JP3219473B2 - 蒸発装置の内部観察用窓 - Google Patents
蒸発装置の内部観察用窓Info
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- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空容器内で物質を加
熱し蒸発させる蒸発装置に係り、特に蒸発装置および蒸
発装置内の蒸発物質の状況把握を行う内部観察用窓に関
する。
熱し蒸発させる蒸発装置に係り、特に蒸発装置および蒸
発装置内の蒸発物質の状況把握を行う内部観察用窓に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸発装置における観察は、例えば
図５の一部切断斜視図に示すように、真空容器１内にお
いて物質を加熱し蒸発させる蒸発装置２では、内部の蒸
発物質３の状況を把握することは安定した蒸気を得ると
共に、蒸発装置２における健全性を維持するためにも重
要な作業である。
図５の一部切断斜視図に示すように、真空容器１内にお
いて物質を加熱し蒸発させる蒸発装置２では、内部の蒸
発物質３の状況を把握することは安定した蒸気を得ると
共に、蒸発装置２における健全性を維持するためにも重
要な作業である。
【０００３】この監視方法で最も簡便なものとしては、
真空容器１内に設置した蒸発装置２の上部にフランジ４
を設け、このフランジ４にＯリング５を介して観察用の
透明窓である窓ガラス６を嵌込み、この窓ガラス６を蓋
７で固定した観察窓８設置し、前記窓ガラス６越しに内
部を観察する方法がある。
真空容器１内に設置した蒸発装置２の上部にフランジ４
を設け、このフランジ４にＯリング５を介して観察用の
透明窓である窓ガラス６を嵌込み、この窓ガラス６を蓋
７で固定した観察窓８設置し、前記窓ガラス６越しに内
部を観察する方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空容器１の
内部では前記蒸発装置２から蒸発物質３が蒸気流９（矢
印）となって上昇し、窓ガラス６に蒸着するために長時
間の監視は難しい。
内部では前記蒸発装置２から蒸発物質３が蒸気流９（矢
印）となって上昇し、窓ガラス６に蒸着するために長時
間の監視は難しい。
【０００５】この対策として窓ガラス６の下部で前記蒸
発装置２との間に窓ガラス６を一時遮蔽するためのシャ
ッター10を配置し、真空容器１外部の回転ノブ11と連結
して、監視の都度これを開く方法もあるが、これは常時
観察ができない等の不具合があった。
発装置２との間に窓ガラス６を一時遮蔽するためのシャ
ッター10を配置し、真空容器１外部の回転ノブ11と連結
して、監視の都度これを開く方法もあるが、これは常時
観察ができない等の不具合があった。
【０００６】また真空容器１内に図示しない反射鏡を設
置し、蒸発装置２の状況を反射して観察する方法もある
が、この反射鏡に蒸発物質３が付着すると鏡面の反射状
態が悪化して長時間の観察には支障が生じる。従って、
蒸発物質３の窓ガラス６への付着を回避することが課題
とされていた。
置し、蒸発装置２の状況を反射して観察する方法もある
が、この反射鏡に蒸発物質３が付着すると鏡面の反射状
態が悪化して長時間の観察には支障が生じる。従って、
蒸発物質３の窓ガラス６への付着を回避することが課題
とされていた。
【０００７】本発明の目的とするところは、真空容器の
観察窓内部にスリットを有する複数枚の回転円板を間隔
をあけて配設し、これを高速回転させて蒸発物質の透明
窓への付着を阻止して、観察窓による蒸発装置の監視を
容易とした蒸発装置の内部観察用窓を提供することにあ
る。
観察窓内部にスリットを有する複数枚の回転円板を間隔
をあけて配設し、これを高速回転させて蒸発物質の透明
窓への付着を阻止して、観察窓による蒸発装置の監視を
容易とした蒸発装置の内部観察用窓を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】内部に蒸発装置を設置し
た真空容器で、前記蒸発装置の上方に透明窓の観察窓を
設けると共に、前記観察窓の内部近傍に開口したスリッ
トを有する複数の回転円板を距離を隔て、かつスリット
位置を一致させて配置し、これを回転させる回転スリッ
ト装置を設けたことを特徴とする。
た真空容器で、前記蒸発装置の上方に透明窓の観察窓を
設けると共に、前記観察窓の内部近傍に開口したスリッ
トを有する複数の回転円板を距離を隔て、かつスリット
位置を一致させて配置し、これを回転させる回転スリッ
ト装置を設けたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】蒸発装置から蒸発した蒸発物質の蒸気は、先ず
第１の回転円板のスリットを通過してパルス状に切断さ
れる。このパルス化された蒸気集団が第２の回転円板に
到達する飛行時間中に、第２の回転円板は回転してスリ
ットの位置が移動しているため、前記パルス化された蒸
気集団は第２の回転円板のスリットでない非開口部に捕
獲され、第２の回転円板のスリットを通過することがで
きない。
第１の回転円板のスリットを通過してパルス状に切断さ
れる。このパルス化された蒸気集団が第２の回転円板に
到達する飛行時間中に、第２の回転円板は回転してスリ
ットの位置が移動しているため、前記パルス化された蒸
気集団は第２の回転円板のスリットでない非開口部に捕
獲され、第２の回転円板のスリットを通過することがで
きない。
【００１０】従って、蒸発装置から蒸発した蒸気は観察
窓の透明窓に付着することがなく、光のみが前記第１と
第２の回転円板のスリットを通過して、常時連続的に観
察することができる。なお、熱速度は蒸発温度および蒸
発物質によって異なるが、この場合には回転円板の間
隔、あるいは回転数を変えることにより種々の条件での
適用が可能となる。
窓の透明窓に付着することがなく、光のみが前記第１と
第２の回転円板のスリットを通過して、常時連続的に観
察することができる。なお、熱速度は蒸発温度および蒸
発物質によって異なるが、この場合には回転円板の間
隔、あるいは回転数を変えることにより種々の条件での
適用が可能となる。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。なお、上記した従来技術と同じ構成部分については
同一符号を付して詳細な説明を省略する。
る。なお、上記した従来技術と同じ構成部分については
同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００１２】図１の一部切断斜視図に示すように、真空
容器１内で下部に物質を加熱し蒸発させる蒸発装置２が
設置されていて、この蒸発装置２の上方に位置して内部
の蒸発物質３の状況を観察するための内部観察用窓20が
設けられている。
容器１内で下部に物質を加熱し蒸発させる蒸発装置２が
設置されていて、この蒸発装置２の上方に位置して内部
の蒸発物質３の状況を観察するための内部観察用窓20が
設けられている。
【００１３】この内部観察用窓20は、真空容器１に設け
た円筒状のフランジ４と、このフランジ４にＯリング５
を介して嵌込んである透明窓である窓ガラス６と、この
窓ガラス６の下には回転スリット装置21が前記フランジ
４に装着されて構成されている。
た円筒状のフランジ４と、このフランジ４にＯリング５
を介して嵌込んである透明窓である窓ガラス６と、この
窓ガラス６の下には回転スリット装置21が前記フランジ
４に装着されて構成されている。
【００１４】回転スリット装置21は図２の斜視図に示す
ように、円筒状で前記真空容器１内の窓ガラス６の下に
嵌着し、上端に前記フランジ４に嵌合する係止耳22を備
えたフレーム23と、この内部の中心部にモータ24により
駆動される回転軸25が設置され、この回転軸25に上下に
所定の距離Ｌを隔てて配置された、スリット26をあけた
２枚の第１の回転円板27と第２の回転円板28で構成され
ている。なお、２枚の回転円板27，28のスリット26は、
同一位置となるように取付け、上方から下方の蒸発装置
２が見通せるようにしている。次に上記構成による作用
について説明する。
ように、円筒状で前記真空容器１内の窓ガラス６の下に
嵌着し、上端に前記フランジ４に嵌合する係止耳22を備
えたフレーム23と、この内部の中心部にモータ24により
駆動される回転軸25が設置され、この回転軸25に上下に
所定の距離Ｌを隔てて配置された、スリット26をあけた
２枚の第１の回転円板27と第２の回転円板28で構成され
ている。なお、２枚の回転円板27，28のスリット26は、
同一位置となるように取付け、上方から下方の蒸発装置
２が見通せるようにしている。次に上記構成による作用
について説明する。
【００１５】蒸発装置２から発生する蒸発物質３の蒸気
はその蒸発温度（Ｔ）に相当した熱速度（ｖ（Ｔ））を
有し、蒸発源である蒸発装置２から放射状に蒸発する。
この、蒸発物質３の蒸気は第１の回転円板27のスリット
26を通過する際に、スリット26によりパルス状に寸断す
ることができる。
はその蒸発温度（Ｔ）に相当した熱速度（ｖ（Ｔ））を
有し、蒸発源である蒸発装置２から放射状に蒸発する。
この、蒸発物質３の蒸気は第１の回転円板27のスリット
26を通過する際に、スリット26によりパルス状に寸断す
ることができる。
【００１６】このパルス化された蒸気集団は次の第２の
回転円板28のスリット26が存在する位置（回転円板間距
離Ｌ）に移動するまでに、Δｔ＝Ｌ／ｖ（Ｔ）の飛行時
間がかかる。従って、この飛行時間Δｔの間に前記第２
の回転円板28のスリット26の位置が非開口部に移動して
いると、蒸気集団は第２の回転円板28のスリット26を通
過することができず、非開口部で捕獲される。
回転円板28のスリット26が存在する位置（回転円板間距
離Ｌ）に移動するまでに、Δｔ＝Ｌ／ｖ（Ｔ）の飛行時
間がかかる。従って、この飛行時間Δｔの間に前記第２
の回転円板28のスリット26の位置が非開口部に移動して
いると、蒸気集団は第２の回転円板28のスリット26を通
過することができず、非開口部で捕獲される。
【００１７】これにより、蒸発装置２を直視する内部観
察用窓20の窓ガラス６の前方に、蒸発温度に適した間隔
とスリットを設定した複数の回転円板を設置することに
より、窓ガラス６における蒸発物質３の付着が防止さ
れ、蒸発装置２からの光のみを常時連続的に観察するこ
とができる。
察用窓20の窓ガラス６の前方に、蒸発温度に適した間隔
とスリットを設定した複数の回転円板を設置することに
より、窓ガラス６における蒸発物質３の付着が防止さ
れ、蒸発装置２からの光のみを常時連続的に観察するこ
とができる。
【００１８】なお、蒸発物質３の熱速度は、その蒸発物
質および蒸発温度によって異なるが、この場合には２つ
の回転円板27，28の回転円板間距離Ｌおよび回転数を変
えることにより種々の条件での効果的な使用が可能とな
る。
質および蒸発温度によって異なるが、この場合には２つ
の回転円板27，28の回転円板間距離Ｌおよび回転数を変
えることにより種々の条件での効果的な使用が可能とな
る。
【００１９】図３の平面図と図４の正面図は、説明のた
めに夫々の回転円板27，28の組合わせ寸法例を示したも
ので、２枚の第１の回転円板27と第２の回転円板28は、
これらを回転させるモータ24に結合した回転軸25に固着
されている。
めに夫々の回転円板27，28の組合わせ寸法例を示したも
ので、２枚の第１の回転円板27と第２の回転円板28は、
これらを回転させるモータ24に結合した回転軸25に固着
されている。
【００２０】夫々第１の回転円板27および第２の回転円
板28には同一位置にスリット26があり、回転軸25を適切
な回転数で回転させることにより、窓ガラス６に蒸発物
質３が付着することなく、従って、真空容器１の外から
内部観察用窓20の窓ガラス６を介して内部の蒸発装置２
を連続的にに監視することができる。
板28には同一位置にスリット26があり、回転軸25を適切
な回転数で回転させることにより、窓ガラス６に蒸発物
質３が付着することなく、従って、真空容器１の外から
内部観察用窓20の窓ガラス６を介して内部の蒸発装置２
を連続的にに監視することができる。
【００２１】例えば、蒸発物質３として銅を想定し、上
記第１の回転円板27と第２の回転円板28の寸法、および
その回転数について考えると、銅は1700Ｋ程度の温度で
数10Torr程度の蒸気圧となる。この場合の蒸発原子の速
度は約 500ｍ／ｓとなる。
記第１の回転円板27と第２の回転円板28の寸法、および
その回転数について考えると、銅は1700Ｋ程度の温度で
数10Torr程度の蒸気圧となる。この場合の蒸発原子の速
度は約 500ｍ／ｓとなる。
【００２２】また真空容器１の内部観察用窓20に設置す
るフランジ４が 200mmφ程度の内径を有するものとし
て、図３に示すように第１の回転円板27と第２の回転円
板28の外径を 200mmとし、第１の回転円板27と第２の回
転円板28の中心から50mmより外側を内側幅 5mmで扇状に
切り欠いたスリット26をあける。
るフランジ４が 200mmφ程度の内径を有するものとし
て、図３に示すように第１の回転円板27と第２の回転円
板28の外径を 200mmとし、第１の回転円板27と第２の回
転円板28の中心から50mmより外側を内側幅 5mmで扇状に
切り欠いたスリット26をあける。
【００２３】この第１の回転円板17と第２の回転円板28
は上下に距離 100mm（Ｌ）隔てて配置し、スリット26は
互いに同一位置になるようにする。なお、この２枚の回
転円板27，28を取付けた回転軸25は毎秒80回転（ 4800r
pm）以上の速さで回転させる。
は上下に距離 100mm（Ｌ）隔てて配置し、スリット26は
互いに同一位置になるようにする。なお、この２枚の回
転円板27，28を取付けた回転軸25は毎秒80回転（ 4800r
pm）以上の速さで回転させる。
【００２４】これにより、第１の回転円板27のスリット
26を通過した銅蒸気は、第２の回転円板28に到達した時
点では非開口部となっており、これを通過することがで
きない。従って、この第２の回転円板28の後方にある窓
ガラス６まで到達するのは蒸発源である蒸発装置２から
の光のみであり、このため窓ガラス６に曇りは生ぜず常
時蒸発部が監視できる。なお、上記した回転円板27，28
に係る各種数値は、適用する蒸発物質３や蒸発体系に合
わせて設定するものであり、ここで限定されるものでは
ない。
26を通過した銅蒸気は、第２の回転円板28に到達した時
点では非開口部となっており、これを通過することがで
きない。従って、この第２の回転円板28の後方にある窓
ガラス６まで到達するのは蒸発源である蒸発装置２から
の光のみであり、このため窓ガラス６に曇りは生ぜず常
時蒸発部が監視できる。なお、上記した回転円板27，28
に係る各種数値は、適用する蒸発物質３や蒸発体系に合
わせて設定するものであり、ここで限定されるものでは
ない。
【００２５】また上記スリット26が小さいことにより蒸
発装置２を観察する明るさが不足する場合には、スリッ
ト26を複数箇所設定すればよいが、この際に非開口部の
面積は最大でも開口部の面積以内としなければならな
い。
発装置２を観察する明るさが不足する場合には、スリッ
ト26を複数箇所設定すればよいが、この際に非開口部の
面積は最大でも開口部の面積以内としなければならな
い。
【００２６】
【発明の効果】以上本発明によれば、真空中における蒸
発装置において、外部から蒸発源を直視する観察用窓が
内部の蒸着物質により曇ることがないので、長時間の連
続した監視が可能となり、蒸発装置における監視機能と
健全性が向上する効果がある。
発装置において、外部から蒸発源を直視する観察用窓が
内部の蒸着物質により曇ることがないので、長時間の連
続した監視が可能となり、蒸発装置における監視機能と
健全性が向上する効果がある。
【図１】本発明係る一実施例の内部観察用窓の一部切断
斜視図。
斜視図。
【図２】本発明係る一実施例の回転スリット装置の斜視
図。
図。
【図３】本発明係る一実施例の回転円板の平面図。
【図４】本発明係る一実施例の回転円板の正面図。
【図５】従来の蒸発装置の内部観察窓の一部切断斜視
図。
図。
１…真空容器、２…蒸発装置、３…蒸発物質、４…フラ
ンジ、６…窓ガラス、９…蒸気流、20…内部観察用窓、
21…回転スリット装置、22…係止耳、23…フレーム、24
…モータ、25…回転軸、26…スリット、27…第１の回転
円板、28…第２の回転円板。
ンジ、６…窓ガラス、９…蒸気流、20…内部観察用窓、
21…回転スリット装置、22…係止耳、23…フレーム、24
…モータ、25…回転軸、26…スリット、27…第１の回転
円板、28…第２の回転円板。
Claims (1)
- 【請求項１】 内部に蒸発装置を設置した真空容器で、
前記蒸発装置の上方に透明窓の観察窓を設けると共に、
前記観察窓の内部近傍に開口したスリットを有する複数
の回転円板を距離を隔て、かつスリット位置を一致させ
て配置し、これを回転させる回転スリット装置を設けた
ことを特徴とする蒸発装置の内部観察用窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19359592A JP3219473B2 (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 蒸発装置の内部観察用窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19359592A JP3219473B2 (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 蒸発装置の内部観察用窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631102A JPH0631102A (ja) | 1994-02-08 |
| JP3219473B2 true JP3219473B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=16310574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19359592A Expired - Fee Related JP3219473B2 (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | 蒸発装置の内部観察用窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3219473B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6447033B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2019-01-09 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 内部観察用サイトグラスの曇り防止装置、撹拌処理システム及び内部観察用サイトグラスの曇り防止方法 |
-
1992
- 1992-07-21 JP JP19359592A patent/JP3219473B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631102A (ja) | 1994-02-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |