JPH07334985A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH07334985A
JPH07334985A JP6126250A JP12625094A JPH07334985A JP H07334985 A JPH07334985 A JP H07334985A JP 6126250 A JP6126250 A JP 6126250A JP 12625094 A JP12625094 A JP 12625094A JP H07334985 A JPH07334985 A JP H07334985A
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JP6126250A
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Kazutami Arimoto
和民 有本
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 データ線アクセスの高速化が実現され、かつ
遷移時間を短縮することができる階層データ線構造を有
する半導体記憶装置を提供する。 【構成】 ビット線対BLa,BLbに接続するセグメ
ントデータ線対は、読出用セグメントデータ線対SRB
a,SRBbと、書込用セグメントデータ線対SWB
a,SWBbとに分離される。また、セグメントデータ
線対に接続されるグローバルデータ線対は、読出用グロ
ーバルデータ線対GWBa,GWBbと、書込用グロー
バルデータ線対GRBa,GRBbの各々に分離され
る。ビット線対BLa,BLbと読出用セグメントデー
タ線対SRBa,SRBbとの接続は、読出アンプRA
Sを介して行なわれ、読出用セグメントデータ線対SR
Ba,SRBbと、読出用グローバルデータ線対GRB
a,GRBbとは、読出アンプRAGを介して接続され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体記憶装置に関
し、特に階層データ線構造を有するダイナミック型半導
体記憶装置(以下「DRAM」と称する)に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図11は一般のDRAMの構成の一例を
示すブロック図である。
【0003】図を参照して、DRAM200において
は、メモリセルアレイ201には複数のワード線WLお
よび複数のビット線対BLが互いに交差するように配置
されており、それらのワード線とビット線対の各々のビ
ット線との各交点にメモリセルが設けられている。メモ
リセルの選択はロウアドレスバッファ202に入力され
たロウアドレス信号に基づいてロウデコーダ203が駆
動され、これによって選択された1つのワード線と、コ
ラムアドレスバッファ204に入力されたコラムアドレ
ス信号に基づいてコラムデコーダ205が駆動され、こ
れによって選択された1つのビット線対の一方のビット
線との交点ごとに行なわれる。選択されたメモリセルに
データが書込まれたり、あるいはそのメモリセルに蓄え
られているデータが読出されたりするが、このデータの
書込/読出の指示は制御回路208に与えられる読出/
書込制御信号(R/W)によって行なわれる。データの
書込時には、入力データ(Din)がI/O回路207
を介して選択されたメモリセルに入力される。一方、デ
ータの読出時には選択されたメモリセルに蓄えられてい
るデータがセンスアンプ206によって検出された後増
幅され、I/O回路207を介して出力データ(Dou
t)として外部へ出力される。
【0004】図12は従来のDRAMの2組のビット線
対の部分を示した図であり、一方のビット線対のみをそ
の回路構成を詳細に示している。
【0005】図を参照して、ビット線対BLa,BLb
に交差するように複数のワード線WLが配置されてお
り、各ビット線BLaまたはBLbと各ワード線WLと
の交点にメモリセルMCが設けられている。図において
は、ビット線BLaに接続された1つのメモリセルMC
とビット線BLbに接続された1つのメモリセルMCの
みが示され、他のメモリセルは省略されている。各メモ
リセルMCは、転送用トランジスタQsと記憶用キャパ
シタCとからなる。トランジスタQsはビット線BLa
またはBLbと記憶用キャパシタCとの間に接続され、
そのゲートはワード線WLに接続されている。
【0006】また、ビット線BLa,BLbには、N型
センスアンプNSAと、P型センスアンプPSAとが接
続されている。N型センスアンプNASは、Nチャンネ
ルMOSトランジスタQ1およびQ2からなる。トラン
ジスタQ1はビット線BLbとノードN1との間に接続
され、そのゲートはビット線BLaに接続されている。
トランジスタQ2は、ビット線BLaとノードN1との
間に接続されて、そのゲートはビット線BLbに接続さ
れている。ノードN1はNチャンネルMOSトランジス
タQ3を介して接地電位に結合されており、トランジス
タQ3のゲートはセンスアンプ活性化信号φSN が与え
られる。P型センスアンプPSAは、PチャンネルMO
SトランジスタQ4およびQ5からなる。トランジスタ
Q4はビット線BLbとノードN2との間に接続され、
そのゲートはビット線BLaに接続されている。トラン
ジスタQ5はビット線BLaとノードN2との間に接続
され、そのゲートはビット線BLbに接続されている。
ノードN2はPチャンネルMOSトランジスタQ6を介
して電源電位Vccに接続されており、トランジスタQ
6のゲートにはセンスアンプ活性化信号φSP が与えら
れる。さらにビット線対BLa,BLbの間にはNチャ
ンネルMOSトランジスタQ7が接続されており、その
ゲートにはイコライズ信号BLEQが与えられる。
【0007】図12の回路の読出動作について図13の
タイミングチャートを用いて説明する。
【0008】ロウアドレスストローブ信号RASの負活
性信号(以下「RAS↓」と称する)が、「H」レベル
のとき、すなわちオフタイム期間には、センスアンプ活
性化信号φSN が「H」レベル、センスアンプ活性化信
号φSP が「L」レベルになり、センスアンプNSAお
よびPSAは活性状態になっている。これにより、ビッ
ト線対BLa,BLbの一方の電位が「H」レベル、他
方の電位が「L」レベルに保持される。
【0009】次に、ロウアドレスストローブ信号RAS
↓が「L」レベルのとき、すなわちアクティブ期間に
は、まずセンスアンプ活性化信号φSN を「L」レベ
ル、センスアンプ活性化信号φSP を「H」レベルにす
ることにより、センスアンプNSAおよびPSAが非活
性状態にされた後、イコライズ信号BLEQが一旦
「H」レベルにされ、ビット線対BLa,BLbが短絡
される。これにより、ビット線BLaおよびBLbの電
位が共に「H」レベルと「L」レベルとの中間電位「プ
リチャージ電位」になる。そして、イコライズ信号BL
EQが「L」レベルに戻された後、ワード線駆動信号φ
WLが「H」レベルに立上る。これにより、選択された
ワード線WLに接続されたメモリセルMCの情報が対応
するビット線BLaまたはBLbに読出され、ビット線
BLaまたはBLbの電位がメモリセルMCの情報に従
ってわずかに上昇または低下する。このとき、選択され
たメモリセルMCが接続されていない方のビット線BL
aまたはBLbの電位は、上述のプリチャージ電位のま
ま保たれる。その後に、センスアンプ活性化信号φSN
が「H」レベルにされ、かつセンスアンプ活性化信号φ
P が「L」レベルにされて、センスアンプNSAおよ
びPSAが活性状態にされると、ビット線BLaとビッ
ト線BLbとの間の電位差が増幅される。その結果、ビ
ット線対BLa,BLbのうち電位の高い方が「H」レ
ベルに固定され、電位の低いほうが「L」レベルに固定
される。この状態でコラムデコーダ205が駆動され、
所望のビット線と入出力線I/Oa,I/Obとの間に
設けられているNチャンネルMOSトランジスタQ7,
Q8をオンにする。これによって、所望のビット線対の
電位差が、I/O回路207に接続する1対の入出力線
I/Oa,I/Obを経て取出されて読出動作が行なわ
れる。
【0010】その後、ロウアドレスストローブ信号RA
S↓が「H」レベルに立上るとアクティブ期間が終了
し、ワード線駆動信号φWLが「L」レベルレベルに立
下る。これにより、選択されたワード線WLに接続され
たメモリセルMCのトランジスタQsがオフする。しか
し、センスアンプNSAおよびPSAは、次のアクティ
ブ期間が始まるまで活性状態のまま保持される。そし
て、ロウアドレスストローブ信号RAS↓が「L」レベ
ルとなっってアクティブ期間になると、再び上記の動作
が行なわれる。
【0011】書込動作は読出動作の逆のルートで行なわ
れる。すなわち、書込データがI/O回路207に与え
られると、入出力線I/Oa,I/Obの一方の電位が
「H」レベルに他方の電位が「L」レベルとなる。この
状態で、コラムデコーダ205が駆動され、所望のビッ
ト線対に接続するトランジスタQ7,Q8をオンにす
る。これによって、入出力線I/Oa,I/Obの電位
は所望のビット線対に伝達され、その一方のビット線を
「H」レベル、他方のビット線を「L」レベルにする。
このとき、ビット線対に現れた電位が逆の場合、強制的
にセンスアンプを反転させてビット線の各々を所望の電
位に保持する。一方、ロウデコーダの駆動によってワー
ド線の1本が選択され、そのワード線とビット線との交
点に位置するメモリセルのトランジスタQsをオンさ
せ、キャパシタCと対応するビット線とが導通状態にな
る。このようにして、所望のビット線に現れた電位が所
望のワード線の選択によって定められるメモリセルMC
に保持されて、書込動作が行なわれる。
【0012】図14は図11におけるメモリアレイ20
1を複数のサブメモリアレイに分割し、かつデータ線を
階層化したDRAMの構造を示した図である。
【0013】図を参照して、サブメモリアレイ201a
−1〜201d−3の、図では12個のサブメモリアレ
イが格子状に配列されている。メモリアレイ201a−
1〜201a−3にはロウデコーダ203aが対応して
設けられ、以下同様にロウデコーダ203b〜203d
が対応する各サブメモリアレイのブロックの左端に設け
られている。サブメモリアレイの各々の縦方向のスペー
スには、サブメモリアレイに設けられているビット線対
BLa,BLbに接続するセグメントデータ線対SI/
Oa,SI/Obが配置され、各サブメモリアレイの各
々の横方向のスペースには、セグメントデータ線が接続
されるグローバルデータ線対GI/Oa,GI/Obが
配置されている。グローバルデータ線対GI/Oa,G
I/Obの端部の各々にはプリアンプPA1 〜PA3
接続されている。
【0014】以下このDRAMの動作について簡単に説
明する。ロウデコーダの駆動によって、各サブメモリア
レイのワード線WLが選択され、そのビット線対BL
a,BLbから読出されたデータは、セグメントデータ
線対SI/Oa,SI/Obに読出される。そしてセグ
メントデータ線対に読出されたデータはさらにグローバ
ルデータ線対GI/Oa,GI/Obに転送され、さら
にプリアンプPA1 において増幅され、記憶情報として
外部に取出される。
【0015】一方、書込動作は外部から取込まれたデー
タがグローバルデータ線対GI/Oa,GI/Obおよ
びセグメントデータ線対SI/Oa,SI/Obを介し
てサブメモリアレイのビット線対に転送され、ロウデコ
ーダによって所望のワード線WLが選択され、所望のメ
モリセルに書込まれる。
【0016】このように、メモリセルの記憶容量が大き
くなると、メモリアレイが複数のサブメモリアレイに分
割された状況で、かつデータ線のデータを高速に外部に
対して入出力させるために、このデータ線の容量を分散
させる階層データ線構造が提案されている。
【0017】図15および図16は、ISSCC91
Dig.of Tech.Papers pp.112
−113において従来提案されている階層データ線構造
を示した図である。
【0018】なお両図においては、各サブメモリアレイ
における1つのビット線対をベースにした階層データ線
構造が示されている。
【0019】図15を参照して、ビット線対BLa,B
Lbの各々はそのゲートにコラム信号Yが入力されるN
チャンネルMOSトランジスタT1a,T1bを介して
セグメントデータ線対SI/Oa,SI/Obの各々の
データ線にノードN3a,N3bで接続されている。セ
グメントデータ線SI/Oa,SI/Obの各々は、そ
のゲートにサブメモリアレイ選択信号BSが入力される
NチャンネルトランジスタT2a,T2bを介してグロ
ーバルデータ線対GI/Oa,GI/Obの各々のデー
タ線にノードN4a,N4bにおいて接続される。グロ
ーバルデータ線はその一端がライトドライバ71を介し
てDinバッファ73に接続され、外部端子Dinから
データの入力を受ける。一方、グローバルデータ線のノ
ードN5a,N5bの各々は、プリアンプPAを介して
メインアンプMAに接続され、外部端子Doutを介し
て外部へデータを出力する。このように図15の階層デ
ータ線構造では、セグメントデータ線とグローバルデー
タ線はともに読出/書込動作を共通としたSI/O線対
およびGI/O対で構成されている。ビット線とセグメ
ントデータ線はコラムデコーダ信号Yでスイッチングさ
れ、セグメントデータ線とグローバルデータ線は制御信
号BSでスイッチングされる。しかし、この構成におい
ては、ビット線対の電位差が転送ゲートを介してセグメ
ントデータ線およびグローバルデータ線に転送されるた
め、データ線が全体として長くなり、データ線の付加容
量によってグローバルデータ線の端部での電位差が減少
する。したがって、プリアンプPAにおけるデータ増幅
に時間がかかることになる。
【0020】図16は従来の他の階層データ線構造を示
した図である。図を参照して、図15で示された階層デ
ータ線構造と異なる点は、セグメントデータ線を読出用
と書込用に分離した点にある。すなわち、ビット線対B
La,BLbは、読出アンプRAとそのゲートに読出コ
ラム信号YW が入力されるNチャンネルMOSトランジ
スタT5a,T5bとを通してノードN7a,N7bに
おいて書込用セグメントデータ線対SWBa,SWBb
に接続される。
【0021】読出アンプRAは、読出用セグメントデー
タ線対の一方SRBaのノードN6aと、接地電位との
間に直列に接続されたNチャンネルMOSトランジスタ
T3aおよびT4aと、読出用セグメントデータ線対の
他方SRBbのノードN6bと接地電位との間に直列に
接続されたNチャンネルMOSトランジスタT3bおよ
びT4bとから構成される。トランジスタT3aのゲー
トにはビット線対の一方のビット線BLaが接続し、ト
ランジスタT3bのゲートにはビット線対の他方のビッ
ト線BLbが接続する。またトランジスタT4a,T4
bのゲートには読出用コラム信号YR が入力される。
【0022】読出用セグメントデータ線対SRBa,S
RBbの各々はそのゲートに読出用制御信号BSRが入
力されるNチャンネルMOSトランジスタT7a,T7
bの各々を介してノードN9a,N9bおいてグローバ
ルデータ線GI/Oa,GI/Obの各々に接続され
る。一方、書込用セグメントデータ線対SWBa,SW
Bbの各々はそのゲートに書込用制御信号BSWが入力
されるNチャンネルMOSトランジスタT6a,T6b
を介してノードN8a,N8bにおいてグローバルデー
タ線GI/Oa,GI/Obに各々接続される。他の構
成については図14で示されたデータ線構造と同一であ
る。
【0023】このようにこの階層データ線構造では、ビ
ット線対の読出データは、読出アンプRAを介して読出
用セグメントデータ線SRBa,SRBbに増幅されて
伝達され、一方、書込データは書込用コラム信号YW
制御される転送ゲートT5a,T5bを介して書込用セ
グメントデータ線SWBa,SWBbを通してビット線
対BLa,BLbに書込まれる。なお読出用セグメント
データ線対とグローバルデータ線対とは、読出用制御信
号BSRでスイッチングされ、書込用セグメントデータ
線とグローバルデータ線対とは書込用制御信号BSWで
スイッチングされる。この階層データ線構造におけるデ
ータの読出/書込動作の高速化に関しては、1990
Symp.on VLSI Circuit Dig.
of Tech Papers pp.17−18にお
いて説明されてている。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような階層データ線構造ではより一層の大容量の半導体
記憶装置の高速化には不十分であり、またデータ線対の
占有面積の減少という点でも不十分である。
【0025】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、大容量の半導体記憶装置の高速化
を実現し、かつ階層データ線対の占有面積を減少するこ
とができる半導体記憶装置を提供することを目的とす
る。
【0026】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る半
導体記憶装置は、階層データ線構造を有する半導体記憶
装置であって、複数のメモリセルとセンスアンプとが接
続される第1のデータ線対と、第1のデータ線対に接続
され、データの書込に用いられる第2のデータ線対と、
第1のデータ線対に第1の読出アンプを介して接続さ
れ、データの読出しに用いられる第3のデータ線対と、
第2のデータ線対に接続され、外部からのデータを取込
む第4のデータ線対と、第3のデータ線対に第2の読出
アンプを介して接続され、外部へデータを取出す第5の
データ線対とを備えたものである。
【0027】請求項2の発明に係る半導体記憶装置は、
請求項1の半導体記憶装置において、半導体記憶装置の
メモリアレイは複数のサブメモリアレイからなり、サブ
メモリアレイの各々は所定間隔離されて格子状に配置さ
れ、第1のデータ線対はサブメモリアレイの各々に配置
されるビット線対であり、第2および第3のデータ線対
は、サブメモリアレイの各々の間のスペースであって、
ビット線対が配置される方向のスペースに配置され、第
4および第5のデータ線対は、サブメモリアレイの各々
の間の他の方向のスペースに配置されるものである。
【0028】請求項3の発明に係る半導体記憶装置は、
請求項2の半導体記憶装置において、第1の読出アンプ
は、第3のデータ線対の各々のデータ線が、それらのソ
ース/ドレインに接続される2つのMOSトランジスタ
を含み、MOSトランジスタの各々のゲートに第1のデ
ータ線対の各々のデータ線が接続されるものである。
【0029】請求項4の発明に係る半導体記憶装置は、
階層データ線構造を有する半導体記憶装置であって、複
数のメモリセルとセンスアンプとが接続される第1のデ
ータ線対と、第1のデータ線対に接続され、かつ第1の
データ線対に読出アンプを介して接続され、データの書
込/読出に用いられる第2のデータ線対と、少なくとも
1対のデータ線よりなり、第2のデータ線対に接続さ
れ、外部に対してデータの取込/取出を行なう第3のデ
ータ線対とを備えたものである。
【0030】請求項5の発明に係る半導体記憶装置は、
請求項4の半導体記憶装置において、読出アンプは第2
のデータ線対の各々のデータ線が、それらのソース/ド
レインに接続される2つのMOSトランジスタを含み、
MOSトランジスタの各々のゲートに、第1のデータ線
対の各々のデータ線が接続されるものである。
【0031】請求項6の発明に係る半導体記憶装置は、
請求項4の半導体記憶装置において、第3のデータ線対
は、第4のデータ線対と第5のデータ線対とからなり、
第4のデータ線対は、第2のデータ線対に接続され、外
部からのデータを取込み、第5のデータ線対は、第2の
読出アンプを介して第2のデータ線対に接続され、外部
へデータを取出すものである。
【0032】請求項7の半導体記憶装置は、請求項4の
半導体記憶装置において、第3のデータ線対は、1対の
データ線対よりなり、第2のデータ線対に接続され、か
つ第2のデータ線対に第2の読出アンプを介して接続さ
れるものである。
【0033】請求項8の発明に係る半導体記憶装置は、
請求項4の半導体記憶装置において、第3のデータ線対
は、1対のデータ線対よりなり、第2のデータ線対に直
接的に接続されるものである。
【0034】請求項9の半導体記憶装置は、階層データ
線構造を有する半導体記憶装置であって、複数のメモリ
セルとセンスアンプとが接続される第1のデータ線対
と、第1のデータ線対に接続され、データの書込みに用
いられる第2のデータ線対と、第1のデータ線対に第1
の読出アンプを介して接続され、データの読出しに用い
られる第3のデータ線対と、第2のデータ線対に接続さ
れ、かつ第3のデータ線対に第2の読出アンプを介して
接続され、外部に対してデータの取込/取出を行なう第
4のデータ線対とを備えたものである。
【0035】請求項10の発明に係る半導体記憶装置
は、階層データ線構造を有する半導体記憶装置であっ
て、複数のメモリセルとセンスアンプとが接続される第
1のデータ線対と、第1のデータ線対に接続されて、デ
ータの書込/読出に用いられる第2のデータ線対と、第
2のデータ線対に接続され、かつ第2のデータ線対に対
して読出アンプを介して接続され、外部に対してデータ
の取込/取出を行なう第3のデータ線対とを備えたもの
である。
【0036】
【作用】請求項1の発明においては、第1のデータ線対
に接続される第1階層のデータ線および第2階層のデー
タ線がいずれも読出用と書込用に分離される。
【0037】請求項2の発明においては、請求項1の発
明の作用に加えて、第2および第3のデータ線対はメモ
リアレイの各々の間のスペースであって、ビット線対が
配置される方向のスペースに配置され、第4および第5
のデータ線対はメモリアレイの各々の間の他の方向のス
ペースに配置される。
【0038】請求項3の発明においては、請求項2の発
明の作用に加えて、第1の読出アンプはMOSトランジ
スタによって構成される。
【0039】請求項4の発明においては、読出/書込動
作に共用される第2のデータ線対が読出アンプを介して
第1のデータ線対に接続される。
【0040】請求項5の発明においては、請求項4の発
明の作用に加えて、読出アンプはMOSトランジスタで
構成される。
【0041】請求項6の発明においては、請求項4の発
明の作用に加えて、第3のデータ線対は読出用と書込用
とに分離され、第5のデータ線対は第2の読出アンプを
介して第2のデータ線対に接続される。
【0042】請求項7の発明においては、請求項4の発
明の作用に加えて、第3のデータ線対は読出/書込動作
に共用され、第2のデータ線対には第2のアンプを介し
て接続される。
【0043】請求項8の発明においては、請求項4の発
明の作用に加えて、第2および第3のデータ線対はいず
れも読出/書込動作に共用される。
【0044】請求項9の発明においては、第4のデータ
線対が第2の読出アンプを介して第2のデータ線対に接
続される。
【0045】請求項10の発明においては、第3のデー
タ線対が読出アンプを介して第2のデータ線対に接続さ
れる。
【0046】
【実施例】図1はこの発明の第1の実施例による階層デ
ータ線構造を示した回路図である。図においては、説明
を簡略化するために、1つのビット線対に基づいた階層
データ線構造のみが示されている。
【0047】図を参照して、ビット線対に接続するセグ
メントデータ線対およびセグメントデータ線に接続する
グローバルデータ線対ともに読出用と書込用とに分離さ
れて構成されている。以下具体的にその構成について説
明する。
【0048】ビット線対BLa,BLbは読出アンプR
ASとそのゲートに書込用コラムデコーダ信号YW が入
力されるNチャンネルMOSトランジスタT5a,T5
bとを通して書込用セグメントデータ線対SWBa,S
WBbにノードN12a,N12bにおいて接続され
る。
【0049】一方、読出アンプRASは、読出用セグメ
ントデータ線対の一方SRBaのノードN11aと接地
電位との間に直列に接続されたNチャンネルトランジス
タT3aおよびT4aと、読出用セグメントデータ線対
の他方SRBbのノードN11bと接地電位との間に直
列に接続されたNチャンネルMOSトランジスタT3b
およびT4bとから構成される。トランジスタT3aの
ゲートにはビット線BLaが、トランジスタT3bのゲ
ートにはビット線BLbが接続される。またトランジス
タT4a,T4bのゲートには読出用コラムデコーダ信
号YR が入力される。
【0050】読出用セグメントデータ線対SRBa,S
RBbは読出アンプRAGを介して読出用グローバルデ
ータ線対GRBa,GRBbのノードN14a,N14
bに接続される。読出アンプRAGは、ノードN14a
と接地電位との間に直列に接続されたNチャンネルMO
SトランジスタT12aおよびT11aと、ノードN1
4bと接地電位との間に直列に接続されたNチャンネル
MOSトランジスタT12bおよびT11bとから構成
される。トランジスタT12aのゲートには読出用セグ
メントデータ線SRBaが、トランジスタT12bのゲ
ートにはセグメントデータ線SRBbが各々接続され、
トランジスタT11aおよびT11bのゲートには読出
用サブメモリアレイ選択信号BSRが入力される。
【0051】書込用セグメントデータ線対SWBa,S
WBbの各々はそのゲートに書込用サブメモリアレイ選
択信号BSWが入力されるNチャンネルMOSトランジ
スタT6a,T6bの各々を介して書込用グローバルデ
ータ線対GWBa,GWBbの各々のノードN13a,
N13bに接続される。読出用グローバルデータ線対G
RBa,GRBbの各々のノードN15a,N15b
は、プリアンプPAに接続され、プリアンプPAの出力
がメインアンプMAを介して、出力端子Doutに接続
される。書込用グローバルデータ線対GWBa,GWB
bは、ライトバッファ71を介してDinバッファ73
に接続され、Dinバッファ73は入力端子Dinに接
続される。
【0052】次に、この階層データ線構造における読出
動作と書込動作について説明する。まず読出動作に入る
と、ビット線対のビット線BLaおよびBLbはセンス
アンプで増幅され、一方のビット線の電位が「H」レベ
ルとなり、もう一方のビット線の電位が「L」レベルと
なる。ここでは説明の便宜上、ビット線BLaが「H」
レベルとなり、ビット線BLbの電位が「L」レベルに
なると想定する。すると、ビット線BLaがそのゲート
に接続されるトランジスタT3aはオンとなるが、トラ
ンジスタT3bはオフ状態が維持される。一方、読出動
作に入ると、読出用のコラムデコーダ信号YR は「H」
レベルとなり、トランジスタT4aおよびT4bをいず
れもオンとする。したがって、ノードN11aと接地電
位との間に直列されているトランジスタT3aおよびT
4aはいずれもオンとなるため、所定電位に予めプリチ
ャージされていた読出用セグメントデータ線対の一方の
データ線SRBaの電位は降下するが、セグメントデー
タ線SRBbはプリチャージ電位を保ったままとなる。
【0053】このようにして、ビット線対に現れた電位
はセグメントデータ線対の電位変化として読出アンプR
ASによって増幅されることになる。セグメントデータ
線対SRBa,SRBbに現れた電位差は同様に読出ア
ンプRAGによって増幅されて読出用グローバルデータ
線対GRBa,GRBbに増幅される。この例では、ト
ランジスタT12aがオフとなり、トランジスタT12
bがオンとなるので、読出用グローバルデータ線GRB
aの電位が「H」レベルとなり、読出用グローバルデー
タ線GRBbの電位が「L」レベルとなる。このように
読出用グローバルデータ線対に現れた電位差は、プリア
ンプPAおよびメインアンプMAによってさらに増幅さ
れて端子Doutから外部へ取出される。
【0054】なお、読出アンプRAGは、読出用サブメ
モリアレイ選択信号BSRによって活性化される。なお
一般的に、読出用グローバルデータ線の負荷容量は、図
14に示されたレイアウトからも明らかなように読出用
セグメントデータ線より大きくなっている。
【0055】書込動作においては、端子Dinから入力
されたデータはDinバッファ73で一旦保持された後
ライトバッファ71に転送され、このデータは、書込用
グローバルデータ線対GWBa,GWBbの各々の電位
差として現れる。この例では説明を簡略化するために、
書込用グローバルデータ線GWBaの電位を「H」レベ
ルとし、書込用グローバルデータ線GWBbの電位を
「L」レベルと想定する。
【0056】書込動作に入ると、書込用サブメモリアレ
イ選択信号BSWが「H」レベルとなり、転送ゲートと
なるトランジスタT6aおよびT6bをオンとする。こ
れによって、書込用グローバルデータ線対に現れた電位
差は、書込用セグメントデータ線対SWBa,SWBb
の電位差として転送される。すなわちこの例において
は、書込用セグメントデータ線SWBaの電位が「H」
レベルとなり、書込用セグメントデータ線SWBbの電
位が「L」レベルとなる。この状態で、書込用コラムデ
コーダ信号YW は「H」レベルとなって、トランジスタ
T5aおよびT5bの各々をオンとして、書込用セグメ
ントデータ線対の電位はビット線対BLa,BLbに転
送され、書込動作が行なわれる。
【0057】このようにセグメントデータ線対およびグ
ローバルデータ線対の各々を書込用と読出用に分離する
ことによってデータ線の付加容量が低減され、データ線
のアクセスの高速化が実現される。また、この実施例に
おいては、ビット線対とセグメントデータ線対およびセ
グメントデータ線対とグローバルデータ線とにおいて読
出動作において、各々読出アンプを用いて間接的に接続
している。
【0058】この利点について図15で示した従来例の
構成と比較して説明する。図15の構成であれば、ビッ
ト線対はセグメントI/O線対に接続されており、この
セグメントI/O線対の各々はプリチャージ電位に保持
されている。したがって、読出動作に入って、ビット線
対BLa,BLbに現れた電位差はそのセンスアンプに
よって、所定のレベルまで徐々に増幅されることにな
る。したがって、この増幅途中で、読出用のコラムデコ
ーダ信号Yが選択されトランジスタT1aおよびT1b
がオンされると、場合によっては、低電位側へ増幅され
るビット線の一方に、セグメントI/O線のプリチャー
ジ電位が逆流することになり、読出動作のトラブルを生
じるおそれがある。したがって、図15の従来例では、
コラムデコーダ信号Yは、ビット線対の電位差が完全に
増幅された後にオンさせる必要があり、それだけ読出動
作が遅れることになる。
【0059】一方、図1で示したような読出アンプを介
してビット線対に現れた電位差を、セグメントデータ線
対に増幅する構造では、このような問題は生じない。す
なわち、ビット線対で増幅された電位は、トランジスタ
T3aまたはT3bを徐々に導通状態にしていき、これ
によって、セグメントデータ線対の電位が直ちに変化し
だすことになる。そして、ビット線対と読出用のセグメ
ントデータ線対とは直接に接続されていないため、従来
例のようにセグメントデータ線対の電位がビット線対に
逆流するおそれもなく、直ちに読出用コラムデコーダ信
号YR を「H」レベルにすることができ、その分読出動
作が迅速化されることになる。
【0060】次にこの実施例における構造において、読
出動作から書込動作に移った場合の利点について、図2
を参照しつつ、図15で示された従来例と比較して以下
説明する。
【0061】図2の(1)は、図1のこの発明の第1の
実施例における構造において、読出動作から書込動作に
移った場合の各信号の変化を示すタイミングチャートで
ある。
【0062】図を参照して、読出用コラムデコーダ信号
R が読出動作に入って「H」レベルとなると、先に説
明したように、読出用セグメントデータ線対SRBa,
SRBbのいずれか一方の電位がプリチャージ電位より
低下する。そして、これは読出しアンプRAGを介して
読出用グローバルデータ線の電位変化をもたらし、その
変化に基づいて、プリアンプPAでの増幅が行なわれ
る。読出用セグメントデータ線の増幅が行なわれ、読出
用コラムデコーダ信号YR が「L」レベルとなると、読
出用セグメントデータ線対および読出用グローバルデー
タ線対の電位の状態は、そのまま保持されることになる
ので、直ちに書込動作に移ることができる。すなわち読
出動作の開始から書込動作の開始に要する遷移時間Tc
は図のように表されることになる。
【0063】一方、図16に示された従来例において
は、読出動作が行なわれ、ビット線対の電位差は、グロ
ーバルI/O線対に現れてその電位差がプリアンプPA
によって増幅される状態となっても、書込動作を始める
ことはできない。すなわちプリアンプPAによって増幅
が完了し、読出されたデータがそこでラッチされた状態
となって初めて、グローバルI/O線対を書込動作のデ
ータ線として使用することが可能となるからである。し
たがって、書込用コラムデコーダ信号YW はプリアンプ
PAの動作が完了後に「H」レベルとなる。したがっ
て、図16の構造による遷移時間Tcは図のように表さ
れ、図1の実施例における遷移時間Tcと比べて長くな
ってしまう。
【0064】上記の説明では、読出動作から書込動作に
移った場合の遷移時間を問題としたが、読出動作から書
込動作に移る場合の遷移時間も同様に、第1の実施例に
よるものは、図16の従来例に比べるものに比べて短く
なることは明白である。
【0065】図3はこの発明の第1の実施例によるもの
であって、ビット線対およびセグメントデータ線対が複
数あるときの具体的な回路図であり、図4は図3におい
て与えられる信号の発生回路を示した図である。
【0066】図3を参照して、この例では、サブメモリ
アレイ201a−1に、2ビットのデータが格納される
構成を示している。すなわち、サブメモリアレイ201
a−1には、4対のビット線対BL1a,BL1b〜B
L4a,BL4bが設けられており、それぞれにワード
線WL0との交点によって定められるメモリセルMC1
〜MC4が設けられている。各ビット線対の端部には、
センスアンプSA1〜SA4が設けられ、さらに読出ア
ンプRAS1〜RAS4が設けられ、それぞれ2対の読
出用セグメントデータ線SRB1a,SRB1bおよび
SRB2a,SRB2bと、2対の書込用セグメントデ
ータ線対SWB1a,SWB1bおよびSWB2a,S
WB2bに接続されている。読出用セグメントデータ線
対と書込用セグメントデータ線対とは交互に配列され、
図14に示されているように、サブメモリアレイの各々
の縦方向(ビット線が配置される方向)のスペースにサ
ブメモリアレイと並行に配置される。ビット線対BL1
a,BL1bおよびBL2a,BL2bと、書込用セグ
メントデータ線との間に設けられている転送ゲートに
は、書込用コラムデータ信号YW 1が接続され、読出ア
ンプRAS1およびRAS2には読出用コラムデコーダ
信号YR 1が入力される。すなわちビット線対BL1
と、BL2とで2ビットのデータを格納することにな
る。同様に、2つのビット対BL3およびBL4の読出
しアンプRAS3およびRAS4にも、書込用コラムデ
コーダ信号YW 2および書込用コラムデコーダ信号YR
2がそれぞれ入力される。
【0067】読出用セグメントデータ線対SRB1a,
SRB1bおよびSRB2a,SRB2bは、それぞれ
読出アンプRAG1およびRAG2を介して2対の読出
用グローバルデータ線対GRB1a,GRB1bおよび
GRB2a,GRB2bの各々に接続される。なお読出
アンプRAG1およびRAG2には、読出用サブメモリ
アレイ選択信号BSRがそれぞれ入力される。一方、書
込用セグメントデータ線対SWB1a,SWB1bおよ
びSWB2a,SWB2bは、各々書込用のサブメモリ
アレイ選択信号BSWが入力されるトランジスタを介し
て2対の書込用グローバルデータ線対GWB1a,GW
B1bおよびGWB2a,GWB2bに接続される。な
お読出用のグローバルデータ線と書込用のグローバルデ
ータ線対とは交互に配列され、図14の従来例に示され
ているように、サブメモリアレイの各々の間の横方向
(ビット線が配置される方向と平行)のスペースに各サ
ブメモリアレイに沿って配列される。
【0068】この構成による読出および書込動作につい
ては、図1のデータ線構成において説明したものと同様
であるのでここでの説明は繰返さない。図4を参照し
て、コラムデコード信号を発生するコラムデコーダ20
5は、ナンド回路NA1〜NA4によって構成され、各
々には、コラムアドレスをプリデコードした信号Yi
(i=1〜4),Yj(j=1〜4),読出可能信号R
Eおよび書込読出信号WEが図のように入力されて構成
される。一方、サブメモリアレイ信号を発生する選択信
号発生回路1は、2つのナンド回路NA5およびNA6
によって構成され、それらには、ロウアドレスに対応す
る信号BSi(i=1〜n),読出可能信号REおよび
書込可能信号WEの各々が図のように入力される。信号
BSiは、具体的には図14において各サブメモリアレ
イに対応するロウデコーダを駆動する信号に対応させて
生成すれば良い。このようにして、図14において示さ
れているように、所望のサブメモリアレイに格納されて
いるデータが外部へ取出され、かつ外部から所望のサブ
メモリアレイの所望のメモリセルにデータを取込むこと
が可能となる。
【0069】図5はこの発明の第2の実施例による階層
データ線構造を示した図である。この第2の実施例によ
るデータ線構造は、先の第1の実施例による読出/書込
用のセグメントデータ線を、読出および書込用として共
用するセグメントデータ線対SI/Oa,SI/Obの
構造にした点である。その他の構造については、図1で
示されている先の第1の実施例と同様である。すなわ
ち、セグメントデータ線対のノードN16a,N16b
の各々は読出アンプRASに接続され、またノードN1
7a,N17bの各々は転送ゲートT5a,T5bの各
々を通してビット線対BLa,BLbに接続される。ま
た、セグメントデータ線対の端部は書込用グローバルデ
ータ線対GWBa,GWBbの各々のノードN19a,
N19bにおいて、転送ゲートT13a,T13bを介
して接続する。また、セグメントデータ線対のノードN
18a,N18bは、読出アンプRAGに各々接続され
る。
【0070】このようにセグメントデータ線対は読出お
よび書込動作に共用される1対のデータ線となっている
ため、このセグメントデータ線対を図1の読出用のセグ
メントデータ線対SRBa,SRBbと比較してみる
と、転送ゲートT5a,T5bおよびT13a,T13
bが付加された分だけ、セグメントデータ線の付加容量
が大きくなることになる。したがって、この実施例によ
るデータ線構造によれば、第1の実施例に比べてアクセ
ス時間の点で少し不利となる。しかしながら、セグメン
トデータ線対自身の負荷容量が元々小さい場合、すなわ
ちたとえばセグメントデータ線対の長さが短いような場
合には、アクセス時間に対する影響を小さくすることが
できる。そして、この場合、セグメントデータ線対が1
対であるため、第1の実施例に比べてセグメントデータ
線対の占有面積を減少することができる。
【0071】次に、この第2の実施例によるデータ線構
造における読出動作から書込動作への以降に要する遷移
時間について、図6のタイムチャートを参照しつつ第1
実施例と比較してみる。
【0072】第2の実施例によれば、セグメントデータ
線対が読出動作と書込動作において共用されている。そ
のため、ビット線対BLa,BLbに現れたデータが増
幅されてセグメントデータ線対SI/Oa,SI/Ob
に現れても、この電位差が、RAGを介してプリアンプ
PAによって増幅され、そこで増幅された電位差がラッ
チされるまで、セグメントデータ線対は読出したデータ
を保持しなければならない。そしてプリアンプPAによ
って増幅されてデータがラッチされた時点で、書込動作
に移ることができる。したがって、その遷移時間Tcは
図のような長さとなる。一方、先の第1の実施例では、
ビット線対BLa,BLbのデータが読出アンプRAS
によって増幅されて、読出用セグメントデータ線対SR
Ba,SRBbに現れてデータがラッチされた時点で、
読出動作から書込動作に移ることができる。したがっ
て、第1の実施例に比べて第2の実施例による遷移時間
は若干長くなることになる。しかし、従来例として示し
た図16における遷移時間(図2の(2)参照)に比べ
た場合は、この第2の実施例における遷移時間は従来例
に比べてより短くなることになる。
【0073】図7はこの発明の第3の実施例による階層
データ線構造を示した図である。この実施例は、第1の
実施例において、書込用と読出用の2対のグローバルデ
ータ線の構造を、読出および書込用として共用のグロー
バルデータ線対にした点である。その他の構造について
は、第1の実施例と同様である。すなわち、グローバル
データ線対GI/Oa,GI/Obの各々には、ノード
N8a,N8bにおいて、書込用セグメントデータ線対
SWBa,SWBbの各々が接続され、またノードN9
a,N9bの各々には、読出用セグメントSRBa,S
RBbの各々が読出アンプRAGを介して接続される。
また、読出用のプリアンプPAおよび書込用のライトバ
ッファ71も、グローバルデータ線対に各々接続されて
いる。
【0074】この構造は、グローバルデータ線対GI/
Oa,GI/Obを、第1の実施例における読出用グロ
ーバルデータ線対GRBa,GRBbのデータ線として
見た場合、ライトバッファ71が付加された分だけ、グ
ローバルデータ線対としての負荷容量が第1の実施例よ
り増加したことになる。したがって、動作の点で、第1
の実施例と比べてアクセス時間の点で少し不利となり、
また読出動作と書込動作に移る遷移時間も第1の実施例
