JPH07266222A - ブラシ研磨用保持具及びそれを用いたブラシ研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 表面にきずを付けず効率的に研磨加工し、側
面と面取り面とを同時に研磨する。 【構成】 ブラシ研磨用保持具１５は、複数枚のガラス
基板１２を平行に配設しこの基板１２の上側の側面１２
Ａを露出した状態でその両側から保持する２つのＬ型治
具２２と、各治具２２の外側に設けられ治具２２を基板
１２に押圧して固定支持する押圧手段２３とを備えた。
各治具２２の基板１２への当接面に、基板１２の側面１
２Ａ及び面取り面１２Ｂに同時にブラシ加工ができるよ
うに各基板１２を等間隔の隙間を空けて保持する多数の
Ｖ型溝からなる間隔保持溝部２４を設けた。ブラシ研磨
装置１１は、ガラス基板１２が載置される載置台１３
と、載置台１３上の各基板１２の側面１２Ａ及び面取り
面１２Ｂに研磨加工を施す研磨ブラシ１４とを有し、載
置台１３上に、前記ブラシ研磨用保持具１５を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造に使用され
るフォトマスク用のガラス基板等の四角形に形成された
基板、あるいはメモリーディスク等の円形に形成された
基板からなる被加工物の側面部のブラシ研磨加工に使用
するブラシ研磨用保持具及びそれを用いたブラシ研磨装
置に関し、特に被加工物の側面及びその面取り面を同時
に研磨し得るブラシ研磨用保持具及びそれを用いたブラ
シ研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば半導体製造に使用されるガ
ラス基板の４つの側面を加工する治具としては、特開平
２−２５６４６０号公報記載の加工用治具がある。

【０００３】この加工用治具は、図１４に示すように、
板状の被加工物としてのガラス基板１を複数枚重ね合わ
せた状態で周囲を取り囲む第１及び第２治具２，３と、
これらの治具２，３を分離可能に結合する結合ピン４及
び結合部５とからなる結合手段６と、第２治具３の内面
に進退自在に配設された押圧板（図示せず）をガラス基
板１の表面１Ａに押し付けるセットねじ７とから概略構
成されている。各ガラス基板１の上側には研磨用ブラシ
８が設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の加工用治具では、複数のガラス基板１をその表面１
Ａを互いに当接させて重ね合わせた状態で保持するた
め、各ガラス基板１の表面１Ａにキズを発生させる危険
性が高かった。その結果、このガラス基板１を用いた最
終製品（例えばフォトマスク等）の有効エリアにキズ等
の不良を発生させてしまう可能性が高く、最終製品の品
質に悪い影響を及ぼす可能性が高かった。

【０００５】また、上記加工用治具では、複数枚のガラ
ス基板１を重ね合せそれを１つのブロックとしてまとめ
て保持するために、各ガラス基板１の一枚一枚を確実に
保持することができない。このため、ガラス基板１の高
さがずれやすく、研磨にばらつきが出てしまうという問
題点があった。さらに、各ガラス基板１が水に濡れてい
る場合は、それらが一旦付着してしまうと、ずらすこと
が難しくなる。この結果、各ガラス基板１が互いにずれ
ているときには高さを揃えることが困難で、研磨加工に
支障を来していた。

【０００６】また、各ガラス基板１はその側面と共に面
取り面も研磨加工するが、この研磨加工を研磨用ブラシ
８によって行う場合は面取り面を研磨加工をすることが
できない。即ち、ガラス基板１同士が互いに重なり合っ
ているため、各ガラス基板１の間にブラシが入り込みに
くく、ガラス基板１の面取り面の研磨を十分に行うこと
が困難であった。

【０００７】この場合、各ガラス基板１の間にスペーサ
を介装することによってブラシが入る隙間を作ることも
考えられる。しかし、上記加工用治具では各ガラス基板
１の固定を、互いに重ね合わされた状態でガラス基板１
の表面１Ａから押圧して行うために、このスペーサに硬
いものを用いると、ガラス基板１の表面１Ａにきずを付
けてしまうおそれがある。また、このスペーサに柔らか
い材料のもの（例えばポリウレタンパッド等）を用いる
と、その弾力性のために所定の間隔を設けることが困難
であった。

【０００８】本発明は、上記問題点を解決する為になさ
れたものであり、被加工物表面にきずを付けることな
く、被加工物のばらつきを容易に整えて効率的に研磨加
工をなし得ると共に、被加工物の側面と面取り面とを同
時にかつ十分に研磨することができるブラシ研磨用保持
具及びそれを用いたブラシ研磨装置を提供することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、第１の発明に係るブラシ研磨用保持具は、
板状の被加工物を複数枚並列に互いの表面を合せて配設
すると共に被加工面を露出した状態で各被加工物の側面
を少なくともその両側から挟持して保持する２つの保持
片と、各保持片の外側にそれぞれ設けられこの各保持片
を前記各被加工物に当接させて押圧し前記被加工物を固
定支持する押圧手段とを備え、前記各保持片の前記被加
工物への当接面に、前記被加工面である被加工物の側面
及びその面取り面に同時にブラシ加工を施し得るように
各被加工物を相互に隙間を空けた状態でそれぞれ嵌合保
持する間隔保持溝を設けたことを特徴とする。

【００１０】第２の発明に係るブラシ研磨用保持具は、
前記間隔保持溝によって保持される各被加工物の間隔が
１〜５ｍｍであることを特徴とする。

【００１１】第３の発明に係るブラシ研磨用保持具は、
前記押圧手段は載置台に固定され、前記保持片は前記押
圧手段に脱着可能に装着されたことを特徴とする。

【００１２】第４の発明に係るブラシ研磨用保持具は、
前記各保持片の少なくとも一方が、前記間隔保持溝を有
する縦板部と前記各被加工物をその下側から支持する底
板部とを備えて側面形状がＬ字型に形成されたことを特
徴とする。

【００１３】第５の発明に係るブラシ研磨装置は、板状
の被加工物が複数枚並列に互いの表面を合せた状態で載
置される載置台と、この載置台上に複数枚合せて載置さ
れた前記被加工物の側面及びその面取り面に研磨加工を
施す研磨ブラシとを備えたブラシ研磨装置において、前
記載置台上に、複数枚の被加工物を相互に隙間を空けて
保持する前記台１，２，３または４の発明に係るブラシ
研磨用保持具を備えたことを特徴とする。

【００１４】

【作用】前記第１の発明に係るブラシ研磨用保持具によ
れば、２つの保持片の各間隔保持溝に被加工物を嵌合さ
せることで、各被加工物は相互に一定の隙間を空けた状
態で嵌合保持される。これにより、各被加工物同士が接
触することがなくなり、表面にきずが付くのを確実に防
止することができる。さらに、被加工物の側面及びその
面取り面に同時にブラシ加工を施すことができるように
なる。

【００１５】第２の発明に係るブラシ研磨用保持具によ
れば、各被加工物の間隔を１〜５ｍｍに設定すること
で、ブラシ加工時にブラシ毛が各被加工物の間隔に容易
に入り込むことができるようになり、被加工物の側面及
びその面取り面へのブラシ加工をより確実に施すことが
できるようになる。

【００１６】第３の発明に係るブラシ研磨用保持具によ
れば、保持片を押圧手段に脱着可能に装着できるように
したので、保持片に保持された被加工物の着脱が容易に
なり、研磨時の作業性が向上する。

【００１７】第４の発明に係るブラシ研磨用保持具によ
れば、縦板部と底板部とを備えたＬ字型の保持片を用い
ると、底板部が被加工物の下側の側面を支持して、各被
加工物の高さを整合させることができる。

【００１８】第５の発明に係るブラシ研磨装置によれ
ば、載置台上に前記ブラシ研磨用保持具を備えたので、
被加工物の表面にきずを付けることがなく、被加工物の
側面及びその面取り面に同時にブラシ加工を施すことが
できるようになる。この結果、ブラシ加工時の作業性が
向上する。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面を参照しな
がら詳細に説明する。

【００２０】図１は本実施例に係るブラシ研磨装置を示
す要部斜視図、図２は図１に示すブラシ研磨装置の要部
平面図、図３は図１に示すブラシ研磨装置に用いるブラ
シ研磨用保持具を示す平面図、図４は図３に示すブラシ
研磨用保持具の側面図、図５は押圧手段を示す要部側面
図、図６はＬ型治具の間隔保持溝部にガラス基板の側面
部が嵌合した状態を示す要部拡大図、図７はＬ型治具で
ガラス基板を支持した状態を示す模式図である。なお、
本実施例でも板状の被加工物としてガラス基板を用いた
場合を例に説明する。

【００２１】図１及び図２に示すように、本実施例のブ
ラシ研磨装置１１は、被加工物である複数のガラス基板
１２が載置される載置台１３と、この載置台１３上に載
置された各ガラス基板１２の４つの側面１２Ａ及びその
面取り面１２Ｂ（図６参照）に研磨加工を施す研磨ブラ
シ１４と、載置台１３上に１２０度間隔で３つ設けられ
たブラシ研磨用保持具１５とから概略構成されている。
ガラス基板１２は、縦５インチ、横５インチ、厚さ０．
０９インチの正方形状に成形されている。

【００２２】載置台１３は、円盤状に形成され、回転駆
動機構（図示せず）によって回転可能に支持されてい
る。この回転駆動機構による載置台１３の回転速度は１
０〜４０ｒｐｍ程度に設定されている。

【００２３】研磨ブラシ１４は載置台１３の上側面に臨
まされた回転式ブラシとして構成されている。この研磨
ブラシ１４は、ブラシ毛１８を植毛したブラシ皿１９
と、このブラシ皿１９に連結されてこのブラシ皿１９を
回転駆動する回転駆動機構（図示せず）とから構成され
ている。ブラシ毛１８は蛇行型にカールされたナイロン
繊維で構成され、ブラシ皿１９の下側面に下方に向けて
植毛されている。このブラシ毛１８の直径は０．４ｍ
ｍ、長さは３５ｍｍに設定されている。この回転駆動機
構による研磨ブラシ１４の回転速度は前記載置台１３と
同様に１０〜４０ｒｐｍ程度に設定されている。ただ
し、回転方向は載置台１３と逆方向に設定されている。

【００２４】この研磨ブラシ１４と載置台１３とがそれ
ぞれ逆方向に回転することで、ブラシ研磨用保持具１５
によって保持されたガラス基板１２の上方の側面１２Ａ
及び面取り面１２Ｂが研磨される。載置台１３の上方に
は、研磨ブラシ１４とガラス基板１２との間に臨ませた
状態で研磨剤ノズル２１が設けられている。この研磨剤
ノズル２１には研磨剤供給系（図示せず）が接続され、
この研磨剤供給系から研磨剤ノズル２１を介して、研磨
ブラシ１４とガラス基板１２との間に研磨剤が供給され
る。この研磨剤としては、酸化セリウム、酸化鉄、酸化
ジルコニウム等が用いられる。

【００２５】ブラシ研磨用保持具１５は、図３から図６
に示すように、複数枚のガラス基板１２を保持する保持
片としてのＬ型治具２２と、各Ｌ型治具２２を押圧しガ
ラス基板１２を固定支持する押圧手段２３とから構成さ
れている。

【００２６】Ｌ型治具２２は、ガラス基板１２の横方向
から側面１２Ａに当接する縦板部２２Ａと、ガラス基板
１２の下側を支持する底板部２２Ｂとから構成されてい
る。このＬ型治具２２はガラス基板１２を挟んで両側に
一対設けられ、ガラス基板１２を複数枚並列に互いの表
面１２Ｃ（図１参照）を突き合せて接触しない状態で側
面１２Ａを挟持して保持する。Ｌ型治具２２の縦板部２
２Ａの当接面、即ちガラス基板１２の側面１２Ｂへの当
接面には間隔保持溝部２４が設けられている。この間隔
保持溝部２４は、縦板部２２Ａの当接面の全面に刻まれ
たＶ型の縦溝２４Ａによって構成されている。この各縦
溝２４Ａは、それぞれ等間隔に設定され、２つのＬ型治
具２２を対向させたときに、互いに整合するように設定
されている。これにより、各縦溝２４Ａにガラス基板１
２がそれぞれ嵌合した状態で、各ガラス基板１２は互い
に平行になり、各ガラス基板１２の間隔はすべて均一に
保持される。さらに、Ｖ型の縦溝２４Ａで各ガラス基板
１２が堅固に保持され、喧嘩作業中にずれることがなく
なる。この各ガラス基板１２の間隔Ｄ（図６参照）は２
ｍｍに設定されている。これにより、ガラス基板１２の
側面１２Ａ及びその面取り面１２Ｂに同時にブラシ加工
を施し得るようになっている。Ｌ型治具２２の材料とし
ては、ガラス基板１２が欠けたり、傷がついたりしない
ように塩化ビニールやプラスチック等の柔らかい材料が
用いられる。Ｌ型治具２２の両サイドは強度的に弱いの
で、補強用板２２Ｃが張られている。

【００２７】Ｌ型治具２２の底板部２２Ｂは、各ガラス
基板１２の下側の側面１２Ａに当接してこれを支持し、
上側の側面１２Ａがすべて一定高さに揃うようになって
いる。このＬ型治具２２の寸法としては、図７に示すよ
うに、ガラス基板１２との当接部分の縦方向の高さＨは
ガラス基板１２の一辺の高さ（５インチ）よりも高くな
らないように設定されている。また、横方向の長さＬ
は、２つのＬ型治具２２を合わせた状態（２Ｌ）でガラ
ス基板１２の一辺の長さ（５インチ）よりも短く設定さ
れている。これにより、２つのＬ型治具２２で複数枚の
ガラス基板１２を挟持するとき、各底板部２２Ｂが互い
に接触してガラス基板１２を支持できなかったり、縦板
部２２Ａが各ガラス基板１２の上側の側面１２Ａより高
くなって研磨剤ノズル２１による研磨ができなかったり
するのを解消している。Ｌ型治具２２の奥行き方向の幅
はガラス基板１２の加工枚数で決まる。即ち、加工枚数
に合せて縦溝２４Ａの配設数が決まり、これにより、Ｌ
型治具２２の幅が決まる。

【００２８】押圧手段２３は、対向して配設される２つ
のＬ型治具２２の一方（図３及び図４中の右方）の外側
に位置して設けられた垂直固定板２６と、他方の外側に
位置して設けられた回動押圧板２７と、この回動押圧板
２７の外側に位置して設けられ回動押圧板２７を外側か
ら押すねじ機構２８とから構成されている。

【００２９】垂直固定板２６は、載置台１３に固定さ
れ、一方のＬ型治具２２をその外側から当接して支持す
る。回動押圧板２７は、載置台１３側に支持された回動
軸２９によって基端部を中心に回動可能に支持され、先
端部に当接ゴム３０が設けられている。この回動押圧板
２７は回動軸２９を中心に回動し、ねじ機構２８によっ
て他方のＬ型治具２２側に押圧されることで、当接ゴム
３０がＬ型治具２２に当接してこのＬ型治具２２を押圧
する。これにより、他方のＬ型治具２２と垂直固定板２
６で支持されたＬ型治具２２との間でガラス基板１２を
その側面１２Ａから挟持する。ねじ機構２８は、基端部
が載置台１３に固定されて垂直方向に延設された支持板
部３２と、この支持板部３２に螺合されねじ込むことで
前記回動押圧板２７をＬ型治具２２側に押圧するねじ３
３とから構成されている。一対のＬ型治具２２は、複数
枚のガラス基板１２を挟持した状態で、垂直固定板２６
と回動押圧板２７との間に挿入される。または、垂直固
定板２６と回動押圧板２７の間に一対のＬ型治具２２が
挿入され、この２つのＬ型治具２２の間に複数枚のガラ
ス基板１２が装着される。即ち、押圧手段２３は載置台
１３に固定され、Ｌ型治具２２は押圧手段２３に脱着可
能に装着される。対向して配設される押圧手段２３の垂
直固定板２６及び回動押圧板２７の開放側（図３中の上
下側）には２つのＬ型治具２２及びこれに支持された各
ガラス基板１２を支持する後ガイド３４と前ガイド３５
とが設けられている。載置台１３の上に３つのブラシ研
磨用保持具１５が装着されたとき、外側に位置する前ガ
イド３５は高く、内側に位置する後ガイド３４は低く設
定されている。これは、ガラス基板１２及びＬ型治具２
２が外側は飛び出さないようにするためにである。

