JPH04167540A

JPH04167540A - 搬送システム

Info

Publication number: JPH04167540A
Application number: JP29500590A
Authority: JP
Inventors: Toshimi Yasuda; 安田　利美
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1990-10-31
Filing date: 1990-10-31
Publication date: 1992-06-15
Anticipated expiration: 2012-06-04
Also published as: JP2616212B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、半導体の生産製造に用いる半導体基板の自動
搬送システムに関する。

〔従来の技術〕

半導体、特に半導体基板（以下、ウェハという）上に集
積回路素子（以下、ＬＳＩという）を製造形成するため
には、このウェハに対して薄膜形成、パターン形成、お
よび不純物導入の加工処理を行い、この一連の加工処理
を数十回はど繰り返す。

このウェハの加工処理を行うためにウェハ処理工場には
、非常に多種多数の生産装置か設置されており、それぞ
れの生産装置でウェハを決められた条件、および決めら
れた工程手順で処理することによりウェハ上にＬＳＩか
製造形成される。

ウェハを各生産装置で処理するためには、ひとつの生産
装置で処理か終了した後、次の工程の生産装置にそのウ
ェハを仕掛けなければならない。

さらに、前述のようにウェハの処理工程は、類似した処
理工程の繰り返しであり、次の工程の生産装！か必ずし
も前の工程の生産装置の近くに配置されているとはかぎ
らない。

したがって、ウェハを生産装置と生産装置との間、つま
り、工程と工程の間で移動させる手段が必要であり、こ
れを機械的に自動的に行う手数が搬送システムである。

例えば、４メガビットＤＲＡＭの生産工程数は数百工程
にもなり、また、量産工場では多量のウェハ処理を行わ
なければならず、生産工程と生産工程との間にはウェハ
の自動搬送の手段が不可欠になっている。

第４図は、ウェハ処理工場の代表的な配置の例を示す図
である１図に示すように、生産現場は極めて塵埃を少な
くしたクリーンルーム１０１になっており、生産装置は
ペイ１０３に設置される。１０５は隔壁である。また、
生産装置の保守は機械室１０２側から行い保守時に発生
する塵埃がペイに出ないような構造になっている。

各ペイには同一あるいは同一種類の生産装置が配！され
ることが一般的である。

クリーンルーム１０１の中央部には各生産装置間でウェ
ハを移送する搬送システムが設置され、第４図では特定
のペイに保管棚３１を設け、その間を搬送用軌道１１が
設置され、保管棚３１と軌道１１との間に移載部１４が
設けられている。

搬送装置としては電磁誘導や光学誘導などを利用した無
人搬送車による搬送手段などやりニアモータを利用した
有軌道式の搬送手段がある。第４図は、リニアモータを
利用した搬送台車による搬送システムの例である。

第５図は、保管棚と搬送台車の機械的取り合いの構成例
である０図において、１１は軌道、１６は水平移動機、
１６ａは第１軌道、１６ｂは第２軌道、１２は台車、２
２はハンド、３１は保管棚、３２は枡目、３５は入出庫
口、３７は操作パネルである。

各ペイ内の生産装置により処理されたウェハは数十枚程
度にまとめられ、一つのロットとしてウェハキャリアあ
るいはボックスに収納され、一つの搬送単位（以下、ワ
ークという）となる。

ワークには、ロット認識用の印が付けられ、バーコード
がよく利用される。

処理されたワークを入庫口に入れると、バーコードリー
タによりワークのバーコードが読み取られ、このバーコ
ードにより上位の生産管理用コンピュータ（以下、ホス
トコンピュータという）にワークの次の工程あるいは行
き先およびロット番号などの情報を間合せ、ホストコン
ピュータからその情報を得る。

ワーク１は、移載機より一旦保管棚に保管され、空の搬
送台車がステーションに到着するのを待つ。

搬送台車が到着すると、再度移載機によりそのワークは
保管棚から取り出され搬送台車に積載される。搬送台車
はすでにホストコンピュータから得ている行き先にした
がって軌道上を目的のステーションまで走行する。

目的のステーションに到着すると、移載機によりワーク
は搬送台車から取り出され、保管棚に収納される。

上記の説明のなかで、ワークを移載機で移載する場合に
、もっとら容易な方法として軌道上のワーク移載位置で
搬送台車を一時停止させ、そのままの状態で移載機でワ
ークを移載する手段がある。

また、第５図に示しであるように、水平移動機１６を使
用して、搬送台車がワークの移載位置に停止すると、こ
の水平移動＠ｉｅが動作して搬送台車が軌道を外側に移
動し、この状態でワークを移載する手段もある。

〔発明か解決しようとする課組〕

例えば、４メガビットＤＲＡＭの生産工程数は、およそ
４００工程から５００工程はどであり、このようなメモ
リ製品を大量生産する生産規模は、月生産４１１５００
０枚から３００００枚はどであることが知られている。

このように多数の工程と大量生産の生産工場では、前述
した搬送システムの搬送作業量は単位時間あたり、およ
そ２００回から３００回程度のワークの搬送が必要であ
る。

第４図に示したようなレイアウトの場合では、軌道の総
延長距離は、およそ３００メートルから４００メートル
にもおよび、上記の搬送所要を処理するために、この軌
道上をおよそ２０台から３０台程度の非常に多数の搬送
台車を走行制御させなければならない、また保管棚の数
も２０台から４０台程度にもおよぶ。

したがって、従来のように、軌道上に搬送自軍を一時停
止させ、この状態でワーク移載を行うと、この搬送台車
のためにその軌道はふさがれてしまい、後続の搬送台車
が進行できず搬送そのものが停止してしまうことがある
。

また、第５図に示した水平移動機を使用すると、ワーク
の移載中に軌道は開放とはなるが、後続の搬送台車が、
いよまさにワークを移載している保管棚に停止し、ワー
クを降ろすあるいは積み込もうとする場合は、−旦この
水平移動機は元の位置に戻らなければならない。

つまり、第５図中の水平移動機１６の第１軌道１６ａが
軌道本線に接続されていなければワークを移載すること
ができない。この場合、第２軌道１６ｂは単なる後続の
搬送台車の通過用でしかない。

し−たがって、このような移載構造では、後続の搬送台
車を十分に走行させることが難しく、冒頭の搬送所要を
満足できない場合が起こりうる。

本発明の目的は搬送効率を向上した搬送システムを提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明に係る搬送システムに
おいては、リニア誘導モータを駆動源に利用した地上１
次制御型の有軌道搬送装！と被搬送物を保管管理する保
管棚を機械的に接続した搬送システムにおいて、有軌道と同じ形状をした短軌道を少なくとも二つ有し、
かつ、この二つの短軌道は一つの点を中心に点対称に配
置され、かつ、この二つの短軌道は互いに機械的に結合
され、かつ、この一つの点を中心に平面上を回転する機
能を備えた回転型方向転換機を有するものである。

〔作用〕

有軌道搬送装置と保管棚との間でワークの移載を行う回
転型の搬送台車の方向転換装置を備え、これにより、搬
送効率を向上させる。

〔実施例〕

次に、本発明について図を参照して説明する。

（実施例１）第１図は、本発明の実施例１を示す斜視図、第２図（ａ
）　、　（ｂ）は、ワークの移載の状態を示す平面模式
図である。

図において、１１は軌道、１５は回転型方向転換機、１
５ａは第１軌道、１５ｂは第２軌道である。１２は台車
、２１は移載機、２２はハンド、３１は保管棚、３２は
枡目、３５は入出庫口、３１は操作パネルである。

第１図中には記していないが、軌２！！１１は一般的に
クリーンルームの天井から吊り下げ材により懸垂固定さ
れている。

第１図、第２図（ａ）　、　（ｂ）において、まず、作
業者はそれぞれの生産装置でウェハの処理が終了したワ
ーク２を保管棚３１の入出庫口３５に置く。

図中には示していないが、ワーク２にはワーク認識用に
バーコードが表示されており、保管棚３１は入出庫口３
５の近傍に設！されているバーコードリーダによりその
バーコードを読み取り、そのバーコードにより上位のホ
ストコンピュータにそのワーク２がどのような内容であ
るかを間合わせ、情報を得る。この情報の中には、この
ワーク２の次の工程であるところの保管棚の番号が含ま
れており、搬送システムはこの次工程の保管棚にそのワ
ーク２を搬送するために搬送台車の配車制御を行う。

この間に一旦ワーク２は保管棚３１の空の枡目３２に保
管される。

また、ワーク１がこの保管棚３１に搬送されてくる場合
は、まず、ワーク１は搬送台車１２に積載され、軌道１
１上を走行し、回転型方向転換ｌ１１５の第１軌道１５
ａに到着する。この第１軌道１５ａおよび第２軌道１５
ｂの中には、搬送台車１２の加減速および停止あるいは
発進のためのリニア誘導モータが組み込まれている。

第１軌道１５ａの停止位置に搬送台本１２が到着すると
、回転型方向転換機１５は反転し、第１軌道１５ａは移
載１１２ｉ側に位置する。このときワーク１は搬送台車
１２と共に移動する。回転型方向転換機１５が動作して
いる間は、別の電磁石あるいは機械的なストッパピンな
どにより搬送台車１２を固定状態にし、位置ずれを防い
でいる。

第１軌道１５ａが移ｆｉ機２１側に移動すると、当然な
がら第２軌道１５ｂは軌道１１の本線側に移動し軌道１
１は開放される。この回転型方向転換機１５の回転開始
から終了までの所要時間は数秒程度であり、軌道１１が
使用できない、つまり閉鎖されている時間も数秒程度と
なる。この状態で搬送台車１２に後続するほかの台車は
この保管棚３１を通過し、目的の保管棚に向かうことが
できる。

さて、移載機２１ｍに移動したワーク１は移載機２１に
より搬送台車１２より取り出され、空の枡目３２に保管
される。この後、作業者に操作パネル３７より処理すべ
きワークを指示すれば、移載機２１が該当のワークを枡
目３２より取り出し、入出庫口３５へ払い出す、このよ
うにして一連のワークの搬送が行われる。

゛まな、例えば、第１軌遵１’５ａに搬送台車１２がす
でに存在しており、ワークの移載作業中であるとき、こ
の同じ保管棚３１に別のワークを積載した搬送台車が到
着しようとしている場合は、そのまま第２軌道１５ｂに
その搬送台車を到着停止させる。

第１軌道１５ａの移載作業が終了すると、回転型方向転
換機１５は直ちに反転し、第２軌道１５ｂを移載機２１
側に取り込み、移載を行うことができる。

（実施例２）第３図は本発明の実施例２を示す図である。

実陸例１では、この回転型方向転換１１１５をワークの
移載のために使用したが、第３図のように、搬送台車１
２の進行軌道を軌道１１から軌道１１ａというように変
えることにも利用できる。この場合も搬送台車１２を軌
道１１ａへ移動するために、回転型方向転換機１５を反
転した後でも、軌道１１は第２軌道１５ｂにより開放さ
れているため、ｆ＆続の搬送台車の進行を妨げることが
ない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、搬送システム中の搬送台
車と軌道を含む搬送装置とワークを保管する保管棚とを
機械的に結合する役割を持つ搬送台車の方向転換機に回
転型の方向転換機を使用することにより、搬送台車の走
行を妨げることがなくなり、搬送システムの搬送能力を
最大限に引上げることができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図（ａ）　、　（１））は、本発明の実施
例１を説明する図、第３図は、本発明の実施例２を説明
する図、第４図は、搬送システムの設置例を示すレイア
ウト図、第５図は、従来例を説明する図である。１．２・・・ワーク　　　　１１．１１ａ・・−軌道１
２・−・搬送台車　　　　　１４・・・移載部１５・・
・回転型方向転換１１１６・・・水平移動機２１・・・
移載ｌ！２２・・・ハンド３１・・・保管棚　　　　　　３２・・・枡目３５・・
・入出庫口　　　　　３７・・・操作パネル１０１・・
・クリーンルーム　１０２・・・機械室１０３・・・ベ
イ　　　　　　１０４・・・隔壁特許出願人　　　日本
電気株式会社代　　理　　人　　　　弁理士　菅　野　　　中第１図第２図第３図第４図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）リニア誘導モータを駆動源に利用した地上１次制
御型の有軌道搬送装置と被搬送物を保管管理する保管棚
を機械的に接続した搬送システムにおいて、有軌道と同じ形状をした短軌道を少なくとも二つ有し、
かつ、この二つの短軌道は一つの点を中心に点対称に配
置され、かつ、この二つの短軌道は互いに機械的に結合
され、かつ、この一つの点を中心に平面上を回転する機
能を備えた回転型方向転換機を有することを特徴とする
搬送システム。