JPH06171708A - 工程間搬送システム - Google Patents
工程間搬送システムInfo
- Publication number
- JPH06171708A JPH06171708A JP4080158A JP8015892A JPH06171708A JP H06171708 A JPH06171708 A JP H06171708A JP 4080158 A JP4080158 A JP 4080158A JP 8015892 A JP8015892 A JP 8015892A JP H06171708 A JPH06171708 A JP H06171708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- storage rack
- transfer machine
- branch
- inter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000013404 process transfer Methods 0.000 claims description 13
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Train Traffic Observation, Control, And Security (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体生産工場の工程間搬送システムにおい
て、台車を停止させることなく保管棚に進入させること
によって搬送能力を向上させる。 【構成】ループ状の軌道部１と、軌道部１により拘束さ
れて移動する台車２と、台車２に搬送物３を移載する回
転移載機４と、搬送物３を保管する保管棚５と、保管棚
５と回転移載機４との間の移載を行う保管棚移載機６
と、回転移載機４の前方で軌道部１から分岐し、回転移
載機４の後方で軌道部１と結合する分岐軌道部７とを含
んで構成される。
て、台車を停止させることなく保管棚に進入させること
によって搬送能力を向上させる。 【構成】ループ状の軌道部１と、軌道部１により拘束さ
れて移動する台車２と、台車２に搬送物３を移載する回
転移載機４と、搬送物３を保管する保管棚５と、保管棚
５と回転移載機４との間の移載を行う保管棚移載機６
と、回転移載機４の前方で軌道部１から分岐し、回転移
載機４の後方で軌道部１と結合する分岐軌道部７とを含
んで構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体の生産工場で用い
る工程間搬送システム関する。
る工程間搬送システム関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体、特に半導体基板（以下ウェハと
言う）上に集積回路素子（以下ＬＳＩと言う）を製造形
成するためにはこのウェハに対して薄膜形成、パターン
形成、及び不純物導入の加工処理を行い、この一連の加
工処理を数十回ほど繰り返す。
言う）上に集積回路素子（以下ＬＳＩと言う）を製造形
成するためにはこのウェハに対して薄膜形成、パターン
形成、及び不純物導入の加工処理を行い、この一連の加
工処理を数十回ほど繰り返す。
【０００３】このウェハの加工処理を行う為にウェハ処
理工場には非常に多種多様の生産装置が設置されてお
り、それぞれの生産装置でウェハを決められた条件、及
び決められた工程手順で処理する事によりウェハ上にＬ
ＳＩが製造形成される。
理工場には非常に多種多様の生産装置が設置されてお
り、それぞれの生産装置でウェハを決められた条件、及
び決められた工程手順で処理する事によりウェハ上にＬ
ＳＩが製造形成される。
【０００４】ウェハを各生産装置で処理する為には、一
つの生産装置で処理が終了した後、次の工程の生産装置
にそのウェハを仕掛けなければならない。
つの生産装置で処理が終了した後、次の工程の生産装置
にそのウェハを仕掛けなければならない。
【０００５】さらに、前述のようにウェハの処理工程は
類似した処理工程の繰り返しであり、次の工程の生産装
置が必ずしも前の工程の生産装置の近くに配置されてい
るとは限らない。
類似した処理工程の繰り返しであり、次の工程の生産装
置が必ずしも前の工程の生産装置の近くに配置されてい
るとは限らない。
【０００６】したがってウェハを生産装置と生産装置の
間、つまり、工程と工程の間で移動させる手段が必要で
あり、これを機械的に自動的に行う手段が工程間搬送シ
ステムである。
間、つまり、工程と工程の間で移動させる手段が必要で
あり、これを機械的に自動的に行う手段が工程間搬送シ
ステムである。
【０００７】そして、４ＭＤＲＡＭの生産工程数は数百
工程にもなり、また、量産工場では多量のウェハ処理を
行わなければならず、生産工程と生産工程の間はウェハ
の自動搬送の手段が不可欠になっている。
工程にもなり、また、量産工場では多量のウェハ処理を
行わなければならず、生産工程と生産工程の間はウェハ
の自動搬送の手段が不可欠になっている。
【０００８】そこで、半導体生産工場では日経マイクロ
デバイス（１９８９年１１月号，１０７〜１２３ペー
ジ）にあるような搬送システムを導入している。図４は
前記半導体生産工場の代表的なクリーンルーム及び工程
間搬送システムを示すレイアウト図である。図４のクリ
ーンルームはベイ構造になっており、ベイ１８の中に生
産装置が設置され保守の時は機械室１９側から行い、発
塵がでないようになっている。また、各ベイには同一あ
るいは同一種類の生産装置が配置される事が一般的であ
る。そして、ベイの出口に保管棚を設け、クリーンルー
ム中央部に各保管棚を結ぶ、工程間搬送システムを設置
する。
デバイス（１９８９年１１月号，１０７〜１２３ペー
ジ）にあるような搬送システムを導入している。図４は
前記半導体生産工場の代表的なクリーンルーム及び工程
間搬送システムを示すレイアウト図である。図４のクリ
ーンルームはベイ構造になっており、ベイ１８の中に生
産装置が設置され保守の時は機械室１９側から行い、発
塵がでないようになっている。また、各ベイには同一あ
るいは同一種類の生産装置が配置される事が一般的であ
る。そして、ベイの出口に保管棚を設け、クリーンルー
ム中央部に各保管棚を結ぶ、工程間搬送システムを設置
する。
【０００９】次に、従来の工程間搬送システムについて
図面を参照して詳細に説明する。図５は従来の工程間搬
送システムを示す斜視図である。図５に示す工程間搬送
システムはループ状の軌道部１と台車２と回転移載機４
と保管棚３と保管棚移載機６とを含んで構成される。台
車２はリニア誘導モータを駆動源として軌道部１を移動
する。
図面を参照して詳細に説明する。図５は従来の工程間搬
送システムを示す斜視図である。図５に示す工程間搬送
システムはループ状の軌道部１と台車２と回転移載機４
と保管棚３と保管棚移載機６とを含んで構成される。台
車２はリニア誘導モータを駆動源として軌道部１を移動
する。
【００１０】次に動作を説明する。保管棚５から他の保
管棚に搬送したい搬送物３がある時、保管棚５は保管棚
移載機６で保管物３の保管されている場所に移動し、保
管物３を取り、回転移載機４の場所迄移動する。そこで
保管棚移載機６は搬送物３を回転移載機４に受け渡す。
回転移載機４は保管棚移載機６から搬送物３を受け渡さ
れると、軌道部１を走行している台車のうち、搬送中で
ない台車２を回転移載機４の前で停止させる。そして、
回転移載機４は台車２に搬送物３を乗せる。台車２は目
的の保管棚の回転移載機の前で止まり、上記と逆の動作
で搬送物３を保管する。
管棚に搬送したい搬送物３がある時、保管棚５は保管棚
移載機６で保管物３の保管されている場所に移動し、保
管物３を取り、回転移載機４の場所迄移動する。そこで
保管棚移載機６は搬送物３を回転移載機４に受け渡す。
回転移載機４は保管棚移載機６から搬送物３を受け渡さ
れると、軌道部１を走行している台車のうち、搬送中で
ない台車２を回転移載機４の前で停止させる。そして、
回転移載機４は台車２に搬送物３を乗せる。台車２は目
的の保管棚の回転移載機の前で止まり、上記と逆の動作
で搬送物３を保管する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来の工程間搬送シス
テムは、軌道上で台車を一時停止させ、この状態で搬送
物の移載を行う。その為に軌道はふさがれてしまい、後
続の台車が進行できず、搬送そのものが停止してしまう
事がある。このような原因の為、従来の工程間搬送シス
テムでは、時間あたり２００回程度の搬送能力が上限で
ある。
テムは、軌道上で台車を一時停止させ、この状態で搬送
物の移載を行う。その為に軌道はふさがれてしまい、後
続の台車が進行できず、搬送そのものが停止してしまう
事がある。このような原因の為、従来の工程間搬送シス
テムでは、時間あたり２００回程度の搬送能力が上限で
ある。
【００１２】しかし、最近の半導体生産工場は大量生産
するようになり、時間あたり２００回程度の搬送能力で
は足りなくなっている。
するようになり、時間あたり２００回程度の搬送能力で
は足りなくなっている。
【００１３】例えば、４メガビットＤＲＡＭの生産工程
数は約４００工程から５００工程ほどであり、このよう
なメモリ製品を大量生産する工場の生産規模は月生産量
１万５千枚から３万枚程度である事が知られている。
数は約４００工程から５００工程ほどであり、このよう
なメモリ製品を大量生産する工場の生産規模は月生産量
１万５千枚から３万枚程度である事が知られている。
【００１４】このように多数の工程と大量生産の生産工
場では、時間あたり約２００回から３００回程度の搬送
能力が必要である。
場では、時間あたり約２００回から３００回程度の搬送
能力が必要である。
【００１５】このように、従来の工程間搬送システムで
は搬送能力が不足するという問題がある。また、図４に
示したような生産工場では軌道部の総延長距離は約３０
０ｍから４００ｍにもおよぶ。そのため、従来の工程間
搬送システムでは、目的の保管棚に行く迄に何度も台車
が停止し、搬送に時間がかかるという問題もあった。
は搬送能力が不足するという問題がある。また、図４に
示したような生産工場では軌道部の総延長距離は約３０
０ｍから４００ｍにもおよぶ。そのため、従来の工程間
搬送システムでは、目的の保管棚に行く迄に何度も台車
が停止し、搬送に時間がかかるという問題もあった。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の工程間搬送シス
テムは、リニア誘導モータを駆動源に利用した地上１次
制御型の有軌道搬送装置と被搬送物を保管管理する保管
棚を機械的に接続した半導体生産工場で用いられる工程
間搬送システムにおいて、軌道の一部に分岐点を有し、
前記分岐点で台車が停止することなく分岐軌道に進入
し、被搬送物を保管棚に受け渡し後再び軌道に合流する
走行手段を含んで構成される。
テムは、リニア誘導モータを駆動源に利用した地上１次
制御型の有軌道搬送装置と被搬送物を保管管理する保管
棚を機械的に接続した半導体生産工場で用いられる工程
間搬送システムにおいて、軌道の一部に分岐点を有し、
前記分岐点で台車が停止することなく分岐軌道に進入
し、被搬送物を保管棚に受け渡し後再び軌道に合流する
走行手段を含んで構成される。
【００１７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１８】図１は本発明の一実施例を示した斜視図で
ある。
ある。
【００１９】第１に示す工程間搬送システムはループ状
の軌道部１と、軌道部１により拘束されて移動する台車
２と、台車２に搬送物３を移載する回転移載機４と、搬
送物３を保管する保管棚５と、保管棚５と回転移載機４
との間の移載を行う保管棚移載機６と、回転移載機４の
前方で軌道部１から分岐し、回転移載機４の後方で軌道
部１と結合する分岐軌道部７とを含んで構成される。
の軌道部１と、軌道部１により拘束されて移動する台車
２と、台車２に搬送物３を移載する回転移載機４と、搬
送物３を保管する保管棚５と、保管棚５と回転移載機４
との間の移載を行う保管棚移載機６と、回転移載機４の
前方で軌道部１から分岐し、回転移載機４の後方で軌道
部１と結合する分岐軌道部７とを含んで構成される。
【００２０】次に動作を説明する。保管棚５から他の保
管棚に搬送したい搬送物３がある時、保管棚５は保管棚
移載機６で搬送物３の保管されている場所に移動し、搬
送物３を取り、回転移載機４の場所迄移動する。そこで
保管棚移載機６は搬送物３を回転移載機４に受け渡す。
回転移載機４は保管棚移載機６から搬送物３を受け渡さ
れると、軌道部１を走行している台車のうち、搬送中で
ない台車２を分岐軌道部７に導き、回転移載機４の前で
停止させる。そして、回転移載機４は台車２に搬送物３
を乗せる。台車２は目的の保管棚５の回転移載機の前で
止まり、前記と逆の動作で搬送物３を保管する。このよ
うにして一連の搬送物の搬送が行われる。
管棚に搬送したい搬送物３がある時、保管棚５は保管棚
移載機６で搬送物３の保管されている場所に移動し、搬
送物３を取り、回転移載機４の場所迄移動する。そこで
保管棚移載機６は搬送物３を回転移載機４に受け渡す。
回転移載機４は保管棚移載機６から搬送物３を受け渡さ
れると、軌道部１を走行している台車のうち、搬送中で
ない台車２を分岐軌道部７に導き、回転移載機４の前で
停止させる。そして、回転移載機４は台車２に搬送物３
を乗せる。台車２は目的の保管棚５の回転移載機の前で
止まり、前記と逆の動作で搬送物３を保管する。このよ
うにして一連の搬送物の搬送が行われる。
【００２１】分岐位置での台車の引込方法は、第１の例
として図２の平面断面図に示すような方法がある。図２
に示す方法はリニア誘導モータ（以下ＬＩＭと言う）の
向きを変える事により、台車の行き先を変える方法であ
る。次に動作を説明する。ＬＩＭ８の位置迄軌道部４
を走行していた台車は、ＬＩＭ９、ＬＩＭ１０、Ｌ
ＩＭ１１で駆動されると、軌道部１の分岐側と反対方
向の壁に押し付けられながら走行し、軌道部１を走行す
る。またＬＩＭ１２、ＬＩＭ１３、ＬＩＭ１４で
駆動されると、分岐軌道部７の分岐側の壁に押し付けら
れながら走行し、分岐軌道部７を走行する。
として図２の平面断面図に示すような方法がある。図２
に示す方法はリニア誘導モータ（以下ＬＩＭと言う）の
向きを変える事により、台車の行き先を変える方法であ
る。次に動作を説明する。ＬＩＭ８の位置迄軌道部４
を走行していた台車は、ＬＩＭ９、ＬＩＭ１０、Ｌ
ＩＭ１１で駆動されると、軌道部１の分岐側と反対方
向の壁に押し付けられながら走行し、軌道部１を走行す
る。またＬＩＭ１２、ＬＩＭ１３、ＬＩＭ１４で
駆動されると、分岐軌道部７の分岐側の壁に押し付けら
れながら走行し、分岐軌道部７を走行する。
【００２２】引込方法の第２の例としては図３の平面断
面図に示すような方法がある。図３に示す方法は、分岐
点の壁を移動させる事により、台車の行き先を変える方
法である。次に動作を説明する。ＬＩＭ１５の位置迄
軌道部１を走行していた台車は、分岐点１６を中心に揺
動する分岐壁１７が分岐軌道部７の方向にあう時は、軌
道部１を走行する。また、分岐壁１７が軌道部１の方向
にある時は、分岐軌道部７を走行する。
面図に示すような方法がある。図３に示す方法は、分岐
点の壁を移動させる事により、台車の行き先を変える方
法である。次に動作を説明する。ＬＩＭ１５の位置迄
軌道部１を走行していた台車は、分岐点１６を中心に揺
動する分岐壁１７が分岐軌道部７の方向にあう時は、軌
道部１を走行する。また、分岐壁１７が軌道部１の方向
にある時は、分岐軌道部７を走行する。
【００２３】
【発明の効果】本発明の工程間搬送システムは、軌道の
一部に分岐点を有し、分岐点で台車が停止することなく
どの方向にも分岐する事ができる為、搬送物の移載時に
台車を止めても、後続の台車の走行を妨げる事がなくな
り、搬送能力を引上げる事ができるという効果がある。
一部に分岐点を有し、分岐点で台車が停止することなく
どの方向にも分岐する事ができる為、搬送物の移載時に
台車を止めても、後続の台車の走行を妨げる事がなくな
り、搬送能力を引上げる事ができるという効果がある。
【００２４】また、目的地迄の走行中に停止する事がな
いので、搬送時間も短縮されるという効果もある。
いので、搬送時間も短縮されるという効果もある。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例における分岐方法の第１の例
を示す平面断面図である。
を示す平面断面図である。
【図３】本発明の一実施例における分岐方法の第２の例
を示す平面断面図である。
を示す平面断面図である。
【図４】半導体生産工場の代表的なレイアウト図であ
る。
る。
【図５】従来の搬送システムの一例を示す斜視図であ
る。
る。
１ 軌道部 ２ 台車 ３ 搬送物 ４ 回転移載機 ５ 保管棚 ６ 保管棚移載機 ７ 分岐軌道部 ８ ＬＩＭ ９ ＬＩＭ １０ ＬＩＭ １１ ＬＩＭ １２ ＬＩＭ １３ ＬＩＭ １４ ＬＩＭ １５ ＬＩＭ １６ 分岐点 １７ 分岐壁 １８ ベイ １９ 機械室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 54/02 9245−3Ｆ Ｇ０５Ｄ 1/02 Ｐ 9323−3Ｈ Ｔ 9323−3Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 リニア誘導モータを駆動源に利用した地
上１次制御型の有軌道搬送装置と被搬送物を保管管理す
る保管棚を機械的に接続した半導体生産工場で用いられ
る工程間搬送システムにおいて、軌道の一部に分岐点を
有し、前記分岐点で台車が停止することなく分岐軌道に
進入し、被搬送物を保管棚に受け渡し後再び軌道に合流
する走行手段を備えることを特徴とする工程間搬送シス
テム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4080158A JPH06171708A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 工程間搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4080158A JPH06171708A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 工程間搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06171708A true JPH06171708A (ja) | 1994-06-21 |
Family
ID=13710500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4080158A Withdrawn JPH06171708A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 工程間搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06171708A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6095054A (en) * | 1998-02-03 | 2000-08-01 | Shinko Electric Co., Ltd. | Transport system |
-
1992
- 1992-04-02 JP JP4080158A patent/JPH06171708A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6095054A (en) * | 1998-02-03 | 2000-08-01 | Shinko Electric Co., Ltd. | Transport system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6336546B1 (en) | Conveying system | |
| TWI385111B (zh) | 堆料機 | |
| JPH10203610A (ja) | 自動保管棚及び自動保管方法 | |
| JP4127138B2 (ja) | 搬送システム | |
| JPH06171708A (ja) | 工程間搬送システム | |
| JP2616212B2 (ja) | 搬送システム | |
| JP2000124284A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2001130709A (ja) | 自動倉庫システム | |
| JP2002087539A (ja) | 搬送システム | |
| JP2003034406A (ja) | 工程間搬送システム | |
| JP4154269B2 (ja) | 製造設備の搬送システム | |
| JP2007019085A (ja) | 搬送システム | |
| JPH0467211A (ja) | 搬送システム | |
| US20220336241A1 (en) | Substrate transfer device and substrate transfer method | |
| JP2000203702A (ja) | 自動搬送システム | |
| JP2610526B2 (ja) | クリーンルーム内の荷取扱い設備 | |
| JP2001341640A (ja) | 無人搬送車システム | |
| JPS61150918A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2002205803A (ja) | 自動倉庫用荷受台 | |
| CN116387210A (zh) | 制造工厂的物流系统 | |
| JP2725526B2 (ja) | 自動保管棚装置 | |
| JP2002060007A (ja) | 搬送システム | |
| JP2000095306A (ja) | 搬送システム | |
| JP2001127134A (ja) | キャリア搬送システム | |
| JP2005197434A (ja) | 搬送システムおよび半導体製造システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |