JP2001170864A

JP2001170864A - 研磨装置

Info

Publication number: JP2001170864A
Application number: JP35884399A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Ichikawa; 憲一市川; Hidetoshi Sakae; 英利寒河江; Hiroyuki Endo; 弘之遠藤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-12-17
Filing date: 1999-12-17
Publication date: 2001-06-26

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は工具表面を洗浄ブラシで洗浄して加工
精度を向上させる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置１は、工具４を洗浄ブラシ６で洗
浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシ６に洗浄液
１０を供給して、工具４の加工面から異物を除去して、
高品質の研磨加工を行うが、工具４の表面に洗浄ブラシ
６が押しつけられており、工具４の回転により洗浄ブラ
シ６が工具４の表面から切り屑等の異物を除去する。ま
た、研磨装置１は、洗浄ブラシ６に適宜洗浄液１０を供
給している。したがって、工具４と加工物５との間に異
物が進入することを防止することができ、高精度に研磨
加工することができるとともに、工具４の表面への洗浄
液１０や加工液の供給を均一に行うことができ、工具４
の表面の洗浄ムラを防止して、研磨形状の精度をより一
層向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨装置に関し、
詳細には、工具表面をインプロセスで洗浄して加工品質
を向上させる研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】研磨加工においては、一般に、工具を回
転させて、加工物を研磨加工するが、加工面の均質化を
図るために、加工物の加工面に加工液を供給し、必要に
応じて、新しい加工液を供給する。

【０００３】また、従来、研削加工等の加工において
は、工具である砥石に研削液を吹き付けて、加工面の均
質化を向上させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の研磨装置にあっては、単に、加工液や研削液
を補給するのみであったため、工具の加工面に付着した
異物、切り屑（研磨屑）やゴミ等が加工物の加工面に傷
等を生じさせ、加工品質が低下するという問題があっ
た。特に、金型等の高精度な表面加工においては、工具
と加工物の間に介在する異物による傷が問題となる。

【０００５】そこで、請求項１記載の発明は、所定の曲
率半径の工具を回転軸周りに回転させながら、加工物を
研磨加工するに際して、多数のブラシ毛が保持部材に設
けられた洗浄ブラシのブラシ毛の先端部を回転する工具
に押し当てて当該工具を洗浄することにより、工具と加
工物との間に異物が進入することを防止し、金型等の加
工物を高精度に研磨加工することのできる研磨装置を提
供することを目的としている。

【０００６】請求項２記載の発明は、洗浄ブラシを、ブ
ラシ毛が所定本数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が
複数の列状に保持部材に設けられているとともに、列状
の毛束が千鳥目状に保持部材に設けられたものとするこ
とにより、工具に対する毛束の見かけ上の間隔を狭くし
て、洗浄ブラシで工具をより均一に洗浄し、工具と加工
物との間に異物が進入することをより一層適切に防止し
て、金型等の加工物をより高精度に研磨加工することの
できる研磨装置を提供することを目的としている。

【０００７】請求項３記載の発明は、洗浄ブラシを、保
持部材が工具の回転軸と平行な方向に中心軸を有する円
筒形状に形成され、ブラシ毛が当該円筒形状の保持部材
の外周面に設けられて、保持部材が中心軸の軸周りに回
転駆動されて工具を洗浄するものとすることにより、工
具と同方向または逆方向に回転する洗浄ブラシで工具を
より一層均一に洗浄して、工具と加工物との間に異物が
進入することをより一層適切に防止し、金型等の加工物
をより一層高精度に研磨加工することのできる研磨装置
を提供することを目的としている。

【０００８】請求項４記載の発明は、洗浄ブラシを、保
持部材が工具の回転軸と直交する方向を中心軸として回
転駆動され、当該保持部材の中心軸方向の工具側の面に
ブラシ毛が設けられて、保持部材が回転軸の軸周りに回
転駆動されて工具を洗浄するものとすることにより、ブ
ラシ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不
均一性をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に
洗浄し、工具と加工物との間に異物が進入することをよ
り一層適切に防止して、金型等の加工物をより一層高精
度に研磨加工することのできる研磨装置を提供すること
を目的としている。

【０００９】請求項５記載の発明は、洗浄ブラシを、ブ
ラシ毛が工具に接触した状態で、工具の回転軸方向に往
復移動するものとすることにより、ブラシ毛の並び方や
ブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均一性をなくし
て、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗浄し、工具と
加工物との間に異物が進入することをより一層適切に防
止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加工す
ることのできる研磨装置を提供することを目的としてい
る。

【００１０】請求項６記載の発明は、洗浄ブラシに所定
の洗浄液または加工液を供給する液供給機構を設けるこ
とにより、洗浄液や加工液を均一に供給するとともに、
洗浄ブラシによる工具の洗浄をより均一に行い、工具と
加工物との間に異物が進入することをより一層適切に防
止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加工す
ることのできる研磨装置を提供することを目的としてい
る。

【００１１】請求項７記載の発明は、洗浄ブラシの下方
に、研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る
受け容器を配設することにより、工具と加工物の間に異
物や汚れた洗浄液または汚れた加工液が進入することを
適切に防止し、金型等の加工物をより一層高精度に研磨
加工することのできる研磨装置を提供することを目的と
している。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明の研
磨装置は、回転軸に取り付けられた所定の曲率半径の工
具を、前記回転軸周りに回転させながら、加工物を研磨
加工する研磨装置において、多数のブラシ毛が保持部材
に設けられた洗浄ブラシの前記ブラシ毛の先端部を前記
回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄することによ
り、上記目的を達成している。

【００１３】上記構成によれば、所定の曲率半径の工具
を回転軸周りに回転させながら、加工物を研磨加工する
に際して、多数のブラシ毛が保持部材に設けられた洗浄
ブラシのブラシ毛の先端部を回転する工具に押し当てて
当該工具を洗浄しているので、工具と加工物との間に異
物が進入することを防止することができ、金型等の加工
物を高精度に研磨加工することができる。

【００１４】この場合、例えば、請求項２に記載するよ
うに、前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が所定本数ずつ
毛束として束ねられて当該毛束が複数の列状に前記保持
部材に設けられているとともに、前記列状の毛束が千鳥
目状に前記保持部材に設けられているものであってもよ
い。

【００１５】上記構成によれば、洗浄ブラシを、ブラシ
毛が所定本数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が複数
の列状に保持部材に設けられているとともに、列状の毛
束が千鳥目状に保持部材に設けられたものとしているの
で、工具に対する毛束の見かけ上の間隔を狭くして、洗
浄ブラシで工具をより均一に洗浄することができ、工具
と加工物との間に異物が進入することをより一層適切に
防止して、金型等の加工物をより高精度に研磨加工する
ことができる。

【００１６】また、例えば、請求項３に記載するよう
に、前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工具の前記
回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形状に形成さ
れ、前記ブラシ毛が当該円筒形状の前記保持部材の外周
面に設けられており、前記保持部材が前記中心軸の軸周
りに回転駆動されて前記工具を洗浄するものであっても
よい。

【００１７】上記構成によれば、洗浄ブラシを、保持部
材が工具の回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形
状に形成され、ブラシ毛が当該円筒形状の保持部材の外
周面に設けられて、保持部材が中心軸の軸周りに回転駆
動されて工具を洗浄するものとしているので、工具と同
方向または逆方向に回転する洗浄ブラシで工具をより一
層均一に洗浄して、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止することができ、金型等の
加工物をより一層高精度に研磨加工することができる。

【００１８】さらに、例えば、請求項４に記載するよう
に、前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工具の前記
回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆動され、当
該保持部材の前記中心軸方向の前記工具側の面に前記ブ
ラシ毛が設けられており、前記保持部材が前記回転軸の
軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄するものであっ
てもよい。

【００１９】上記構成によれば、洗浄ブラシを、保持部
材が工具の回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆
動され、当該保持部材の中心軸方向の工具側の面にブラ
シ毛が設けられて、保持部材が回転軸の軸周りに回転駆
動されて工具を洗浄するものとしているので、ブラシ毛
の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均一性
をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗浄す
ることができ、工具と加工物との間に異物が進入するこ
とをより一層適切に防止して、金型等の加工物をより一
層高精度に研磨加工することができる。

【００２０】また、例えば、請求項５に記載するよう
に、前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が前記工具に接触
した状態で、前記工具の前記回転軸方向に往復移動され
るものであってもよい。

【００２１】上記構成によれば、洗浄ブラシを、ブラシ
毛が工具に接触した状態で、工具の回転軸方向に往復移
動するものとしているので、ブラシ毛の並び方やブラシ
毛の密度の相違による洗浄の不均一性をなくして、洗浄
ブラシで工具をより一層均一に洗浄することができ、工
具と加工物との間に異物が進入することをより一層適切
に防止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。

【００２２】さらに、例えば、請求項６に記載するよう
に、前記研磨装置は、前記洗浄ブラシに所定の洗浄液ま
たは加工液を供給する液供給機構を、さらに備えていて
もよい。

【００２３】上記構成によれば、洗浄ブラシに所定の洗
浄液または加工液を供給する液供給機構を設けているの
で、洗浄液や加工液を均一に供給するとともに、洗浄ブ
ラシによる工具の洗浄をより均一に行うことができ、工
具と加工物との間に異物が進入することをより一層適切
に防止して、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。

【００２４】また、例えば、請求項７に記載するよう
に、前記研磨装置は、前記洗浄ブラシの下方に、研磨屑
等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る受け容器が
配設されていてもよい。

【００２５】上記構成によれば、洗浄ブラシの下方に、
研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る受け
容器を配設しているので、工具と加工物の間に異物や汚
れた洗浄液または汚れた加工液が進入することを適切に
防止することができ、金型等の加工物をより一層高精度
に研磨加工することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもので
はない。

【００２７】図１〜図５は、本発明の研磨装置の第１の
実施の形態を示す図であり、本実施の形態は、固定され
た洗浄ブラシで工具表面を洗浄するとともに洗浄液を洗
浄ブラシに供給するもので、請求項１、請求項２及び請
求項６に対応するものである。

【００２８】図１は、本発明の研磨装置の第１の実施の
形態を適用した研磨装置１の斜視図である。

【００２９】図１において、研磨装置１は、Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸方向に移動制御される主軸ヘッド２の先端にス
ピンドル３が固定されており、スピンドル３の先端に
は、工具４が取り付けられている。工具４は、略円盤形
状に形成されており、スピンドル３により所定回転速度
で回転駆動される。研磨装置１は、スピンドル３により
工具４を回転させながら、加工物５の加工面に沿って、
図１に矢印で示すように、工具４を移動させて加工物５
を研磨加工する。

【００３０】加工物５は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に移
動可能なテーブル上に載置されており、被加工物５は、
例えば、レンズ、ミラー及びこれらの金型となるもので
ある。

【００３１】工具４には、図２及び図３に示すように、
洗浄ブラシ６の先端部が押しつけられており、洗浄ブラ
シ６は、ブラシ保持部（保持部材）７にブラシ毛８が植
え込まれている。洗浄ブラシ６は、図４に示すように、
そのブラシ毛８が、所定本数ずつ毛束８ａとしてまとめ
られているとともに、毛束８ａが、行方向と列方向に揃
った碁盤目状にブラシ保持部７に植え込まれている。な
お、洗浄ブラシ６は、毛束８ａが、図５に示すように、
列方向で行方向に位置ずれした千鳥目状にブラシ保持部
７に植え込まれていてもよい。この洗浄ブラシ６のブラ
シ毛８は、例えば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植
物の繊維等で形成されている。

【００３２】いま、洗浄ブラシ６は、図４及び図５の列
方向（図４及び図５の縦方向）が工具４に対する洗浄方
向である。したがって、毛束８ａが千鳥目状にブラシ保
持部７に植え込まれている場合の方が、碁盤目状に植え
込まれている場合よりも、工具４との相対移動時の洗浄
方向での毛束８ａの間隔が小さくなり、工具４の洗浄ム
ラを少なくすることができる。

【００３３】そして、洗浄ブラシ６は、図２及び図３に
示すように、工具４の回転方向（図２及び図３で反時計
方向）に対して、工具４の最頂部よりも略４５度回転方
向に位置ずれした位置で工具４に接触する状態で配設さ
れている。

【００３４】研磨装置１は、図１及び図３に示すよう
に、液補給チューブ９から適宜洗浄液１０を洗浄ブラシ
６に対して供給している。なお、洗浄ブラシ６に供給す
る液体は、洗浄液１０に限るものではなく、例えば、加
工液であってもよい。

【００３５】次に、本実施の形態の作用を説明する。研
磨装置１は、研磨加工において、工具４を洗浄ブラシ６
で洗浄しつつ研磨加工を行い、また、洗浄ブラシ６に洗
浄液１０を供給して、工具４の加工面から異物を除去し
て、高品質の研磨加工を行うところにその特徴がある。

【００３６】すなわち、研磨装置１は、主軸ヘッド２と
加工物５を相対移動させて、例えば、図１に加工物５の
加工面に矢印で示すように、工具４を加工物５の加工面
に対して相対移動させて、加工物５を研磨加工する。

【００３７】このとき、工具４には、加工物５の切り屑
（研磨屑）やゴミ等の異物が付着するが、このような異
物が工具４の表面に付着した状態で加工を進めると、洗
浄ブラシ６が取り付けられていない場合の研磨痕のピッ
ク方向の断面曲面を示す図６から分かるように、加工が
進むに従って工具４の表面に切り屑が付着して、加工深
さが波打ちながら深くなる。

【００３８】ところが、本実施の形態の研磨装置１は、
工具４の表面に洗浄ブラシ６が押しつけられており、工
具４の回転により洗浄ブラシ６が工具４の表面から切り
屑等の異物を除去する。

【００３９】したがって、図７に洗浄ブラシ６が取り付
けられている場合の研磨痕のピック方向の断面曲面を示
すように、加工物５の加工面の深さが一定になり、研磨
形状の精度を向上させることができる。

【００４０】また、研磨装置１は、その洗浄ブラシ６に
適宜洗浄液１０を供給している。洗浄ブラシ６に洗浄液
１０あるいは加工液を供給すると、工具４の表面への洗
浄液１０や加工液の供給を均一に行うことができ、工具
４の表面の洗浄を均一に行うことができる。その結果、
工具４の表面の洗浄ムラを防止し、研磨形状の精度をよ
り一層向上させることができる。

【００４１】図８は、本発明の研磨装置の第２の実施の
形態を示す図であり、本実施の形態は、工具との接触位
置で工具の回転方向と反対方向に回転する洗浄ブラシで
工具表面を洗浄するもので、請求項３に対応するもので
ある。

【００４２】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第１の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第１の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。

【００４３】図８は、本発明の研磨装置の第２の実施の
形態を適用した研磨装置２０の要部正面図であり、研磨
装置２０は、上記第１の実施の形態と同様の工具４を備
え、工具４は主軸ヘッド２の先端に固定されたスピンド
ル３の先端に取り付けられている。工具４は、スピンド
ル３により所定の方向、例えば、図８に矢印で示すよう
に、反時計方向に回転駆動される。

【００４４】工具４には、洗浄ブラシ２１が当接してお
り、洗浄ブラシ２１は、工具４の取り付けられているス
ピンドル３の軸方向と平行にその軸方向を有する円筒状
のブラシ保持部（保持部材）２２を有し、そのブラシ保
持部２２の外周面にブラシ毛２３が植え付けられてい
る。洗浄ブラシ２１は、図示しないが、ブラシ保持部２
２に連結された軸を介して駆動モータにより、図８に矢
印で示すように、工具４との接触位置で、工具４の回転
方向とは反対方向、すなわち、時計方向に回転駆動され
る。

【００４５】洗浄ブラシ２１のブラシ毛２３は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。

【００４６】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置２０は、研磨加工において、工具
４を工具４の軸と平行な方向に回転軸を有する洗浄ブラ
シ２１を工具４の回転方向と反対方向に回転させて、工
具４の加工面から異物を除去して、高品質の研磨加工を
行うところにその特徴がある。

【００４７】すなわち、研磨装置２０は、第１の実施の
形態の研磨装置１と同様に、主軸ヘッド２と加工物５を
相対移動させて、加工物５を研磨加工する。

【００４８】このとき、工具４には、加工物５の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
２０は、工具４の表面に洗浄ブラシ２１が押しつけられ
ており、工具４の回転により洗浄ブラシ２１が工具４の
表面から切り屑等の異物を除去する。

【００４９】また、洗浄ブラシ２１は、そのブラシ保持
部２２が工具４の取り付けられているスピンドル３の軸
方向と平行の方向に軸方向を有し、このブラシ保持部２
２の軸方向を中心に回転駆動されているため、効率的に
工具４から異物を除去することができる。

【００５０】さらに、洗浄ブラシ２１は、工具４との接
触位置で、工具４の回転方向と反対方向に回転駆動さて
いるため、工具４と洗浄ブラシ２１との相対速度が向上
され、洗浄ブラシ２１による工具４の洗浄効果をより一
層向上させることができる。したがって、工具４と加工
物５との間に異物が進入することをより一層適切に防止
することができ、金型等の加工物５をより一層高精度に
研磨加工することができる。

【００５１】図９は、本発明の研磨装置の第３の実施の
形態を示す図であり、本実施の形態は、工具の軸方向に
直交する方向を軸方向として回転する洗浄ブラシで工具
表面を洗浄するもので、請求項４に対応するものであ
る。

【００５２】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第１の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第１の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。

【００５３】図９は、本発明の研磨装置の第３の実施の
形態を適用した研磨装置３０の要部斜視図であり、研磨
装置３０、上記第１の実施の形態と同様の工具４を備
え、工具４は主軸ヘッド２の先端に固定されたスピンド
ル３の先端に取り付けられている。工具４は、スピンド
ル３により所定の方向、例えば、図９の反時計方向に回
転駆動される。

【００５４】工具４には、洗浄ブラシ３１が当接してお
り、洗浄ブラシ３１は、工具４の取り付けられているス
ピンドル３の軸方向と直交する方向にその軸方向を有す
る円筒状のブラシ保持部（保持部材）３２の工具４側の
端面にブラシ毛３３が植え付けられている。洗浄ブラシ
３１は、図示しないが、ブラシ保持部３２に連結された
軸を介して駆動モータにより、図９に矢印で示すよう
に、時計方向に回転駆動される。

【００５５】洗浄ブラシ３１のブラシ毛３３は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。

【００５６】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置３０は、研磨加工において、工具
４を工具４の回転軸と直交する方向に回転軸を有する洗
浄ブラシ３１で、工具４の加工面から異物を除去して、
高品質の研磨加工を行うところにその特徴がある。

【００５７】すなわち、研磨装置３０は、第１の実施の
形態の研磨装置１と同様に、主軸ヘッド２と加工物５を
相対移動させて、加工物５を研磨加工する。

【００５８】このとき、工具４には、加工物５の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
３０は、工具４の表面に洗浄ブラシ３１が押しつけられ
ており、工具４の回転により洗浄ブラシ３１が工具４の
表面から切り屑等の異物を除去する。

【００５９】また、洗浄ブラシ３１は、そのブラシ保持
部３２が工具４の取り付けられているスピンドル３の軸
方向と直交する方向にその軸方向を有し、軸方向端面に
ブラシ毛３３が設けられて、このブラシ保持部３２の軸
方向を中心に回転駆動されているため、効率的に工具４
から異物を除去することができる。

【００６０】したがって、ブラシ毛３３の並び方やブラ
シ毛３３の密度の相違による洗浄の不均一性をなくし
て、洗浄ブラシ３１で工具４をより一層均一に洗浄する
ことができ、工具４と加工物５との間に異物が進入する
ことをより一層適切に防止して、金型等の加工物５をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。

【００６１】図１０は、本発明の研磨装置の第４の実施
の形態を示す図であり、本実施の形態は、工具の軸方向
に往復移動する洗浄ブラシで工具表面を洗浄するもの
で、請求項５に対応するものである。

【００６２】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第１の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第１の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。

【００６３】図１０は、本発明の研磨装置の第４の実施
の形態を適用した研磨装置４０の要部斜視図であり、研
磨装置４０、上記第１の実施の形態と同様の工具４を備
え、工具４は主軸ヘッド２の先端に固定されたスピンド
ル３の先端に取り付けられている。工具４は、スピンド
ル３により所定の方向、例えば、図１０の反時計方向に
回転駆動される。

【００６４】工具４には、洗浄ブラシ４１が当接してお
り、洗浄ブラシ４１は、工具４の取り付けられているス
ピンドル３の軸方向（工具４の回転軸方向）に所定の長
さを有する板状のブラシ保持部（保持部材）４２の工具
４側の側面にブラシ毛４３が植え付けられている。洗浄
ブラシ４１は、図示しないが、ブラシ保持部４２に連結
された軸を介して駆動モータにより、図１０に両矢印で
示すように、工具４の回転軸であるスピンドル３の軸方
向に往復移動される。

【００６５】洗浄ブラシ４１のブラシ毛４３は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されており、ブラシ毛４３は、上記第１の実施の形態
の場合と同様に、所定本数ずつ毛束としてまとめられて
いるとともに、毛束が、碁盤目状あるいは千鳥目状にブ
ラシ保持部４２に植え付けられている。

【００６６】また、洗浄ブラシ４１の往復移動の移動範
囲は、洗浄ブラシ４１の毛束の先端が工具４に対して接
触面で移動する範囲以上である。

【００６７】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置４０は、研磨加工において、工具
４を工具４の回転軸と同じ方向に往復移動する洗浄ブラ
シ４１で、工具４の加工面から異物を除去して、高品質
の研磨加工を行うところにその特徴がある。

【００６８】すなわち、研磨装置４０は、第１の実施の
形態の研磨装置１と同様に、主軸ヘッド２と加工物５を
相対移動させて、加工物５を研磨加工する。

【００６９】このとき、工具４には、加工物５の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
４０は、工具４の表面に洗浄ブラシ４１が押しつけられ
ており、工具４の回転により洗浄ブラシ４１が工具４の
表面から切り屑等の異物を除去する。

【００７０】また、洗浄ブラシ４１は、そのブラシ保持
部４２に取り付けられた駆動モータによりスピンドル３
の軸方向（工具４の回転軸方向）と平行な方向に往復移
動され、洗浄ブラシ４１の毛束の密度の違いや毛束の並
び方等による影響を受けることなく、洗浄ブラシ４１で
工具４を均一に洗浄することができる。したがって、洗
浄ブラシ４１による工具４の洗浄効果をより一層向上さ
せることができ、洗浄ブラシ４１で工具４をより一層均
一に洗浄することができる。その結果、工具４と加工物
５との間に異物が進入することをより一層適切に防止し
て、金型等の加工物５をより一層高精度に研磨加工する
ことができる。

【００７１】図１１は、本発明の研磨装置の第５の実施
の形態を示す図であり、本実施の形態は、回転する工具
で洗浄ブラシで工具表面を洗浄するとともに、工具の下
方に受け皿を配設して汚れた液や異物が加工面に付着す
るのを防止するもので、請求項７に対応するものであ
る。

【００７２】なお、本実施の形態は、上記第１の実施の
形態と同様の研磨装置に適用したものであり、本実施の
形態の説明において、上記第１の実施の形態と同様の構
成部分には、同一の符号を付してその詳細な説明を省略
するとともに、必要に応じて上記第１の実施の形態で用
いた符号をそのまま用いて説明する。

【００７３】図１１は、本発明の研磨装置の第５の実施
の形態を適用した研磨装置５０の要部正面図であり、研
磨装置５０は、上記第１の実施の形態と同様の工具４を
備え、工具４は、図示しないが、主軸ヘッド２の先端に
固定されたスピンドル３の先端に取り付けられている。
工具４は、スピンドル３により所定の方向、例えば、図
１０に矢印で示すように、反時計方向に回転駆動され
る。

【００７４】工具４には、洗浄ブラシ５１が当接してお
り、洗浄ブラシ５１は、工具４の取り付けられているス
ピンドル３の軸方向と平行な方向に軸方向を有する円筒
状のブラシ保持部（保持部材）５２に外周面にブラシ毛
５３が植え付けられている。洗浄ブラシ５１は、図示し
ないが、ブラシ保持部５２に連結された軸を介して駆動
モータにより、図１０に矢印で示すように、工具４との
接触位置で工具４の回転方向と同じ方向、すなわち、時
計方向に回転駆動される。

【００７５】洗浄ブラシ５１のブラシ毛５３は、例え
ば、合成樹脂、動物の毛、あるいは、植物の繊維等で形
成されている。

【００７６】洗浄ブラシ５１の下方には、受け皿（受け
容器）５４が配設されており、受け皿５４は、その工具
４側の先端が工具４の外周面に近接する状態で配設され
ている。受け皿５４は、洗浄ブラシ５１が工具４表面を
洗浄した際に洗浄ブラシ５１から飛散したり、滴下ある
いは落下する切り屑等の異物や洗浄液あるいは加工液を
受け取って収納する。

【００７７】次に、本実施の形態の作用を説明する。本
実施の形態の研磨装置５０は、研磨加工において、工具
４を工具４の軸と平行な方向に回転軸を有する洗浄ブラ
シ５１を工具４の回転方向と同じ方向に回転させて、工
具４の加工面から異物を除去するとともに、洗浄ブラシ
５１から滴下あるいは落下等する異物や洗浄液等を受け
皿５４で受け取って、高品質の研磨加工を行うところに
その特徴がある。

【００７８】すなわち、研磨装置５０は、第１の実施の
形態の研磨装置１と同様に、主軸ヘッド２と加工物５を
相対移動させて、加工物５を研磨加工する。

【００７９】このとき、工具４には、加工物５の切り屑
やゴミ等の異物が付着するが、本実施の形態の研磨装置
５０は、工具４の表面に洗浄ブラシ５１が押しつけられ
ており、工具４の回転により洗浄ブラシ５１が工具４の
表面から切り屑等の異物を除去する。

【００８０】また、洗浄ブラシ５１は、そのブラシ保持
部５２が工具４の取り付けられているスピンドル３の軸
方向と平行の方向に軸方向を有し、このブラシ保持部５
２の軸方向を中心に回転駆動されているため、効率的に
工具４から異物を除去することができる。

【００８１】さらに、洗浄ブラシ５１の下方に受け皿５
４が配設されており、受け皿５４で工具４を洗浄した洗
浄ブラシ５１から飛散、滴下あるいは落下等する工具４
から除去された異物や洗浄液あるいは加工液を受け取
る。また、このとき、洗浄ブラシ５１が工具４との接触
位置で工具４の回転方向と同じ方向、すなわち、受け皿
５４方向に回転駆動されているため、洗浄ブラシ５１か
ら飛散、滴下あるいは落下等する工具４から除去された
異物や洗浄液あるいは加工液をより一層適切に受け皿５
４内に収納することができ、これらの異物や汚れた洗浄
液あるいは加工液が工具４と加工物５の加工面との間に
進入することを防止することができる。その結果、正常
な加工液が工具４と加工物５との間に安定して供給され
るようにすることができ、加工物５の加工面をより一層
高精度に安定して研磨することができる。

【００８２】以上、本発明者によってなされた発明を好
適な実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
上記のものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。

【００８３】

【発明の効果】請求項１記載の発明の研磨装置によれ
ば、所定の曲率半径の工具を回転軸周りに回転させなが
ら、加工物を研磨加工するに際して、多数のブラシ毛が
保持部材に設けられた洗浄ブラシのブラシ毛の先端部を
回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄しているの
で、工具と加工物との間に異物が進入することを防止す
ることができ、金型等の加工物を高精度に研磨加工する
ことができる。

【００８４】請求項２記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、ブラシ毛が所定本数ずつ毛束として束ね
られて当該毛束が複数の列状に保持部材に設けられてい
るとともに、列状の毛束が千鳥目状に保持部材に設けら
れたものとしているので、工具に対する毛束の見かけ上
の間隔を狭くして、洗浄ブラシで工具をより均一に洗浄
することができ、工具と加工物との間に異物が進入する
ことをより一層適切に防止して、金型等の加工物をより
高精度に研磨加工することができる。

【００８５】請求項３記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、保持部材が工具の回転軸と平行な方向に
中心軸を有する円筒形状に形成され、ブラシ毛が当該円
筒形状の保持部材の外周面に設けられて、保持部材が中
心軸の軸周りに回転駆動されて工具を洗浄するものとし
ているので、工具と同方向または逆方向に回転する洗浄
ブラシで工具をより一層均一に洗浄して、工具と加工物
との間に異物が進入することをより一層適切に防止する
ことができ、金型等の加工物をより一層高精度に研磨加
工することができる。

【００８６】請求項４記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、保持部材が工具の回転軸と直交する方向
を中心軸として回転駆動され、当該保持部材の中心軸方
向の工具側の面にブラシ毛が設けられて、保持部材が回
転軸の軸周りに回転駆動されて工具を洗浄するものとし
ているので、ブラシ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違
による洗浄の不均一性をなくして、洗浄ブラシで工具を
より一層均一に洗浄することができ、工具と加工物との
間に異物が進入することをより一層適切に防止して、金
型等の加工物をより一層高精度に研磨加工することがで
きる。

【００８７】請求項５記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシを、ブラシ毛が工具に接触した状態で、工具
の回転軸方向に往復移動するものとしているので、ブラ
シ毛の並び方やブラシ毛の密度の相違による洗浄の不均
一性をなくして、洗浄ブラシで工具をより一層均一に洗
浄することができ、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止して、金型等の加工物をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。

【００８８】請求項６記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシに所定の洗浄液または加工液を供給する液供
給機構を設けているので、洗浄液や加工液を均一に供給
するとともに、洗浄ブラシによる工具の洗浄をより均一
に行うことができ、工具と加工物との間に異物が進入す
ることをより一層適切に防止して、金型等の加工物をよ
り一層高精度に研磨加工することができる。

【００８９】請求項７記載の発明の研磨装置によれば、
洗浄ブラシの下方に、研磨屑等の異物、洗浄液または加
工液等を受け取る受け容器を配設しているので、工具と
加工物の間に異物や汚れた洗浄液または汚れた加工液が
進入することを適切に防止することができ、金型等の加
工物をより一層高精度に研磨加工することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨装置の第１の実施の形態を適用し
た研磨装置の要部斜視図。

【図２】図１の研磨装置の工具部分の拡大正面図。

【図３】図１の研磨装置の洗浄液供給部分を含む工具部
分の拡大正面図。

【図４】図１の研磨装置の洗浄ブラシのブラシ毛側から
見た平面図。

【図５】図４の洗浄ブラシのブラシ毛の毛束の配列方法
を変化させた例の平面図。

【図６】図１の研磨装置で洗浄ブラシで工具を洗浄しな
い場合の加工の領域とその形状深さを示すグラフ。

【図７】図１の研磨装置で洗浄ブラシで工具を洗浄した
場合の加工の領域とその形状深さを示すグラフ。

【図８】本発明の研磨装置の第２の実施の形態を適用し
た研磨装置の要部正面図。

【図９】本発明の研磨装置の第３の実施の形態を適用し
た研磨装置の要部斜視図。

【図１０】本発明の研磨装置の第４の実施の形態を適用
した研磨装置の要部斜視図。

【図１１】本発明の研磨装置の第５の実施の形態を適用
した研磨装置の要部正面図。

【符号の説明】

１研磨装置２主軸ヘッド３スピンドル４工具５加工物６洗浄ブラシ７ブラシ保持部８ブラシ毛８ａ毛束９液補給チューブ１０洗浄液２０研磨装置２１洗浄ブラシ２２ブラシ保持部２３ブラシ毛３０研磨装置３１洗浄ブラシ３２ブラシ保持部３３ブラシ毛４０研磨装置４１洗浄ブラシ４２ブラシ保持部４３ブラシ毛５０研磨装置５１洗浄ブラシ５２ブラシ保持部５３ブラシ毛５４受け皿

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸に取り付けられた所定の曲率半径の
工具を、前記回転軸周りに回転させながら、加工物を研
磨加工する研磨装置において、多数のブラシ毛が保持部
材に設けられた洗浄ブラシの前記ブラシ毛の先端部を前
記回転する工具に押し当てて当該工具を洗浄することを
特徴とする研磨装置。
【請求項２】前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が所定本
数ずつ毛束として束ねられて当該毛束が複数の列状に前
記保持部材に設けられているとともに、前記列状の毛束
が千鳥目状に前記保持部材に設けられていることを特徴
とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工
具の前記回転軸と平行な方向に中心軸を有する円筒形状
に形成され、前記ブラシ毛が当該円筒形状の前記保持部
材の外周面に設けられており、前記保持部材が前記中心
軸の軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄することを
特徴とする請求項１または請求項２記載の研磨装置。
【請求項４】前記洗浄ブラシは、前記保持部材が前記工
具の前記回転軸と直交する方向を中心軸として回転駆動
され、当該保持部材の前記中心軸方向の前記工具側の面
に前記ブラシ毛が設けられており、前記保持部材が前記
回転軸の軸周りに回転駆動されて前記工具を洗浄するこ
とを特徴とする請求項１または請求項２記載の研磨装
置。
【請求項５】前記洗浄ブラシは、前記ブラシ毛が前記工
具に接触した状態で、前記工具の前記回転軸方向に往復
移動されることを特徴とする請求項１から請求項４のい
ずれかに記載の研磨装置。
【請求項６】前記研磨装置は、前記洗浄ブラシに所定の
洗浄液または加工液を供給する液供給機構を、さらに備
えたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか
に記載の研磨装置。
【請求項７】前記研磨装置は、前記洗浄ブラシの下方
に、研磨屑等の異物、洗浄液または加工液等を受け取る
受け容器が配設されていることを特徴とする請求項１か
ら請求項６のいずれかに記載の研磨装置。