JPH07131197A - シングルプレート型ｘ−ｙテーブル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板等を載置するワークテーブルを直接Ｘ−
Ｙ方向に駆動する構造とし、テーブルをワークテーブル
１枚だけとして軽量化を図り、Ｘ−Ｙ方向の平面移動の
大幅な高速化を実現するとともに振動の低下及び精度の
向上を図る。 【構成】 基台１に固定されたＹ軸方向ワークテーブル
案内部２Ａ，２Ｂと、該Ｙ軸方向ワークテーブル案内部
によりＹ軸方向に摺動自在に支持された直交形ガイドブ
ロック３と、直交形ガイドブロック３によりＸ軸方向に
摺動自在に支持されたＸ軸方向ガイドレール５Ａ，５Ｂ
と、該Ｘ軸方向ガイドレール５Ａ，５Ｂを固定したワー
クテーブル４とを備え、ワークテーブル４をＸ軸駆動源
及びＸ軸駆動伝達部でＸ軸方向に駆動するとともに、Ｙ
軸駆動源及びＹ軸駆動伝達部でＹ軸方向に駆動する構成
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ−Ｙ方向の平面移動
を必要とする生産設備全般に用いられるＸ−Ｙテーブル
装置に係り、特に電子部品等の自動挿入装置または自動
装着装置等においてプリント基板等を前後左右に移動可
能に保持するためのシングルプレート型Ｘ−Ｙテーブル
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子部品の自動挿入装置や自動装
着装置等において、プリント基板を前後左右に移動可能
に保持するために用いられるＸ−Ｙテーブル装置とし
て、実開昭５３−５９７８４号のような構成のものが知
られている。この従来のＸ−Ｙテーブル装置は、基台上
に平行に固定されたＹ軸方向ガイドレールによりＹ軸方
向テーブルを摺動自在に支持し、このＹ軸方向テーブル
上に相互に平行に固定されたＸ軸方向ガイドレールによ
りＸ軸方向テーブル（ワークテーブル）を摺動自在に支
持し、Ｙ軸方向テーブルをＹ軸方向螺旋軸によりＹ軸方
向ガイドレールに沿って移動させ、Ｘ軸方向テーブルを
Ｘ軸方向螺旋軸によりＸ軸方向ガイドレールに沿って移
動させる構成であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
では、Ｙ軸方向テーブルの上にＸ軸方向テーブル及び該
Ｘ軸方向テーブルを駆動するためのＸ軸駆動源（サーボ
モーター等）及びＸ軸駆動伝達部（Ｘ軸方向螺旋軸等）
を配置し、各テーブルそれぞれをＹ軸方向、Ｘ軸方向に
移動させるといった、テーブルを２枚重ね合わせる構成
としているので、全体的に重量が大きくなる欠点があ
る。とくに、Ｙ軸方向テーブルは、Ｘ軸方向テーブルと
Ｘ軸駆動源及びＸ軸伝達部とを支持するために十分な強
度を有することが必要であり、Ｙ軸方向テーブルの軽量
化は困難といえる。従って、重量が大きいことから、Ｘ
軸方向テーブル及びＹ軸方向テーブルの移動の高速化が
困難であり、電子部品等の挿入、装着作業等の高速化の
大きな妨げになっていた。さらに、テーブルを２枚重ね
合わせた構成であるため、構造上、たわみや歪みが生じ
やすく、各テーブルの移動に際して発生する振動が大き
くなる問題があり、精度が低下してしまう恐れがある。

【０００４】本発明は、上記の点に鑑み、プリント基板
等を載置するワークテーブルを直接Ｘ−Ｙ方向に駆動す
る構造とし、テーブルをワークテーブル１枚だけとして
軽量化を図り、Ｘ−Ｙ方向の平面移動の大幅な高速化を
実現するとともに振動の低下及び精度の向上を図ったシ
ングルプレート型Ｘ−Ｙテーブル装置を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のシングルプレート型Ｘ−Ｙテーブル装置
は、基台に固定されたＹ軸方向ワークテーブル案内部
と、該Ｙ軸方向ワークテーブル案内部によりＹ軸方向に
摺動自在に支持された直交形ガイドブロックと、該直交
形ガイドブロックにより前記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方
向に摺動自在に支持されたＸ軸方向ワークテーブル案内
部と、該Ｘ軸方向ワークテーブル案内部を固定したワー
クテーブルと、該ワークテーブルに設けられたＸ軸方向
二次案内部及びＹ軸方向二次案内部と、Ｘ軸駆動源及び
Ｘ軸駆動伝達部によりＸ軸方向に駆動されるＸ軸方向移
動体と、該Ｘ軸方向移動体に枢着されていて前記Ｙ軸方
向二次案内部に係合する第１のローラーと、Ｙ軸駆動源
及びＹ軸駆動伝達部によりによりＹ軸方向に駆動される
Ｙ軸方向移動体と、該Ｙ軸方向移動体に枢着されていて
前記Ｘ軸方向二次案内部に係合する第２のローラーとを
備えた構成としている。

【０００６】また、前記Ｘ軸方向二次案内部及び前記Ｙ
軸方向二次案内部にそれぞれリニアスケール部を設け、
かつ前記Ｘ軸方向移動体及び前記Ｙ軸方向移動体に前記
リニアスケールを読み取る測定部を設けることにより、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向のリニアスケールセンサをそれぞ
れ構成してもよい。

【０００７】また、前記Ｘ軸方向ワークテーブル案内部
及びこの延長線間に前記Ｘ軸駆動源及びＸ軸駆動伝達部
を配置し、前記Ｙ軸方向ワークテーブル案内部及びこの
延長線間に前記Ｙ軸駆動源及びＹ軸駆動伝達部を配置す
る構成としてもよい。

【０００８】

【作用】本発明のシングルプレート型Ｘ−Ｙテーブル装
置においては、Ｘ軸駆動源及びＸ軸駆動伝達部によりＸ
軸方向移動体を駆動し、Ｙ軸駆動源及びＹ軸駆動伝達部
によりＹ軸方向移動体を駆動し、それぞれワークテーブ
ルに設けられたＸ軸方向二次案内部及びＹ軸方向二次案
内部に各軸方向への駆動力を伝達することで、テーブル
が１枚の構成にてＸ−Ｙ移動を行っているため、従来の
テーブルを２枚重ね合わせた構成と比較して約半分の重
さに軽量化できる。従って、ワークテーブルの移動の高
速化が可能になり、たわみや歪みが減少するとともに振
動が少なくなる。

【０００９】また、Ｘ軸方向二次案内部及びＹ軸方向二
次案内部にそれぞれリニアスケール部を設け、Ｘ軸方向
移動体及びＹ軸方向移動体のそれぞれに前記リニアスケ
ール部を読み取る測定部を設けてリニアスケールセンサ
をそれぞれ構成する場合、ワークテーブルの各軸方向へ
の移動量を高精度で検出でき、その検出をもとにワーク
テーブルの位置を制御することで完全クローズドループ
による制御を実現可能で、ワークテーブルを高精度で位
置決めすることができる。

【００１０】また、対をなすＸ軸方向ワークテーブル案
内部及びこの延長線間にＸ軸駆動源及びＸ軸駆動伝達部
を配置し、対をなすＹ軸方向ワークテーブル案内部及び
この延長線間にＹ軸駆動源及びＹ軸駆動伝達部を配置し
た場合、各軸方向の駆動源からワーク作業位置までの距
離が小さくなるため、Ｘ軸又はＹ軸方向ワークテーブル
案内部の外側にＸ軸又はＹ軸駆動源及び駆動伝達部を配
置する場合に比較してワーク作業位置において振動の拡
大や複合等がより小さくて済み、振動が発生しにくいの
でワークテーブルの高速動作に適したＸ−Ｙテーブル装
置が得られる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明に係るシングルプレート型Ｘ−
Ｙテーブル装置の実施例を図面に従って説明する。

【００１２】図１乃至図７は、本発明のシングルプレー
ト型Ｘ−Ｙテーブル装置の実施例を示している。これら
の図において、基台１上に一対のＹ軸方向ワークテーブ
ル案内部２Ａ，２Ｂが所定間隔をおいて平行に取り付け
固定されている。すなわち、Ｙ軸方向ワークテーブル案
内部２Ａ，２Ｂは、基台１上に固定されている固定ブロ
ック２１Ａ，２１Ｂ上にＹ軸方向ガイドレール２２Ａ，
２２Ｂをそれぞれ一体に固設したものである。また、Ｙ
軸方向ガイドレール２２Ａの内側面にはＹ軸方向に沿っ
てＹ軸方向移動体ガイドレール２３が固定されている。

【００１３】一対のＹ軸方向ワークテーブル案内部２
Ａ，２Ｂの上には直交形ガイドブロック３がそれぞれ一
対ずつＹ軸方向に摺動自在に支持されている。直交形ガ
イドブロック３のそれぞれには、底面に前記Ｙ軸方向ガ
イドレール２２Ａ，２２Ｂと摺動自在に係合するＹ軸方
向ガイド溝２４が、上面にＹ軸方向と直交するＸ軸方向
ガイドレール５Ａ，５Ｂ（Ｘ軸方向ワークテーブル案内
部としてワークテーブル４側に固定）に摺動自在に係合
するＸ軸方向ガイド溝２５がそれぞれ形成されている。

【００１４】ワークテーブル４は、上面がプリント基板
等を保持する基板載置面３０となり、該ワークテーブル
４の底面の両側には前記Ｙ軸方向ガイドレール２２Ａ，
２２Ｂと直交するＸ軸方向ワークテーブル案内部となる
Ｘ軸方向ガイドレール５Ａ，５Ｂが平行に固定されてい
る。また、ワークテーブル４のＸ軸方向と平行な両側端
面には直線バー状（長尺直方体状）のＸ軸方向二次案内
部１５Ａ，１５Ｂがそれぞれ一体に形成もしくは固定さ
れている。ワークテーブル４のＹ軸方向と平行な両側部
分には切欠２６が形成され、該切欠２６内側をＹ軸方向
に横断するように直線バー状（長尺直方体状）のＹ軸方
向二次案内部１６Ａ，１６Ｂがそれぞれ一体に固定され
ている。そして、４個の直交形ガイドブロック３上に、
ワークテーブル４が載置され、該ワークテーブル４に固
定の前記Ｘ軸方向ガイドレール５Ａ，５Ｂは直交形ガイ
ドブロック３のＸ軸方向ガイド溝２５に対しＸ軸方向に
摺動自在に係合している。この結果、ワークテーブル４
は、４個の直交形ガイドブロック３によりＹ軸方向ワー
クテーブル案内部２Ａ，２Ｂに対してＸ−Ｙ方向（前後
左右）に移動可能になっている。

【００１５】また、前記基台１上には、対をなすＸ軸方
向ワークテーブル案内部としてのＸ軸方向ガイドレール
５Ａ，５Ｂ及びこの延長線間に、前記ワークテーブル４
をＸ軸方向に移動させるためのＸ軸方向移動体６と、そ
のＸ軸方向移動体６をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動源８
及びＸ軸駆動伝達部９とがＸ軸方向に平行に設けられて
いるとともに、対をなすＹ軸方向ワークテーブル案内部
２Ａ，２Ｂ及びこの延長線間に、前記ワークテーブル４
をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸方向移動体１１と、
そのＹ軸方向移動体１１をＹ軸方向に駆動するＹ軸駆動
源１２及びＹ軸駆動伝達部１３とがＹ軸方向に平行に設
けられている。

【００１６】前記Ｘ軸方向移動体６は、Ｘ軸方向移動バ
ー３１と、その一方の端部に取り付け固定されたボール
螺子ナット３２とからなり、Ｘ軸方向移動バー３１の両
端側上面には前記Ｙ軸方向二次案内部１６Ａ，１６Ｂの
厚みに係合する溝を有する第１溝付ローラー１７が一対
ずつ枢着されている。すなわち、対をなす第１溝付きロ
ーラー１７で前記Ｙ軸方向二次案内部１６Ａ，１６Ｂを
がたつきなく挟持している。

【００１７】前記Ｘ軸駆動伝達部９はボール螺子軸９Ａ
を有しており、該ボール螺子軸９Ａは先端部が基台１上
に固定されている軸受３３により枢支され、後端部に連
結されている前記Ｘ軸駆動源８により回転駆動される。
そして、前記Ｘ軸方向移動体６のボール螺子ナット３２
と前記ボール螺子軸９Ａとは螺合されており、Ｘ軸方向
移動体６はボール螺子軸９Ａの回転に伴い、Ｘ軸方向に
駆動されるようになっている。なお、前記Ｘ軸駆動源８
はＡＣサーボモータ等で構成されており、基台１上に固
定されている。

【００１８】前記Ｙ軸方向移動体１１は、Ｙ軸方向スラ
イダ３４と、その両端部に固定一体化されたローラー取
付部材３５Ａ，３５Ｂと、前記Ｙ軸方向スライダ３４に
固定されているボール螺子ナット３６とからなり、ロー
ラー取付部材３５Ａ，３５Ｂの上面には前記Ｘ軸方向二
次案内部１５Ａ，１５Ｂの厚みに係合する溝を有する第
２溝付ローラー１８がそれぞれ枢着されている。そし
て、一方の第２溝付ローラー１８はＸ軸方向二次案内部
１５Ａに当たり、他方の第２溝付ローラー１８はＸ軸方
向二次案内部１５Ｂに当たって、両方のローラー１８で
ワークテーブル４を挟持する。

【００１９】また、Ｙ軸方向移動体１１（Ｙ軸方向スラ
イダ３４）のＹ軸方向ワークテーブル案内部２Ａと対向
する側面には、Ｙ軸方向にガイド溝３８が形成されてお
り、ガイド溝３８は該Ｙ軸方向ワークテーブル案内部２
Ａの側面に設けられた前記Ｙ軸方向移動体ガイドレール
２３と摺動自在に係合している。前記Ｙ軸駆動伝達部１
３はボール螺子軸１３Ａを有しており、該ボール螺子軸
１３Ａは先端部が基台１上に固定されている軸受３７に
より枢支され、後端部に連結されている前記Ｙ軸駆動源
１２により回転駆動される。そして、前記Ｙ軸方向移動
体１１のボール螺子ナット３６と前記ボール螺子軸１３
Ａとは螺合されており、Ｙ軸方向移動体１１はボール螺
子軸１３Ａの回転に伴い、Ｙ軸方向に駆動されるように
なっている。なお、前記Ｙ軸駆動源１２はＡＣサーボモ
ータ等で構成されており、基台１上に固定されている。

【００２０】なお、前記ワークテーブル４のＸ軸方向二
次案内部１５Ａ，１５Ｂは、前記Ｙ軸方向移動体１１の
一対の第２溝付ローラー１８にがたつきなく当接して前
記Ｙ軸方向移動体１１のＹ軸方向の動きに従うが、Ｘ軸
方向には摺動自在となっており、前記Ｙ軸方向二次案内
部１６Ａ，１６Ｂは、前記Ｘ軸方向移動体６の両端の対
をなした第１溝付ローラー１７にがたつきなく挟まれて
前記Ｘ軸方向移動体６のＸ軸方向の動きに従うが、Ｙ軸
方向には摺動自在となっている。

【００２１】前記Ｘ軸方向二次案内部１５ＡのＸ軸方向
に沿った長尺の端面（ローラー取付部材３５Ａに対向す
る端面）にＸ軸方向リニアスケール部（例えば光学的目
盛）１９Ａが固設され、前記Ｙ軸方向移動体１１のロー
ラー取付部材３５Ａ上部に前記リニアスケール部１９Ａ
を読み取る光学方式等の測定部２０Ａが固定されてい
て、Ｘ軸方向のワークテーブル４の移動量及び位置を検
出するためのリニアスケールセンサを構成している。

【００２２】また、前記Ｙ軸方向二次案内部１６ＡのＹ
軸方向に沿った長尺の外側端面にＹ軸方向リニアスケー
ル部（例えば光学的目盛）１９Ｂが固設され、前記Ｘ軸
方向移動体６のＸ軸方向移動バー３１上に前記Ｙ軸方向
リニアスケール部１９Ｂを読み取る光学方式等の測定部
２０Ｂが固定されていて、Ｙ軸方向のワークテーブル４
の移動量及び位置を検出するためのリニアスケールセン
サを構成している。

【００２３】以上の実施例の構成において、ワークテー
ブル４の移動は、制御プログラムに従ってＸ軸駆動源８
あるいはＹ軸駆動源１２を制御し、Ｘ軸駆動伝達部９の
ボール螺子軸９ＡあるいはＹ軸駆動伝達部１３のボール
螺子軸１３Ａを回転させることによって行う。すなわ
ち、ワークテーブル４のＸ軸方向への移動は、Ｘ軸駆動
源８によりＸ軸駆動伝達部９のボール螺子軸９Ａを回転
させ、該ボール螺子軸９Ａと螺合しているボール螺子ナ
ット３２を移動させることによりＸ軸方向移動体６をＸ
軸方向に移動させ、第１溝付ローラー１７に係合してい
るＹ軸方向二次案内部１６Ａ，１６Ｂに対して垂直に操
作力を加わえ、Ｘ軸方向移動体６の移動に伴ってワーク
テーブル４底面のＸ軸方向ガイドレール５Ａ，５ＢがＹ
軸方向ワークテーブル案内部２Ａ，２Ｂ上の直交形ガイ
ドブロック３のＸ軸方向ガイド溝２５に沿って摺動する
ことで行われる。

【００２４】ワークテーブル４のＹ軸方向への移動は、
Ｙ軸駆動源１２によりＹ軸駆動伝達部１３のボール螺子
軸１３Ａを回転させ、該ボール螺子軸１３Ａと螺合して
いるボール螺子ナット３６を移動させることによりＹ軸
方向移動体１１をＹ軸方向に移動させ、第２溝付ローラ
ー１８に係合しているＸ軸方向二次案内部１５Ａ，１５
Ｂに対して垂直に操作力を加わえ、Ｙ軸方向移動体１１
の移動に伴ってＹ軸方向ワークテーブル案内部２Ａ，２
Ｂ上の直交形ガイドブロック３がＹ軸方向ガイドレール
２２Ａ，２２Ｂに沿って摺動することで行われる。以上
のワークテーブル４のＸ軸方向あるいはＹ軸方向への移
動は同時に行うことができる。

【００２５】その際、ワークテーブル４のＸ軸方向ある
いはＹ軸方向の移動に伴い、Ｘ軸方向二次案内部１５Ａ
とＹ軸方向二次案内部１６Ａに設けられたリニアスケー
ル部１９Ａ，１９Ｂを測定部２０Ａ，２０Ｂで読み取
り、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の移動量、ひいてはＸ軸方向
及びＹ軸方向の位置を検出している。そして、この移動
量及び位置の検出によりＸ軸駆動源８及びＹ軸駆動源１
２を制御し、ワークテーブル４のＸ軸方向及びＹ軸方向
の位置決めを実行する。この場合、通常行われていたサ
ーボモーターによるセミクローズドループではなく、リ
ニアスケールセンサによる完全クローズドループの位置
制御を実現でき、高精度の位置決めが可能である。

【００２６】上記のリニアスケール部１９Ａ，１９Ｂ及
び測定部２０Ａ，２０Ｂからなるリニアスケールセンサ
により制御されたワークテーブル４のＸ軸方向あるいは
Ｙ軸方向への移動範囲について、図３乃至図７に示す。
これらの図において、ワークテーブル４の基板載置面３
０の方形枠（２点鎖線）１０内が、図３でワークテーブ
ル４の中央に位置するワーク作業位置Ｐに対して、ワー
クテーブル４をＸ軸方向及びＹ軸方向の移動によって真
下にもってくることのできる領域である。

【００２７】なお、図３に示すように、ワークテーブル
４の中心とワーク作業位置Ｐとが一致したとき、ワーク
テーブル４のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置が共に原点に
あるものとする。

【００２８】図４は、ワークテーブル４のＸ軸方向の移
動量を負側のリミットとし、Ｙ軸方向の移動量を正側の
リミットとした場合を示している。

【００２９】図５は、ワークテーブル４のＸ軸方向の移
動量を負側のリミットとし、Ｙ軸方向の移動量を負側の
リミットとした場合を示している。

【００３０】図６は、ワークテーブル４のＸ軸方向の移
動量を正側のリミットとし、Ｙ軸方向の移動量を正側の
リミットとした場合を示している。

【００３１】図７は、ワークテーブル４のＸ軸方向の移
動量を正側のリミットとし、Ｙ軸方向の移動量を負側の
リミットとした場合を示している。

【００３２】以上の図３乃至図７に示されるように、ワ
ーク作業位置Ｐは、常にＸ軸方向ワークテーブル案内部
としてのＸ軸方向ガイドレール５Ａ，５Ｂ間にあり、か
つＹ軸方向ワークテーブル案内部２Ａ，２Ｂ間に位置し
ている。しかも、ワーク作業位置Ｐは、Ｘ軸駆動源８及
びＸ軸駆動伝達部９と、Ｙ軸駆動源１２及びＹ軸駆動伝
達部１３とに最も近接した位置となり、駆動源動作時の
振動の拡大や振動の複合等がより小さくて済む。

【００３３】以上の実施例の構成は、次に述べる特長を
備えている。 （１） ワークテーブル４にＸ軸方向二次案内部１５
Ａ，１５Ｂ及びＹ軸方向二次案内部１６Ａ，１６Ｂを設
け、それらに各軸方向への駆動力を伝達することで、テ
ーブルが１枚の構成にてワークテーブル４のＸ−Ｙ移動
を可能としているため、従来のテーブルを２枚重ね合わ
せた構成と比較して約半分の重さに軽量化できる。従っ
て、ワークテーブル４の移動の高速化が可能になり、た
わみや歪みも減少し振動が少なくなる。 （２） Ｘ−Ｙテーブル装置を高速で動作させる場合、
ワークテーブル４の振動が問題になり、各軸方向の駆動
源からワーク作業位置までの距離が大きいほど、そのワ
ーク作業位置において振動の拡大や複合等が起こりやす
いが、本実施例の構成では前記Ｘ軸方向ワークテーブル
案内部としてのＸ軸方向ガイドレール５Ａ，５Ｂ及びこ
の延長線間にＸ軸駆動源８及びＸ軸駆動伝達部９を配置
するとともに、前記Ｙ軸方向ワークテーブル案内部２
Ａ，２Ｂ及びこの延長線間に前記Ｙ軸駆動源１２及びＹ
軸駆動伝達部１３を配置しているため、各軸方向の駆動
源からワーク作業位置Ｐまでの距離が小さくなってお
り、ワーク作業位置において振動の拡大や複合等がより
小さくて済み振動が発生しにくい。 （３） Ｘ軸方向二次案内部１５Ａ及びＹ軸方向二次案
内部１６Ａに設けたリニアスケール部１９Ａ，１９Ｂを
測定部２０Ａ，２０Ｂで読み取るリニアスケールセンサ
を用いてワークテーブル４の各軸方向への移動量及び位
置を高精度で検出し、その検出をもとにワークテーブル
４の位置を制御しているため、完全クローズドループに
よるワークテーブル４の高精度位置決めが可能である。

【００３４】以上本発明の実施例について説明してきた
が、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の
範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者
には自明であろう。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシングル
プレート型Ｘ−Ｙテーブル装置によれば、ワークテーブ
ルにＸ軸方向二次案内部及びＹ軸方向二次案内部を設
け、それらに各軸方向への駆動力を伝達することで、テ
ーブルが１枚の構成にてワークテーブルのＸ−Ｙ移動を
可能としているため、従来のテーブルを２枚重ね合わせ
た構成と比較して約半分の重さに軽量化できる。従っ
て、ワークテーブルの移動の高速化が可能になり、たわ
みや歪みも減少し振動が少なくなる。従って、高速、高
精度、低振動で電子部品等の自動挿入装置または自動装
着装置等に最適なシングルプレート型Ｘ−Ｙテーブル装
置が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るシングルプレート型Ｘ−Ｙテーブ
ル装置の実施例を示す斜視図である。

【図２】同正断面図である。

【図３】同平面図である。

【図４】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
Ｘ軸方向負側のリミット、Ｙ軸方向正側のリミットとし
た場合を示す平面図である。

【図５】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
Ｘ軸方向負側のリミット、Ｙ軸方向負側のリミットとし
た場合を示す平面図である。

【図６】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
Ｘ軸方向正側のリミット、Ｙ軸方向正側のリミットとし
た場合を示す平面図である。

【図７】同実施例において、ワークテーブルの移動量を
Ｘ軸方向正側のリミット、Ｙ軸方向負側のリミットとし
た場合を示す平面図である。

【符号の説明】

１ 基台 ２Ａ，２Ｂ Ｙ軸方向ワークテーブル案内部 ３ 直交形ガイドブロック ４ ワークテーブル ５Ａ，５Ｂ Ｘ軸方向ガイドレール ６ Ｘ軸方向移動体 ８ Ｘ軸駆動源 ９ Ｘ軸駆動伝達部 １１ Ｙ軸方向移動体 １２ Ｙ軸駆動源 １３ Ｙ軸駆動伝達部 １５Ａ，１５Ｂ Ｘ軸方向二次案内部 １６Ａ，１６Ｂ Ｙ軸方向二次案内部 １７ 第１溝付ローラー １８ 第２溝付ローラー １９Ａ，１９Ｂ リニアスケール部 ２０Ａ，２０Ｂ 測定部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台に固定されたＹ軸方向ワークテーブ
   ル案内部と、該Ｙ軸方向ワークテーブル案内部によりＹ
   軸方向に摺動自在に支持された直交形ガイドブロック
   と、該直交形ガイドブロックにより前記Ｙ軸方向と直交
   するＸ軸方向に摺動自在に支持されたＸ軸方向ワークテ
   ーブル案内部と、該Ｘ軸方向ワークテーブル案内部を固
   定したワークテーブルと、該ワークテーブルに設けられ
   たＸ軸方向二次案内部及びＹ軸方向二次案内部と、Ｘ軸
   駆動源及びＸ軸駆動伝達部によりＸ軸方向に駆動される
   Ｘ軸方向移動体と、該Ｘ軸方向移動体に枢着されていて
   前記Ｙ軸方向二次案内部に係合する第１のローラーと、
   Ｙ軸駆動源及びＹ軸駆動伝達部によりによりＹ軸方向に
   駆動されるＹ軸方向移動体と、該Ｙ軸方向移動体に枢着
   されていて前記Ｘ軸方向二次案内部に係合する第２のロ
   ーラーとを備えることを特徴とするシングルプレート型
   Ｘ−Ｙテーブル装置。
2. 【請求項２】 前記Ｘ軸方向二次案内部及び前記Ｙ軸方
   向二次案内部にそれぞれリニアスケール部が設けられ、
   かつ前記Ｘ軸方向移動体及び前記Ｙ軸方向移動体に前記
   リニアスケールを読み取る測定部が設けられていて、Ｘ
   軸方向及びＹ軸方向のリニアスケールセンサをそれぞれ
   構成してなる請求項１記載のシングルプレート型Ｘ−Ｙ
   テーブル装置。
3. 【請求項３】 前記Ｘ軸方向ワークテーブル案内部及び
   この延長線間に前記Ｘ軸駆動源及びＸ軸駆動伝達部が配
   置され、前記Ｙ軸方向ワークテーブル案内部及びこの延
   長線間に前記Ｙ軸駆動源及びＹ軸駆動伝達部が配置され
   ている請求項１記載のシングルプレート型Ｘ−Ｙテーブ
   ル装置。