JPH07144755A - 走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置 - Google Patents

走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置

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JPH07144755A
JPH07144755A JP5315943A JP31594393A JPH07144755A JP H07144755 A JPH07144755 A JP H07144755A JP 5315943 A JP5315943 A JP 5315943A JP 31594393 A JP31594393 A JP 31594393A JP H07144755 A JPH07144755 A JP H07144755A
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traveling carriage
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Shohei Furukawa
正平 古川
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気浮上搬送装置において走行台車の投入・
回収を容易に行なう。 【構成】 上面及び両側面に噴気孔を有する空気浮上走
行路と、空気浮上走行路上を走行する空気浮上式の走行
台車10とよりなる空気浮上搬送装置の、直線搬送路を
その端部にて互いに交わるように配設する。そしてこの
搬送走行路の交点にターンテーブルA,B,C,D、シ
フターを介して周回軌道をなす走行台車の搬送路1,
2,3,4を構成する。さらに搬送路延長上のターンテ
ーブル外側に走行台車投入ステーションを設ける。これ
により本線側で走行台車を運行しつつ、他の台車の搬送
路内への投入あるいは回収が同時に行え効率的な搬送が
行える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は空気浮上搬送装置におい
て走行台車の投入・回収を容易に行えるようにした走行
台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、LSI等の半導体製造工場並びに
医薬品製造工場などにおいて、物品を汗か予め定めたス
テーションからステーションへループ状の搬送路を配設
し、この搬送路上を走行台車を循環走行して自動的に搬
送する搬送装置として、リニアモータを加減速に利用
し、空気圧にて走行台車が浮上走行する装置が提案され
ている。そしてこの従来の空気浮上走行路は直線走行ま
たは曲線走行、どちらか一方しかできないため、図1に
示すような矩形の周回走行路を構成する場合は、直線路
とターンテーブルにより方向転換をして構成し、ステー
ション部には支線を設けて積み荷受け渡し部にシフト
し、積み荷の受け渡しを行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、空気浮上走行
路は密閉したトンネル内に構成されており、また各ステ
ーションは移載のための装置が密集してあるため、搬送
路が稼働後は走行台車の投入・回収は搬送を一時停止し
て、ステーション移載口またはトンネルの一部を開口し
て行っている。走行路下部は生産設備が密集し、スペー
スがなく、シフター付きでステーション機能を有する投
入・回収ステーションを新たに設けることは、価格とス
ペースの点で困難であった。
【0004】本発明は、ターンテーブル部はステーショ
ン機能を有しており、ほかの移載装置等も設置されてい
ないことに着目し、空気浮上走行路とトンネル部を一部
延長することで投入回収ステーションを設けて、搬送路
上で走行台車を走行させつつ、他の走行台車を投入叉は
回収を行い得ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、上面及び両側面に噴気孔を有
する空気浮上走行路と、空気浮上走行路上を走行する空
気浮上式の走行台車とよりなる空気浮上搬送装置に於い
て、直線走行路をその端部にて互いに交わるように配設
し、この直線走行路の交点にターンテーブル、シフター
を介して周回軌道をなす走行路を構成すると共に、走行
路延長上のターンテーブル外側に走行台車投入ステーシ
ョンを設けたことを要旨とする。
【0006】
【作用】直線搬送路をその端部にて互いに交わるように
配設し、この搬送走行路の交点にターンテーブル、シフ
ターを介して周回軌道をなす走行台車の搬送路を構成す
ると共に、搬送路延長上のターンテーブル外側に走行台
車投入ステーションを設ける。このため、本線側で走行
台車を運行しつつ、他の台車の搬送路内への投入あるい
は回収が同時に行え、効率的な搬送が行えるものとな
る。
【0007】
【実施例】以下本発明走行台車投入用ステーションを有
する空気浮上搬送装置を図示の実施例に基づいて説明す
る。図において1、2は直線状の搬送路で横方向に平行
に配設され、この両端部にこれと交わるようにして縦方
向に搬送路3、4を配設し、この縦横の搬送路の交点に
ターンテーブルA、B、C、Dを配設して之等搬送路を
循環路となるようにする。そしてこの搬送路は予め定め
た長さを一ピッチとした空気浮上式レール11、21、
31、41とし、この空気浮上式レールをターンテーブ
ル部分を除いて互いに直線状に隣接配列して搬送路1、
2、3、4を形成する。
【0008】この各空気浮上レールにはこれと平行に同
じ長さ及び同じ構成の空気浮上レール12、22、3
2、42を配設し一体とすると共に、空気浮上レール1
1、12間、21、22間、31、32間、41、42
間をすべて同じ間隔とする。そしてこの各空気浮上式レ
ールを搬送物品の移載スペース、払出スペースとすると
共に、各スペースでは2本平行に一体とした空気浮上式
レールを本線となる循環路と移載スペース叉は払出スペ
ース間を移動するようになす。この本線に平行なるレー
ル部分は支線となる。
【0009】各空気浮上レールはその上面、側面に複数
のノズルを穿設してこのノズルよりレール内に供給され
る高圧空気を噴出してレール上の跨乗する走行台車10
を浮上させて、かつレール内に配設したリニアモータ等
にて走行させるようになす。尚、隣接配列される空気浮
上レール間には高圧空気が供給されるようになってい
る。
【0010】さらに、各ステーションにおける2本平行
なる空気浮上式レールの本線側と支線側との移動は図に
示すように2本平行に一体とした空気浮上式レールを走
行台車(台車)毎全体をシリンダーにて平行なレール間
を1ピッチとし移動させて行うようになす。
【0011】また各ステーションの空気浮上レール内に
は2台一組としてリニアモータ51、52を配設してこ
のレール上に停止する走行台車10が予め定めた定位置
にて確実に停止するようになす。これは2台のリニアモ
ータを対向励磁させて行うものである。
【0012】各ターンテーブルA、B、C、Dには1ユ
ニットの空気浮上レールと同じように必要に応じて対向
励磁可能とした2台のリニアモータ51、52を配設す
ると共にこの各ターンテーブルの外側に、即ち直線状の
搬送路1、2の延長線上に増設レール状の走行台車投入
ステーション5、6、7、8を夫々配設する。そしてそ
の増設レールの走行台車投入ステーション5、6、7、
8は手動で開閉できる空気バルブ91、92、93、9
4を設ける。
【0013】なお、各搬送路をダクトにて覆う場合はこ
の走行台車投入ステーション5、6、7、8の増設レー
ル部にもダクトを設け、この走行台車投入ステーション
とターンテーブルを含めた搬送路を覆うダクトとの間に
は開閉可能なシャッターSが設けられる。
【0014】従って上述の如く構成する装置において、
通常の運転の場合を説明する。あるステーションa2に
おいて、本線側の搬送路1に停止した走行台車10はシ
フターにより移載部へシフトされ、支線側のレールが本
線側位置にあって搬送路のループを形成する。この状態
を図1に示している。移載装置により走行台車上に積み
荷を積み込んだ後、走行台車は本線側のレールと共にシ
フターによりループ側にシフトされ、搬送路内に組み込
んだリニアモータにより駆動され、ターンテーブルAに
向かって空気浮上により走行する。そしてターンテーブ
ル上に達すると、図3に示したように搬送路内のリニア
モータ51,52にて対向励磁されて走行台車はターン
テーブルの中央に向かう方向に推力を発生した状態で走
行台車を捕捉する。次にこの状態で走行台車毎ターンテ
ーブルを90゜回転すると、この搬送路と90度曲がっ
た隣接の搬送路3方向に搬送路ループが形成され、リニ
アモータ51,52は搬送路3方向に推力を発生するよ
うに励磁され、走行台車は搬送路3に向かって走行す
る。このようにして必要なステーションで走行台車を停
止し、物品の移載を行い、搬送路のループ上を周回し、
物品を搬送する。なおループ状搬送路はシフト可能な本
線,支線を有しているため、複数個の走行台車が各ステ
ーションの工程にしたがって前後しながら管理コンピュ
ータの指令に従って走行している。
【0015】従来ではこの状態で走行台車を搬送路内に
投入、又は搬送路より回収する場合、ステーションの一
つを停止して移載機側から行わなければならず、また装
置が入り組んでおり、困難な作業となる。しかし、ター
ンテーブルの外側に直線路延長上のストッパーを有する
レールを、走行台車の投入・回収を行えるようにして増
設し、またこの増設レール部の走行台車投入ステーショ
ンには手動で開閉できる空気バルブを有し、さらにはこ
の走行台車投入ステーションにトンネル状ダクト及びス
ライド式の仕切板を設けているので、搬送路内に走行台
車を投入する際は仕切板閉の状態で走行台車を延長した
増設レール上にセットし、外壁を閉じた後、仕切板を開
口し、バルブを開すると、走行台車は浮上し、走行台車
に設けた推進バネでターンテーブルA上へ進入する。
【0016】この状態でターンテーブルのリニアモータ
を停止位置決め励磁すると、通常の運転時と同様にセッ
トアップされ、以後の運転は通常と同様にできる。
【0017】また、走行台車の回収は仕切板を開口した
状態で、ターンテーブルA上に停止した走行台車を走行
台車投入ステーション側に向かって微速で走行するよう
に励磁し、ストッパーまで進行させ、仕切板を締めるこ
とで行う。
【0017】またリニアモータを組み込んだステーショ
ン用レールだけではなく、ストッパー付のレールを延長
し、カバー及びバルブを設けるだけでよいので、電気配
線やセンサーの増加も不要である。
【0018】なお本例では、ターンテーブルA部で示し
たが、他のターンテーブル部でもかまわないし、増設部
にはリニアモータを組み込まない場合を示したが、リニ
アモータを組み込んで、投入回収ステーションを構成し
てもよい。
【0019】
【発明の効果】本発明走行台車投入用ステーションを有
する空気浮上搬送装置は、直線走行路をその端部にて互
いに交わるように配設し、この直線走行路の交点にター
ンテーブル、シフターを介して周回軌道をなす走行路を
構成すると共に、走行路延長上のターンテーブル外側に
走行台車投入ステーションを設けているため、本線のル
ープ状搬送路にて他の走行台車を走行させつつ、所定の
走行台車を投入或いは回収を行えるので、効率的な搬送
が行える利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明走行台車投入用ステーションを有する空
気浮上搬送装置の一実施例を示す平面図である。
【図2】ステーション部の側面図である。
【図3】同平面図である。
【図4】ターンテーブル部の平面図である。
【符号の説明】
1、2、3、4 搬送路 5、6、7、8 走行台車投入ステーション 10 走行台車 11、12 空気浮上レール 51,52 リニアモータ A、B、C、D ターンテーブル 91、92、93、94 空気バルブ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上面及び両側面に噴気孔を有する空気浮
    上走行路と、空気浮上走行路上を走行する空気浮上式の
    走行台車とよりなる空気浮上搬送装置に於いて、直線搬
    送路をその端部にて互いに交わるように配設し、この搬
    送走行路の交点にターンテーブル、シフターを介して周
    回軌道をなす走行台車の搬送路を構成すると共に、搬送
    路延長上のターンテーブル外側に走行台車投入ステーシ
    ョンを設けたことを特長とする走行台車投入用ステーシ
    ョンを有する空気浮上搬送装置。
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