JPH0638112Y2 - 真空装置用覗き窓 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電子ビーム溶解装置，薄膜形成装置，スパッ
タ装置等の真空装置に用いられる覗き窓、特に飛散粒子
による観察窓の汚れを防止する装置に関するものであ
る。

［従来の技術］ 電子ビーム溶解装置等においては、真空室側壁にガラス
で形成された覗き窓を設けて材料の溶解状態などを監視
するできるように構成してある。このように構成した場
合には、電子ビームにより溶解された材料の蒸発物質が
飛散して覗き窓に付着して観察不能になることを防止す
る必要がある。

そこで、従来においては、第３図に示すように真空室１
の側壁に設けたガラス製の覗き窓２の真空側に蒸発粒子
付着防止用のスリット円板３を設置した構造が使用され
ている。前記スリット円板３には第４図にその正面図を
示すように多数のスリット4a,4b,4c,…が同一円周上
に、しかも放射上に沿って等間隔に形成されており、ま
た、このスリット円板はその中心部が真空室１側壁を磁
性流体軸受５を介して気密を保って貫通した回転軸６に
固定されている。このとき、回転軸を中心にしてスリッ
ト円板が回転する際、各スリット部分が覗き窓２と対向
しながら回動するように配置してある。前記回転軸６の
大気側にはプーリ７が固定してあり、ベルト８を介して
モータ９の出力軸に固定されたプーリ10に連結されてい
る。尚、11は覗き窓の押え枠、12はカバーである。

かかる構成において、モータ９を駆動し各プーリ7,10,
ベルト８及び回転軸６を介してスリット円板３を高速回
転させれば、スリット4a,4b,4c,…が覗き窓２に対して
高速で回動するため、覗き窓より各スリットを通して真
空室内を観察することができる。そして、覗き窓２側に
飛散してくる蒸発粒子はその大部分がスリット円板３に
付着するため、蒸発粒子が覗き窓に付着して観察不能に
なるのを防止することができる。

ところで、材料に対する電子ビームの位置合わせ等を行
うときには、電子ビームの出力を小さくするため、前述
のようにスリット円板３を高速回転させた状態では観察
しにくくスリット円板を停止して任意のスリットを覗き
窓と対向させる必要がある。

［考案が解決しようとする課題］ このような場合、偶然以外にはスリットを覗き窓の直前
に位置させることはできない。そのため、モータのオ
ン，オフを繰返すことによってスリットと覗き窓との位
置合わせを行わなければならず、位置合わせ操作が面倒
でると共に、時間がかかる不都合を有していた。

そこで、本考案はかかる点に鑑みてなされたものであ
り、簡単な操作で、しかも短時間にスリットと覗き窓と
の位置合わせを行うことのできる真空装置用覗き窓を提
供することを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案の真空装置用覗き窓
は、放射状に沿って形成された多数のスリットを同一円
周上に配置したスリット円板を透明材料で形成された覗
き窓の真空側に設け、該スリット円板をモータにて高速
回転させることにより前記覗き窓及びスリットを介して
真空装置内を観察するように構成した装置において、前
記モータの駆動を停止したとき手動により前記スリット
円板を回転させるためのクラッチ機構を設けたことを特
徴とするものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳説する。

［実施例］ 第１図は本考案の一実施例を示す断面図で、第３図と同
一番号のものは同一構成要素を示す。

第１図において、13はスリット円板３を手動により回転
させるためのクラッチ機構で、このクラッチ機構はモー
タ９の出力軸に固定したプーリ10と対向するようにカバ
ー11に取付られている。また、このクラッチ機構は本実
施例では摩擦板14とこの摩擦板を固定しかつケース12を
摺動可能に貫通した移動棒15とこの移動棒に固定された
つまみ16及び前記摩擦板14を常にプーリ10から引き離す
ように押圧するためのスプリング17とから構成されてい
る。

かかる構成において、通常の状態では摩擦板14はスプリ
ング17により同図中矢印Ｆ方向に押圧されてプーリ10か
ら離されている。従って、モータ９を駆動すれば、プー
リ7,10,ベルト８及び回転軸６を介してスリット円板３
を高速回転させることができるため、覗き窓２より各ス
リット4a,4b,…を通して真空室内を観察することができ
る。一方、モータ９を停止させた状態で、つまみ16を矢
印Ｆとは逆方向に押圧して摩擦板14をプーリ10に接触さ
せれば、摩擦板の摩擦力により移動棒15とプーリとが連
結される。そのため、摩擦板とプーリとを接触させた状
態で、つまみ16を回せば、プーリ7,10,ベルト８及び回
転軸６を介してスリット円板３が任意方向に回転するた
め、覗き窓２を観察しているオペレータの目と真空室内
の監視部（材料と電子ビームとの照射部分など）との間
に所望のスリットを位置させることができる。その後、
つまみ16への押圧力を解除しスプリング17の押圧力によ
り摩擦板14をプーリ10から離す。この状態においては、
スリットを通して真空内部を観察することができるた
め、材料に対する電子ビームの位置合わせなどを容易に
行うことができる。

第２図は本考案の他の実施例を示す断面図で、第１図及
び第３図と同一番号のものは同一構成要素を示す。

本実施例では、覗き窓２とスリット円板３との間に透明
な物質、例えばガラスで形成された円板18をスリット円
板と同心状に設け、この円板を外部から回転させるため
の操作軸19を真空室１側壁に気密を保って貫通させたこ
とを特徴とするものである。尚、20は操作軸の大気側に
設けられたつまみである。

このようになせば、材料の溶解中において高速回転して
いるスリット円板３の各スリットを通過したわずかな蒸
発粒子は円板18に付着するため、覗き窓２に蒸発粒子が
付着するのを完全に防止することができる。次に、円板
18に蒸発粒子が付着して透過度が低下した場合には、つ
まみ20を操作して円板18を回すことにより汚染された部
分を覗き窓２部分から移動させれば良い。そして、円板
における覗き窓と対向する部分の全てが汚染された場合
には真空室内の真空を破って新しい円板と交換すれば良
い。

尚、前述の説明は本考案の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では、ク
ラッチ機構13はモータ９の出力軸に取付けたプーリ10部
分に設置したが、これに限定されることなくスリット円
板３の回転軸６に固定したプーリ７部分に設置しても良
い。

また、クラッチ機構としては摩擦板を使用したが、これ
に限定されることなくプーリ及び移動棒の対向部分に夫
々爪を設置した噛合いクラッチを使用しても良い。

さらに、上記実施例ではモータの冷却や保守点検などを
容易にするためにを大気側に設置する場合について述べ
たが、モータを真空内に設置してその出力軸に直接スリ
ット円板を固定するようにしても良い。

［効果］ 以上詳述したように本考案によれば、クラッチ機構を組
込んでいるため、スリット円板が停止しているとき、手
動によりスリット円板を回動させることができるため、
スリット円板の所望のスリットを覗き窓の直前に位置さ
せることができる。そのため、簡単な操作で、しかも短
時間にスリットと覗き窓との位置合わせを容易に行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は夫々本考案の一実施例を示す断面
図、第３図は従来例を説明するための図、第４図は第３
図で使用されるスリットの平面図である。 1:真空室、2:覗き窓 3:スリット円板 4a乃至4h:スリット 13:クラッチ機構、14:摩擦板 15:移動棒、16;つまみ 17:スプリング、18:円板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】放射状に沿って形成された多数のスリット
   を同一円周上に配置したスリット円板を透明材料で形成
   された覗き窓の真空側に設け、該スリット円板をモータ
   にて高速回転させることにより前記覗き窓及びスリット
   を介して真空装置内を観察するように構成した装置にお
   いて、前記モータの駆動を停止したとき手動により前記
   スリット円板を回転させるためのクラッチ機構を設けた
   ことを特徴とする真空装置用覗き窓。