JP2806556B2 - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置Info
- Publication number
- JP2806556B2 JP2806556B2 JP1140594A JP14059489A JP2806556B2 JP 2806556 B2 JP2806556 B2 JP 2806556B2 JP 1140594 A JP1140594 A JP 1140594A JP 14059489 A JP14059489 A JP 14059489A JP 2806556 B2 JP2806556 B2 JP 2806556B2
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- JP
- Japan
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- disk
- vacuum seal
- rotating shaft
- chamber
- vacuum
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造プロセスにおいて使用され
るイオン注入装置に関する。
るイオン注入装置に関する。
従来のイオン注入装置は、第２図に示すように、ディ
スクチャンバー３内に設けられ半導体基板１を保持する
ための円板２と、この円板２に固定されディスクチャン
バー３を貫通する回転軸10と、この回転軸10を回転させ
る為のベルト５及びモータ４と、回転軸部の真空を保つ
為の回転導入真空シール６とから主に構成されていた。
そして、この回路導入真空シール６としては、例えば第
３図に示すように、回転軸10を支持するベアリング等か
らなる軸受け14と、磁石12により鉄リング11と回転軸10
との間に磁気流体13を保持するように構成された磁気シ
ール等が用いられていた。
スクチャンバー３内に設けられ半導体基板１を保持する
ための円板２と、この円板２に固定されディスクチャン
バー３を貫通する回転軸10と、この回転軸10を回転させ
る為のベルト５及びモータ４と、回転軸部の真空を保つ
為の回転導入真空シール６とから主に構成されていた。
そして、この回路導入真空シール６としては、例えば第
３図に示すように、回転軸10を支持するベアリング等か
らなる軸受け14と、磁石12により鉄リング11と回転軸10
との間に磁気流体13を保持するように構成された磁気シ
ール等が用いられていた。
上述した従来のイオン注入装置における回転導入真空
シール６には、動作不良を感知し製品処理を停止させる
インターロック機構が付いていなかったので、回転導入
真空シール６のベアリング等の不具合により、最終的に
は真空に保たれたディスクチャンバー３の真空の破壊に
いたり、長時間の装置の故障を引き起こすという欠点が
ある。
シール６には、動作不良を感知し製品処理を停止させる
インターロック機構が付いていなかったので、回転導入
真空シール６のベアリング等の不具合により、最終的に
は真空に保たれたディスクチャンバー３の真空の破壊に
いたり、長時間の装置の故障を引き起こすという欠点が
ある。
本発明のイオン注入装置は、ディスクチャンバー内に
設けられ半導体基板を保持するための円板と該円板に固
定されディスクチャンバーを貫通する回転軸と該回転軸
が貫通するディスクチャンバーの外側に設けられた回転
導入真空シールとを有するイオン注入装置において、前
記回転導入真空シールの動作不良を検知し警報信号を発
生させるための手段を設けたものである。
設けられ半導体基板を保持するための円板と該円板に固
定されディスクチャンバーを貫通する回転軸と該回転軸
が貫通するディスクチャンバーの外側に設けられた回転
導入真空シールとを有するイオン注入装置において、前
記回転導入真空シールの動作不良を検知し警報信号を発
生させるための手段を設けたものである。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の模式断面図である。
半導体基板１がならべられた円板２がディスクチャン
バー３内に設けられており、真空中でイオンビーム15に
よりイオン注入処理が行われる。円板２の回転運動は、
モーター４の動力がベルト５を通して回転導入真空シー
ル６に伝えられる事で行われる。回転導入真空シール６
は真空処理室であるディスクチャンバー３内と大気側を
隔てる真空シールの働きも兼ねている。そして、特に磁
気シール等からなる回転導入真空シール６の外壁面には
振動計７が設けられており、更にこの振動計７は判定回
路８に接続されている。
バー３内に設けられており、真空中でイオンビーム15に
よりイオン注入処理が行われる。円板２の回転運動は、
モーター４の動力がベルト５を通して回転導入真空シー
ル６に伝えられる事で行われる。回転導入真空シール６
は真空処理室であるディスクチャンバー３内と大気側を
隔てる真空シールの働きも兼ねている。そして、特に磁
気シール等からなる回転導入真空シール６の外壁面には
振動計７が設けられており、更にこの振動計７は判定回
路８に接続されている。
このように構成された本実施例によれば、回転導入真
空シール６内のベアリング等が破損し回転導入真空シー
ル６の振動が増えると振動計７の計測値が判定回路８に
設定した許容値を越えるため、警報信号が発生する。こ
の信号は、例えば装置制御部へインターロック信号９と
して出力され、真空破壊のトラブルが起る前に装置を停
止状態にする。勿論警報信号を表示するようにしてもよ
い。
空シール６内のベアリング等が破損し回転導入真空シー
ル６の振動が増えると振動計７の計測値が判定回路８に
設定した許容値を越えるため、警報信号が発生する。こ
の信号は、例えば装置制御部へインターロック信号９と
して出力され、真空破壊のトラブルが起る前に装置を停
止状態にする。勿論警報信号を表示するようにしてもよ
い。
以上説明したように本発明は、回転導入真空シールの
動作不良を検知して警報信号を発生する手段を設けるこ
とにより、ディスクチャンバーの真空の破壊を防止でき
るため、長時間の装置故障の発生をなくすことができる
という効果がある。
動作不良を検知して警報信号を発生する手段を設けるこ
とにより、ディスクチャンバーの真空の破壊を防止でき
るため、長時間の装置故障の発生をなくすことができる
という効果がある。
第１図は本発明の一実施例の模式断面図、第２図は従来
のイオン注入装置の断面図、第３図は回転導入真空シー
ルの一例の断面図である。 １……半導体基板、２……円板、３……ディスクチャン
バー、４……モーター、５……ベルト、６……回転導入
真空シール、７……振動計、８……判定回路、９……イ
ンターロック信号、10……回転軸、11……鉄リング、12
……磁石、13……磁気流体、14……軸受、15……イオン
ビーム。
のイオン注入装置の断面図、第３図は回転導入真空シー
ルの一例の断面図である。 １……半導体基板、２……円板、３……ディスクチャン
バー、４……モーター、５……ベルト、６……回転導入
真空シール、７……振動計、８……判定回路、９……イ
ンターロック信号、10……回転軸、11……鉄リング、12
……磁石、13……磁気流体、14……軸受、15……イオン
ビーム。
Claims (1)
- 【請求項１】ディスクチャンバー内に設けられ半導体基
板を保持するための円板と該円板に固定されディスクチ
ャンバーを貫通する回転軸と該回転軸が貫通するディス
クチャンバーの外側に設けられた回転導入真空シールと
を有するイオン注入装置において、前記回転導入真空シ
ールの動作不良を検知した警報信号を発生させるための
手段を設けたことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1140594A JP2806556B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1140594A JP2806556B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | イオン注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038252A JPH038252A (ja) | 1991-01-16 |
| JP2806556B2 true JP2806556B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=15272327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1140594A Expired - Fee Related JP2806556B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2806556B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112397368A (zh) * | 2019-08-19 | 2021-02-23 | 和舰芯片制造(苏州)股份有限公司 | 离子注入机大盘振动感知互锁系统 |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP1140594A patent/JP2806556B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH038252A (ja) | 1991-01-16 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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