JPH03263831A - スプレー洗浄装置 - Google Patents

スプレー洗浄装置

Info

Publication number
JPH03263831A
JPH03263831A JP6093690A JP6093690A JPH03263831A JP H03263831 A JPH03263831 A JP H03263831A JP 6093690 A JP6093690 A JP 6093690A JP 6093690 A JP6093690 A JP 6093690A JP H03263831 A JPH03263831 A JP H03263831A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
nozzle group
cleaned
spray
cleaning liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6093690A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0744167B2 (ja
Inventor
Michihito Sasaki
道他 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DAN CLEAN PROD KK
Original Assignee
DAN CLEAN PROD KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DAN CLEAN PROD KK filed Critical DAN CLEAN PROD KK
Priority to JP2060936A priority Critical patent/JPH0744167B2/ja
Publication of JPH03263831A publication Critical patent/JPH03263831A/ja
Publication of JPH0744167B2 publication Critical patent/JPH0744167B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、洗浄液の噴射によって、被洗浄物を洗浄する
スプレ洗浄装置に関するものである。
〔従来の技術〕
洗浄液を用いて行う洗浄装置においては、被洗浄物の表
面に対して、例えばブラシ洗いをするとか超音波エネル
ギを利用するとかの各種機械力を用いる効果が、極めて
大きいことは周知の通りである。しかし、上記機械力が
もたらす効果は、被洗浄物の形状によって左右される。
例えば、凹みがある物体の内側はブラシ洗浄が実用的で
あるとはいえず、また、超音波洗浄では音波の陰になる
部分を洗浄することができない。上記機械力利用の一例
として、高速の洗浄液噴流を吹きつける方法もしばしば
用いられ、特に微小な凹部に対して洗浄効果が大きいこ
とが実証されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、洗浄液噴流を用いる従来技術では、噴流
の与え方について配慮されておらず、−般には洗浄槽の
内側周壁に沿って設けた洗浄液配管の多くの細孔から、
洗浄液を噴射させるものであるが、通常のスプレー効果
が流速によって決まり、スプレーノズルを被洗浄物にで
きるだけ近づける方がよいにもかかわらず、距たった距
離から噴射する上記方法は効率的でなかった。
本発明は、被洗浄物の表面を一様に効率よく洗浄できる
、スプレー洗浄装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、洗浄槽内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗
浄するスプレー洗浄装置において、噴流発生用のノズル
群と、該ノズル群を水平方向に往復させる駆動機構と、
待機状態の上記ノズル群を収納する洗浄槽側面拡張部と
、上記ノズル群に加圧した洗浄液を送り込むフレキシブ
ルホースとを備え、上記ノズル群から出射する噴流を効
果的に浴びる位置に被洗浄物を配置し、洗浄液を噴射さ
せながら上記ノズル群を往復させる構成とすることによ
り達成される。
〔作用〕
被洗浄物を効率よくスプレー洗浄するために、スプレー
ノズルを被洗浄物にできるだけ近づけ、被洗浄物の全面
(被洗浄物が小物部品である場合は、洗浄用のバスケッ
トに多数並べて置く)を−様にスプレーするには、平面
状に分布したノズル群を被洗浄物に近接させて洗浄液を
噴射するか、または、直線状に分布したノズル群を被洗
浄物に近接して一定距離を保ちながら移動し、洗浄液を
噴射することが考えられる。いずれの場合も被洗浄物の
直上の空間にノズル群を配置する必要があり、被洗浄物
の出し入れに対して上記ノズル群が邪魔しないように、
上記ノズル群と被洗浄物との相対位置が問題になる。ノ
ズル群を洗浄槽の横壁に取付けて斜め下方にスプレーす
る従来の方法は、上記のような被洗浄物の出し入れに邪
魔にならないが、ノズル群を被洗浄物に近接させるとい
う課題は満足できない。
本発明では洗浄槽の側面に拡張部を設けてノズル群を収
納し、洗浄に際しては駆動装置を備えた上記ノズル群が
、上記被洗浄物の近傍を水平に往復するようにしたもの
である。
また、スプレー動作によって飛散するミストで周囲を汚
染するのを防ぐ必要があるのと、上記飛散ミストが洗浄
槽および拡張部内に充満して、瞬時にして槽内の圧力が
増すのを防ぐため、上記洗浄槽の開口部に、少なくとも
洗浄中はカバーをかぶせて覆い、上記洗浄槽の側面に設
けた拡張部には排気ダクトを設け、上記排気ダクトの入
口付近にはミストセパレータを組込み、洗浄槽および上
記拡張部内に飛散する洗浄液滴の回収を行っている。
〔実施例〕
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。
第1図は本発明によるスプレー洗浄装置の一実施例を示
す図で、(a)は全体構成図、(b)は洗浄槽の側断面
説明図、第2図は上記スプレー洗浄装置の他の実施例を
示す全体構成図である。第1図において、被洗浄物1の
洗浄を行う洗浄槽2の側面には拡張部17を設け、上記
拡張部17内に支持バイブロに支持されたノズル群5を
収納し、上記ノズル群5は駆動機構7によって上記支持
バイブロとともに水平に往復運動を行う、支持バイブロ
にはフレキシブルホース8が接続され、固定部分に設け
たフィルタ10を経て、ポンプ11により洗浄液タンク
12内の洗浄液13を汲み上げ加圧して、先端に設けた
ノズル群5から噴射する。
上記拡張部17には、入口付近にミストセパレータエ5
を絹込んだ排気ダクト16が取付けられている。洗浄槽
2には被洗浄物1を搬送する搬送アーム3を貫通させ、
上記アーム3に沿って摺動するカバー4が洗浄槽2の開
口部を覆い、上記洗浄槽2の底部には塵埃除去用のスト
レーナ14が取付けられている。
前工程から搬送されてきた搬送アーム3が、上記カバー
4を洗浄槽2の開口部に残して被洗浄物1を洗浄槽2内
に吊り下げ、所定位置に停止すると、駆動機構7が働い
て支持バイブロを押出し、先端に設けられたノズル群5
が上記被洗浄物1の上面および下面に沿って移動すると
ともに、ポンプ11で加圧された洗浄液タンク12内の
洗浄液13が、フィルタ10で微細な塵埃を取除いたの
ち、上記ノズル群5から被洗浄物1に向けて噴射する。
上記被洗浄物1は第1図(b)に示すように、両端を搬
送アーム3に吊り下げ、これらの吊り下げ支持棒の間を
ノズル群5が前進および後退する構造になっている。本
実施例では上記ノズル群5が2個相対し被洗浄物1の上
下両面に向けて設けられているが、ノズル群5が1個で
被洗浄物の片面に向けてだけ噴射することもできる。被
洗浄物1および洗浄槽内部から滴下した洗浄液は、洗浄
槽2の下端に設けたストレーナ14を介して洗浄液タン
ク12に回収される。なお、洗浄時には洗浄槽2の開口
部がカバー4で塞がれているため、洗浄液を含むミスト
が洗浄槽2および拡張部17に充満し、瞬時に槽内の圧
力が増すが、これを防ぐために、上記拡張部17に排気
ダクトを取付け、上記排気ダクト16の入口付近にはミ
ストセパレータ15を組込んで、ミスト中に含まれる洗
浄液滴の回収をはかっている。洗浄が終了して搬送アー
ム3で被洗浄物1を引き上げると、上記アーム3に設け
た係止つばによって、開口部を覆うカバー4も持ち上げ
られ一緒に搬送される。
第2図に示す他の実施例は、洗浄槽2の底部にオーバフ
ロ一部を有する貯液部を設け、循環ポンプ18を介して
洗浄液タンク12に接続していること以外は、上記実施
例と同じであるが、本実施例では、浸漬洗浄とスプレー
洗浄とを自由に選択して行うことができるので、上記洗
浄槽2の貯液部で浸漬洗浄を行ったのち、スプレー洗浄
を同一装置で行うことができる。
〔発明の効果〕
上記のように本発明によるスプレー洗浄装置は、洗浄槽
内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗浄するスプレー洗浄
装置において、噴流発生用のノズル群と、該ノズル群を
水平方向に往復させる駆動機構と、待機状態の上記ノズ
ル群を収納する洗浄槽側面拡張部と、上記ノズル群に加
圧した洗浄液を送り込むフレキシブルホースとを備え、
上記ノズル群から出射する噴流を効果的に浴びる位置に
被洗浄物を配置し、洗浄液を噴射させながら上記ノズル
群を往復させる構成としたことにより、被洗浄物の表面
を一様に効率よく洗浄することができる、スプレー洗浄
装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるスプレー洗浄装置の一実施例を示
す図で、(a)は全体構成図、(b)は洗浄槽の側断面
説明図、第2図は上記スプレー洗浄装置の他の実施例を
示す全体構成図である。 1・・・被洗浄物    2・・・洗浄槽3・・・搬送
アーム   4・・・カバー5・・ノズル群    7
・・・駆動機構8・・フレキシブルホース

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、洗浄槽内で洗浄液を被洗浄物に噴射して洗浄するス
    プレー洗浄装置において、噴流発生用のノズル群と、該
    ノズル群を水平方向に往復させる駆動機構と、待機状態
    の上記ノズル群を収納する洗浄槽側面拡張部と、上記ノ
    ズル群に加圧した洗浄液を送り込むフレキシブルホース
    とを備え、上記ノズル群から出射する噴流を効果的に浴
    びる位置に被洗浄物を配置し、洗浄液を噴射させながら
    上記ノズル群を往復させる構成としたことを特徴とする
    スプレー洗浄装置。 2、上記洗浄液の噴射は、被洗浄物を吊り下げる搬送ア
    ームを摺動可能に貫通して設けたカバーで、洗浄槽の開
    口部を覆った状態で行うことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項に記載したスプレー洗浄装置。 3、上記噴流発生用ノズル群は、被洗浄物を上下方向か
    ら対向してスプレーできる構成としたものであることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項に記載したスプレー洗
    浄装置。 4、上記洗浄槽の側面拡張部は、排気ダクトを取付ける
    とともに、上記排気ダクトの入口付近にミストセパレー
    タを組込んだことを特徴とする特許請求の範囲第1項に
    記載したスプレー洗浄装置。 5、上記洗浄槽は、可動ノズル群によるスプレー洗浄と
    、被洗浄物を洗浄槽底部の貯液部に浸す浸漬洗浄とを、
    自由に選択して行う構造であることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項に記載したスプレー洗浄装置。
JP2060936A 1990-03-14 1990-03-14 スプレー洗浄装置 Expired - Fee Related JPH0744167B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2060936A JPH0744167B2 (ja) 1990-03-14 1990-03-14 スプレー洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2060936A JPH0744167B2 (ja) 1990-03-14 1990-03-14 スプレー洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03263831A true JPH03263831A (ja) 1991-11-25
JPH0744167B2 JPH0744167B2 (ja) 1995-05-15

