TW202340741A - 處置器 - Google Patents

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南韓商泰克元有限公司
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Abstract

本揭示係有關於一種處置器。詳而言之，依據本揭示之一實施例，提供一處置器，其包括：一設置板模組，其包括用於支持一訂製托盤之一設置板；一支持框架，其具有用於暴露被支持在該設置板上之該訂製托盤之一上表面的至少一部份的一開孔；及一基板，其具有與該開孔連通之一開口，其中該設置板係組配成相對該基板環繞朝一上下方向延伸之一板旋轉軸旋轉且上升或下降。

Description

處置器
本揭示係有關於處置器。
通常，用於半導體裝置之一測試處置器(以下稱為「處置器」)係支援透過一預定製程製成之半導體裝置的測試、依據測試結果將電子組件分成不同等級及將該等電子組件裝載在訂製托盤上的一設備。該等訂製托盤係由想要測試電子組件之客戶公司提供。
該處置器係製造成適用於操作裝載有電子組件之該等訂製托盤。例如，該等處置器係製造成可運送裝載在相同尺寸之訂製托盤上的電子組件，且端子全部定向於一相同方向。
同時，由於近期有關半導體技術之進步，欲裝載在訂製托盤上之電子組件的形狀及配置多樣化。例如，近期製成之電子組件具有各種寬度及長度，且其端子係定向於各種方向，例如一水平方向或一縱向。隨著欲裝載在訂製托盤上之電子組件的形狀及配置變得多樣化，訂製托盤具有各種形狀。
習知處置器需要客戶公司提供適合不同形狀及配置之電子組件的各種形狀之訂製托盤，以便重新製造並裝入這些不同形狀之訂製托盤。重新製造處置器以配合訂製托盤之改變會在製造時間及成本方面造成經濟損失。
本揭示之一實施例係係鑒於上述背景而發明，且提供即使訂製托盤之形狀改變亦不需要重新製造的一處置器。
依據本揭示之一態樣，提供一種處置器，其包括：一設置板模組，其包括用於支持一訂製托盤之一設置板；一支持框架，其具有用於暴露被支持在該設置板上之該訂製托盤之一上表面的至少一部份的一開孔；及一基板，其具有與該開孔連通之一開口，其中該設置板係組配成相對該基板環繞朝一上下方向延伸之一板旋轉軸旋轉且上升或下降。
該開孔可具有比寬度大之一長度，且該支持框架可分離地連接在該基板之一上側，且當由該基板移除時，該支持框架可放置成一目標方位狀態，其中該開孔之一縱向平行於或偏離與一水平方向平行的一方向。
該處置器可更包括：一固結件，用於將該支持框架選擇地固結在該基板上使得該支持框架放置成該支持框架固結在該基板上之一固結狀態或該支持框架由該基板解脫之一解脫狀態，其中，當放置成該解脫狀態時，該支持框架放置成該支持框架可環繞一支持框架旋轉軸相對該基板旋轉的一狀態，且該支持框架旋轉軸通過該支持框架之一中心並朝該上下方向延伸。
該板旋轉軸可為通過該支持框架之一中心的一假想軸。
該設置板模組可更包括：一旋轉部份，其組配成固定及支持該設置板且相對該基板環繞該板旋轉軸旋轉；及一致動器，其設置成使得其一端與該板旋轉軸分開一預定距離且連接在該設置板上以相對該設置板環繞朝該上下方向延伸之一旋轉軸旋轉，其中該致動器可包括：一壓缸；及一前進及後退軸桿，其組配成可相對該壓缸向前及向後水平地移動，且其中該旋轉部份藉由該前進及後退軸桿之一前進及後退動作來旋轉。
當該前進及後退軸桿相對該壓缸向前移動至最大程度時該設置板之方位可與當該前進及後退軸桿相對該壓缸向後移動至最大程度時該設置板之方位垂直。
該處置器可包括：一框架，其包括一固定框架及一移動框架，該移動框架係組配成可朝該上下方向相對該固定框架移動；及一鉸鏈，其固定在該移動框架之一側且旋轉地連接在該致動器之一端之相對側的該致動器之另一端，其中該致動器可組配成環繞一鉸鏈旋轉軸旋轉，該鉸鏈旋轉軸係由該鉸鏈提供並朝該上下方向延伸。
依據本揭示之實施例的處置器即使該訂製托盤之形狀改變亦不需要重新製造，因此減少需要用於製造該處置器之時間及成本。
以下，參照圖式詳細地說明用於實施本揭示之一精神的特定實施例。
說明本揭示時，可省略習知組態或功能之詳細說明來闡明本揭示。
當提及一元件與另一元件「連接」、被另一元件「支持」、「前進」至另一元件、或由另一元件「移除」時，應了解的是該元件可直接地與另一元件連接、被另一元件支持、前進至另一元件或由另一元件後退，但其他元件可存在中間。
在本揭示中使用之用語只是用於說明特定實施例，且非意圖限制本揭示。除非上下文另外清楚地表示，否則單數表示包括複數表示。
包括如第一及第二等序數之用語可用於說明各種元件，但該等對應元件不限於這些用語。這些用語只是用於區分一元件與另一元件。
在本說明書中，應了解的是如「包括」等用語係意圖表示存在說明書中揭露之某些形貌體、區域、整數、步驟、動作、元件、組合及/或其群組，且非意圖排除一或多個其他某些形貌體、區域、整數、步驟、動作、元件、組合及/或其群組可存在或可添加之可能性。
此外，在本揭示中，應注意的是如上側、下側及上表面等表示係依據圖之顯示來說明，但若對應物體之方向改變則可修改。
以下，參照圖式說明依據本發明之一實施例之一處置器1的一特定組態。
以下，請參閱圖1及2，依據本發明之實施例的處置器1可測試透過一製程製成之電子組件D、依據測試結果將它們分成不同等級及將它們裝載在訂製托盤CT上。此外，該處置器1可分離地連接在一測試器(未圖示)上。該處置器1可包括一設置板模組10、一基板20、一支持框架30、一感測器單元40、一拾取器手具50、一堆疊器60、一固結件(未圖示)、一馬達(未圖示)、一傳送器(未圖示)及一控制器(未圖示)。
請進一步參閱圖3，該設置板模組10可傳送一訂製托盤CT使得該訂製托盤CT放置在一裝載位置及一卸載位置中。例如，該設置板模組10可使該訂製托盤CT上升或下降或使它沿著一水平方向移動。該設置板模組10可包括一設置板100、一固定基座200、一致動器300、一旋轉部份400、一鉸鏈500、一框架600、一止擋器700、一旋轉感測部份800及一上升及下降軸桿900。
該設置板100可支持該訂製托盤CT。該設置板100可被支持在該框架600上以便相對該基板20上升或下降。例如，當支持該訂製托盤CT時，該設置板100可與該訂製托盤CT一起上升或下降。該設置板100可組配成相對該基板20環繞朝一上下方向延伸之一板旋轉軸L旋轉。例如，該板旋轉軸L可朝該上下方向延伸且可為通過下列中之一或多者的一假想直線：該設置板100之中心、被支持在該設置板100上之訂製托盤CT的中心、該旋轉部份400之中心及該支持框架30之中心。該設置板100可設置成與地面平行。該設置板100可設置成面對該基板20及該支持框架30中之一或多者。此外，該設置板100之一下表面可連接在該旋轉部份400之一上端上。
該固定基座200可設置成與該旋轉部份400之一下端相鄰且固定在稍後所述之一上升及下降框架620上。該固定基座200可組配成相對該基板20上升或下降，且可在固定在該上升及下降框架620上而不相對該基板20旋轉。該固定基座200可透過一軸承連接在該旋轉部份400上。
請進一步參閱圖4至6，該致動器300可使該設置板100相對該上升及下降框架620旋轉。該致動器300可旋轉地連接在該設置板100上使得其一端與該設置板100之中心分開一預定距離。例如，一軸承可設置在該致動器300之一端上。藉由該軸承，該致動器300之一端可組配成相對一預定旋轉中心旋轉，該預定旋轉中心朝該上下方向延伸且通過該致動器300之一端。
該致動器300之另一端可旋轉地連接在該鉸鏈500上。例如，該致動器300之另一端可組配成環繞朝該上下方向且由該鉸鏈500提供之一鉸鏈旋轉軸R旋轉。該致動器300之另一端可為該致動器300之一端的相對端。該致動器300可設置在該上升及下降框架620上方。該致動器300可包括一壓缸320及一前進及後退軸桿310。
該壓缸320可提供驅動力至該前進及後退軸桿310。例如，該壓缸320可為可藉由空氣壓力提供驅動力至該前進及後退軸桿310的一氣壓缸。
該前進及後退軸桿310可藉由該壓缸320提供之驅動力相對該壓缸320向前或向後(後退)水平地移動。例如，該前進及後退軸桿320之一端可相對該壓缸320移動以便遠離或接近該壓缸320。該前進及後退軸桿310之一端可連接在設置在該致動器300之一端上的軸承上。
該旋轉部份400及該設置板100可藉由前進及後退軸桿310之前進及後退動作而旋轉。例如，當該前進及後退軸桿310相對該壓缸320向前移動至最大程度時該設置板100可定向成與當該前進及後退軸桿310相對該壓缸320向後移動至最大程度時該設置板100的方位垂直。更詳而言之，當該前進及後退軸桿310之一端最遠離該壓缸320時該設置板100的方位可與當該前進及後退軸桿310之一端最接近該壓缸320時該設置板100的方位垂直。換言之，當該前進及後退軸桿310之一端由最遠離該壓缸320移動至最接近該壓缸320時，該設置板100可旋轉90°。
該旋轉部份400可組配成環繞該板旋轉軸L旋轉。該旋轉部份400之旋轉角度可由該前進及後退軸桿310之前進及後退距離來決定。該前進及後退距離可稱為該前進及後退軸桿310之一端相對該壓缸320之一相對移動距離。該旋轉部份400可旋轉之旋轉角度可為例如90°。該旋轉部份400可透過一軸承連接在該固定基座200上。該設置板100可被固定且被支持在該旋轉部份400之一上端上。例如，該旋轉部份400及固定在該旋轉部份400之上端上的設置板100可環繞該板旋轉軸L相對該固定基座200旋轉。
該鉸鏈500可對該致動器300提供該鉸鏈旋轉軸R。該鉸鏈500可固定在該上升及下降框架620之一側。例如，該鉸鏈500可固定在該上升及下降框架620之前方。該用語「前方」可定義為該上升及下降框架620面對該固定框架610之方向，且該用語「後方」可定義為該前方之相反方向。更詳而言之，該鉸鏈500可定位在相對該上升及下降框架620之中心左方或右方一預定距離。
該框架600可包括在相對該基板20之一固定位置中的固定框架610及組配成相對該固定框架610垂直地移動(上升或下降)的該上升及下降框架620。該固定框架610可支持該上升及下降框架620。該固定框架610可朝該上下方向延伸。
該上升及下降框架620可組配成相對該基板20上升或下降。該上升及下降框架620可支持該設置板100、該固定基座200、該致動器300、該旋轉部份400、該鉸鏈500、該止擋器700及該上升及下降軸桿900。換言之，該上升及下降框架620可在支持該設置板100、該固定基座200、該致動器300、該旋轉部份400、該鉸鏈500、該止擋器700及該上升及下降軸桿900時與它們一起上升或下降。該上升及下降框架620可朝一前後方向延伸。此外，該上升及下降框架620可設置成面對該基板20。
該止擋器700可防止該設置板100朝一預設方向以外之一方向旋轉超過一預定旋轉角度。可設置複數止擋器700。該等複數止擋器700中之一止擋器可設置在該上升及下降框架620之後方，且另一止擋器可設置在該固定基座200上。例如，當該設置板100尚未旋轉時，設置在該固定基座200上之止擋器700可防止該設置板100朝一預定旋轉方向之相反方向旋轉。當接觸形成在該設置板100上之一止擋凹部時，設置在該固定基座200上之止擋器700可防止該設置板100朝一預設旋轉方向之相反方向旋轉。
此外，當設置在該上升及下降框架620後方時，該止擋器700可防止該設置板100朝一預設旋轉方向以外之一方向旋轉超過一預定旋轉角度。當接觸由該設置板100之下表面突起之一止擋突起時，該止擋器700可防止該設置板100旋轉超過一預定旋轉角度。
該旋轉感測部份800可感測該設置板100是否旋轉。該旋轉感測部份800可包括一感測器810及一感測凸部820。該感測器810可感測該設置板100是否藉由該感測凸部820旋轉。該感測器810可包括例如一紅外線感測器、一超音波感測器及一接觸感測器等。該感測器810可設置成與該旋轉部份400之一外周緣相鄰。可設置複數感測器810。例如，通過該等複數感測器810中之一感測器及該旋轉部份400之中心的一假想第一直線及通過該等複數感測器810中之另一感測器及該旋轉部份400之中心的一假想第二直線可互相垂直。該第一直線與該第二直線間之角度可為該設置板100之旋轉角度。該等複數感測器810可設置在該固定基座200上。
該感測凸部820可連接在該旋轉部份400之外周緣上。該感測凸部820可被該感測器810感測。該感測凸部820環繞該板旋轉軸L之旋轉角度可為該設置板100之旋轉角度。
該上升及下降軸桿900可引導該上升及下降框架620之上升及下降移動。該上升及下降軸桿900可朝該上下方向延伸且被收納在該固定框架610內。
該基板20可提供用於裝載或卸載電子組件D之一空間。該基板20可形成有一開口20a。該開口20a可為例如垂直地穿過該基板20形成之一貫穿孔。複數開口20a可穿過該基板20形成。例如，該等開口20a中之一開口可為用於裝載一電子組件D之一空間，且它們的另一開口可為用於卸載一電子組件D之一空間。該基板20可朝一方向延伸。該一方向可為與該前後方向及該上下方向垂直之一方向，且可為例如一左右方向。
該支持框架30可支持被支持在該設置板100上之一訂製托盤CT的一邊緣。例如，當該設置板100完全地上升時，該支持框架30可藉由加壓被支持在該設置板100上之訂製托盤CT的邊緣來防止該設置板100進一步上升。該支持框架30可分離地連接在該基板20上。此外，該支持框架30可面對該基板20。該支持框架30可形成有一開孔30a，該開孔係用於暴露被支持在該設置板100上之訂製托盤CT之一上表面的至少一部份。該開孔30a可為例如垂直地穿過該支持框架30形成之一貫穿孔。
該開孔30a可與該開口20a連通。例如，該開孔30a可設置在該開口20a上方。此外，該開孔30a之尺寸可比該開口20a小。例如，當該開孔30a及該開口20a垂直地互相投影時形成的該開孔與該開口之一重疊區域的尺寸可比該開口20a小且與該開孔30a的尺寸相同。換言之，該重疊區域之一水平面積可比該開口20a之一水平面積小，且該重疊區域可包含在該開口20a中。該開孔30a可具有一預定寬度及比該預定寬度大之一預定長度。取決於該支持框架30如何設置，該開孔30a之一縱向可與該基板20延伸之一方向平行或垂直。此外，該開孔30a之一寬方向可偏離該縱向。該開孔30a可具有例如一多邊形管柱形狀。例如，當由該支持框架30上方觀察該支持框架30時，該開孔30a之形狀可包括一矩形、一正方形、兩相鄰邊緣形成一銳角或鈍角之一形狀等。若該開孔30a具有一矩形形狀，當由該開孔30a上方觀察該支持框架30時，該矩形之較長邊緣延伸之一方向可定義為一縱向，且其較短邊緣延伸之一方向可定義為一寬方向。在這情形中，該縱向及該寬方向可互相垂直。但是，本揭示不限於此，且除非二相鄰邊緣互相垂直，該寬方向可偏離該縱向且未與該縱向垂直。
當該支持框架30由該基板20移除時，該支持框架30可放置成該開孔30a之縱向與一方向平行或偏離一方向的一目標方位狀態。該一方向可為例如與一水平方向平行之一方向。該目標方位狀態係該支持框架30定向成使得該開孔30a對應該訂製托盤CT之形狀的一狀態。例如，當該支持框架30由該基板20移除時，該支持框架30可環繞該板旋轉軸L旋轉一預定角度且放置成一目標方位狀態，並接著連接在該基板20上。此外，由該基板20移除該支持框架30可表示該支持框架30與該設置板模組10及該基板20分開且暴露於外側。當該訂製托盤CT之形狀改變時，該支持框架30可由該基板20移除且放置成該目標方位狀態，或可由該基板20移除且用對應該訂製托盤CT之形狀的一支持框架30更換。
該支持框架30可具有供使用者握持之一握把。例如，該支持框架30可被該使用者旋轉。但是，本揭示之精神不限於此，且就另一例子而言，該支持框架30可被一固結件、一馬達及該控制器自動地旋轉。
該固結件可將該支持框架30選擇地固結在該基板20上。透過該固結件，該支持框架30可放置成該支持框架30固結在該基板20上之一固結狀態或該支持框架30由該基板20解脫之一解脫狀態。此外，當放置成該解脫狀態時，該支持框架30可放置成該支持框架30可環繞一支持框架旋轉軸相對該基板20旋轉的一狀態。該支持框架旋轉軸可為通過該支持框架30之中心且朝該上下方向延伸的一假想線。
該固結件可被固定且被支持在該基板20上。該固結件可組配成結合該支持框架30。例如，該支持框架30可形成有可結合該固結件之一凹部或凸部。當該固結件及該支持框架30互相結合時，該支持框架30可放置成該固結狀態。此外，當該固結件及該支持框架30分離時，該支持框架30可放置成一解脫狀態。另外，當該支持框架30放置成該解脫狀態時，該支持框架30可放置成該支持框架30由該基板20移除以便與該基板20分開一預定距離的一狀態。該固結件可被該控制器控制。
該馬達可連接在該支持框架30上，藉此使該支持框架30環繞該支持框架旋轉軸旋轉。該馬達可被該控制器控制。
在不同種類之訂製托盤CT上的資訊可預輸入該控制器。該控制器可依據訂製托盤CT上之該預輸入資訊來控制該固結件及該馬達。當訂製托盤CT之種類改變時，該控制器可控制該固結件使得該支持框架30放置成一解脫狀態。此外，當該支持框架30放置成該解脫狀態時，該控制器可控制該馬達以便將該支持框架30放置成該目標方位狀態，藉此使該支持框架30旋轉一預定角度。
該感測器單元40可感測被支持在該支持框架30上之一訂製托盤CT的存在或不存在。可設置複數感測器單元40。該等複數感測器單元40可設置成與連接該基板20上之該支持框架30相鄰。此外，該感測器單元40可感測連接在該基板20上之支持框架30的一方位狀態。
該拾取器手具50可裝載或卸載複數電子組件D。例如，該拾取器手具50可拾取裝載在放置在一卸載位置之訂製托盤CT上的複數電子組件D、將該等電子組件D傳送至一裝載位置且接著釋放在放置在該裝載位置之該等訂製托盤CT上的該等電子組件D，藉此將該等電子組件D裝載在放置在該裝載位置中之訂製托盤CT上。該拾取器手具50可被該控制器控制。該拾取器手具50可包括一手具、一連桿及一拾取器。
該手具可抽吸或排出一流體。例如，該手具抽吸一流體後，一半導體裝置可被吸附在該拾取器上且放置成一拾取狀態。此外，當該手具排出該流體時，該半導體裝置可脫離它被吸附在該拾取器上之該拾取狀態，且接著放置成一釋放狀態。
該連桿可設置在該手具與該拾取器之間。該連桿可將該手具抽吸一流體之一吸力及該手具排出該流體之一噴射力傳送至該拾取器。該連桿可分離地安裝在該手具上且可依需要更換。
該拾取器可拾取或釋放設置在一躺臥位置中之一半導體裝置。複數拾取器可沿著一預定方向間隔地配置。該等複數拾取器間之距離可依據電子組件D之半導體裝置如何配置來改變。此外，該等複數拾取器可分離地安裝在該連桿上，且若有必要，其數目及位置可改變。
該堆疊器60可朝該上下方向堆疊訂製托盤CT在一堆疊空間中，或可朝該上下方向由該堆疊空間釋出該等裝載之訂製托盤CT。該堆疊器60可設置在該上升及下降框架620下方。此外，該堆疊器60可被該控制器控制。
該傳送器可使藉由互相壓入配合而放置成一裝載狀態之複數訂製托盤CT移動。該傳送器可組配成水平地或垂直地移動。該傳送器可被該控制器控制。
該控制器可控制該設置板模組10、該拾取器手具50、該堆疊器60及該傳送器。例如，該控制器可控制該致動器300使得該設置板100環繞該板旋轉軸L旋轉。此外，該控制器可依據該感測器單元40之感測結果來決定一訂製托盤CT是否被支持在該支持框架30上。另外，該控制器可依據該感測器之感測結果來決定該設置板100是否旋轉。該控制器可藉由包括一微處置器之一運算裝置來實施，且其實施之一方法對所屬技術領域中具有通常知識者是顯而易見的，因此省略其詳細說明。
以下，說明依據本揭示之一實施例之處置器1的一操作及效果。
以下說明該處置器1之一裝載程序。該傳送器可在藉由壓入配合而垂直地裝載在一堆疊空間中之複數訂製托盤CT中拾取在頂部之訂製托盤CT。該傳送器可將該拾取托盤CT運送至該設置板模組10。在該訂製托盤CT傳送到之設置板模組10中，該設置板100可旋轉使得欲裝載在該訂製托盤CT上之一電子組件D的一端子定向於一預定方向且被裝載。在該設置板100旋轉後，該設置板100可上升使得該訂製托盤CT被支持在該支持框架30上。裝載在被支持在該上升設置板100上之該訂製托盤CT上的該電子組件D可藉由該拾取器手具50裝載。
以下，說明欲在該處置器1之裝載程序後實行之一卸載程序。支持裝載一電子組件D之一訂製托盤CT的設置板100可下降。接著，該設置板100可朝與該在裝載程序中旋轉之方向相反的一方向旋轉在該裝載程序期間旋轉之一角度。該傳送器可朝向該設置板模組10移動。然後，該傳送器可拾取被該設置板模組10支持之該訂製托盤CT且接著上升。當固持該訂製托盤CT時，該傳送器可返回其初始位置。在返回該初始位置後，該傳送器可將該訂製托盤CT卸載至放置在一卸載位置中之堆疊器。在該卸載程序後，可再次實行該裝載程序。
該處置器1可將電子組件D裝載在不同種類之訂製托盤CT上使得該等電子組件D之端子藉由旋轉該設置板100定向於相同方向，因此可測試裝載在各種形狀之訂製托盤CT上的電子組件D。
以上說明了本揭示之例子作為特定實施例，但這些特定實施例只是例子，且本揭示不限於此並且應被視為具有依據在本說明書中揭露之技術精神的最廣範圍。所屬技術領域中具有通常知識者可組合/取代該等揭露實施例以實施未揭露之一形狀的一型樣，且它亦未偏離本揭示之範圍。此外，所屬技術領域中具有通常知識者可依據本說明書輕易地改變或修改該等揭露實施例，且可了解的是該等改變或修改亦屬於本揭示之範圍。
1:處置器 10:設置板模組 20:基板 20a:開口 30:支持框架 30a:開孔 40:感測器單元 50:拾取器手具 60:堆疊器 100:設置板 200:固定基座 300:致動器 310:前進及後退軸桿 320:壓缸 400:旋轉部份 500:鉸鏈 600:框架 610:固定框架 620:上升及下降框架 700:止擋器 800:旋轉感測部份 810:感測器 820:感測凸部 900:上升及下降軸桿 CT:訂製托盤 D:電子組件 L:板旋轉軸 R:鉸鏈旋轉軸
圖1係依據本揭示之一實施例的一處置器的立體圖。
圖2係一處置器之立體圖，其中圖1所示之一可變化支持部份及訂製托盤旋轉一預定角度。
圖3係一設置板之分解立體圖。
圖4係該設置板之平面圖。
圖5係當圖4之基板旋轉時該設置板之平面圖。
圖6係當圖5之基板完全地旋轉時該設置板之平面圖。
1:處置器
10:設置板模組
20:基板
20a:開口
30:支持框架
30a:開孔
40:感測器單元
50:拾取器手具
60:堆疊器
CT:訂製托盤
D:電子組件

Claims (7)

  1. 一種處置器，其包含： 一設置板模組，其包括用於支持一訂製托盤之一設置板； 一支持框架，其具有用於暴露被支持在該設置板上之該訂製托盤之一上表面的至少一部份的一開孔；及 一基板，其具有與該開孔連通之一開口， 其中該設置板係組配成相對該基板環繞朝一上下方向延伸之一板旋轉軸旋轉且上升或下降。
  2. 如請求項1之處置器，其中該開孔具有一寬度以及比該寬度大之一長度，且 其中該支持框架係分離地連接在該基板之一上側，且當由該基板移除時，該支持框架放置成一目標方位狀態，其中該開孔之一縱向平行於或偏離與一水平方向平行的一方向。
  3. 如請求項1之處置器，更包含： 一固結件，用於將該支持框架選擇地固結在該基板上使得該支持框架放置成該支持框架固結在該基板上之一固結狀態或該支持框架由該基板解脫之一解脫狀態， 其中，當放置成該解脫狀態時，該支持框架放置成該支持框架可環繞一支持框架旋轉軸相對該基板旋轉的一狀態，且該支持框架旋轉軸通過該支持框架之一中心並朝該上下方向延伸。
  4. 如請求項1之處置器，其中該板旋轉軸係通過該支持框架之一中心的一假想軸。
  5. 如請求項4之處置器，其中該設置板模組更包括： 一旋轉部份，其組配成固定及支持該設置板且相對該基板環繞該板旋轉軸旋轉；及 一致動器，其設置成使得其一端與該板旋轉軸分開一預定距離且連接在該設置板上以相對該設置板環繞朝該上下方向延伸之一旋轉軸旋轉， 其中該致動器包括： 一壓缸；及 一前進及後退軸桿，其組配成可相對該壓缸向前及向後水平地移動，且 其中該旋轉部份藉由該前進及後退軸桿之一前進及後退動作來旋轉。
  6. 如請求項5之處置器，其中當該前進及後退軸桿相對該壓缸向前移動至最大程度時該設置板之方位係與當該前進及後退軸桿相對該壓缸向後移動至最大程度時該設置板之方位垂直。
  7. 如請求項6之處置器，其包含： 一框架，其包括一固定框架及一移動框架，該移動框架係組配成可朝該上下方向相對該固定框架移動；及 一鉸鏈，其固定在該移動框架之一側且旋轉地連接在該致動器之一端之相對側的該致動器之另一端， 其中該致動器可組配成環繞一鉸鏈旋轉軸旋轉，該鉸鏈旋轉軸係由該鉸鏈提供並朝該上下方向延伸。
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