JPH0730233U - Ｉｃテストハンドラ - Google Patents

Ｉｃテストハンドラ

Info

Publication number
JPH0730233U
JPH0730233U JP6497893U JP6497893U JPH0730233U JP H0730233 U JPH0730233 U JP H0730233U JP 6497893 U JP6497893 U JP 6497893U JP 6497893 U JP6497893 U JP 6497893U JP H0730233 U JPH0730233 U JP H0730233U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tray
elevator
height
under test
device under
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6497893U
Other languages
English (en)
Other versions
JP2598318Y2 (ja
Inventor
克彦 鈴木
敏之 清川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP1993064978U priority Critical patent/JP2598318Y2/ja
Publication of JPH0730233U publication Critical patent/JPH0730233U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2598318Y2 publication Critical patent/JP2598318Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • De-Stacking Of Articles (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、トレイ対応のＩＣテストハンドラ
において、機械的な交換部分をなくし、ローダ部、アン
ローダ部を任意に設定できるようにすることを目的とし
ている。 【構成】 複数のトレイエレベータのチェンジキット１
０、トレイ上面検出センサ２０の高さを一定に固定し、
エレベータの高さをエレベータ上下機構２６によって上
下し、被試験デバイス２２を吸着、載置できるように設
定する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、トレイ対応のハンドラにおいて、トレイエレベータの高さ設定がで きるＩＣテストハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
トレイ２１内の被試験デバイス２２をロード、アンロードする従来の機構を図 ３に示す。トレイ２１には被試験デバイス２２を搭載するための溝があり、この 溝の被試験デバイス２２を吸着、載置するためにデバイス吸着部が上下する。デ バイス吸着部１３にはチェンジキット１０が取付られ、デバイス吸着部１３が下 降した時、吸着パッド１２が被試験デバイス２２に到達するように設定されてい る。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
トレイ上面２１ａは、トレイ上面検出センサ２０により検出され、センサの高 さに位置決めされる。一方、デバイス吸着部１３はシリンダにより上下し、一定 の高さに下降する。この時、チェンジキット取付面１１とトレイ上面２１ａの距 離は一定になるようトレイ上面検出センサ２０が固定されている。このため、ト レイの寸法が異なったり、被試験デバイス厚が異なったりした場合、チェンジキ ット１０の寸法を変える必要がある。つまり、チェンジキット１０を用意し、ト レイの違い、被試験デバイス２２の違いを、チェンジキットの交換で対応するた め、不便であった。図３でチェンジキット１０の長さＢは、Ｂ＝Ａ（寸法固定） ＋Ｔ−ｔで表すことができる。 また、エレベータのローダ部２３、アンローダ部２４のトレイ上面２１ａは長 さｃだけ高さの位置に差があり、固定されている。このため、ローダ部、アンロ ーダ部を任意のトレイに設定する事ができなかった。 本考案は、機械的な交換部分をなくし、ローダ部、アンローダ部を任意に設定 できるようにすることを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本考案では、複数のトレイエレベータのチェンジキット１０、トレイ上面検出 センサ２０の高さを一定に固定し、エレベータの高さをエレベータ上下機構２６ によって上下し、被試験デバイス２２を吸着、載置できるように設定している。
【０００５】
【作用】
エレベータ高さの上下機構により、被試験素子を確実に吸着できる高さに微調 整でき、自動化が可能になる。
【０００６】
【実施例】
本考案の実施例を図１によって説明する。図１に示すトレイエレベータは複数 個あり同様の機構になっている。全てのトレイエレベータの基準位置（トレイ上 面検出センサ２０）は同じ高さにセットされる。そして、トレイエレベータ毎に 次の３段階のステップでエレベータ上下機構により位置補正を行う。 基準位置設定後、ローダ用トレイエレベータをｃだけ上昇させる。 被試験デバイスの厚みとトレイ上面の差（Ｔ−ｔ）を補正する。 トレイ上面検出センサのずれ等の微調整を行う。 以上の動作によって、ローダ部、アンローダ部を任意に設定でき、トレイの寸 法が異なったり、被試験デバイス厚が異なったりした場合でも従来のチェンジキ ット部を交換することなく動作させることができる。
【０００７】
【考案の効果】
エレベータ高さの上下機構により、ローダ部、アンローダ部の設定、被試験デ バイスの厚みとトレイ上面の差、機械的誤差の微調整を部品交換無しで実行でき 自動化が可能になり、効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案のトレイエレベータ側面図である。
【図２】本考案のエレベータ高さ補正の流れ図である。
【図３】従来のトレイ、デバイス吸着部の横断面図であ
る。
【図４】ローダ部とアンローダ部の関係を示す横断面図
である。
【符号の説明】
１０ チェンジキット １１ チェンジキット取付面 １２ 吸着パッド １３ デバイス吸着部 ２０ トレイ上面検出センサ ２１ トレイ ２１ａ トレイ上面 ２２ 被試験デバイス ２３ ローダ部 ２４ アンローダ部 ２５ エレベータベース ２６ エレベータ上下機構

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 トレイ対応のＩＣテストハンドラにおい
    て、 高さを一定に固定したチェンジキット（１０）を設け、 トレイ上面検出センサ（２０）を設け、 エレベータの高さを上下するエレベータ上下機構（２
    ６）を設けて、 吸着パッド（１２）が被試験デバイス（２２）を吸着、
    載置することを特徴とするＩＣテストハンドラ。
JP1993064978U 1993-11-09 1993-11-09 Ｉｃテストハンドラ Expired - Fee Related JP2598318Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1993064978U JP2598318Y2 (ja) 1993-11-09 1993-11-09 Ｉｃテストハンドラ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1993064978U JP2598318Y2 (ja) 1993-11-09 1993-11-09 Ｉｃテストハンドラ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0730233U true JPH0730233U (ja) 1995-06-06
JP2598318Y2 JP2598318Y2 (ja) 1999-08-09

Family

ID=13273657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1993064978U Expired - Fee Related JP2598318Y2 (ja) 1993-11-09 1993-11-09 Ｉｃテストハンドラ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2598318Y2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58129699U (ja) * 1982-02-25 1983-09-02 日本電気株式会社 Ｉｃ収納装置
JPH04122864A (ja) * 1990-09-14 1992-04-23 Fujitsu Miyagi Electron:Kk 半導体試験装置のハンドラー

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58129699U (ja) * 1982-02-25 1983-09-02 日本電気株式会社 Ｉｃ収納装置
JPH04122864A (ja) * 1990-09-14 1992-04-23 Fujitsu Miyagi Electron:Kk 半導体試験装置のハンドラー

Also Published As

Publication number Publication date
JP2598318Y2 (ja) 1999-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002057498A (ja) 配線板作業システム
JPH0730233U (ja) Ｉｃテストハンドラ
JP6348832B2 (ja) 部品実装装置、表面実装機、及び部品厚み検出方法
JPH0526284U (ja) 吸着装置
CN113347868B (zh) 用于抓持电子元件的拾取装置
JP2018072615A (ja) 基板分断システム
WO2022153774A1 (ja) ウエーハ保持装置
JP2502958Y2 (ja) 吸着機構のトレ―吸着防止機構
JPH09252197A (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装方法
CN210763112U (zh) 晶片翻转转移装置
CN217728772U (zh) 一种托平翻转装置
JP2726002B2 (ja) 一枚取り装置
JPH10160554A (ja) 自動錠剤計量装置
JPWO2018051495A1 (ja) 基板矯正方法，基板矯正システム
JP3919330B2 (ja) 平面型画像表示装置のプレートの搬送方法、および平面型画像表示装置の組立方法
JPH061466A (ja) マテハンロボットのワーク取出し方法
JPH05304199A (ja) 吸着ヘッドの位置決め機構
TW202340741A (zh) 處置器
JP3977295B2 (ja) ディスク取り出し装置および方法
JPS6027610B2 (ja) 可撓性板状体の分離方法
JP2841855B2 (ja) 電子部品実装方法
JPH08295416A (ja) ワークのハンドリング装置
JPS6216431Y2 (ja)
JP2022109874A (ja) ウエーハ保持装置
JPH05275506A (ja) 半導体装置の検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990525

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees