JP3450887B2 - 走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置 - Google Patents
走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置Info
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- JP3450887B2 JP3450887B2 JP31594393A JP31594393A JP3450887B2 JP 3450887 B2 JP3450887 B2 JP 3450887B2 JP 31594393 A JP31594393 A JP 31594393A JP 31594393 A JP31594393 A JP 31594393A JP 3450887 B2 JP3450887 B2 JP 3450887B2
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- air levitation
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/60—Electric or hybrid propulsion means for production processes
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は空気浮上搬送装置におい
て走行台車の投入・回収を容易に行えるようにした走行
台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置に関
するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、ＬＳＩ等の半導体製造工場並びに
医薬品製造工場などにおいて、物品を汗か予め定めたス
テーションからステーションへループ状の搬送路を配設
し、この搬送路上を走行台車を循環走行して自動的に搬
送する搬送装置として、リニアモータを加減速に利用
し、空気圧にて走行台車が浮上走行する装置が提案され
ている。そしてこの従来の空気浮上走行路は直線走行ま
たは曲線走行、どちらか一方しかできないため、図１に
示すような矩形の周回走行路を構成する場合は、直線路
とターンテーブルにより方向転換をして構成し、ステー
ション部には支線を設けて積み荷受け渡し部にシフト
し、積み荷の受け渡しを行っている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、空気浮上走行
路は密閉したトンネル内に構成されており、また各ステ
ーションは移載のための装置が密集してあるため、搬送
路が稼働後は走行台車の投入・回収は搬送を一時停止し
て、ステーション移載口またはトンネルの一部を開口し
て行っている。走行路下部は生産設備が密集し、スペー
スがなく、シフター付きでステーション機能を有する投
入・回収ステーションを新たに設けることは、価格とス
ペースの点で困難であった。 【０００４】本発明は、ターンテーブル部はステーショ
ン機能を有しており、ほかの移載装置等も設置されてい
ないことに着目し、空気浮上走行路とトンネル部を一部
延長することで投入回収ステーションを設けて、搬送路
上で走行台車を走行させつつ、他の走行台車を投入叉は
回収を行い得ることを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、上面及び両側面に噴気孔を有
する空気浮上走行路と、空気浮上走行路上を走行する空
気浮上式の走行台車とよりなる空気浮上搬送装置に於い
て、直線搬送路をその端部にて互いに交わるように配設
し、この搬送走行路の交点にターンテーブル、シフター
を介して周回軌道をなす走行台車の搬送路を構成すると
共に、搬送路延長上のターンテーブル外側に、手動で開
閉できる空気バルブを備えた走行台車投入ステーション
を設けたことを要旨とする。 【０００６】 【作用】直線搬送路をその端部にて互いに交わるように
配設し、この搬送走行路の交点にターンテーブル、シフ
ターを介して周回軌道をなす走行台車の搬送路を構成す
ると共に、搬送路延長上のターンテーブル外側に、手動
で開閉できる空気バルブを備えた走行台車投入ステーシ
ョンを設ける。このため、本線側で走行台車を運行しつ
つ、他の台車の搬送路内への投入あるいは回収が同時に
行え、効率的な搬送が行えるものとなる。 【０００７】 【実施例】以下本発明走行台車投入用ステーションを有
する空気浮上搬送装置を図示の実施例に基づいて説明す
る。図において１、２は直線状の搬送路で横方向に平行
に配設され、この両端部にこれと交わるようにして縦方
向に搬送路３、４を配設し、この縦横の搬送路の交点に
ターンテーブルＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを配設して之等搬送路を
循環路となるようにする。そしてこの搬送路は予め定め
た長さを一ピッチとした空気浮上式レール１１、２１、
３１、４１とし、この空気浮上式レールをターンテーブ
ル部分を除いて互いに直線状に隣接配列して搬送路１、
２、３、４を形成する。 【０００８】この各空気浮上レールにはこれと平行に同
じ長さ及び同じ構成の空気浮上レール１２、２２、３
２、４２を配設し一体とすると共に、空気浮上レール１
１、１２間、２１、２２間、３１、３２間、４１、４２
間をすべて同じ間隔とする。そしてこの各空気浮上式レ
ールを搬送物品の移載スペース、払出スペースとすると
共に、各スペースでは２本平行に一体とした空気浮上式
レールを本線となる循環路と移載スペース叉は払出スペ
ース間を移動するようになす。この本線に平行なるレー
ル部分は支線となる。 【０００９】各空気浮上レールはその上面、側面に複数
のノズルを穿設してこのノズルよりレール内に供給され
る高圧空気を噴出してレール上の跨乗する走行台車１０
を浮上させて、かつレール内に配設したリニアモータ等
にて走行させるようになす。尚、隣接配列される空気浮
上レール間には高圧空気が供給されるようになってい
る。 【００１０】さらに、各ステーションにおける２本平行
なる空気浮上式レールの本線側と支線側との移動は図に
示すように２本平行に一体とした空気浮上式レールを走
行台車（台車）毎全体をシリンダーにて平行なレール間
を１ピッチとし移動させて行うようになす。 【００１１】また各ステーションの空気浮上レール内に
は２台一組としてリニアモータ５１、５２を配設してこ
のレール上に停止する走行台車１０が予め定めた定位置
にて確実に停止するようになす。これは２台のリニアモ
ータを対向励磁させて行うものである。 【００１２】各ターンテーブルＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄには１ユ
ニットの空気浮上レールと同じように必要に応じて対向
励磁可能とした２台のリニアモータ５１、５２を配設す
ると共にこの各ターンテーブルの外側に、即ち直線状の
搬送路１、２の延長線上に増設レール状の走行台車投入
ステーション５、６、７、８を夫々配設する。そしてそ
の増設レールの走行台車投入ステーション５、６、７、
８は手動で開閉できる空気バルブ９１、９２、９３、９
４を設ける。 【００１３】なお、各搬送路をダクトにて覆う場合はこ
の走行台車投入ステーション５、６、７、８の増設レー
ル部にもダクトを設け、この走行台車投入ステーション
とターンテーブルを含めた搬送路を覆うダクトとの間に
は開閉可能なシャッターＳが設けられる。 【００１４】従って上述の如く構成する装置において、
通常の運転の場合を説明する。あるステーションａ２に
おいて、本線側の搬送路１に停止した走行台車１０はシ
フターＲにより移載部へシフトされ、支線側のレールが
本線側位置にあって搬送路のループを形成する。この状
態を図１に示している。移載装置Ｑにより走行台車上に
積み荷を積み込んだ後、走行台車は本線側のレールと共
にシフターＲによりループ側にシフトされ、搬送路内に
組み込んだリニアモータにより駆動され、ターンテーブ
ルＡに向かって空気浮上により走行する。そしてターン
テーブル上に達すると、図３に示したように搬送路内の
リニアモータ５１，５２にて対向励磁されて走行台車は
ターンテーブルの中央に向かう方向に推力を発生した状
態で走行台車を捕捉する。次にこの状態で走行台車毎タ
ーンテーブルを９０゜回転すると、この搬送路と９０度
曲がった隣接の搬送路３方向に搬送路ループが形成さ
れ、リニアモータ５１，５２は搬送路３方向に推力を発
生するように励磁され、走行台車は搬送路３に向かって
走行する。このようにして必要なステーションで走行台
車を停止し、物品の移載を行い、搬送路のループ上を周
回し、物品を搬送する。なおループ状搬送路はシフト可
能な本線，支線を有しているため、複数個の走行台車が
各ステーションの工程にしたがって前後しながら管理コ
ンピュータの指令に従って走行している。 【００１５】従来ではこの状態で走行台車を搬送路内に
投入、又は搬送路より回収する場合、ステーションの一
つを停止して移載機側から行わなければならず、また装
置が入り組んでおり、困難な作業となる。しかし、ター
ンテーブルの外側に直線路延長上のストッパーを有する
レールを、走行台車の投入・回収を行えるようにして増
設し、またこの増設レール部の走行台車投入ステーショ
ンには手動で開閉できる空気バルブを有し、さらにはこ
の走行台車投入ステーションにトンネル状ダクト及びス
ライド式の仕切板２１を設けているので、搬送路内に走
行台車を投入する際は仕切板２１を閉じた状態で走行台
車を延長した増設レール上にセットし、外壁を閉じた
後、仕切板２１を開口し、空気バルブ９１、９２、９
３、９４を開にすると、走行台車は浮上し、走行台車に
設けた推進バネでターンテーブルＡ上へ進入する。 【００１６】この状態でターンテーブルのリニアモータ
を停止位置決め励磁すると、通常の運転時と同様にセッ
トアップされ、以後の運転は通常と同様にできる。 【００１７】また、走行台車の回収は仕切板２１を開口
した状態で、ターンテーブルＡ上に停止した走行台車を
走行台車投入ステーション側に向かって微速で走行する
ように励磁し、ストッパーまで進行させ、仕切板２１を
閉めることで行う。 【００１８】またリニアモータを組み込んだステーショ
ン用レールだけではなく、ストッパー付のレールを延長
し、カバー及びバルブを設けるだけでよいので、電気配
線やセンサーの増加も不要である。 【００１９】なお本例では、ターンテーブルＡ部で示し
たが、他のターンテーブル部でもかまわないし、増設部
にはリニアモータを組み込まない場合を示したが、リニ
アモータを組み込んで、投入回収ステーションを構成し
てもよい。 【００２０】 【発明の効果】本発明の走行台車投入用ステーションを
有する空気浮上搬送装置は、直線走行路をその端部にて
互いに交わるように配設し、この直線走行路の交点にタ
ーンテーブル、シフターを介して周回軌道をなす走行路
を構成すると共に、走行路延長上のターンテーブル外側
に、手動で開閉できる空気バルブを備えた走行台車投入
ステーションを設けているため、本線のループ状搬送路
にて他の走行台車を走行させつつ、所定の走行台車を投
入或いは回収を行えるので、効率的な搬送が行える利点
を有する。
て走行台車の投入・回収を容易に行えるようにした走行
台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置に関
するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、ＬＳＩ等の半導体製造工場並びに
医薬品製造工場などにおいて、物品を汗か予め定めたス
テーションからステーションへループ状の搬送路を配設
し、この搬送路上を走行台車を循環走行して自動的に搬
送する搬送装置として、リニアモータを加減速に利用
し、空気圧にて走行台車が浮上走行する装置が提案され
ている。そしてこの従来の空気浮上走行路は直線走行ま
たは曲線走行、どちらか一方しかできないため、図１に
示すような矩形の周回走行路を構成する場合は、直線路
とターンテーブルにより方向転換をして構成し、ステー
ション部には支線を設けて積み荷受け渡し部にシフト
し、積み荷の受け渡しを行っている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかし、空気浮上走行
路は密閉したトンネル内に構成されており、また各ステ
ーションは移載のための装置が密集してあるため、搬送
路が稼働後は走行台車の投入・回収は搬送を一時停止し
て、ステーション移載口またはトンネルの一部を開口し
て行っている。走行路下部は生産設備が密集し、スペー
スがなく、シフター付きでステーション機能を有する投
入・回収ステーションを新たに設けることは、価格とス
ペースの点で困難であった。 【０００４】本発明は、ターンテーブル部はステーショ
ン機能を有しており、ほかの移載装置等も設置されてい
ないことに着目し、空気浮上走行路とトンネル部を一部
延長することで投入回収ステーションを設けて、搬送路
上で走行台車を走行させつつ、他の走行台車を投入叉は
回収を行い得ることを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになしたもので、上面及び両側面に噴気孔を有
する空気浮上走行路と、空気浮上走行路上を走行する空
気浮上式の走行台車とよりなる空気浮上搬送装置に於い
て、直線搬送路をその端部にて互いに交わるように配設
し、この搬送走行路の交点にターンテーブル、シフター
を介して周回軌道をなす走行台車の搬送路を構成すると
共に、搬送路延長上のターンテーブル外側に、手動で開
閉できる空気バルブを備えた走行台車投入ステーション
を設けたことを要旨とする。 【０００６】 【作用】直線搬送路をその端部にて互いに交わるように
配設し、この搬送走行路の交点にターンテーブル、シフ
ターを介して周回軌道をなす走行台車の搬送路を構成す
ると共に、搬送路延長上のターンテーブル外側に、手動
で開閉できる空気バルブを備えた走行台車投入ステーシ
ョンを設ける。このため、本線側で走行台車を運行しつ
つ、他の台車の搬送路内への投入あるいは回収が同時に
行え、効率的な搬送が行えるものとなる。 【０００７】 【実施例】以下本発明走行台車投入用ステーションを有
する空気浮上搬送装置を図示の実施例に基づいて説明す
る。図において１、２は直線状の搬送路で横方向に平行
に配設され、この両端部にこれと交わるようにして縦方
向に搬送路３、４を配設し、この縦横の搬送路の交点に
ターンテーブルＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを配設して之等搬送路を
循環路となるようにする。そしてこの搬送路は予め定め
た長さを一ピッチとした空気浮上式レール１１、２１、
３１、４１とし、この空気浮上式レールをターンテーブ
ル部分を除いて互いに直線状に隣接配列して搬送路１、
２、３、４を形成する。 【０００８】この各空気浮上レールにはこれと平行に同
じ長さ及び同じ構成の空気浮上レール１２、２２、３
２、４２を配設し一体とすると共に、空気浮上レール１
１、１２間、２１、２２間、３１、３２間、４１、４２
間をすべて同じ間隔とする。そしてこの各空気浮上式レ
ールを搬送物品の移載スペース、払出スペースとすると
共に、各スペースでは２本平行に一体とした空気浮上式
レールを本線となる循環路と移載スペース叉は払出スペ
ース間を移動するようになす。この本線に平行なるレー
ル部分は支線となる。 【０００９】各空気浮上レールはその上面、側面に複数
のノズルを穿設してこのノズルよりレール内に供給され
る高圧空気を噴出してレール上の跨乗する走行台車１０
を浮上させて、かつレール内に配設したリニアモータ等
にて走行させるようになす。尚、隣接配列される空気浮
上レール間には高圧空気が供給されるようになってい
る。 【００１０】さらに、各ステーションにおける２本平行
なる空気浮上式レールの本線側と支線側との移動は図に
示すように２本平行に一体とした空気浮上式レールを走
行台車（台車）毎全体をシリンダーにて平行なレール間
を１ピッチとし移動させて行うようになす。 【００１１】また各ステーションの空気浮上レール内に
は２台一組としてリニアモータ５１、５２を配設してこ
のレール上に停止する走行台車１０が予め定めた定位置
にて確実に停止するようになす。これは２台のリニアモ
ータを対向励磁させて行うものである。 【００１２】各ターンテーブルＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄには１ユ
ニットの空気浮上レールと同じように必要に応じて対向
励磁可能とした２台のリニアモータ５１、５２を配設す
ると共にこの各ターンテーブルの外側に、即ち直線状の
搬送路１、２の延長線上に増設レール状の走行台車投入
ステーション５、６、７、８を夫々配設する。そしてそ
の増設レールの走行台車投入ステーション５、６、７、
８は手動で開閉できる空気バルブ９１、９２、９３、９
４を設ける。 【００１３】なお、各搬送路をダクトにて覆う場合はこ
の走行台車投入ステーション５、６、７、８の増設レー
ル部にもダクトを設け、この走行台車投入ステーション
とターンテーブルを含めた搬送路を覆うダクトとの間に
は開閉可能なシャッターＳが設けられる。 【００１４】従って上述の如く構成する装置において、
通常の運転の場合を説明する。あるステーションａ２に
おいて、本線側の搬送路１に停止した走行台車１０はシ
フターＲにより移載部へシフトされ、支線側のレールが
本線側位置にあって搬送路のループを形成する。この状
態を図１に示している。移載装置Ｑにより走行台車上に
積み荷を積み込んだ後、走行台車は本線側のレールと共
にシフターＲによりループ側にシフトされ、搬送路内に
組み込んだリニアモータにより駆動され、ターンテーブ
ルＡに向かって空気浮上により走行する。そしてターン
テーブル上に達すると、図３に示したように搬送路内の
リニアモータ５１，５２にて対向励磁されて走行台車は
ターンテーブルの中央に向かう方向に推力を発生した状
態で走行台車を捕捉する。次にこの状態で走行台車毎タ
ーンテーブルを９０゜回転すると、この搬送路と９０度
曲がった隣接の搬送路３方向に搬送路ループが形成さ
れ、リニアモータ５１，５２は搬送路３方向に推力を発
生するように励磁され、走行台車は搬送路３に向かって
走行する。このようにして必要なステーションで走行台
車を停止し、物品の移載を行い、搬送路のループ上を周
回し、物品を搬送する。なおループ状搬送路はシフト可
能な本線，支線を有しているため、複数個の走行台車が
各ステーションの工程にしたがって前後しながら管理コ
ンピュータの指令に従って走行している。 【００１５】従来ではこの状態で走行台車を搬送路内に
投入、又は搬送路より回収する場合、ステーションの一
つを停止して移載機側から行わなければならず、また装
置が入り組んでおり、困難な作業となる。しかし、ター
ンテーブルの外側に直線路延長上のストッパーを有する
レールを、走行台車の投入・回収を行えるようにして増
設し、またこの増設レール部の走行台車投入ステーショ
ンには手動で開閉できる空気バルブを有し、さらにはこ
の走行台車投入ステーションにトンネル状ダクト及びス
ライド式の仕切板２１を設けているので、搬送路内に走
行台車を投入する際は仕切板２１を閉じた状態で走行台
車を延長した増設レール上にセットし、外壁を閉じた
後、仕切板２１を開口し、空気バルブ９１、９２、９
３、９４を開にすると、走行台車は浮上し、走行台車に
設けた推進バネでターンテーブルＡ上へ進入する。 【００１６】この状態でターンテーブルのリニアモータ
を停止位置決め励磁すると、通常の運転時と同様にセッ
トアップされ、以後の運転は通常と同様にできる。 【００１７】また、走行台車の回収は仕切板２１を開口
した状態で、ターンテーブルＡ上に停止した走行台車を
走行台車投入ステーション側に向かって微速で走行する
ように励磁し、ストッパーまで進行させ、仕切板２１を
閉めることで行う。 【００１８】またリニアモータを組み込んだステーショ
ン用レールだけではなく、ストッパー付のレールを延長
し、カバー及びバルブを設けるだけでよいので、電気配
線やセンサーの増加も不要である。 【００１９】なお本例では、ターンテーブルＡ部で示し
たが、他のターンテーブル部でもかまわないし、増設部
にはリニアモータを組み込まない場合を示したが、リニ
アモータを組み込んで、投入回収ステーションを構成し
てもよい。 【００２０】 【発明の効果】本発明の走行台車投入用ステーションを
有する空気浮上搬送装置は、直線走行路をその端部にて
互いに交わるように配設し、この直線走行路の交点にタ
ーンテーブル、シフターを介して周回軌道をなす走行路
を構成すると共に、走行路延長上のターンテーブル外側
に、手動で開閉できる空気バルブを備えた走行台車投入
ステーションを設けているため、本線のループ状搬送路
にて他の走行台車を走行させつつ、所定の走行台車を投
入或いは回収を行えるので、効率的な搬送が行える利点
を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明走行台車投入用ステーションを有する空
気浮上搬送装置の一実施例を示す平面図である。 【図２】ステーション部の側面図である。 【図３】同平面図である。 【図４】ターンテーブル部の平面図である。 【符号の説明】 １、２、３、４ 搬送路 ５、６、７、８ 走行台車投入ステーション １０ 走行台車 １１、１２ 空気浮上レール ５１，５２ リニアモータ Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ ターンテーブル ９１、９２、９３、９４ 空気バルブ
気浮上搬送装置の一実施例を示す平面図である。 【図２】ステーション部の側面図である。 【図３】同平面図である。 【図４】ターンテーブル部の平面図である。 【符号の説明】 １、２、３、４ 搬送路 ５、６、７、８ 走行台車投入ステーション １０ 走行台車 １１、１２ 空気浮上レール ５１，５２ リニアモータ Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ ターンテーブル ９１、９２、９３、９４ 空気バルブ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B65G 51/03
B60V 3/04
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 上面及び両側面に噴気孔を有する空気浮
上走行路と、空気浮上走行路上を走行する空気浮上式の
走行台車とよりなる空気浮上搬送装置に於いて、直線搬
送路をその端部にて互いに交わるように配設し、この搬
送走行路の交点にターンテーブル、シフターを介して周
回軌道をなす走行台車の搬送路を構成すると共に、搬送
路延長上のターンテーブル外側に、手動で開閉できる空
気バルブを備えた走行台車投入ステーションを設けたこ
とを特徴とする走行台車投入用ステーションを有する空
気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31594393A JP3450887B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31594393A JP3450887B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144755A JPH07144755A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3450887B2 true JP3450887B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=18071475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31594393A Expired - Fee Related JP3450887B2 (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 走行台車投入用ステーションを有する空気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3450887B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4537027B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2010-09-01 | ダイハツ工業株式会社 | 車体組立装置および車体組立方法 |
| US10965201B2 (en) | 2017-09-25 | 2021-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system and manufacturing method of article |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP31594393A patent/JP3450887B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07144755A (ja) | 1995-06-06 |
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