【００３０】以上のように構成されたブラシ研磨装置１
１では、ガラス基板１２の側面１２Ａ及び面取り面１２
Ｂを研磨するときは、複数枚のガラス基板１２をその表
面１２Ｃが当接しないように平行に並べて、一対のＬ型
治具２２の間に嵌合する。これにより、ガラス基板１２
の側面１２Ａは間隔保持溝部２４の各縦溝２４Ａに嵌合
し（図６参照）、各ガラス基板１２は互いに２ｍｍの間
隔で平行に支持される。この状態で、押圧手段２３の垂
直固定板２６と回動押圧板２７との間に装着される。ま
たは、一対のＬ型治具２２を垂直固定板２６と回動押圧
板２７との間に装着し、この一対のＬ型治具２２の間に
複数のガラス基板１２を装着する。

【００３１】次いで、ねじ機構２８のねじ３３を回して
ねじ込み、回動軸２９を中心にして回動押圧板２７を回
動させる。この回動押圧板２７の回動に伴って当接ゴム
３０がＬ型治具２２に当接し、このＬ型治具２２を押圧
する。このＬ型治具２２による押圧でガラス基板１２の
一側が押されるが、ガラス基板１２の他側は他方のＬ型
治具２２に支持されている。さらに、この他方のＬ型治
具２２は垂直固定板２６によって固定支持されているた
め、結果的に２つのＬ型治具２２で各ガラス基板１２が
支持される。しかも、各ガラス基板１２は間隔保持溝部
２４の各縦溝２４Ａのそれぞれ嵌合し、互いに平行に２
ｍｍの間隔を保って堅固に保持される。これは、載置台
１３の上に設けられた３つのブラシ研磨用保持具１５の
それぞれにおいて行なわれる。

【００３２】次いで、載置台１３と研磨ブラシ１４とが
互いに逆方向に１８ｒｐｍで回転され、研磨ブラシ１４
がガラス基板１２の上側の側面１２Ａまで下げられる。
具体的には、ブラシ毛１８の下端がガラス基板１２の上
側の側面１２Ａと０．５から１０ｍｍくらい重なるまで
下げる。このとき、研磨剤ノズル２１からは研磨剤が研
磨ブラシ１４とガラス基板１２の上側の側面１２Ａとの
間に供給されている。研磨ブラシ１４のブラシ毛１８は
ガラス基板１２の側面１２Ａ及び面取り面１２Ｂに接触
し、研磨剤によって側面１２Ａが研磨される。これと同
時に各ガラス基板１２の間の２ｍｍの隙間からブラシ毛
１８が入り込み、面取り面１２Ｂも研磨される。

【００３３】ガラス基板１２の一つの側面１２Ａの研磨
が終了すると、次の側面１２Ａの研磨に移る。この場合
は、各ガラス基板１２を２つのＬ型治具２２で支持した
状態で押圧手段２３から取り出し、図８に示すように、
各ガラス基板１２を支持した状態で、Ｌ型治具２２を１
つずつ付け替える。図８（Ａ）は図中の上側の側面１２
Ａを研磨終了した状態とすると、図８（Ｂ）に示すよう
に、１つのＬ型治具２２を付け替えてその右側の側面１
２Ａを研磨できる状態にする。この状態で、再び押圧手
段２３に装着し、前記同様にして側面１２Ａ及び面取り
面１２Ｂを研磨する。次いで、この側面１２Ａの研磨が
終了すると、図８（Ｃ）に示すように、１つのＬ型治具
２２を付け替えてその右側の側面１２Ａを研磨できる状
態にして、研磨を行なう。図８（Ｄ）においても同様
に、研磨の終了した側面１２Ａの右側の側面１２Ａを研
磨できる状態にして研磨を行ない、最終的に研磨が終了
する。このとき、研磨した側面１２Ａにおいては、図６
のように、その面取り面１２Ｂが縦溝２４Ａの斜面に整
合し、各ガラス基板１２間の隙間がずれることはない。

【００３４】以上のように、各ガラス基板１２を間隔保
持溝部２４の各縦溝２４Ａで嵌合支持するので、各ガラ
ス基板１２が互いに接触することはなく、ガラス基板１
２の表面１２Ｃにきずが付くのを確実に防止することが
できる。

【００３５】また、各ガラス基板１２を互いに接触させ
ないで支持するので、互いにずらすことが用意となり、
各ガラス基板１２のばらつきを容易に整えて効率的に研
磨加工を施すことができるようになる。

【００３６】各ガラス基板１２を間隔保持溝部２４によ
って互いに平行にかつ等間隔の隙間を空けて支持するの
で、各ガラス基板１２の側面１２Ａ及び面取り面１２Ｂ
を同時にかつ十分に研磨することができるようになる。

【００３７】さらに、各ガラス基板１２の研磨する面を
変える場合は、各ガラス基板１２をＬ型治具２２によっ
てまとめて取り出して研磨する面を変えることができ、
しかもＬ型治具２２の着脱も容易なので、研磨工程での
作業効率が大幅に向上する。

【００３８】［第１変形例］前記実施例では、各ガラス
基板１２を両側から保持する保持片を２つともＬ型の治
具２２としたが、図９に示すように、間隔保持溝部４１
を有する縦板部４２のみによって保持片を構成してもよ
い。この場合、ガラス基板１２の下側は、載置台１３の
上側面に直に当接することになる。これによっても、前
記実施例同様の作用、効果を奏することができる。

【００３９】［第２変形例］また、図１０に示すよう
に、一方の保持片を縦板部と底板部とを備えたＬ型の治
具４４に、他方の保持片を縦板部のみ備えた治具４５に
してもよい。この場合、各ガラス基板１２の下側は、一
方の治具４４によって支持されることになる。これによ
っても、前記実施例同様の作用、効果を奏することがで
きる。

【００４０】［第３変形例］前記実施例では、間隔保持
溝部２４の各縦溝２４ＡをＶ型に形成したが、図１１に
示しように、台形型の溝４６にしてもよい。これらによ
っても、前記実施例同様の作用、効果を奏することがで
きる。

【００４１】［第４変形例］また、Ｖ型の縦溝２４Ａの
代りに、図１２に示すように、反円形状の溝４７として
構成してもよい。これらによっても、前記実施例同様の
作用、効果を奏することができる。

【００４２】［第５実施例］前記実施例では、板状の被
加工物として四角形のガラス基板１２を例に説明した
が、図１３に示すように、メモリーディスク等の円形の
板状被加工物４８の研磨の場合も、各Ｌ型治具４９のう
ち被加工物４８との当接面を、この被加工物４８に合せ
て円形に形成し、両側と下側から支持するようにしても
よい。これらによっても、前記実施例同様の作用、効果
を奏することができる。

【００４３】［他の変形例］前記実施例では、載置台１
３として回転式のものを用いたが、固定式でもよい。

【００４４】研磨ブラシ１４のブラシ毛１８の素材とし
てナイロン繊維を用いたが、塩化ビニール繊維やポリプ
ロピレン繊維等でもよい。ブラシ毛１８の長さは１０〜
５０ｍｍ、直径は０．１〜０．８ｍｍに設定することが
望ましい。ブラシ毛１８の形状は、カールしたものに限
らず、ストレートのものでもよい。

【００４５】間隔保持溝部２４により各ガラス基板１２
の間隔を２ｍｍに設定したが、１〜５ｍｍの間であれ
ば、前記同様に、ガラス基板１２の側面１２Ａと面取り
面１２Ｂとを確実に研磨することができる。

【００４６】また、前記実施例では、垂直固定板２６を
載置台１３の１ヵ所に固定した場合を例に説明したが、
この垂直固定板２６を固定する場所を複数箇所設定して
おき、ガラス基板１２の大きさに合せて垂直固定板２６
の固定位置を変えるようにしてもよい。

【００４７】

【発明の効果】上記のように、本発明のブラシ研磨用保
持具及びそれを用いたブラシ研磨装置によれば、次のよ
うな効果を奏することができる。

【００４８】（１） 各被加工物を間隔保持溝部で保持
するので、各被加工物が互いに接触することがなくな
り、被加工物の表面にきずが付くのを確実に防止するこ
とができる。

【００４９】（２） 各被加工物を互いに接触させない
で支持するので、互いにずらすことが容易になり、各被
加工物のばらつきを容易に整えて効率的に研磨加工を施
すことができるようになる。

【００５０】（３） 各被加工物を間隔保持溝部によっ
て互いに平行にかつ等間隔に支持するので、各被加工物
の側面及び面取り面を同時にかつ十分に研磨することが
できるようになる。

【００５１】（４） 各被加工物の研磨する面を変える
場合は、各被加工物を保持片によってまとめて取り出し
て研磨面を変え、しかも保持片の着脱も容易なので、研
磨工程での作業効率が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るブラシ研磨装置を示す要部斜視図
である。

【図２】図１に示すブラシ研磨装置の要部平面図であ
る。

【図３】図１に示すブラシ研磨装置に用いるブラシ研磨
用保持具を示す平面図である。

【図４】図３に示すブラシ研磨用保持具の側面図であ
る。

【図５】押圧手段を示す側面図である。

【図６】Ｌ型治具の間隔保持溝にガラス基板の側面部が
嵌合した状態を示す要部拡大図である。

【図７】Ｌ型治具でガラス基板を支持した状態を示す模
式図である。

【図８】ガラス基板の側面の向きを変えるときの作業手
順を示す模式図である。

【図９】第１変形例を示す概略斜視図である。

【図１０】第２変形例を示す概略斜視図である。

【図１１】第３変形例を示す要部拡大図である。

【図１２】第４変形例を示す要部拡大図である。

【図１３】第５変形例を示す概略斜視図である。

【図１４】従来のブラシ研磨装置を示す斜視図である。

【符号の説明】

１１…ブラシ研磨装置、１２…ガラス基板、１２Ａ…側
面、１２Ｂ…面取り面、１３…載置台、１４…研磨ブラ
シ、１５…ブラシ研磨用保持具、２１…研磨剤ノズル、
２２…Ｌ型治具、２３…押圧手段、２４…間隔保持溝
部。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 板状の被加工物を複数枚並列に互いの表
   面を合せて配設すると共に被加工面を露出した状態で各
   被加工物の側面を少なくともその両側から挟持して保持
   する２つの保持片と、各保持片の外側にそれぞれ設けら
   れこの各保持片を前記各被加工物に当接させて押圧し前
   記被加工物を固定支持する押圧手段とを備え、 前記各保持片の前記被加工物への当接面に、前記被加工
   面である被加工物の側面及びその面取り面に同時にブラ
   シ加工を施し得るように各被加工物を相互に隙間を空け
   た状態でそれぞれ嵌合保持する間隔保持溝を設けたこと
   を特徴とするブラシ研磨用保持具。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のブラシ研磨用保持具に
   おいて、 前記間隔保持溝によって保持される各被加工物の間隔が
   １〜５ｍｍであることを特徴とするブラシ研磨用保持
   具。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のブラシ研磨用
   保持具において、 前記押圧手段は載置台に固定され、前記保持片は前記押
   圧手段に脱着可能に装着されたことを特徴とするブラシ
   研磨用保持具。
4. 【請求項４】 請求項１，２または３に記載のブラシ研
   磨用保持具において、 前記各保持片の少なくとも一方が、前記間隔保持溝を有
   する縦板部と前記各被加工物をその下側から支持する底
   板部とを備えて側面形状がＬ字型に形成されたことを特
   徴とするブラシ研磨用保持具。
5. 【請求項５】 板状の被加工物が複数枚並列に互いの表
   面を合せた状態で載置される載置台と、この載置台上に
   複数枚合せて載置された前記被加工物の側面及びその面
   取り面に研磨加工を施す研磨ブラシとを備えたブラシ研
   磨装置において、 前記載置台上に、複数枚の被加工物を相互に隙間を空け
   て保持する請求項１，２，３または４に記載のブラシ研
   磨用保持具を備えたことを特徴とするブラシ研磨装置。