Family

ID=13156763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2060936A Expired - Fee Related JPH0744167B2 (ja) 1990-03-14 1990-03-14 スプレー洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0744167B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002143787A (ja) * 2000-11-15 2002-05-21 Tlv Co Ltd 蒸気洗浄装置
JP2009094521A (ja) * 2007-10-11 2009-04-30 Semes Co Ltd 薬液供給装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5594043U (ja) * 1978-12-21 1980-06-30
JPS6012187A (ja) * 1983-07-02 1985-01-22 株式会社デンソー 洗浄方法及び装置
JPS62192637U (ja) * 1986-05-28 1987-12-08

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5594043U (ja) * 1978-12-21 1980-06-30
JPS6012187A (ja) * 1983-07-02 1985-01-22 株式会社デンソー 洗浄方法及び装置
JPS62192637U (ja) * 1986-05-28 1987-12-08

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002143787A (ja) * 2000-11-15 2002-05-21 Tlv Co Ltd 蒸気洗浄装置
JP2009094521A (ja) * 2007-10-11 2009-04-30 Semes Co Ltd 薬液供給装置
US7900853B2 (en) 2007-10-11 2011-03-08 Semes Co., Ltd. Apparatus for supplying chemical liquid

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0744167B2 (ja) 1995-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6616764B2 (en) Powder coating booth with a cleaning device and method
JP2012076025A (ja) カプセル型の洗浄機
EP2819791B1 (en) Vacuum assisted containment cleaning
JPH03263831A (ja) スプレー洗浄装置
KR100813604B1 (ko) 자동세척장치
JPH11111652A (ja) ウェハー状ワーク洗浄方法並びに当該洗浄方法に用いる洗浄バスケット及び洗浄ハウジング
US6454867B1 (en) Method and machine for cleaning objects in plate form
JPH0433512B2 (ja)
JP6164826B2 (ja) 洗浄装置
JP3124241B2 (ja) 金属材料の表面清浄化方法とその装置
JP2000155192A (ja) 棒要素の周りを洗浄する装置と方法
JPH0957223A (ja) 部品洗浄装置
EP1238905A2 (en) System for cleaning a ship side
JP2547020Y2 (ja) 粉状物質の移送装置
CN218709058U (zh) 一种沐浴乳用分装生产线
JPH10235549A (ja) 研磨パッドのドレッシング装置
JPS6349321Y2 (ja)
JP3135033B2 (ja) 部品洗浄装置
JPS6393140A (ja) 半導体装置用リ−ドフレ−ムの洗浄装置
JPS5858181A (ja) 被洗滌物の噴射洗滌方法および装置
JP2017000913A (ja) 管ガラスの処理方法及び処理装置
JP2006123947A (ja) 水圧転写装置
JPH05205622A (ja) 陰極線管部品のスプレー塗布装置
JP3002815U (ja) 現像機用ラックの移動型洗浄装置
JPS6212474Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees