JP2598318Y2 - Ｉｃテストハンドラ - Google Patents
ＩｃテストハンドラInfo
- Publication number
- JP2598318Y2 JP2598318Y2 JP1993064978U JP6497893U JP2598318Y2 JP 2598318 Y2 JP2598318 Y2 JP 2598318Y2 JP 1993064978 U JP1993064978 U JP 1993064978U JP 6497893 U JP6497893 U JP 6497893U JP 2598318 Y2 JP2598318 Y2 JP 2598318Y2
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- Japan
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- tray
- height
- elevator
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、トレイ対応のハンドラ
において、トレイエレベータの高さ設定ができるＩＣテ
ストハンドラに関するものである。
において、トレイエレベータの高さ設定ができるＩＣテ
ストハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】トレイ２１内の被試験デバイス２２をロ
ード、アンロードする従来の機構を図３に示す。トレイ
２１には被試験デバイス２２を搭載するための溝があ
り、この溝の被試験デバイス２２を吸着、載置するため
にデバイス吸着部が上下する。デバイス吸着部１３には
チェンジキット１０が取付られ、デバイス吸着部１３が
下降した時、吸着パッド１２が被試験デバイス２２に到
達するように設定されている。
ード、アンロードする従来の機構を図３に示す。トレイ
２１には被試験デバイス２２を搭載するための溝があ
り、この溝の被試験デバイス２２を吸着、載置するため
にデバイス吸着部が上下する。デバイス吸着部１３には
チェンジキット１０が取付られ、デバイス吸着部１３が
下降した時、吸着パッド１２が被試験デバイス２２に到
達するように設定されている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】トレイ上面２１ａは、
トレイ上面検出センサ２０により検出され、センサの高
さに位置決めされる。一方、デバイス吸着部１３はシリ
ンダにより上下し、一定の高さに下降する。この時、チ
ェンジキット取付面１１とトレイ上面２１ａの距離は一
定になるようトレイ上面検出センサ２０が固定されてい
る。このため、トレイの寸法が異なったり、被試験デバ
イス厚が異なったりした場合、チェンジキット１０の寸
法を変える必要がある。つまり、チェンジキット１０を
用意し、トレイの違い、被試験デバイス２２の違いを、
チェンジキットの交換で対応するため、不便であった。
図３でチェンジキット１０の長さＢは、Ｂ＝Ａ（寸法固
定）＋Ｔ−ｔで表すことができる。また、エレベータの
ローダ部２３、アンローダ部２４のトレイ上面２１ａは
長さｃだけ高さの位置に差があり、固定されている。こ
のため、ローダ部、アンローダ部を任意のトレイエレベ
ータとして設定する事ができなかった。本考案は、機械
的な交換部分をなくし、ローダ部、アンローダ部を任意
のトレイエレベータに設定できるようにすることを目的
としている。
トレイ上面検出センサ２０により検出され、センサの高
さに位置決めされる。一方、デバイス吸着部１３はシリ
ンダにより上下し、一定の高さに下降する。この時、チ
ェンジキット取付面１１とトレイ上面２１ａの距離は一
定になるようトレイ上面検出センサ２０が固定されてい
る。このため、トレイの寸法が異なったり、被試験デバ
イス厚が異なったりした場合、チェンジキット１０の寸
法を変える必要がある。つまり、チェンジキット１０を
用意し、トレイの違い、被試験デバイス２２の違いを、
チェンジキットの交換で対応するため、不便であった。
図３でチェンジキット１０の長さＢは、Ｂ＝Ａ（寸法固
定）＋Ｔ−ｔで表すことができる。また、エレベータの
ローダ部２３、アンローダ部２４のトレイ上面２１ａは
長さｃだけ高さの位置に差があり、固定されている。こ
のため、ローダ部、アンローダ部を任意のトレイエレベ
ータとして設定する事ができなかった。本考案は、機械
的な交換部分をなくし、ローダ部、アンローダ部を任意
のトレイエレベータに設定できるようにすることを目的
としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案では、複数のトレ
イエレベータのチェンジキット１０、トレイ上面検出セ
ンサ２０の高さを一定に固定し、エレベータの高さをエ
レベータ上下機構２６によって上下し、被試験デバイス
２２を吸着、載置できるように設定している。
イエレベータのチェンジキット１０、トレイ上面検出セ
ンサ２０の高さを一定に固定し、エレベータの高さをエ
レベータ上下機構２６によって上下し、被試験デバイス
２２を吸着、載置できるように設定している。
【０００５】
【作用】エレベータ高さの上下機構により、被試験素子
を確実に吸着できる高さに微調整でき、任意のトレイエ
レベータをローダ部又はアンローダ部として設定するこ
とが可能になる。
を確実に吸着できる高さに微調整でき、任意のトレイエ
レベータをローダ部又はアンローダ部として設定するこ
とが可能になる。
【０００６】
【実施例】本考案の実施例を図１によって説明する。図
１に示すトレイエレベータは複数個あり同様の機構にな
っている。全てのトレイエレベータの基準位置（トレイ
上面検出センサ２０）は同じ高さにセットされる。そし
て、図２に示す流れ図のように、トレイエレベータ毎に
次の３段階のステップでエレベータ上下機構により位置
補正を行う。 基準位置設定後、ローダ用トレイエレ
ベータをｃだけ上昇させる。 被試験デバイスの厚み
とトレイ上面の差（Ｔ−ｔ）を補正する。 トレイ上
面検出センサのズレ等の微調整を行う。以上の動作によ
って、ローダ部、アンローダ部を任意に設定でき、トレ
イの寸法が異なったり、被試験デバイス厚が異なったり
した場合でも従来のチェンジキット部を交換することな
く動作させることができる。
１に示すトレイエレベータは複数個あり同様の機構にな
っている。全てのトレイエレベータの基準位置（トレイ
上面検出センサ２０）は同じ高さにセットされる。そし
て、図２に示す流れ図のように、トレイエレベータ毎に
次の３段階のステップでエレベータ上下機構により位置
補正を行う。 基準位置設定後、ローダ用トレイエレ
ベータをｃだけ上昇させる。 被試験デバイスの厚み
とトレイ上面の差（Ｔ−ｔ）を補正する。 トレイ上
面検出センサのズレ等の微調整を行う。以上の動作によ
って、ローダ部、アンローダ部を任意に設定でき、トレ
イの寸法が異なったり、被試験デバイス厚が異なったり
した場合でも従来のチェンジキット部を交換することな
く動作させることができる。
【０００７】
【考案の効果】エレベータ高さの上下機構により、ロー
ダ部、アンローダ部の高さ補正、被試験デバイスの厚み
とトレイ上面の差の補正、機械的誤差の微調整を補正に
より行うので部品交換無しで、任意のトレイエレベータ
をローダ部又はアンローダ部として使用できる効果があ
る。
ダ部、アンローダ部の高さ補正、被試験デバイスの厚み
とトレイ上面の差の補正、機械的誤差の微調整を補正に
より行うので部品交換無しで、任意のトレイエレベータ
をローダ部又はアンローダ部として使用できる効果があ
る。
【図１】本考案のトレイエレベータ側面図である。
【図２】本考案のエレベータ高さ補正の流れ図である。
【図３】従来のトレイ、デバイス吸着部の横断面図であ
る。
る。
【図４】ローダ部とアンローダ部の関係を示す横断面図
である。
である。
１０ チェンジキット １１ チェンジキット取付面 １２ 吸着パッド １３ デバイス吸着部 ２０ トレイ上面検出センサ ２１ トレイ ２１ａ トレイ上面 ２２ 被試験デバイス ２３ ローダ部 ２４ アンローダ部 ２５ エレベータベース ２６ エレベータ上下機構
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のトレイエレベータを有するトレ
イ対応のＩＣテストハンドラにおいて、トレイ高さの基準位置調整ができるトレイ上面検出セン
サ（２０）をトレイエレベータごとに同じ高さとなるよ
うにして設け、 トレイエレベータの高さを以下の補正をそれぞれ基準位
置に対しておこない、 （１）ローダ用トレイエレベータをアンローダ用エレベ
ータよりも所定の高さ高くなるように補正し、 （２）被試験デバイスの厚みとトレイ上面との差をそれ
ぞれ補正し、 （３）トレイ上面検出センサのズレを微調整し、 以上により、前記複数のトレイエレベータに対して、ロ
ーダ用とするかアンローダ用とするかが任意に設定でき
る ことを特徴とするＩＣテストハンドラ。 - 【請求項２】 複数のトレイエレベータを有するトレ
イ対応のＩＣテストハンドラにおいて、 トレイ高さの基準位置調整ができるトレイ上面検出セン
サ（２０）をトレイエレベータごとに同じ高さとなるよ
うにして設け、 トレイエレベータの高さを以下の補正をそれぞれ基準位
置に対しておこない、 ローダ用トレイエレベータをアンローダ用エレベータよ
りも所定の高さ高くなるように補正し、 以上により、前記複数のトレイエレベータに対して、ロ
ーダ用とするかアンローダ用とするかが任意に設定でき
ることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993064978U JP2598318Y2 (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Ｉｃテストハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993064978U JP2598318Y2 (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Ｉｃテストハンドラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0730233U JPH0730233U (ja) | 1995-06-06 |
| JP2598318Y2 true JP2598318Y2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=13273657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993064978U Expired - Fee Related JP2598318Y2 (ja) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Ｉｃテストハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598318Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58129699U (ja) * | 1982-02-25 | 1983-09-02 | 日本電気株式会社 | Ｉｃ収納装置 |
| JP3012853B2 (ja) * | 1990-09-14 | 2000-02-28 | 株式会社富士通宮城エレクトロニクス | 半導体試験装置のハンドラー |
-
1993
- 1993-11-09 JP JP1993064978U patent/JP2598318Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0730233U (ja) | 1995-06-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990525 |
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