JPH05156437A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蒸着装置の長時間の連続使用を可能とし、観
視窓の清掃を容易とする。 【構成】 ストロボスコープ２１の回転スリット板２５
と同心上にテーブル２９を回転自在に設け、テーブル２
９に同心上に６個の孔３０を設け、孔３０にそれぞれガ
ラス板３１を着脱可能に装着した。ガラス板３１は観視
窓３３と同心上に位置し、ガラス板３１が汚れたらテー
ブル２９を回転し、新しいガラス板３１で観視窓３３を
遮幣する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、蒸着テープなどを作成
するための蒸着装置に係り、特に観察部材の清掃が容易
な蒸着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６及び図７に従来の蒸着装置の一例の
構成を示す。図において、密閉筐体１内には鉛ガラスな
どで作られた容器としてのルツボ２が載置されており、
ルツボ２内にはコバルトニッケルなどの磁性体金属片３
が入れられている。筐体１の上部にはルツボ２内の金属
片３を照射加熱する加熱源としての電子ビームガン４が
設けられている。また筐体１の前面には観察部材として
のストロボスコープ５が設けられており、ストロボスコ
ープ５にはモータ６で高速回転される回転スリット板７
が取り付けられている。そしてスリット板７には図７に
示すように直径方向にスリット７ａが形成されている。
さらにストロボスコープ５にはスリット板７の半径上の
位置に観視窓８が設けられており、観視窓８からスリッ
ト７ａを介してルツボ２内の金属３の状態を観視できる
ようになっている。

【０００３】一方、筐体１内には図示しない駆動源によ
って回転駆動される円筒９が設けられており、円筒９の
外周にはテープ１０が巻回されている。そして電子ビー
ムガン４から発するビームによりルツボ２内の金属片３
が照射加熱され、金属蒸気となって蒸発して磁性体金属
がテープ１０上に蒸着される。このとき筐体１内の金属
蒸気が外部へ漏れないように、観視窓８には透明板とし
てのガラス板１１が気密に固定されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成された従来の蒸着装置によると、観視窓８に
固定されたガラス板１１には蒸着作業時に発生する金属
蒸気がスリット７ａを通って付着し、連続作業中に内部
が見えなくなる。このため頻繁に観視窓８をストロボス
コープ５から外してガラス板１１を清掃する必要があ
り、長時間の連続使用が不可能であった。

【０００５】この問題を解決するために従来は、スリッ
ト板７に等しい直径を有するガラス板を同心上に回転自
在に設け、ガラス板の一部を視野として観視を行なう方
式のものがあった。この方式によれば、ガラス板を回転
させることにより汚れた部分を観視窓の視野部分から移
動させ、汚れていない部分を視野として用いることによ
り、ある程度の長時間の連続使用が可能となる。しかし
この方式によるとガラス板が大きいため、清掃のときに
ストロボスコープ全体を分解する必要があるという問題
があった。

【０００６】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、装置を長時間連続して使用することができ、観
察部材の清掃が容易な蒸着装置を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の蒸着装
置は、密閉筐体１内に載置され金属３を収納する容器と
してのルツボ２と、金属３を加熱する加熱源としての電
子ビームガン４と、筐体１に装着されルツボ２内の金属
３を観察する観視窓３３が設けられた観察部材としての
ストロボスコープ２１とを有する蒸着装置において、観
視窓３３を遮幣する複数枚の透明板としてのガラス板３
１が同心上にそれぞれ着脱可能に配設された回転体とし
てのテーブル２９を、ストロボスコープ２１に回転可能
に設けたことを特徴とする。

【０００８】請求項２に記載の蒸着装置は、ガラス板３
１をストロボスコープ２１に設けられた回転スリット板
２５のスリットに対向して配設したことを特徴とする。

【０００９】

【作用】請求項１に記載の蒸着装置においては、観視窓
３３を遮幣するガラス板３１が、テーブル２９上に同心
上に着脱可能に複数枚設けられているので、観視窓３３
を遮幣している１枚のガラス板３１が蒸着金属によって
汚れたときは、テーブル２９を回転させて別の新しいガ
ラス板３１で観視窓３３を遮幣することにより、連続し
て使用することができる。また汚れたガラス板３１は１
枚ずつ分離してテーブル２９から取り出すことができる
ので、清掃を短時間で容易に行なうことができる。

【００１０】請求項２に記載の蒸着装置においては、観
察部材が回転スリット板２５を有するストロボスコープ
２１であって、ガラス板３１をスリット板２５に設けら
れたスリットに対向して配設した。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の蒸着装置の一実施例を図面を
参照して説明する。

【００１２】図１及び図２に本発明の一実施例によるス
トロボスコープ２１の構成を示す。図において、円板状
の基板２２の中心にはモータ２３が、出力軸２４が基板
２２に直角になるように取り付けられている。出力軸２
４には図７に示す従来例と同様に、直径上に図示しない
スリットが形成された回転スリット板２５が同心上に固
定されている。基板２２のモータ２３が取り付けられた
側には、断面がほぼ円筒状のカバー２６が同心上に設け
られており、中心にはモータ２３を被覆する円筒状の突
出部２７が固定されている。

【００１３】基板２２とカバー２６との間には中心に設
けられた円環状の軸受部２８を介して、回転体としての
テーブル２９が回転自在に支持されている。またテーブ
ル２９には、図２に示すように６個の円形の孔部３０が
同心上に等配に形成されており、各孔部３０にはそれぞ
れ円板状のガラス板３１が着脱可能に装着されている。
さらに、カバー２６の端面には孔部３０と同心上に位置
するように孔部３２が形成されており、孔部３２の外側
には観視窓３３が同心上に着脱可能に装着されている。
そして観視窓３３の内径はテーブル２９に形成された孔
部３０の内径に等しくなっており、観視窓３３内にはガ
ラス板３４が嵌合されている。

【００１４】カバー２６の端面の観視窓３３が設けられ
た側に対して反対側の部分には、軸受部３５を介して軸
３６が回転自在に支持されている。軸３６の外側の一端
にはツマミ３７が固定されており、内側の一端にはギア
３８が固定されている。そしてギア３８は、テーブル２
９の外周に形成された外径ギア２９ａに噛合している。

【００１５】上記のように構成されたストロボスコープ
２１は、カバー２６の反対側の端面に取り付けられた台
座３９と台座３９に固定された筒体４０を介して、図６
に示す従来例と同様に筐体１に取り付けられている。そ
してカバー２６に形成された孔部３２と筒体４０とは同
心上に位置している。

【００１６】次に、本実施例の作用を説明する。図６に
示すルツボ２内の金属片３が電子ビームガン４から発す
るビームによって加熱され、蒸発して飛散する金属粒子
は、図１に矢印Ａで示す方向からストロボスコープ２１
内に入ってくる。一方作業者は矢印Ｂで示す方向から、
観視窓３３及びテーブル２９にそれぞれ取り付けられた
ガラス板３４、３１と、回転スリット板２５に形成され
たスリットを通して、装置内を観察する。このとき飛散
した金属粒子などのうち、回転スリット板２５のスリッ
トを通過したものがテーブル２９に取り付けられたガラ
ス板３１に付着する。そして長時間経過するとガラス板
３１は付着物によってくもり、装置内が見えなくなる。

【００１７】この場合には、ツマミ３７によりギア３８
を介してテーブル２９を回転させ、くもったガラス板３
１に隣接する新しいガラス板３１により、観視窓３３の
内側を被覆する。上記の動作をくり返すことによりスト
ロボスコープ２１の長時間の使用が可能となる。６枚の
ガラス板３１がすべてくもったときは、観視窓３３をカ
バー２６から取り外し、ガラス板３１をテーブル２９か
ら取り出して清掃すればよい。

【００１８】本実施例によれば、ガラス板３１が汚れた
ときはデーブル２９を回転させて新しいガラス板３１を
所定の位置にシフトすることにより、装置の長時間にわ
たる連続使用が可能となる。また観視窓３３が着脱可能
でありガラス板３１が小型であるので、ガラス板３１を
容易に取り出すことができ、ガラス板３１の清掃を短時
間に簡単に行うことができる。

【００１９】上記実施例ではテーブル２９が円板状であ
る場合について説明したが、図３に示すようにテーブル
４１を扇形とし、支軸４２を中心とした同心円上に複数
個、例えば３個の孔部を設け、これらの孔部にそれぞれ
ガラス板４３を着脱可能に取り付けてもよい。この場合
はテーブル４１に設けられたレバー４４により、支軸４
２を中心としてテーブル４１を回転する。

【００２０】また図４に示すように、テーブル５１を支
軸５２を中心とした放射状に形成し、複数個、例えば３
個のアーム５３にそれぞれ同一方向に開口したほぼ半円
形の切欠部５４を設けてもよい。ここでガラス板５５の
外周の両面に段差部５６を設け、段差部５６がアーム５
３の切欠部５４に形成された溝５７に嵌合することによ
り、ガラス板５５はアーム５３に対して着脱可能に保持
される。そしてテーブル５１を矢印Ｃ方向に回転させ、
積層された新しいガラス板５５ａの山から１枚の新しい
ガラス板５５ａを取り出し、所定の位置に移動させる。
新しいガラス板５５ａが汚れてきたらテーブル５１を矢
印Ｃ方向に回転させ、次の新しいガラス板５５ａを所定
の位置に移動させる。同時に汚れたガラス板５５ｂはア
ーム５３から取り外され、汚れたガラス板５５ｂの山上
に積層載置される。

【００２１】図３乃至図５に示す各実施例によっても、
図１及び図２に示す実施例と同様の効果を得ることがで
きる。なお、各実施例に示したテーブル２９、４１、５
１にそれぞれ設けられたガラス板３１、４３、５５の数
はそれらに限定されず、他の枚数であってもよい。また
ストロボスコープ２１を用いず、単に観視窓３３が筐体
に設けられている場合にも応用することができ、同様の
効果が得られる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
蒸着装置によれば、観視窓を遮幣する透明板を、回転体
に複数板同心上に着脱可能に設けたので、回転体を回転
させることにより、作業中に汚れた透明板を新しい透明
板にシフトすることができ、長時間の連続使用が可能と
なる。また透明板が観視窓の大きさに等しく小型である
ため、容易に取り出すことができ、清掃を短時間に簡単
に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蒸着装置の一実施例に設けられたスト
ロボスコープの構成を示す縦断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】本発明の他の実施例によるテーブルの構成を示
す平面図である。

【図４】本発明の別の実施例によるテーブルの構成を示
す斜視図である。

【図５】図４の要部側面図である。

【図６】従来の蒸着装置の一例の構成を示す縦断面図で
ある。

【図７】図６の回転スリット板の構成を示す平面図であ
る。

【符号の説明】 １ 密閉筐体 ２ ルツボ（容器） ３ 金属 ４ 電子ビームガン（加熱源） ２１ ストロボスコープ（観察部材） ２５ 回転スリット板 ２９、４１、５１ テーブル（回転体） ３１ ガラス板（透明板） ３３ 観視窓

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密閉筐体内に載置され金属を収納する容
   器と、 前記金属を加熱する加熱源と、 前記筐体に装着され前記容器内の前記金属を観察する観
   視窓が設けられた観察部材とを有する蒸着装置におい
   て、 前記観視窓を遮幣する複数枚の透明板が同心上にそれぞ
   れ着脱可能に配設された回転体を、前記観察部材に回転
   可能に設けたことを特徴とする蒸着装置。
2. 【請求項２】 透明板を観察部材に設けられた回転スリ
   ット板のスリットに対向して配設したことを特徴とする
   請求項１記載の蒸着装置。