ダク
ト16の入口付近にはミストセパレータ15を組込んで、ミ
スト中に含まれる洗浄液滴の回収をはかっている。洗浄
が終了して搬送アーム３で被洗浄物１を引き上げると、
上記アーム３に設けた係止つばによって、開口部を覆う
カバー４も持ち上げられ一緒に搬送される。
４を洗浄槽２の開口部に残して被洗浄物１を洗浄槽２内
に吊り下げ、所定位置に停止すると、駆動機構７が働い
て支持パイプ６を押出し、先端に設けられたノズル群５
が上記被洗浄物１の上面および下面に沿って、ノズルの
配列とは直角の水平方向に移動するとともに、ポンプ11
で加圧された洗浄液タンク12内の洗浄液13が、フィルタ
10で微細な塵埃を取除いたのち、上記ノズル群５から被
洗浄物１に向けて噴射する。上記被洗浄物１は第１図
（ｂ）に示すように、両端を搬送アーム３に吊り下げ、
これらの吊り下げ支持棒の間のノズル群５が前進および
後退する構造になっている。本実施例では上記ノズル群
５が２個相対し被洗浄物１の上下両面に向けて設けられ
ているが、ノズル群５が１個で被洗浄物の片面に向けて
だけ噴射することもできる。被洗浄物１および洗浄槽内
部から滴下した洗浄液は、洗浄槽２の下端に設けたスト
レーナ14を介して洗浄液タンク12に回収される。なお、
洗浄時には洗浄槽２の開口部がカバー４で塞がれている
ため、洗浄液を含むミストが洗浄槽２および拡張部17に
充満し、瞬時に槽内の圧力が増すが、これを防ぐため
に、上記拡張部17に排気ダクトを取付け、上記排気ダク
ト16の入口付近にはミストセパレータ15を組込んで、ミ
スト中に含まれる洗浄液滴の回収をはかっている。洗浄
が終了して搬送アーム３で被洗浄物１を引き上げると、
上記アーム３に設けた係止つばによって、開口部を覆う
カバー４も持ち上げられ一緒に搬送される。
第２図に示す実施例は、洗浄槽２の底部にオーバフロー
部を有する貯液部を設け、循環ポンプ18を介して洗浄液
タンク12に接続していること以外は、上記実施例と同じ
であるが、本実施例では、浸漬洗浄とスプレー洗浄とを
自由に選択して行うことができるので、上記洗浄槽２の
貯液部で浸漬洗浄を行ったのち、スプレー洗浄を同一位
置で行うことができる。
部を有する貯液部を設け、循環ポンプ18を介して洗浄液
タンク12に接続していること以外は、上記実施例と同じ
であるが、本実施例では、浸漬洗浄とスプレー洗浄とを
自由に選択して行うことができるので、上記洗浄槽２の
貯液部で浸漬洗浄を行ったのち、スプレー洗浄を同一位
置で行うことができる。
上記のように本発明によるスプレー洗浄装置は、洗浄槽
内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗浄するスプレー洗浄
装置において、噴流発生用のノズル群と、該ノズル群を
ノズルの配列と直角の水平方向に往復させる駆動機構
と、待機状態の上記ノズル群を収納する洗浄槽側面拡張
部と、上記ノズル群に加圧した洗浄液を送り込むフレキ
シブルホースとを備え、上記ノズル群から出射する噴流
を効果的に浴びる位置に被洗浄物を配置し、洗浄液を噴
射させながら上記ノズル群を往復させる構成としたこと
により、被洗浄物の表面を一様に効率よく洗浄すること
ができる、スプレー洗浄装置が得られる。
内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗浄するスプレー洗浄
装置において、噴流発生用のノズル群と、該ノズル群を
ノズルの配列と直角の水平方向に往復させる駆動機構
と、待機状態の上記ノズル群を収納する洗浄槽側面拡張
部と、上記ノズル群に加圧した洗浄液を送り込むフレキ
シブルホースとを備え、上記ノズル群から出射する噴流
を効果的に浴びる位置に被洗浄物を配置し、洗浄液を噴
射させながら上記ノズル群を往復させる構成としたこと
により、被洗浄物の表面を一様に効率よく洗浄すること
ができる、スプレー洗浄装置が得られる。
第１図は本発明によるスプレー洗浄装置の一実施例を示
す図で、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は洗浄槽の側断面
説明図、第２図は上記スプレー洗浄装置の他の実施例を
示す全体構成図である。 １……被洗浄物、２……洗浄槽 ３……搬送アーム、４……カバー ５……ノズル群、７……駆動機構 ８……フレキシブルホース 13……洗浄液、15……ミストセパレータ 16……排気ダクト、17……拡張部
す図で、（ａ）は全体構成図、（ｂ）は洗浄槽の側断面
説明図、第２図は上記スプレー洗浄装置の他の実施例を
示す全体構成図である。 １……被洗浄物、２……洗浄槽 ３……搬送アーム、４……カバー ５……ノズル群、７……駆動機構 ８……フレキシブルホース 13……洗浄液、15……ミストセパレータ 16……排気ダクト、17……拡張部
Claims (3)
- 【請求項１】洗浄槽内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗
浄するスプレー洗浄装置において、噴流発生用のノズル
群と、該ノズル群をノズルの配列と直角の水平方向に往
復させる駆動機構と、待機状態の上記ノズル群を収納す
る洗浄槽側面拡張部と、上記ノズル群に加圧した洗浄液
を送り込むフレキシブルホースとを備え、上記ノズル群
から出射する噴流を効果的に浴びる位置に被洗浄物を配
置し、洗浄液を噴射させながら上記ノズル群を往復させ
る構成としたことを特徴とするスプレー洗浄装置。 - 【請求項２】上記洗浄液の噴射は、被洗浄物を吊り下げ
る搬送アームを摺動可能に貫通して設けたカバーで、洗
浄槽の開口部を覆った状態で行うことを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載したスプレー洗浄装置。 - 【請求項３】上記洗浄槽は、可動ノズル群によるスプレ
ー洗浄と、被洗浄物を洗浄槽底部の貯液部に浸す浸漬洗
浄とを、自由に選択して行う構造であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載したスプレー洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060936A JPH0744167B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | スプレー洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060936A JPH0744167B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | スプレー洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03263831A JPH03263831A (ja) | 1991-11-25 |
| JPH0744167B2 true JPH0744167B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=13156763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2060936A Expired - Fee Related JPH0744167B2 (ja) | 1990-03-14 | 1990-03-14 | スプレー洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744167B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002143787A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-21 | Tlv Co Ltd | 蒸気洗浄装置 |
| KR100901459B1 (ko) | 2007-10-11 | 2009-06-08 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5594043U (ja) * | 1978-12-21 | 1980-06-30 | ||
| JPS6012187A (ja) * | 1983-07-02 | 1985-01-22 | 株式会社デンソー | 洗浄方法及び装置 |
| JPS62192637U (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-08 |
-
1990
- 1990-03-14 JP JP2060936A patent/JPH0744167B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03263831A (ja) | 1991-11-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |