JP2001025951A - 多軸式横型研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワークを段階的な粗さで研磨すると共に、研磨
盤の研磨面全体を使用することにより研磨盤の使用効率
を向上し、さらにはワークの研磨傷を滑らかにすること
によって光の接続損失を低減するようにした。 【解決手段】回転駆動される粗さの異なる複数の研磨盤
１、１…が並設されてなる多軸式横型研磨機において、
ワークセット治具３を所定の研磨盤１の前位置に移動す
る横送り機構と、ワークセット治具３を研磨盤１に沿っ
て平行に所定幅で往復移動させる横揺動機構と、ワーク
セット治具３に取付けられたワーク２を研磨盤１に所定
圧力で押圧する研磨圧力調整機構と、ワーク２の研磨量
を制御する切込送り制御機構とを備えたことにより、ワ
ーク２を粗さ大から小の研磨盤１、１…へと段階的に移
動し、夫々の研磨盤１の研磨面ｆにワーク２の端面を所
定の研磨圧力で押圧しながら所定の研磨量だけ横揺動し
つつ旋回揺動させることにより研磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品や光ファ
イバー等の被研磨材（「ワーク」と称する）の端面を段
階的な粗さの研磨盤で研磨することにより高精度な研磨
面を得るようにした多軸式横型研磨機に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、光ファイバーの突合せ接続にお
いては、伝送する光の接続損失をできるだけ小さく抑え
る必要があるため、光ファイバーの端部に設けられたコ
ネクタの端面を高精度に研磨する必要がある。

【０００３】このような光ファイバー等のワークに対し
て高精度の端面研磨を行うためには、微小粗さの仕上げ
用研磨盤によって仕上げ研磨を行う必要があるが、作業
効率を向上するためには、その前工程として粗仕上げ研
磨をしておく必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の研磨
機において、研磨盤を回転する主軸が１軸に構成されて
いる場合、粗仕上げ用研磨盤による研磨作業を行った後
に、この研磨盤を取り外して仕上げ用研磨盤に交換する
必要があり、その交換作業に手間を要するという欠点が
あった。

【０００５】また、従来の研磨機において、研磨盤に対
するワークの取付け位置が固定されている場合、研磨盤
に対するワークの接触箇所の摩耗が集中的に進んでしま
い、研磨盤の使用効率が非常に悪くなるという欠点があ
った。

【０００６】さらに、従来の端面研磨機において、上記
と同様に研磨盤に対するワークの取付け位置が固定され
ている場合、ワークの端面に生じる研磨傷が一方向の筋
状に形成され、光の接続損失が大きくなるという欠点が
あった。

【０００７】本発明は、上記のような問題点を解消する
ために成されたもので、光学部品等のワークを段階的な
粗さで研磨すると共に、研磨盤の研磨面全体を使用する
ことにより研磨盤の使用効率を向上し、さらにはワーク
の研磨傷を滑らかにすることによって光の接続損失を低
減するようにした多軸式横型研磨機を提供することを目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の請求項１の多軸式横型研磨機は、回転駆
動される粗さの異なる複数の研磨盤が並設されてなる多
軸式横型研磨機において、ワークを取付けるワークセッ
ト治具を所定の研磨盤の前位置に移動する横送り機構
と、前記ワークセット治具を前記研磨盤の研磨面に沿っ
て平行に所定幅で往復移動させる横揺動機構と、前記ワ
ークセット治具を前記研磨盤の研磨面に沿って所定の円
弧幅で往復移動させる旋回揺動機構と、前記研磨盤に対
する前記ワークセット治具に取付けられたワークの研磨
量を制御する切込送り制御機構と、前記ワークセット治
具に取付けられたワークを前記研磨盤の研磨面に所定圧
力で押圧する研磨圧力調整機構とを備えたことにより、
前記ワークセット治具に取付けられたワークを粗さ大か
ら小の研磨盤へと段階的に移動し、夫々の研磨盤の研磨
面に前記ワークの端面を所定の研磨圧力で押圧しながら
所定の研磨量だけ横揺動しつつ旋回揺動させることによ
り研磨するようにしたことを特徴とする。

【０００９】また、本発明の請求項２の多軸式横型研磨
機は、請求項１において、前記ワークセット治具を前記
研磨盤の研磨面に沿って所定の円弧幅で往復移動させる
旋回揺動機構を備えたことを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら説明する。

【００１１】本発明による多軸式横型研磨機は、図１又
は図２に示すように、回転駆動される粗さの異なる複数
の研磨盤１、１…が並設されてなる多軸式横型研磨機に
おいて、ワーク２を取付けるワークセット治具３を所定
の研磨盤の前位置に移動する横送り機構と、ワークセッ
ト治具３を研磨盤１の研磨面ｆに沿って平行に所定幅で
往復移動させる横揺動機構と、ワークセット治具３を研
磨盤１の研磨面ｆに沿って所定の円弧幅で往復移動させ
る旋回揺動機構と、研磨盤１に対するワークセット治具
３に取付けられたワーク２の研磨量を制御する切込送り
制御機構と、ワークセット治具３に取付けられたワーク
２を研磨盤１の研磨面ｆに所定圧力で押圧する研磨圧力
調整機構とを備えたことにより、ワークセット治具３に
取付けられたワーク２を粗さ大から小の研磨盤１、１…
へと段階的に移動し、夫々の研磨盤１の研磨面ｆにワー
ク２の端面を所定の研磨圧力で押圧しながら所定の研磨
量だけ横揺動しつつ旋回揺動させることにより研磨する
ようにしたものである。

【００１２】また、本実施例において作業台１０のベッ
ド１１上に設けられた架台５、６、７、８とワークセッ
ト治具３の構成は、複数の研磨盤１、１…が並設された
ハウジング４を立設してなるベッド１１上の前方に、図
２に示すように、研磨盤１の研磨面ｆに沿って平行に移
動される下架台５が設けられ、下架台５の上部には研磨
盤１の研磨面ｆに沿って平行に往復移動される中架台６
が設けられ、中架台６の上部には研磨盤１の研磨面ｆに
対して垂直方向に移動される上架台７が設けられ、上架
台７の上部には研磨盤１の研磨面ｆに対して垂直方向に
案内されるフリー架台８が摺動自在に設けられ、フリー
架台８の上部に設けられた揺動軸受９にワークセット治
具３の揺動軸１３が支承され、ワークセット治具３には
揺動軸１３と同方向にワーク２が着脱自在に取り付けら
れてなるものである。

【００１３】このような多軸式横型研磨機の構成につい
てより詳細に述べると、図１に示すように、作業台１０
の上面に水平を成すベッド１１が設けられ、ベッド１１
の後方に立設された水除けカバー４の横方向に所定間隔
をあけて３台のスピンドル１４、１４…が設けられ、夫
々のスピンドル１４の後部にはプーリ１５が接続され、
各プーリ１５は作業台１０の下方内部に設けられたモー
タ（不図示）の回転軸にベルト１６（図５参照）を介し
て連結されている。

【００１４】また、図２に示すように、夫々のスピンド
ル１４を介して各軸に粗さの異なる３種の研磨盤、即ち
荒仕上研磨盤１ａと中荒仕上研磨盤１ｂと最終仕上研磨
盤１ｃが交換可能に取り付けられ、図５に示すように、
夫々の研磨盤はベッド１１に対して垂直を成し、且つ夫
々の研磨面ｆが同一面上に設られ、各研磨盤１は作業台
１０内の個々のモータ（不図示）によって独立的に回転
されるものである。

【００１５】また、夫々の研磨盤１はドーナツ形の研磨
面ｆを有するものであり、その内径において研磨盤１を
スピンドル１４の回転軸１５にナット１５ａで締結する
ことにより取付けるようにしている。

【００１６】なお、本発明において、水除けカバー４に
設けられた複数の研磨盤１、１…は、３軸研磨盤に限定
されるものではなく、例えば２軸研磨盤、さらには４軸
研磨盤等の多軸研磨盤にすることも可能である。

【００１７】次に、本実施例の横送り機構について説明
すると、図２に示すように、夫々の研磨盤１、１…と平
行を成す２条のガイドレール２０、２０がベッド１１上
に設けられ、これらのガイドレール２０、２０に下架台
５の下面に固設された断面凹形のガイド２１、２１が摺
動自在に係合されている。

【００１８】また、図３に示すように、両側のガイドレ
ール２０、２０の中央に沿ってボールネジ２２が設けら
れ、このボールネジ２２の両端は軸受２３、２３により
支承され、ボールネジ２２の一端はベッド１１上に設け
られた減速機を内蔵した横送用サーボモータ２４の回転
軸にカップリング２５を介して連結されている。

【００１９】さらにボールネジ２２は、図５に示すよう
に下架台５の下面に固設されたボールナット２６に噛合
され、上記の横送用サーボモータ２４を駆動することに
より、下架台５を研磨盤１、１…の盤面ｆに沿って移動
することができ、また図３に示すように横送用サーボモ
ータ２４の回転制御によって所定の研磨盤１の研磨面ｆ
の前方にワークセット治具３を停止して待機状態とする
ことができる。

【００２０】ここで、本実施例の横揺動機構について説
明すると、図５に示すように、下架台５の上部には研磨
盤１の研磨面ｆに沿って平行に間隔をあけて二条のガイ
ドレール３０、３０が固設され、中架台６の下部に固設
された断面凹形のガイド３１、３１を上記のガイドレー
ル３０、３０に係合することにより、中架台６を研磨盤
１の研磨面ｆに沿って平行に摺動することが可能とされ
ている。

【００２１】さらに、図６に示すように、中架台６の端
部に設けられた横揺動用モータ３３の減速機３４の出力
軸を縦方向に向けて中架台６から下方に突出すると共
に、該出力軸の偏心位置に支承された円径の偏心カム３
５を設け、この偏心カム３５を下架台５の端部に固設し
た案内溝枠３６に係合するようにしている。

【００２２】案内溝枠３６は断面凹形を成し、水平方向
に上記の偏心カム３５の直径を遊嵌する幅の規制枠３６
ａ、３６ａを形成してあり、研磨盤１の研磨面ｆに対し
て垂直方向を向く溝方向（図６におけるワークセット治
具３に取り付けられたワーク２の軸方向）には偏心カム
３５の遊嵌状態に対して規制のない空間を形成してい
る。

【００２３】上記の構成により、横揺動用モータ３３を
駆動すると、偏心カム３５が回転して案内溝枠３６を従
動させることにより、中架台６が研磨盤１の研磨面ｆに
沿って平行に所定幅で往復移動することができる。

【００２４】次に、本実施例による切込送り制御機構に
ついて説明する。図６に示すように中架台６の上部には
研磨盤１の研磨面ｆに対して垂直方向に間隔をあけてガ
イドレール５０、５０が設けられ、上架台７の下部に間
隔をあけて固設された断面凹形のガイド５１、５１を上
記のガイドレール５０、５０に係合することにより、図
７に示すように上架台７は研磨盤１の研磨面ｆに対して
垂直方向（図７におけるワークセット治具３に取り付け
られたワーク２の軸方向）に移動可能とされている。

【００２５】この上架台７には、図６に示すようにボー
ルネジ５２を回転駆動する切込送り用サーボモータ５３
が設けられ、ボールネジ５２は上架台７の下面に固設さ
れるボールナット５４に係合され、切込送り用サーボモ
ータ５３が回転駆動されることにより、上架台７を研磨
盤１の研磨面ｆに対して垂直方向（ワークセット治具３
に取り付けられたワーク２の軸方向）に移動することが
できる。

【００２６】このような構成による切込送り制御機構の
作動については後述する。

【００２７】次に、本実施例による旋回揺動機構につい
て説明する。図８に示すように上架台７の片側の上部に
は二条のガイドレール４０、４０を有するガイド板３９
が設けられ、ガイド板３９のガイドレール４０、４０の
外側幅をその内側幅とする凹溝４１が形成されたフリー
架台８がガイド板３９のガイドレール４０、４０に沿っ
て摺動自在に係合されたことにより、フリー架台８は研
磨盤１の研磨面ｆに対して垂直方向（ワークセット治具
３に取り付けられたワーク２の軸方向）に前進するよう
にされている。

【００２８】また、図８に示すように、フリー架台８の
上部には揺動軸受９が固設され、ワークセット治具受板
４２の中心に固設された揺動軸１３が揺動軸受９に支承
されると共に、揺動軸１３の後端には、断面矩形の揺動
片４３の端部が固設されている。

【００２９】さらに、揺動片４３は、図９に示すよう
に、上架台７に対して引張バネ４４で連結され、上架台
７の後方に固設された旋回揺動モータ４５の減速機４６
の偏心軸位置に固設されたカム４７の外周に上記の揺動
片４３が当接されている。

【００３０】このような構成により、旋回揺動モータ４
５が回転駆動されると、揺動片４３が揺動軸１３を介し
てワークセット治具受板４２に揺動運動を行わせること
により、ワークセット治具受板４２の上面に固設された
ワークセット治具３に揺動運動を起こさせることができ
る。

【００３１】本実施例におけるワークセット治具３は、
図６に示すように、垂直板３ａと水平板３ｂとが断面Ｌ
形を成し、水平板３ｂがワークセット治具受板４２の上
面端部に固設され、垂直板３ａの略中心における水平方
向にワーク取付け孔３ｃが貫通され、このワーク取付け
孔３ｃに対して垂直上方から取付ネジ３ｄが螺合され、
ワーク取付け孔３ｃに挿着したワーク２を取付ネジ３ｄ
の締付けによって固定することができる。

【００３２】次に、本実施例における研磨圧力調整機構
について説明する。図９に示すように、フリー架台８の
側面には該フリー架台８の側面から垂直に張り出したタ
ッチ板６３が設けられている。また、図８に示すよう
に、上架台７には研磨圧力用モータ６４が設けられ、こ
の研磨圧力用モータ６４に隣設してヒステリシスクラッ
チ６５が設けられ、研磨圧力用モータ６４の回転軸に固
設されたプーリ６４ａとヒステリシスクラッチ６５の回
転軸に設けられたプーリ６５ａとがベルト６６で連結さ
れ、ヒステリシスクラッチ６５の出力軸に固設されたア
ーム６７の偏心軸位置には断面丸形の押圧軸６８が固設
され、この押圧軸６８はタッチ板６３の後面に当接され
ている。

【００３３】ヒステリシスクラッチ６５は電圧変化によ
ってクラッチの滑りを変化させることができるもので、
図１０に示すように、研磨圧力用モータ６４の駆動によ
ってヒステリシスクラッチ６５が回転すると、ヒステリ
シスクラッチ６５の出力軸に連結されたアーム６７が回
転すると共に、その偏心位置で押圧軸６８が回転してタ
ッチ板６３を押圧してフリー架台８を前進させることが
でき、これによってワークセット治具３に取付けられた
ワーク２を研磨盤１の研磨面ｆに所定圧力で押圧するこ
とができる。

【００３４】また、図９に示すように、上架台７にはタ
ッチ板６３の前面側に向けてタッチセンサ６９が固設さ
れている。このタッチセンサ６９は、上記の切込送り用
サーボモータ５３に接続され、タッチセンサ６９がタッ
チ板６３から離れたときに切込送り用サーボモータ５３
にＯＦＦ信号を与えるようにされている。

【００３５】さらに、図８に示すように、上架台７の上
部に設けられたフリー架台８の後部にはストッパシリン
ダ６０が固設されている。このストッパシリンダ６０は
エアーシリンダによって構成され、ロッド６１がフリー
架台８の後部に向けて突出され、フリー架台８の後退を
ストッパシリンダ６０のロッド６１の弾性によって停止
させるもので、この停止位置がフリー架台８の後退待機
位置となる。

【００３６】ここで、上記の構成の多軸式横型研磨機の
動作を切込送り制御機構の動作と研磨圧力調整機構の動
作と併せて説明する。

【００３７】図３に示すように、上記の横送り機構の横
送用サーボモータ２４の駆動によって下架台５が所定の
研磨盤１の研磨面ｆの前位置に移動して停止される。

【００３８】図１０において、フリー架台８はストッパ
シリンダ６０のロッド６１で停止された待機状態にあ
り、フリー架台８に固設されたタッチ板６３の前面にタ
ッチセンサ６９が当接すると共にタッチ板６３の後面に
ヒステリシスクラッチ６５に連結された押圧軸６８が接
触した状態にある。

【００３９】この状態において、切込送り制御機構の動
作について説明すると、切込送り用サーボモータ５３
（図７参照）が駆動すると共に、研磨圧力用モータ６４
の駆動によってヒステリシスクラッチ６５が作動する
と、図１１に示すように、上架台７がフリー架台８と共
に前進してワークセット治具３に取り付けられたワーク
２の端面が所定の研磨盤１に当たる。また、このような
動作と同期して、ストッパシリンダ６０のロッド６１が
後退される。

【００４０】このとき、図１２に示すように、フリー架
台８は上架台７に対して研磨盤１の垂直方向にスライド
自在であるため、上架台７だけが前進してタッチ板６３
からタッチセンサ６９が離れると同時に、タッチセンサ
６９のＯＦＦ信号によって切込送り用サーボモータ５３
が停止される。

【００４１】このような動作において、図１０の待機状
態からタッチセンサ６９がＯＦＦ信号を得るまでの距離
を切込送り用サーボモータ５３のロータリエンコーダに
よって計測することにより、所定の研磨盤１の研磨面ｆ
までの距離を計測することができ、研磨盤１が摩耗して
いない状態の研磨面ｆまでの距離と比較することによっ
てその研磨盤１の消耗度を測定することができる。

【００４２】また、このような切込送り用サーボモータ
５３のロータリエンコーダによる距離測定によって、予
め設定された距離だけ切込送り用サーボモータ５３が駆
動されることにより、ワークセット治具３のワーク２の
切込み量、即ち研磨量を得ることができ、この所定の研
磨量を得る距離だけ上架台７が前進する。

【００４３】また、図１２において、研磨圧力調整機構
について説明すると、上記のようにタッチセンサ６９の
ＯＦＦ信号を得ることによって切込送り用サーボモータ
５３が停止された状態にあるが、研磨圧力用モータ６４
によるヒステリシスクラッチ６５の作動は維持され、ヒ
ステリシスクラッチ６５によって回転されるアーム６７
と押圧軸６８を介してタッチ板６３を押圧することによ
り、フリー架台８を研磨盤１の方向に押圧してワーク２
の端面を研磨板１の研磨面ｆに所定の研磨圧力で押圧す
ることができる。この研磨圧力は、ヒステリシスクラッ
チ６５に設定された電圧制御によって調整することがで
きる。

【００４４】このような動作において、旋回揺動機構と
横揺動機構とを同時に駆動したとき、図１３(a) に示す
ように、ワーク２の端面２ａは研磨盤１の研磨面ｆの略
全幅を移動して研磨されると共に、ワーク２の端面２ａ
は、図１３(b) に示すように研磨盤１の回転による略縦
方向の研磨傷に加えて、旋回揺動機構による旋回方向と
横揺動機構による横揺動方向の研磨傷を同時に得ること
ができるため、図１３(c) に示す従来の一方向の研磨傷
に比較して滑らかな研磨面を得ることが可能となる。

【００４５】なお、上記の実施例においては、旋回揺動
機構と横揺動機構とを共に備えた構成としてあるが、旋
回揺動機構を設けることなく横揺動機構のみを備えた構
成とすることも可能である。また、横揺動機構と旋回揺
動機構とを共に備えた構成として旋回揺動機構のほうを
駆動することなく、横揺動機構のみの駆動によって、ワ
ークの研磨を行うようにしてもよい。

【００４６】このように横揺動機構のみの駆動による場
合でも、研磨盤１の回転による略縦方向の研磨傷に加え
て横揺動機構による横揺動方向の研磨傷を同時に得るこ
とができるため、図１３(d) に示すような研磨傷を得る
ことができ、図１３(c) に示す従来の一方向の研磨傷に
比較して滑らかな研磨面を得ることが可能となる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の多軸式横
型研磨機によれば、ワークセット治具を所定の研磨盤の
前位置に移動する横送り機構によってワークセット治具
に取り付けられたワークを段階的な粗さで順次研磨する
ことができる。

【００４８】また、ワークセット治具を研磨盤の研磨面
に沿って平行に所定幅で往復移動させる横揺動機構によ
って研磨盤の研磨幅全体を使用することにより研磨盤の
使用効率を向上し、研磨盤の寿命を長期にわたり確保す
ることができる。

【００４９】また、ワークセット治具を研磨盤の研磨面
に沿って所定の円弧幅で往復移動させる旋回揺動機構に
よって、研磨盤の回転による略縦方向の研磨傷に加えて
旋回方向の研磨傷を得ることにより滑らかなワークの研
磨面を得ることができ、光学部品の光の接続損失を低減
することができる。

【００５０】また、研磨盤に対するワークセット治具に
取付けられたワークの研磨量を制御する切込送り制御機
構によって設定された研磨量によりワークを研磨すると
共に研磨盤の消耗度を測定することができる。

【００５１】さらには、ワークセット治具に取付けられ
たワークを研磨盤の研磨面に所定圧力で押圧する研磨圧
力調整機構によって、ワークを設定された所定の研磨圧
力で研磨することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による多軸式横型研磨機の全体斜視図で
ある。

【図２】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の全
体斜視図である。

【図３】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の平
面図である。

【図４】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の正
面図である。

【図５】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の側
面図である。

【図６】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上の後
方斜めから見た分解斜視図である。

【図７】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上を後
方斜めから見た斜視図である。

【図８】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上を前
方斜めから見た斜視図である。

【図９】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上を別
方向の前方斜めから見た斜視図である。

【図１０】本発明による多軸式横型研磨機の待機状態を
示す部分平面図である。

【図１１】本発明による多軸式横型研磨機のワークを研
磨盤に当てた状態を示す部分平面図である。

【図１２】本発明による多軸式横型研磨機の研磨作動時
の状態を示す部分平面図である。

【図１３】(a) は本発明の多軸式横型研磨機による研磨
盤の研磨面に対するワークの移動状態を示す図であり、
(b) 及び(c) は本発明によるワーク端面の研磨状況を示
す図であり、(d) は従来のワーク端面の研磨状況を示す
図である。

【符号の説明】

１…研磨盤、ｆ…研磨面、２…ワーク、３…ワークセッ
ト治具、３ｃ…ワーク取付け孔、３ｄ…取付ネジ、４…
水除けカバー、５…下架台、６…中架台、７…上架台、
８…フリー架台、９…揺動軸受、１０…作業台、１１…
ベッド、１３…揺動軸、２０…ガイドレール、２１…ガ
イド、２２…ボールネジ、２３…軸受、２４…横送用サ
ーボモータ、２６…ボールナット、３０…ガイドレー
ル、３１…ガイド、３３…横揺動用モータ、３５…偏心
カム、３６…案内溝枠、４０…ガイドレール、４１…凹
溝、４２…ワークセット治具受板、４３…揺動片、４４
…引張バネ、４５…旋回揺動モータ、４６…カム、５０
…ガイドレール、５１…ガイド、５２…ボールネジ、５
３…切込送り用サーボモータ、５４…ボールナット、６
０…ストッパシリンダ、６１…ロッド、６３…タッチ
板、６４…研磨圧力用モータ、６５…ヒステリシスクラ
ッチ、６７…アーム、６８…押圧軸、６９…タッチセン
サ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転駆動される粗さの異なる複数の研磨盤
   が並設されてなる多軸式横型研磨機において、ワークを
   取付けるワークセット治具を所定の研磨盤の前位置に移
   動する横送り機構と、前記ワークセット治具を前記研磨
   盤の研磨面に沿って平行に所定幅で往復移動させる横揺
   動機構と、前記ワークセット治具を前記研磨盤の研磨面
   に沿って所定の円弧幅で往復移動させる旋回揺動機構
   と、前記研磨盤に対する前記ワークセット治具に取付け
   られたワークの研磨量を制御する切込送り制御機構と、
   前記ワークセット治具に取付けられたワークを前記研磨
   盤の研磨面に所定圧力で押圧する研磨圧力調整機構とを
   備えたことにより、前記ワークセット治具に取付けられ
   たワークを粗さ大から小の研磨盤へと段階的に移動し、
   夫々の研磨盤の研磨面に前記ワークの端面を所定の研磨
   圧力で押圧しながら所定の研磨量だけ横揺動しつつ旋回
   揺動させることにより研磨するようにしたことを特徴と
   する多軸式横型研磨機。
2. 【請求項２】前記ワークセット治具を前記研磨盤の研磨
   面に沿って所定の円弧幅で往復移動させる旋回揺動機構
   を備えたことを特徴とする請求項１記載の多軸式横型研
   磨機。