JPH02205470A - 磁気ヘッドの研摩装置 - Google Patents
磁気ヘッドの研摩装置Info
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- JPH02205470A JPH02205470A JP1023026A JP2302689A JPH02205470A JP H02205470 A JPH02205470 A JP H02205470A JP 1023026 A JP1023026 A JP 1023026A JP 2302689 A JP2302689 A JP 2302689A JP H02205470 A JPH02205470 A JP H02205470A
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- polishing
- spindle
- magnetic head
- head
- tilting
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、多数の磁気ヘッドのヘッド面を研摩するため
の研摩装置に係わり、特に、研摩精度を向上するための
改良に関する。
の研摩装置に係わり、特に、研摩精度を向上するための
改良に関する。
「従来の技術」
70ツピーデイスク用等の磁気ヘッドの製造工程におい
て、そのヘッド面を研摩する場合、従来は例えば第2図
および第3図に示す構成の装置が使用されている。
て、そのヘッド面を研摩する場合、従来は例えば第2図
および第3図に示す構成の装置が使用されている。
図中符号1は回転テープ°ル(図示略)上で平行に支持
された一対のローラであり、これらローラ1間にはラッ
ピングテープ2が巻かれ、テーブルに固定されたクツシ
ョン材3の上面に沿って張られている。また、ラフピン
グテープ2の中央上方には、下面に多数の磁気へラドH
を複数列に並べて保持するヘッド保持治具4が配置され
ており、このヘッド保持治具4を下降させて磁気ヘッド
H・・・をラッピングテープ2に弾性的に押し当て、テ
ーブルごとラッピングテープ2を水平回転することによ
り、各磁気ヘッドHのヘッド面を滑らかな曲面に研摩(
ブレンド加工)する。なおラッピングテープ2は、−回
の研摩が完了する毎に一定距離巻き取り、新しい面を露
出させて再使用する。
された一対のローラであり、これらローラ1間にはラッ
ピングテープ2が巻かれ、テーブルに固定されたクツシ
ョン材3の上面に沿って張られている。また、ラフピン
グテープ2の中央上方には、下面に多数の磁気へラドH
を複数列に並べて保持するヘッド保持治具4が配置され
ており、このヘッド保持治具4を下降させて磁気ヘッド
H・・・をラッピングテープ2に弾性的に押し当て、テ
ーブルごとラッピングテープ2を水平回転することによ
り、各磁気ヘッドHのヘッド面を滑らかな曲面に研摩(
ブレンド加工)する。なおラッピングテープ2は、−回
の研摩が完了する毎に一定距離巻き取り、新しい面を露
出させて再使用する。
[発明が解決しようとする課題」
ところが上記の研摩装置では、ラッピングテープ2の回
転により研摩を行なうため、回転中心の近傍に当たる磁
気ヘッドHと、回転の外周部に当たる磁気ヘッドHとで
は周速度等の研摩条件が異なり、研摩後のヘッド面形状
にバラツキが生じることが避けられなかっj;。またヘ
ッド面の曲面形状は、磁気ヘッドHを押し当てた際のラ
ッピングテープ2の凹み具合によって決定されるため、
所望の形状に完全に一致させることは困難だった。
転により研摩を行なうため、回転中心の近傍に当たる磁
気ヘッドHと、回転の外周部に当たる磁気ヘッドHとで
は周速度等の研摩条件が異なり、研摩後のヘッド面形状
にバラツキが生じることが避けられなかっj;。またヘ
ッド面の曲面形状は、磁気ヘッドHを押し当てた際のラ
ッピングテープ2の凹み具合によって決定されるため、
所望の形状に完全に一致させることは困難だった。
さらに、ラッピングテープ2の表面は円形に使用される
うえ、この円内においても研摩に使用されない部分が同
心円状に生じるため、ラッピングテープ2の使用効率が
悪く、その分、コストがかかる問題も有していた。
うえ、この円内においても研摩に使用されない部分が同
心円状に生じるため、ラッピングテープ2の使用効率が
悪く、その分、コストがかかる問題も有していた。
[課題を解決するための手段」
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、研
摩体を支持するテーブルと、このテーブルを前後および
左右方向に移動させるテーブル移動機構と、先端部に各
1個の磁気ヘッドを保持しうる多数のスピンドルを前記
先端部を前記研摩体に対向させた状態で1列平行に支持
するスピンドル支持体と、前記各スピンドルを軸線回り
に回転させるスピンドル回転機構と、前記スピンドル支
持体をスピンドルの整列方向と直交する方向へ傾動させ
る傾動機構とを具備したことを特徴とする。
摩体を支持するテーブルと、このテーブルを前後および
左右方向に移動させるテーブル移動機構と、先端部に各
1個の磁気ヘッドを保持しうる多数のスピンドルを前記
先端部を前記研摩体に対向させた状態で1列平行に支持
するスピンドル支持体と、前記各スピンドルを軸線回り
に回転させるスピンドル回転機構と、前記スピンドル支
持体をスピンドルの整列方向と直交する方向へ傾動させ
る傾動機構とを具備したことを特徴とする。
「作 用」
この研摩装置では、−列平行に並んだ各スピンドルの先
端部に磁気ヘッドを各1個装着し、これらのヘッド面を
テーブル上の研摩体に当接させつつ各スピンドルを回転
させ、さらにテーブルを前後左右に揺動させて研摩を行
なう。
端部に磁気ヘッドを各1個装着し、これらのヘッド面を
テーブル上の研摩体に当接させつつ各スピンドルを回転
させ、さらにテーブルを前後左右に揺動させて研摩を行
なう。
これにより、全ての磁気ヘッドにおいて研摩条件を統一
し、研摩形状のバラツキを無くして極めて高い研摩精度
が得られる。また、スピンドル傾動機構によって各スピ
ンドルをその整列方向と直交する方向に傾動させること
により、磁気ヘッドの回転軸線と研摩体表面との角度が
任意に変更でき、ヘッド面の曲面形状を自由に設定可能
である。
し、研摩形状のバラツキを無くして極めて高い研摩精度
が得られる。また、スピンドル傾動機構によって各スピ
ンドルをその整列方向と直交する方向に傾動させること
により、磁気ヘッドの回転軸線と研摩体表面との角度が
任意に変更でき、ヘッド面の曲面形状を自由に設定可能
である。
さらに、磁気ヘッドを一列に並べ、研摩体を前後左右に
揺動して研摩するから、研摩体の表面を隙間なく研摩に
供用でき、研摩体の使用効率が高い。
揺動して研摩するから、研摩体の表面を隙間なく研摩に
供用でき、研摩体の使用効率が高い。
「実施例」
次に、本発明に係わる磁気ヘッドの研摩装置の一実施例
を第1図を用いて説明する。なお、以下の説明で用いる
前後左右は、図示の状態に準じるものとする。
を第1図を用いて説明する。なお、以下の説明で用いる
前後左右は、図示の状態に準じるものとする。
図中符号lOは矩形状のテーブルであり、このテーブル
10は左右レール11および前後レール12を介して床
上Iこ水平に設置されている。また床下には1対の前後
アクチュエータおよび左右アクチュエータ(共に図示略
)が設置されるとともに、テーブル10はアーム13,
14 およびロッド15.16 を介して前記各アク
チュエータに連結され、前後左右任意に移動されるよう
になっている。
10は左右レール11および前後レール12を介して床
上Iこ水平に設置されている。また床下には1対の前後
アクチュエータおよび左右アクチュエータ(共に図示略
)が設置されるとともに、テーブル10はアーム13,
14 およびロッド15.16 を介して前記各アク
チュエータに連結され、前後左右任意に移動されるよう
になっている。
テーブル10の上面は前後方向3つに等区画され、その
前側が第1ステージIOA、中央が第2ステージIOB
、後側が第3ステージIOCとされている。
前側が第1ステージIOA、中央が第2ステージIOB
、後側が第3ステージIOCとされている。
第1ステージIOAおよび第3ステージIOCの左右両
側には、それぞれ対をなす巻回ローラ17A、17Bお
よび18A、18Bがテーブル10の側線に沿って水平
に取り付けられ、ローラ17A、17 B には荒加
工用ラッピングテープ19が、ローラ18A、18B
には仕上げ加工用ラッピングテープ20(共に研摩体
)がそれぞれ巻回されている。
側には、それぞれ対をなす巻回ローラ17A、17Bお
よび18A、18Bがテーブル10の側線に沿って水平
に取り付けられ、ローラ17A、17 B には荒加
工用ラッピングテープ19が、ローラ18A、18B
には仕上げ加工用ラッピングテープ20(共に研摩体
)がそれぞれ巻回されている。
これらラッピングテープ19.20 は、いずれも、
ダイヤモンド等の砥粒を上面に固着してなるものである
。また、第1および第3・ス・テージ10A。
ダイヤモンド等の砥粒を上面に固着してなるものである
。また、第1および第3・ス・テージ10A。
10C上には、各ラッピングテープ19.20の下面を
支える平板状のウレタンゴム族等のクツション材(図示
略)が配置されるとともに、各クツション材の左右両側
にはラッピングテープ19.20を上から押さえるガイ
ドローラ21.22 が各1対配置されている。
支える平板状のウレタンゴム族等のクツション材(図示
略)が配置されるとともに、各クツション材の左右両側
にはラッピングテープ19.20を上から押さえるガイ
ドローラ21.22 が各1対配置されている。
また、装置左側の各巻回ローラl 7A、18Aには、
それぞれ巻き取り機構(図示略)が付設されるとともに
、同じ側の各ガイドローラ21.22にはラッピングテ
ープ19,20の巻き取り量を計測するカウンタ23が
それぞれ付設されている。
それぞれ巻き取り機構(図示略)が付設されるとともに
、同じ側の各ガイドローラ21.22にはラッピングテ
ープ19,20の巻き取り量を計測するカウンタ23が
それぞれ付設されている。
一方、繰り出し側の各巻回ローラ17B、18Bには、
これらの回転抵抗を増減してラッピングテープ19.2
0 の張力を調整する張力調整機構24がそれぞれ設
けられている。
これらの回転抵抗を増減してラッピングテープ19.2
0 の張力を調整する張力調整機構24がそれぞれ設
けられている。
他方、第2ステージIOBには、その上面全面に互って
、毛足の短いナイロン製等の洗浄ブラシ25が敷かれて
いる。
、毛足の短いナイロン製等の洗浄ブラシ25が敷かれて
いる。
次に、テーブル10の左側方には、一対のレール26が
前後方向に向けて床面に固定され、これらレール26上
には移動台27が直立状態で取り付けられている。また
、レール26の前方には進退アクチュエータ28が設置
され、移動台27の下端と噛合するスクリュウ29を回
転し、移動台27をレール26に沿って前後に移動する
ようになっている。
前後方向に向けて床面に固定され、これらレール26上
には移動台27が直立状態で取り付けられている。また
、レール26の前方には進退アクチュエータ28が設置
され、移動台27の下端と噛合するスクリュウ29を回
転し、移動台27をレール26に沿って前後に移動する
ようになっている。
一方、テーブルlOの上方には、直方体状の傾動体30
が左右に向けて略垂直に配置され、この傾動体30の下
端部は移動台27により前後方向へ傾動可能に軸支され
ている。また、移動台27の上端部の右側面には前後方
向に向けてスクリュウ31(傾動機構)が取り付けられ
るとともに、傾動体30の側面にはこのスクリュウ31
と噛合する雌ネジ部材(図示Iiりが上下移動可能に固
定され、アクチュエータ(図示路)によりスクリュウ3
1が回転されると、傾動体30が前後に傾動するように
なっている。
が左右に向けて略垂直に配置され、この傾動体30の下
端部は移動台27により前後方向へ傾動可能に軸支され
ている。また、移動台27の上端部の右側面には前後方
向に向けてスクリュウ31(傾動機構)が取り付けられ
るとともに、傾動体30の側面にはこのスクリュウ31
と噛合する雌ネジ部材(図示Iiりが上下移動可能に固
定され、アクチュエータ(図示路)によりスクリュウ3
1が回転されると、傾動体30が前後に傾動するように
なっている。
傾動体30の前面側には、スピンドル支持板32がガイ
ドロッド(図示路)を介して平行に取り付けられ、傾動
体30の上端に固定された昇降アクチュエータ33によ
り昇降操作可能とされている。
ドロッド(図示路)を介して平行に取り付けられ、傾動
体30の上端に固定された昇降アクチュエータ33によ
り昇降操作可能とされている。
この支持板32の前面には、多数のスピンドル34が互
いに平行かつ等間隔を空けて1列に取り付けられ、全て
軸回り回転可能とされている。またスピンドル34の上
端にはプーリ35がそれぞれ固定されており、支持板3
2に固定された回転アクチュエータ36(スピンドル回
転機構)により、タイミングベルト37を介して同速回
転されるようになっている。
いに平行かつ等間隔を空けて1列に取り付けられ、全て
軸回り回転可能とされている。またスピンドル34の上
端にはプーリ35がそれぞれ固定されており、支持板3
2に固定された回転アクチュエータ36(スピンドル回
転機構)により、タイミングベルト37を介して同速回
転されるようになっている。
一方、各スピンドル34の下端には、ヘッド面を下に向
けて各1個の磁気ヘッドを着脱可能に挾持するチャック
機構(図示路)が設けられている。
けて各1個の磁気ヘッドを着脱可能に挾持するチャック
機構(図示路)が設けられている。
これらチャック機構は、内蔵するスプリングにより磁気
ヘッドの当接圧力を一定に維持する作用を有する。さら
に、スピンドル支持板32の下端には給水ノズル(図示
路)が設けられ、研摩部に散水できるようになっている
。
ヘッドの当接圧力を一定に維持する作用を有する。さら
に、スピンドル支持板32の下端には給水ノズル(図示
路)が設けられ、研摩部に散水できるようになっている
。
なお、図示してはいないが、この装置の後方には各スピ
ンドル34に磁気ヘッドを装着するためのヘッド供給装
置、および研摩加工の完了した磁気ヘッドを各スピンド
ル34から受は取るためのヘッド受取装置がそれぞれ設
置され、傾動体3゜はこれら装置の上方まで後退可能と
されている。
ンドル34に磁気ヘッドを装着するためのヘッド供給装
置、および研摩加工の完了した磁気ヘッドを各スピンド
ル34から受は取るためのヘッド受取装置がそれぞれ設
置され、傾動体3゜はこれら装置の上方まで後退可能と
されている。
上記構成からなる磁気ヘッド研摩装置を使用するには、
まず、進退アクチュエータ28を作動し、傾動体30を
ヘッド供給装置上に移動する。そして昇降アクチュエー
タ33によりスピンドル支持板32を下降させ、ヘッド
供給装置により整列された磁気ヘッドを、各スピンドル
34のチャックで挟持する。
まず、進退アクチュエータ28を作動し、傾動体30を
ヘッド供給装置上に移動する。そして昇降アクチュエー
タ33によりスピンドル支持板32を下降させ、ヘッド
供給装置により整列された磁気ヘッドを、各スピンドル
34のチャックで挟持する。
次いで、進退アクチュエータ28により傾動体30を第
1ステージIOA上に移動し、傾動スクリュウ31を回
転して、傾動体30をエツジ角取りに適した所定角度だ
け傾ける。さらに支持板32を下降させ、スピンドル3
4・・・に装着された全ての磁気ヘッドを荒加工用ラッ
ピングテープ19に所定圧力で押し当てる。そして各磁
気ヘッドにノズルから給水しつつ、回転アクチュエータ
36を作動してスピンドル34・・・を同速回転し、ヘ
ッド面のエツジ角取りを行なう。同時にテーブルlOを
前後左右に揺動し、ラッピングテープ上の所定範囲(一
部または全面)でむらなく研摩が行なわれるようにする
。
1ステージIOA上に移動し、傾動スクリュウ31を回
転して、傾動体30をエツジ角取りに適した所定角度だ
け傾ける。さらに支持板32を下降させ、スピンドル3
4・・・に装着された全ての磁気ヘッドを荒加工用ラッ
ピングテープ19に所定圧力で押し当てる。そして各磁
気ヘッドにノズルから給水しつつ、回転アクチュエータ
36を作動してスピンドル34・・・を同速回転し、ヘ
ッド面のエツジ角取りを行なう。同時にテーブルlOを
前後左右に揺動し、ラッピングテープ上の所定範囲(一
部または全面)でむらなく研摩が行なわれるようにする
。
エツジ角取りを終えたら、傾動体30を第2ステージI
OB上に移動するとともに垂直位置に戻し、各磁気ヘツ
、ドを洗浄ブラシ25に押し当てる。
OB上に移動するとともに垂直位置に戻し、各磁気ヘツ
、ドを洗浄ブラシ25に押し当てる。
そして、給水しつつスピンドル34・・・を回転させ、
同時にテーブル10を前後左右に揺動し、ヘッド面を洗
浄して荒加工時に生じたカスを除去する。
同時にテーブル10を前後左右に揺動し、ヘッド面を洗
浄して荒加工時に生じたカスを除去する。
flLJ終了後、次に傾動体30を第3ステージ10C
上に移動し、磁気ヘッドを仕上用ラッピングテープ20
に押し当てる。そして給水しつつ所定の角度内で傾動体
30を前後に往復傾動し、同時にテーブル10を前後左
右に揺動して、スピンドル34・・・を回転させる。こ
れにより、ヘッド面は滑らかな曲面状に研摩され、傾動
角度および研摩時間に応じて所望の形状に整えられる。
上に移動し、磁気ヘッドを仕上用ラッピングテープ20
に押し当てる。そして給水しつつ所定の角度内で傾動体
30を前後に往復傾動し、同時にテーブル10を前後左
右に揺動して、スピンドル34・・・を回転させる。こ
れにより、ヘッド面は滑らかな曲面状に研摩され、傾動
角度および研摩時間に応じて所望の形状に整えられる。
こうして仕上げ研摩を終えたら、傾動体30を装置後方
にあるヘッド受取装置上に移動し、スピンドル34・・
・から磁気ヘッドを受取装置に引き渡して1サイクルが
完了する。
にあるヘッド受取装置上に移動し、スピンドル34・・
・から磁気ヘッドを受取装置に引き渡して1サイクルが
完了する。
なおlサイクル完了後には、必要に応じてラッピングテ
ープ19.20 を使用分だけ巻き取り、新たな研摩
面を露出させる。ただしラッピングテープの使用箇所を
その一部に限った場合には、巻き上げを行なわずに未使
用のまま残った部分を使用すればよい。
ープ19.20 を使用分だけ巻き取り、新たな研摩
面を露出させる。ただしラッピングテープの使用箇所を
その一部に限った場合には、巻き上げを行なわずに未使
用のまま残った部分を使用すればよい。
上記のような研摩装置によれば、1列に並ぶスピンドル
に保持しj;磁気ヘッドをラッピングテープ19(20
)に当接させたうえ、各スピンドル34を回転させつつ
テーブル10を前後左右に揺動させて研摩を行なうため
、全ての磁気ヘッドの研摩条件を略完全に統一すること
ができ、研摩形状のバラツキを無くして、研摩精度を格
段に高めることができる。
に保持しj;磁気ヘッドをラッピングテープ19(20
)に当接させたうえ、各スピンドル34を回転させつつ
テーブル10を前後左右に揺動させて研摩を行なうため
、全ての磁気ヘッドの研摩条件を略完全に統一すること
ができ、研摩形状のバラツキを無くして、研摩精度を格
段に高めることができる。
まt;、傾動スクリュウ31によってスピンドル34・
・・をその整列方向と直交する方向に傾動させることに
より、磁気ヘッドの回転軸線とラッピングテープ19.
20 の表面との角度を任意に変更可能できるので、
ヘッド面の曲面形状を自由に設定でき、所望の形状が容
易に得られる。
・・をその整列方向と直交する方向に傾動させることに
より、磁気ヘッドの回転軸線とラッピングテープ19.
20 の表面との角度を任意に変更可能できるので、
ヘッド面の曲面形状を自由に設定でき、所望の形状が容
易に得られる。
さらに、磁気ヘッドを一列に並べ、ラッピングテープ1
9.20 を前後左右に揺動じてこれらを研摩するか
ら、ラッピングテープ19.20 の表面を隙間なく
研摩に使用することが可能で、研摩体の使用効率を高め
コスト低下が図れる。さらIこ同じ理由からラッピング
テープ19.20 の幅は比較的小さくて済むため、
各ステージl0A−Cの幅を小さくし、装置の小形化が
図れる利点も有する。
9.20 を前後左右に揺動じてこれらを研摩するか
ら、ラッピングテープ19.20 の表面を隙間なく
研摩に使用することが可能で、研摩体の使用効率を高め
コスト低下が図れる。さらIこ同じ理由からラッピング
テープ19.20 の幅は比較的小さくて済むため、
各ステージl0A−Cの幅を小さくし、装置の小形化が
図れる利点も有する。
なお上記実施例では、研摩体として砥粒を固着したラッ
ピングテープ19.20 を用いたが、本発明はこれ
に限らず他種の研摩体を用いることも可能である。また
、研摩体の種類によってはテーブル10を必ずしも水平
に設置する必要はなく、垂直等に配置して装置の設置ス
ペースを小さくしてもよい。
ピングテープ19.20 を用いたが、本発明はこれ
に限らず他種の研摩体を用いることも可能である。また
、研摩体の種類によってはテーブル10を必ずしも水平
に設置する必要はなく、垂直等に配置して装置の設置ス
ペースを小さくしてもよい。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明に係わる磁気ヘッドの研摩
装置によれば、次のような優れた効果が得られる。
装置によれば、次のような優れた効果が得られる。
■ 多数の磁気ヘッドを一列に並べてテーブル上の研摩
体に当接させつつ、各磁気ヘッドを保持する各スピンド
ルを軸回りに回転し、同時にテーブルを前後左右に揺動
して研摩を行なうので、全ての磁気ヘッドの研摩条件を
統一し、バラツキを防いで研摩精度を格段に高めること
ができる。
体に当接させつつ、各磁気ヘッドを保持する各スピンド
ルを軸回りに回転し、同時にテーブルを前後左右に揺動
して研摩を行なうので、全ての磁気ヘッドの研摩条件を
統一し、バラツキを防いで研摩精度を格段に高めること
ができる。
■ 研摩時に、スピンドル傾動機構によって各磁気ヘッ
ドの回転−線と研摩体表面との角度を任意に変更できる
ため、ヘッド面の曲面形状を自由に設定できる。
ドの回転−線と研摩体表面との角度を任意に変更できる
ため、ヘッド面の曲面形状を自由に設定できる。
■ 磁気ヘッドを一列に並べ、研摩体を前後左右に揺動
して研摩するから、研摩体の表面を隙間なく研摩に使用
することができ、その使用効率を格段に高められる。
して研摩するから、研摩体の表面を隙間なく研摩に使用
することができ、その使用効率を格段に高められる。
第1図は本発明に係わる磁気ヘッドの研摩装置の一実施
例を示す斜視図、wC2図および第313!7は従来の
研摩装置の概略構成を示す側面図および平面図である。 10・・・テーブル、13,14,15.16・・・テ
ーブル移動機構、19・・・荒加工用ラッピングテープ
、20・・・仕上用ラッピングテープ(共に研摩体)、
25・・・洗浄ブラシ、27・・・移動台、28・・・
進退アクチュエータ、30・・・傾動体、31・・・傾
動スクリュウ(傾動機構)、32・・・スピンドル支持
板、33・・・昇降アクチュエータ、34・・・スピン
ドル、36・・・回転アクチュエータ(スピンドル回転
機構)。 特許出願人 アルプス電気株式会社 代表者 片 岡 政 隆
例を示す斜視図、wC2図および第313!7は従来の
研摩装置の概略構成を示す側面図および平面図である。 10・・・テーブル、13,14,15.16・・・テ
ーブル移動機構、19・・・荒加工用ラッピングテープ
、20・・・仕上用ラッピングテープ(共に研摩体)、
25・・・洗浄ブラシ、27・・・移動台、28・・・
進退アクチュエータ、30・・・傾動体、31・・・傾
動スクリュウ(傾動機構)、32・・・スピンドル支持
板、33・・・昇降アクチュエータ、34・・・スピン
ドル、36・・・回転アクチュエータ(スピンドル回転
機構)。 特許出願人 アルプス電気株式会社 代表者 片 岡 政 隆
Claims (1)
- 研摩体を支持するテーブルと、このテーブルを前後およ
び左右方向に移動させるテーブル移動機構と、先端部に
各1個の磁気ヘッドを保持しうる多数のスピンドルを前
記先端部を前記研摩体に対向させた状態で1列平行に支
持するスピンドル支持体と、前記各スピンドルを軸線回
りに回転させるスピンドル回転機構と、前記スピンドル
支持体をスピンドルの整列方向と直交する方向へ傾動さ
せる傾動機構とを具備したことを特徴とする磁気ヘッド
の研摩装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1023026A JPH02205470A (ja) | 1989-02-01 | 1989-02-01 | 磁気ヘッドの研摩装置 |
KR1019890015286A KR900013465A (ko) | 1989-02-01 | 1989-10-24 | 자기헤드의 연마장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1023026A JPH02205470A (ja) | 1989-02-01 | 1989-02-01 | 磁気ヘッドの研摩装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02205470A true JPH02205470A (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=12098966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1023026A Pending JPH02205470A (ja) | 1989-02-01 | 1989-02-01 | 磁気ヘッドの研摩装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02205470A (ja) |
KR (1) | KR900013465A (ja) |
-
1989
- 1989-02-01 JP JP1023026A patent/JPH02205470A/ja active Pending
- 1989-10-24 KR KR1019890015286A patent/KR900013465A/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR900013465A (ko) | 1990-09-05 |
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