JPH07297351A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH07297351A
JPH07297351A JP6090302A JP9030294A JPH07297351A JP H07297351 A JPH07297351 A JP H07297351A JP 6090302 A JP6090302 A JP 6090302A JP 9030294 A JP9030294 A JP 9030294A JP H07297351 A JPH07297351 A JP H07297351A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 良好な電気的特性を有するLOC構造の半導
体装置を提供する。 【構成】 半導体チップ2上の中央部には長手方向に複
数のボンディングパッド5,5…が配列されている。半
導体パッケージ1の一長辺側には、半導体チップ2の長
辺縁部から半導体パッケージ1の長辺側面を経て半導体
パッケージ1の裏面側まで巻き込む態様で5個のリード
フレーム3,3…が形成されており、他長辺側には7個
のリードフレーム3,3…が形成されている。バス・バ
ー・リード8は、ボンディングパッド5,5…を囲む部
分と、一長辺側に6個の突出部分と、他長辺側に8個の
突出部分とを有する。一長辺側の6個のうち両外側の突
出部分は半導体パッケージ1の裏面側まで巻き込んでお
り、他長辺側の8個の突出部分は略同形状である。この
バス・バー・リード8は、接地(Vss) 線として使用され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップの上にリ
ードフレームが形成されたLOC(ead n hip)構
造にて半導体チップが半導体パッケージに設置され、半
導体チップのパッドとリードフレームとを接続してなる
半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体パッケージに半導体チップを設置
した半導体装置としては、LOC構造を使用したものと
使用していないものとがある。図10はLOC構造を使用
していない半導体装置を示す斜視図である。この半導体
装置では、その周辺部にボンディングパッド5,5…が
形成された半導体チップ2を半導体パッケージ1の中程
に載置し、半導体チップ2の外側に位置するリードフレ
ーム3,3…とボンディングパッド5,5…とをボンデ
ィングワイヤ6にて接続している。一方、図11はLOC
構造を使用した半導体装置を示す斜視図である。この半
導体装置では、その中央部長手方向に複数のボンディン
グパッド5,5…が配列された半導体チップ2を半導体
パッケージ1上の略全面に載置してあり、リードフレー
ム3,3…は半導体チップ2上にまで延設されている。
そしてこのリードフレーム3,3…とボンディングパッ
ド5,5…とをボンディングワイヤ6にて接続してい
る。
【0003】図11に示すLOC構造を利用した半導体装
置においては、リードフレームの一部を電源線又は接地
線として使用するバス・バー・リードの方法を採用して
いる。図12は図11に示す半導体装置の平面図であり、図
13は図11に示すXIII−XIII線における模式的縦断面図で
ある。図11, 図12では、半導体パッケージ1の上側の半
体は省略して示しているが、図13では上側の半体も示し
ている。半導体パッケージ1の一長辺側には複数のリー
ドフレーム3,3…が設けられており、接地(Vss) 線と
して使用されるバス・バー・リード4aがリードフレーム
3,3…の両外側からボンディングパッド5近傍をとお
る平面視逆コの字型に設けられている。同様に半導体パ
ッケージ1の他長辺側にも複数のリードフレーム3,3
…が設けられており、電源(Vcc) 線として使用されるバ
ス・バー・リード4bがリードフレーム3,3…の両外側
からボンディングパッド5近傍をとおる平面視コの字型
に設けられている。
【0004】バス・バー・リード4a,4bは、半導体パッ
ケージ1の長辺側面を経て半導体パッケージ1の裏面側
まで巻き込む態様で形成されている。リードフレーム
3,3…も同様に半導体パッケージ1の裏面側まで巻き
込む態様で形成されている。リードフレーム3,3…及
びバス・バー・リード4a,4bと半導体チップ2とは両面
テープ7,7…にて接着してある。
【0005】図11に示す一長辺側のリードフレーム3,
3…のうち1つのリードフレーム3には出力データDou
t 用に使用され、その他のリードフレーム3,3…はア
ドレス制御信号ADD 用に使用される。他長辺側のリード
フレーム3,3…のうち1つのリードフレーム3には入
力データDin用に使用され、その他のリードフレーム
3,3…は他の制御信号CTL 用に使用される。これらリ
ードフレーム3,3…及びバス・バー・リード4a,4bは
ボンディングワイヤ6,6…にて所定のボンディングパ
ッド5,5…と適宜接続されている。
【0006】図14は半導体チップ2の具体例としてDR
AM(ダイナミックRAM)の構成を示すブロック図で
ある。DRAMは、メモリセルアレイMCA,メモリセルア
レイMCA の行を選択するロウデコーダRD, メモリセルア
レイMCA から読み出されたデータを増幅するセンスアン
プSA及びメモリセルアレイMCA の列を選択するカラムデ
コーダCDを備える。ロウデコーダRDにはロウアドレスバ
ッファRAB が接続されており、カラムデコーダCDにはカ
ラムアドレスバッファCAB が接続されている。これらロ
ウアドレスバッファRAB 及びカラムアドレスバッファCA
B へは、ボンディングパッド5を介してアドレス制御信
号ADD が与えられるようになっている。
【0007】またカラムデコーダCDにはデータインバッ
ファDIB 及びデータアウトバッファDOB が接続されてい
る。データインバッファDIB へはデータ入力用のボンデ
ィングパッド5(図11, 図12参照)に接続された端子51
を介してデータが与えられ、さらにカラムデコーダCDへ
与えられる。カラムデコーダCDからデータアウトバッフ
ァDOB へ与えられたデータはデータ出力用のボンディン
グパッド5に接続された端子51を介してDRAMの外部
へ出力される。
【0008】さらにDRAMは、ボンディングパッド
5,5…に接続された端子51, 51…を介して与えられる
ロウアドレスストローブ信号RAS,カラムアドレスストロ
ーブ信号CAS,ライトイネーブル信号WEを受けると、カラ
ムデコーダCDを制御するカラムアドレスバッファ制御信
号ΦCAB,データインバッファDIB を制御するデータイン
バッファ信号ΦDI, データアウトバッファDOB を制御す
るデータアウトバッファ信号ΦDO及びロウデコーダRDを
制御するロウアドレスバッファ制御信号ΦRAB 等の内部
信号を出力するクロックジェネレータCGを備える。
【0009】データの読み出し時には、ロウアドレスバ
ッファRAB 及びカラムアドレスバッファCAB が外部から
アドレス信号を受け取る。そしてロウアドレスバッファ
RABはロウアドレスバッファ制御信号ΦRAB により制御
されてロウアドレス信号をロウデコーダRDへ与える。ま
たカラムアドレスバッファCAB はカラムアドレスバッフ
ァ制御信号ΦCAB により制御されてカラムアドレス信号
をカラムデコーダCDへ与える。これらロウアドレス信号
及びカラムアドレス信号にて選択されたメモリセルアレ
イMCA 内のデータはセンスアンプSAにて増幅され、カラ
ムデコーダCD,データアウトバッファDOB を介して外部
へ出力される。
【0010】データの書き込み時には、同様にアドレス
信号及びカラムアドレス信号にて選択されたメモリセル
アレイMCA 内のアドレスへ、データインバッファDIB 及
びカラムデコーダCDを介して与えられたデータが書き込
まれる。
【0011】図15は、図14に示す如き半導体チップ2を
図10に示すLOC構造を使用しない半導体装置のリード
配線部を示す等価回路図である。図16は、図14に示す如
き半導体チップ2を図11に示すLOC構造を使用して半
導体装置に設置した場合のリード配線部を示す等価回路
図である。図15, 図16共に、データインバッファDIB,デ
ータアウトバッファDOB 及びセンスアンプSAを接地Vss
と接続する部分のみを示している。
【0012】図15では、例えば接地Vss に接続されたリ
ードフレーム3,3が、半導体チップ2上に形成された
アルミ配線21と各別にワイヤボンディングされている。
半導体チップ2上に複数存在するデータインバッファDI
B, DIBはボンディングパッド5,5を介してリードフレ
ーム3,3と接続されており、データアウトバッファDO
B もボンディングパッド5を介してリードフレーム3,
3と接続されている。またセンスアンプSAはアルミ配線
21と半導体チップ2上にて接続されている。
【0013】一方、図16では、データインバッファDIB,
センスアンプSA,データアウトバッファDOB 及びセンス
アンプSAは、接地Vss に接続されたバス・バー・リード
4と各別にワイヤボンディングしているだけである。従
って半導体チップ2上のアルミ配線が大幅に短縮され、
高速化が実現される。またボンディングワイヤの本数を
自由に選択することができるので、データ入出力時,セ
ンスアンプ動作時の雑音が低減される。
【0014】特開平5-47819号公報に開示されているL
OC構造の半導体装置においては、小型化及び薄型化を
目的として、接地線又は電源線用のバス・バー・リード
(4a,4b) が、ボンディングパッド5間を、ジグザグに
折曲されながらリードフレーム3が設けられている一辺
側から他辺側へ横切るように形成されている。折曲され
たバス・バー・リードにて囲まれた領域内には、数個ず
つにブロック化されたボンディングパッド(5) 及び信
号線が配設されている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところが図11, 図12に
示す如く、アドレス信号端子,制御信号端子, 入出力端
子に接続されたリードフレーム3は互いに隣設されてい
るため、リードフレーム3のインダクタンスが大きく、
出力回路部ではノイズ又はリンギングが発生するという
問題があった。本発明は、斯かる事情に鑑みてなされた
ものであり、リードフレーム間の相互インダクタンスを
低減することにより、良好な電気的特性を有する、LO
C構造の半導体装置を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】第1発明に係る半導体装
置は、複数の第1リードフレームの夫々の間に第2リー
ドフレームが設けてあることを特徴とする。
【0017】第2発明に係る半導体装置は、第1発明に
おいて、第1リードフレームは半導体パッケージの一辺
側及び他辺側に設けられており、第2リードフレーム
は、第1リードフレーム間に位置する部分とパッドを囲
む部分とを有することを特徴とする。
【0018】第3発明に係る半導体装置は、第1又は第
2発明において、動作時に電気量が変化する信号用に使
用されるべき第1リードフレームと、固定電位に接続さ
れるべき第2リードフレームとを備えることを特徴とす
る。
【0019】第4発明に係る半導体装置は、第1又は第
2発明において、第1リードフレームは動作時に電気量
が変化する信号が与えられ、第2リードフレームは固定
電位に接続されていることを特徴とする。
【0020】第5発明に係る半導体装置は、第3,4発
明において、固定電位は接地電位であることを特徴とす
る。
【0021】第6発明に係る半導体装置は、第1発明に
おいて、半導体チップの中央部に配列されたパッドの一
側に直線状の連絡部分を有しここから第1リードフレー
ム間に位置する態様で延設された第2リードフレーム
と、パッドの他側に直線状の連絡部分を有しここから第
3リードフレーム間に位置する態様で延設された第4リ
ードフレームとを備えることを特徴とする。
【0022】第7発明に係る半導体装置は、第6発明に
おいて、動作時に電気量が変化する信号用に使用される
べき第1及び第3リードフレームと、接地電位に接続さ
れるべき第2リードフレームと、電源電位に接続される
べき第4リードフレームとを備えることを特徴とする。
【0023】第8発明に係る半導体装置は、第6,7発
明において、第1及び第3リードフレームは動作時に電
気量が変化する信号用に使用されており、第2リードフ
レームは接地電位に接続されており、第4リードフレー
ムは電源電位に接続されていることを特徴とする。
【0024】
【作用】第1〜第5発明にあっては、動作時に電気量が
変化する信号用に使用される複数の第1リードフレーム
の夫々の間に第2リードフレームが設けられている。こ
の第2リードフレームを電気量が変化しない接地線とす
ると、第1リードフレーム同士が隣設されていた場合は
大きかった相互インダクタンスが略零となるので、合計
のインダクタンスを大幅に低減することができる。
【0025】第6〜第8発明にあっては、動作時に電気
量が変化する信号用に使用される複数の第1,第3リー
ドフレームの夫々の間に第2,第4リードフレームが設
けられている。この第2リードフレームを電気量が変化
しない接地線とし、第4リードフレームを電気量が変化
しない電源線とすると、第1リードフレーム同士又は第
3リードフレーム同士が隣設されていた場合は大きかっ
た相互インダクタンスが略零となるので、合計のインダ
クタンスを大幅に低減することができる。
【0026】
【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
き具体的に説明する。図1は、本発明に係る半導体装置
を示す斜視図であり、図2はこの平面図である。図中1
は矩形の半導体パッケージであり、この半導体パッケー
ジ1の上に少し小さい矩形の半導体チップ2が設置され
ている。半導体チップ2上の中央部には長手方向に複数
のボンディングパッド5,5…が配列されている。
【0027】半導体パッケージ1の両長辺側には、従来
と同様、半導体チップ2の長辺縁部から半導体パッケー
ジ1の長辺側面を経て半導体パッケージ1の裏面側まで
巻き込む態様で複数のリードフレーム3,3…が形成さ
れている。図1,図2では一長辺に5個のリードフレー
ム3,3…を示し、他長辺側に7個のリードフレーム
3,3…を示している。そして本発明においては、ボン
ディングパッド5,5…を囲む部分とその両長辺から半
導体チップ2上におけるリードフレーム3,3…間に位
置する複数の突出部分とを有するバス・バー・リード8
が形成されている。バス・バー・リード8は一長辺側に
6個の突出部分を有し、6個のうち両外側の突出部分は
半導体パッケージ1の裏面側まで巻き込んでいる。他長
辺側には8個の突出部分を有し、8個の突出部分は略同
形状である。このバス・バー・リード8は、一長辺側の
裏面側まで巻き込んでいる突出部分が接地電位に接続さ
れ、接地(Vss) 線として使用される。
【0028】図1,図2に示す一長辺側のリードフレー
ム3,3…のうち1つのリードフレーム3は出力データ
Dout 用に使用され、その他のリードフレーム3,3…
はアドレス制御信号ADD 用に使用される。他長辺側の両
外側の2つのリードフレーム3,3は電源(Vcc) 用とし
て使用される。残る他長辺側のリードフレーム3,3…
のうち1つのリードフレーム3は入力データDin用に使
用され、その他のリードフレーム3,3…は制御信号CT
L 用に使用される。これらリードフレーム3,3…及び
バス・バー・リード8,8はワイヤボンディング6,6
…にて所定のボンディングパッド5,5…と適宜接続さ
れている。
【0029】以上の如く、アドレス制御信号ADD,制御信
号CTL,入力データDin, 出力データDout 用のリードフ
レーム3,3…は接地線として使用されるバス・バー・
リード8に囲まれている。このため各リードフレーム3
は他のリードフレーム3からの影響を受け難くなり、リ
ードフレーム3のインダクタンスを低減することができ
る。その結果、リンギング,ノイズの発生を抑止するこ
とが可能となる。
【0030】以下リードフレーム3のインダクタンス算
出法について説明する。図3は、リードフレーム3のイ
ンダクタンスを説明するために1つの導体を示す斜視図
である。半径がa〔m〕であり、長さがl〔m〕である
導体の自己インダクタンスLi は、us 〔H/m〕をこ
の導体(リードフレーム3) の透磁率とすると、 Li =2l{log(2l/a)−1+(us /4) }
×10-7〔H〕 で近似される(導体の近似式)。
【0031】図4は2つの導体が併置された状態を示す
斜視図である。これら導体は、半径が夫々a,b
〔m〕、長さがl〔m〕であり、間隔d〔m〕を隔てて
併置されている。このときの相互インダクタンスL
m は、 Lm =2l{log(2l/d)−1}×10-7〔H〕 で近似される(導体の近似式)。この式から明らかな如
く相互インダクタンスL m は隣設するリードフレーム3
の影響を受ける。一般に合計のインダクタンスLは、下
式の如く自己インダクタンスLi と相互インダクタンス
m との和で表される。 L=Li +Lm 本発明では、リードフレーム3の回りをバス・バー・リ
ード8にて囲むことにより、相互インダクタンスLm
m ≒0となるのでL≒Li となる。
【0032】図5は、2個のトランジスタの接続部がリ
ードフレーム3に接続された、DRAM(ダイナミック
RAM) の出力回路を示す等価回路図である。電源Vc
c,接地Vss間に2個の出力ドライバトランジスタTr1 ,
Tr2 が直列に接続されている。出力ドライバトランジ
スタTr1 , Tr2 の接続部,データ出力端子Dout 間に接
続されて示しているLはリードフレーム3のインダクタ
ンスである。さらにこのリードフレーム3には負荷容量
L が存在する。このような出力回路におけるリンギン
グは、リードフレーム3のインダクタンスL及び負荷容
量CL によって決定される。
【0033】図6は、図5に示す出力回路において、出
力ドライバトランジスタTr1 , Tr2の駆動能力に比べ負
荷容量CL が大きくインダクタンスLが小さい場合の出
力波形を示す図である。逆に図7は、図5に示す出力回
路において、出力ドライバトランジスタTr1 , Tr2 の駆
動能力に比べ負荷容量CL が小さくインダクタンスLが
大きい場合の出力波形を示す図である。前者の場合は図
6に示す如く、出力データが遅延し、後者の場合は図7
に示す如くリンギングが発生する。またノイズの大きさ
は、回路の実効的なインダクタンスの大きさにより決定
される。ここでいうノイズは、インダクタンスをLとし
てΔV=L(dI/dt)によって生じる電圧ノイズで
ある。そこで図1,図2に示す如くリードフレーム3,
3…の回りを接地線のバス・バー・リード8で囲むこと
により、隣設する他のリードフレーム3,3…からの影
響を受け難くすることができる。即ち上述の如く相互イ
ンダクタンスLm がLm ≒0となり、L≒Li とするこ
とができる。このようにリードフレームのインダクタン
スを低減することにより、出力回路におけるリンギン
グ,ノイズの発生を抑制して電気的特性を向上させるこ
とが可能となる。
【0034】図8は、本発明に係る半導体装置の他の実
施例を示す斜視図であり、図9はこの平面図である。本
実施例では、バス・バー・リード8にかえて6個の突出
部分を有する櫛型のバス・バー・リード9を一長辺側に
備え、バス・バー・リード9と同形状のバス・バー・リ
ード10を他長辺側に逆向きに備える。両バス・バー・リ
ード9,10の6個の突出部分のうち中程の4個は、半導
体チップ2上においてリードフレーム3,3…の間に位
置し、両外側の2個は裏面側まで巻き込んでいる。バス
・バー・リード9の2個の突出部分が接地電位に接続さ
れ、接地線として使用される。バス・バー・リード10の
2個の突出部分が電源電位に接続され、電源線として使
用される。従って一長辺側に備えられたアドレス制御信
号ADD,出力データDout 用のリードフレーム3,3…は
バス・バー・リード9にて囲まれ、制御信号CTL,入力信
号Din用のリードフレーム3,3…はバス・バー・リー
ド10にて囲まれる。その他の構成は図1,図2に示すも
のと同様であり、同符号を付して説明を省略する。本実
施例においても前述の実施例と同様の効果が得られる。
【0035】
【発明の効果】以上のように本発明に係る半導体装置
は、リードフレーム間の相互コンダクタンスを低減する
ようにリードフレームを配置することにより、従来のよ
うに電気量の変化が大きい第1又は第3のリードフレー
ム同士が隣設されていた場合は大きかった相互インダク
タンスが略零となるので、合計のインダクタンスは大幅
に低減される。その結果、リンギング,ノイズの発生を
抑止することが可能となり、良好な電気的特性が得られ
る等、本発明は優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る半導体装置を示す斜視図であ
る。
【図2】 図1に示す半導体装置の平面図である。
【図3】 1つの導体を示す斜視図である。
【図4】 2つの導体が併置された状態を示す斜視図で
ある。
【図5】 DRAMの出力回路の等価回路図である。
【図6】 図5に示す出力回路における出力波形を示す
図である。
【図7】 図5に示す出力回路における出力波形を示す
図である。
【図8】 本発明に係る半導体装置の他の実施例を示す
斜視図である。
【図9】 図8に示す半導体装置の平面図である。
【図10】 LOC構造を使用していない従来の半導体
装置を示す斜視図である。
【図11】 LOC構造を使用した従来の半導体装置を
示す斜視図である。
【図12】 図11に示す半導体装置の平面図である。
【図13】 図11に示すXIII−XIII線における模式的縦
断面図である。
【図14】 半導体チップの具体例の構成を示すブロッ
ク図である。
【図15】 図14に示す如き半導体チップを図10に示す
LOC構造を使用しない半導体装置のリード配線部を示
す等価回路図である。
【図16】 図14に示す如き半導体チップを図11に示す
LOC構造を使用して半導体装置に設置した場合のリー
ド配線部を示す等価回路図である。
【符号の説明】
1 半導体パッケージ、2 半導体チップ、3 リード
フレーム、5 ボンディングパッド、6 ボンディング
ワイヤ、8 バス・バー・リード。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体パッケージのリードフレームが半
    導体チップ上まで延設されており、半導体チップのパッ
    ドと前記リードフレームとを接続してなる半導体装置に
    おいて、前記半導体パッケージの一辺に設けられた複数
    の第1リードフレームと、複数の第1リードフレームの
    夫々の間に位置する部分及びこれら部分を連絡する連絡
    部分を有する第2リードフレームとを備えることを特徴
    とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 パッドは半導体チップの中央部に配列さ
    れており、さらに複数の第1リードフレームは前記一辺
    に対向する他辺にも設けられており、第2リードフレー
    ムは、前記一辺及び前記他辺に設けられた複数の第1リ
    ードフレームの夫々の間に位置する部分と、これら部分
    を連絡し前記パッドを囲む部分とを有することを特徴と
    する請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 動作時に電気量が変化する信号用に使用
    されるべき第1リードフレームと、固定電位に接続され
    るべき第2リードフレームとを備えることを特徴とする
    請求項1又は2記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 第1リードフレームと動作時に電気量が
    変化する信号が与えられ、第2リードフレームは固定電
    位に接続されていることを特徴とする請求項1又は2記
    載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 固定電位は接地電位であることを特徴と
    する請求項3又は4記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】 パッドは半導体チップの中央部に配列さ
    れており、半導体パッケージの一辺に対向する他辺に設
    けられた複数の第3リードフレームと、複数の第3リー
    ドフレームの夫々の間に位置する部分及びこれら部分を
    連絡する連絡部分を有する第4リードフレームとを備
    え、第2リードフレーム,第4リードフレームの前記連
    絡部分は、配列された前記パッドの一側,他側に直線状
    に夫々設けられていることを特徴とする請求項1記載の
    半導体装置。
  7. 【請求項7】 動作時に電気量が変化する信号用に使用
    されるべき第1及び第3リードフレームと、接地電位に
    接続されるべき第2リードフレームと、電源電位に接続
    されるべき第4リードフレームとを備えることを特徴と
    する請求項6記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 第1及び第3リードフレームは動作時に
    電気量が変化する信号用に使用されており、第2リード
    フレームは接地電位に接続されており、第4リードフレ
    ームは電源電位に接続されていることを特徴とする請求
    項6又は7記載の半導体装置。
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