に比べて大きくなることになる。しかし、グローバルデ
ータ線対が短い場合のように、グローバルデータ線対自
身の負荷容量が元々小さい場合には、アクセス時間に対
する影響を小さくすることができる。この場合、グロー
バルデータ線対の本数は、第1の実施例に比べて半分と
なるため、グローバルデータ線対による占有面積を減少
することができる。
【0075】図8はこの発明の第4の実施例による階層
データ線構造を示す図である。この実施例は、第1の実
施例における、セグメントデータ線対およびグローバル
データ線対を、読出および書込動作に共用する共用のセ
グメントデータ線対SI/Oa,SI/Obおよびグロ
ーバルデータ線対GI/Oa,GI/Obの構成に代え
たものである。この構成によると、先の実施例でも述べ
たように、セグメントデータ線対とグローバルデータ線
対の負荷容量が、第1の実施例による負荷容量に比べ
て、大きくなるため、読出および書込動作におけるアク
セス時間の点で少し不利となり、また読出動作から書込
動作に移るのに要する遷移時間が大きくなることにな
る。しかし、セグメントデータ線対が短いような場合で
セグメントデータ線対自身の負荷容量が元々小さい場合
や、グローバルデータ線対が短い場合のように、グロー
バルデータ線対自身の負荷容量が元々小さい場合には、
アクセス時間に対する影響は小さくなることになる。こ
の場合、セグメントデータ線対と、グローバルデータ線
対の所要本数は、第1の実施例によるものに比べて半数
にできるため、セグメントデータ線対およびグローバル
データ線対による占有面積を減少させることができる。
【0076】図9はこの発明の第5の実施例による階層
データ線構造を示した図である。この実施例は、図8で
示された第4の実施例と比較して、読出アンプRASを
削除した構成である。すなわち、ビット線対BLa,B
Lbの各々は、転送ゲートT1a,T1bを介して読出
および書込用に共用のセグメントデータ線対SI/O
a,SI/Obの各々にノードN3a,N3bにおいて
接続されている。この実施例では、読出アンプを設けて
いないため、ビット線対に現れたデータに基づいた、セ
グメントデータ線対の増幅が遅れることになるが、セグ
メントデータ線対の負荷容量が第4の実施例に比べて小
さくなり、また読出アンプRASが設けられていない分
だけでセグメントデータ線対に係る占有面積を減少する
ことができる。
【0077】図10はこの発明の第6の実施例による階
層データ線構造を示した図である。この実施例は、図4
で示された従来例における、セグメントデータ線対を、
読出および書込に共用するセグメントデータ線対SI/
Oa,SI/Obの構成に代えたものである。この構成
は、図4の従来例に比べて、セグメントデータ線対の負
荷容量が大きくなるため、読出および書込動作における
アクセス時間の点で不利となり、また読出動作から書込
動作へ移行するのに要する遷移時間が図4の従来例に比
べて大きくなることになる。しかし、セグメントデータ
線対が短い場合などのように、セグメントデータ線自身
の負荷容量が元々小さい場合は、このアクセス時間に対
する影響を小さくすることができる。この場合、セグメ
ントデータ線対の本数は図4の従来例に比べて半数にで
きるため、セグメントデータ線に係る占有面積を減少さ
せることができる。
【0078】なお、上記の第2の実施例から第6の実施
例においては、第1の実施例の図1に対応した、1対の
ビット線対を基にした構成を示した。しかし、これらの
実施例においては、第1の実施例における図3および図
4の構造を基本的に適用できるものであり、各種の制御
信号の発生回路も、第1の実施例による考え方を基にし
て構成することができる。
【0079】
【発明の効果】請求項1の発明は以上説明したとおり、
第1のデータ線対に接続される第1階層のデータ線およ
び第2階層のデータ線とがいずれも読出用と書込用に分
離されるので、読出動作と書込動作との切換えに必要な
遷移時間が短縮される。
【0080】請求項2の発明は以上説明したとおり、請
求項1の発明の効果に加えて、第2および第3のデータ
線対は、サブメモリアレイの各々の間のスペースであっ
て、ビット線対が配置される方向のスペースに配置さ
れ、第4および第5のデータ線対はメモリアレイの各々
の間の他方向のスペースに配置されるので、メモリアレ
イの全体的な占有面積を減少させ効率的な配置となる。
【0081】請求項3の発明は以上説明したとおり、請
求項2の発明の効果に加えて、第1の読出アンプはMO
Sトランジスタによって構成されるので、第3のデータ
線対の読出時のアクセスが高速化される。
【0082】請求項4の発明は以上説明したとおり、読
出/書込動作に共用される第2のデータ線対が読出アン
プを介して第1のデータ線対に接続されるので、第2の
データ線対の占有面積が減少する。
【0083】請求項5の発明は以上説明したとおり、請
求項4の発明の効果に加えて、読出アンプはMOSトラ
ンジスタで構成されるので、読出時のアクセスが高速化
される。
【0084】請求項6の発明は以上説明したとおり、請
求項4の発明の効果に加えて、第3のデータ線対は読出
用と書込用とに分離され、第5のデータ線対は第2の読
出アンプを介して第2のデータ線対に接続されるので、
読出動作と書込動作との切換えに必要な遷移時間が短縮
される。
【0085】請求項7の発明は以上説明したとおり、請
求項4の発明の効果に加えて、第3のデータ線対は読出
/書込動作に共用され、第2のデータ線対には第2のア
ンプを介して接続されるので、読出時のアクセスが高速
化され、かつ第3のデータ線対の占有面積が減少する。
【0086】請求項8の発明は以上説明したとおり、請
求項4の発明の効果に加えて、第2および第3のデータ
線対はいずれも読出/書込動作に共用されるので、階層
データ線の占有面積が減少する。
【0087】請求項9の発明は以上説明したとおり、第
4のデータ線対が第2の読出アンプを介して第2のデー
タ線対に接続されるので、第2のデータ線対の付加容量
が低減する。
【0088】請求項10の発明は以上説明したとおり、
第3のデータ線対が読出アンプを介して第2のデータ線
対に接続されるので、第2のデータ線対の付加容量が低
減される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1の実施例による階層データ線
構造を示した図である。
【図2】 図1の実施例における遷移時間を、図16の
従来例による階層データ線構造における遷移時間とを比
較するためのタイミングチャートである。
【図3】 この発明の第1の実施例において、ビット線
対およびセグメントデータ線対を複数としたときの回路
構成を示した図である。
【図4】 図3における回路図で示されている各制御信
号の発生回路を示した図である。
【図5】 この発明の第2の実施例による階層データ線
構造を示した図である。
【図6】 この発明の第2の実施例による階層データ線
構造における遷移時間を説明するためのタイミングチャ
ートである。
【図7】 この発明の第3の実施例による階層データ線
構造を示した図である。
【図8】 この発明の第4の実施例による階層データ線
構造を示した図である。
【図9】 この発明の第5の実施例による階層データ線
構造を示した図である。
【図10】 この発明の第6の実施例による階層データ
線構造を示した図である。
【図11】 一般のDRAMの構成を示したブロック図
である。
【図12】 一般のDRAMにおけるビット線対構造を
示した回路図である。
【図13】 図12に示された回路図の動作を説明する
ためのタイミングチャートである。
【図14】 従来のDRAMにおいて、メモリアレイが
複数のサブメモリアレイに分割された場合の構造を示し
た図である。
【図15】 従来の階層データ線構造の一例を示した図
である。
【図16】 従来の階層データ線構造の他の例を示した
図である。
【符号の説明】
BLa,BLb ビット線対、SWBa,SWBb 書
込用セグメントデータ線対、SRBa,SRBb 読出
用セグメントデータ線対、GWBa,GWBb書込用グ
ローバルデータ線対、GRBa,GRBb 読出用グロ
ーバルデータ線対、201 メモリアレイ、201a−
1〜201d−3 サブメモリアレイ、RAS 読出ア
ンプ、RAG 読出アンプ、T3a,T3b Nチャン
ネルMOSトランジスタ、SI/Oa,SI/Ob セ
グメントデータ線対、GI/Oa,GI/Ob グロー
バルデータ線対、なお、図において同一符号は、同一ま
たは相当部分を示す。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 階層データ線構造を有する半導体記憶装
    置であって、 複数のメモリセルとセンスアンプとが接続される第1の
    データ線対と、 前記第1のデータ線対に接続され、データの書込みに用
    いられる第2のデータ線対と、 前記第1のデータ線対に第1の読出アンプを介して接続
    され、データの読出しに用いられる第3のデータ線対
    と、 前記第2のデータ線対に接続され、外部からのデータを
    取込む第4のデータ線対と、 前記第3のデータ線対に第2の読出アンプを介して接続
    され、外部へデータを取出す第5のデータ線対とを備え
    た、半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記半導体記憶装置のメモリアレイは複
    数のサブメモリアレイからなり、前記メモリアレイの各
    々は所定間隔離されて格子状に配置され、 前記第1のデータ線対は、前記サブメモリアレイの各々
    に配置されるビット線対であり、 前記第2および第3のデータ線対は、前記サブメモリア
    レイの各々の間のスペースであって、前記ビット線対が
    配置される方向のスペースに配置され、 前記第4および第5のデータ線対は、前記サブメモリア
    レイの各々の間の他の方向のスペースに配置される、請
    求項1記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の読出アンプは、前記第3のデ
    ータ線対の各々のデータ線が、それらのソース/ドレイ
    ンに接続される2つのMOSトランジスタを含み、 前記MOSトランジスタの各々のゲートに前記第1のデ
    ータ線対の各々のデータ線が接続される、請求項2記載
    の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 階層データ線構造を有する半導体記憶装
    置であって、 複数のメモリセルとセンスアンプとが接続される第1の
    データ線対と、 前述第1のデータ線対に接続され、かつ前記第1のデー
    タ線対に読出アンプを介して接続され、データの書込/
    読出に用いられる第2のデータ線対と、 少なくとも1対のデータ線よりなり、前記第2のデータ
    線対に接続され、外部に対してデータの取込/取出を行
    なう第3のデータ線対とを備えた、半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記読出アンプは前記第2のデータ線対
    の各々のデータ線がそれらのソース/ドレインに接続さ
    れる2つのMOSトランジスタを含み、 前記MOSトランジスタの各々のゲートに前記第1のデ
    ータ線対の各々のデータ線が接続される、請求項4記載
    の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記第3のデータ線対は、前記第4のデ
    ータ線対と第5のデータ線対とからなり、 前記第4のデータ線対は、前記第2のデータ線対に接続
    され、外部からのデータを取込み、 前記第5のデータ線対は、第2の読出アンプを介して前
    記第2のデータ線対に接続され、外部へデータを取出
    す、請求項4記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記第3のデータ線対は、1対のデータ
    線対よりなって前記第2のデータ線対に接続され、かつ
    前記第2のデータ線対に第2の読出アンプを介して接続
    される、請求項4記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記第3のデータ線対は、1対のデータ
    線対よりなり、前記第2のデータ線対の直接的に接続さ
    れる、請求項4記載の半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 階層データ線構造を有する半導体記憶装
    置であって、 複数のメモリセルとセンスアンプとが接続される第1の
    データ線対と、 前記第1のデータ線対に接続され、データの書込みに用
    いられる第2のデータ線対と、 前記第1のデータ線対に第1の読出アンプを介して接続
    され、データの読出しに用いられる第3のデータ線対
    と、 前記第2のデータ線対に接続され、かつ前記第3のデー
    タ線対に第2の読出アンプを介して接続され、外部に対
    してデータの取込/取出を行なう第4のデータ線対とを
    備えた、半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 階層データ線構造を有する半導体記憶
    装置であって、 複数のメモリセルとセンスアンプとが接続される第1の
    データ線対と、 前記第1のデータ線対に接続され、データの書込/読出
    に用いられる第2のデータ線対と、 前記第2のデータ線対に接続され、かつ前記第2のデー
    タ線対に対して読出アンプを介して接続され、外部に対
    してデータの取込/取出を行なう第3のデータ線対とを
    備えた、半導体記憶装置。
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