JPH06263899A - 導電性樹脂シートとその製造方法 - Google Patents
導電性樹脂シートとその製造方法Info
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Abstract
可塑性樹脂液にSnO2などの導電材料微粉を分散させ
て、基材シートに塗布して硬化塗膜を形成し、熱圧着さ
せて、塗膜表面を平滑化する方法がある。塗膜上面から
熱金型を直接圧着して形整したシート表面の電気抵抗が
バラツキを生ずるのを防止する。 【構成】 予め離型フィルムに導電塗膜を添着固化して
おき、熱圧着の際に樹脂基材シートの表面に塗膜を向け
て重積して基材シートと離型フィルムとをプレス金型間
で加熱圧着させる。導電材料に導電性ポリアニリンを使
用して、表面抵抗が表面域で均一な導電性樹脂シートと
する。
Description
表面導電性を付与した導電性シート及びその製造方法に
関する。
ートは、帯電防止機能を備えているので、病院の無菌室
や手術室、工業用無塵室などの微粉を嫌う室内の壁面・
床面の構成部材として利用され、特にマイクロ・エレク
トロニクスの分野では、固体回路の製造組立工程で防塵
用の容器・遮蔽部材として、利用される。
造方法に関しては、熱可塑性樹脂と導電性微粉末とを含
む塗料を合成樹脂板に塗布硬化した後、加熱下でこの塗
膜を圧着させて透明な導電層を形成する方法が知られて
いる(特公平3−72169号公報)。
も記載されており、これには、導電性微粉に導電性Sn
O2 を使用し、加熱圧着する際には、合成樹脂板の両面
には鏡面板を介して加圧され、光の表面散乱を防止する
程度に塗膜表面が鏡面仕上げされている。
塗布する代わりに、予め薄い熱可塑性フィルムに導電性
塗料を塗布して硬化させ、このフィルムを所要の合成樹
脂板・シートに圧着させる方法がある。
脂板・シートに直接導電性塗膜を形成し、あるいは、導
電性塗膜を塗布形成した上記熱可塑性フィルムを面着さ
せて、プレス又はロールにより塗膜面に直接加熱圧下し
て積層圧着したとき、合成樹脂板表面の導電性塗膜の表
面抵抗は、表面中央部に比して、周縁部が大きくなり、
その抵抗比は1桁ないし2桁にも及ぶことがあり、品質
上のバラツキとして、重要な問題となっている。
が透明性より、むしろ有害光線の遮光性が要求され、特
に特定波長光、例えば紫外線を遮蔽し、可視光に対して
は透明性を有するような有機材料が要求されている。
面の面域方向に導電性のバラツキが少なく、生産性にす
ぐれた表面導電性合成樹脂シートを製造する方法を提供
し、あわせて光学的にも特徴を備えた合成樹脂シートを
提供するものである。
トは、熱可塑性樹脂と導電性材料とから成る塗料を熱可
塑性樹脂離型フィルムの表面に塗布し硬化させて導電性
塗膜を形成し、次いで、当該離型フィルムを、その塗膜
面を熱可塑性樹脂の基材シート表面に対面させて当該樹
脂基材シートと加熱圧着することを特徴とするものであ
る。
リンとから成る導電性塗膜層が、熱可塑性樹脂基材シー
トの表面に、熱圧一体に積層形成されてなる導電性樹脂
シートを含むものである。
トと言う用語に拘わらず、板材、シート、フィルムを広
く含む概念を指し、ラミネート構造状のものも含むもの
とする。
ートも同様に、板材、シート、フィルムを広く含む概念
を指し、ラミネート構造状のものも含むものとするが、
これには、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリ
(メタ)アクリレート、ABS樹脂、AS樹脂等の熱可
塑性樹脂が利用される。
l,Znなどの金属微粉、TiO2 ,ZnO,SnO2
などの金属酸化物粉、導電性カーボン、有機材料では導
電性ポリアニリンなどが1種又は2種以上利用される。
導電性樹脂シートを透明とするには、粒径0.2μm以
下の白色系の導電性粉末、特にSnO2 微粉が利用でき
る。他方、導電性ポリアニリンは、粒径0.2〜100
μmの粉末であり、溶剤に溶けず、樹脂に対して分散性
がよく、本発明の導電性塗膜に適している。この導電性
ポリアニリンは、有機材料であり、金属を嫌う用途向け
材料として適しており、光選択性材料としても有益であ
る。
ートと熱圧着性の良い樹脂であって、具体的にはポリ塩
化ビニル系、ポリ塩化ビニル−酢酸ビニル系、ポリアク
リル系樹脂が使用される。
と、適当な溶剤(シクロヘキサノンやメチルイソブチル
ケトンなど)及び導電性材料微粉2〜20部を混合し、
固形分5〜40%のペースト状とする。必要により、分
散剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、増粘剤を添加してお
く。
ルムに塗布されるが、この離型フィルムは、ポリエチレ
ンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート(P
C)、又はポリオレフィン系の厚み0.02〜0.3m
m程度の樹脂フィルムを利用する。これらの離型フィル
ムは、塗膜の樹脂基材シートに対する剥離強度よりも、
このフィルムの塗膜に対する剥離強度を小さくすること
によって、熱圧着し、硬化後に基材シート上の塗膜に対
して樹脂フィルムを容易に剥離することができ、剥離後
には基材シート表面に導電性塗膜層を露出させるのであ
る。
シート及び塗膜の樹脂の材質との関係から、塗膜に対す
る剥離性の良好なものが適宜選択される。上記PETや
PC樹脂は、塗膜及び樹脂基材シートに比して溶融点が
高く、圧着時に融着しないので、剥離性がすぐれてい
る。
ィルムの表面に、ロール法、スプレー法、ナイフエッヂ
法、凸版印刷法又はオフセット印刷法等で塗布し、乾燥
硬化させて、塗膜を形成する。塗布厚みは乾燥後厚みが
0.2〜50μm程度となるように、且つ、表面全面に
一様厚みとなるように塗布する。
シートに、当該塗膜を基材シート側に向けて面接し、離
型フィルムと基材シートとを加熱状態で挟圧して、塗膜
と基材シートとを圧着させる。加熱圧着の方法には、プ
レス金型で押圧するプレス法と、回転ロール間を挿通転
走するロールラミネート法などが利用される。
的に示すように、プレス金型5、5の間に、基材シート
1と導電性塗膜2を形成した離型フィルム4とを挟み、
金型に設けた加熱源により所定温度まで加熱して、金型
間を加圧する。次いで、常温近傍まで冷却させると、図
1(B)のような三層構造体のシートを得る。さらに、
離型フィルム4を剥離すれば、表面に導電性塗膜2を具
えた積層状の導電性樹脂シート12が得られる。
示すように、上下一対の圧着ロール61の間隙に、帯状
の基材シート1と、表面に導電性塗膜2を形成した長尺
帯状の剥離フィルム4とを、その間に導電性塗膜2が介
在するように挟圧して三者を圧接する。この場合、基材
シート1と剥離フィルム4とは、それぞれのコイル1
0,40から初段圧着ロール61までにそれぞれ加熱室
54,53を通過する過程で、所定の温度に予熱される
ので、初段圧着ロール61間の圧下により一体に熱圧着
され、次段圧着ロール62通過以降で冷却され、長尺の
導電性樹脂シート12が得られる。その後、コイルに巻
き取るか、切断して定尺シートにする。
すように、押出機70より押し出された加熱状態にある
基材シート1と、表面に導電性塗膜2が形成された長尺
の離型フィルム4とを、導電性塗膜2が基材シート1側
になるように三重のポリッシングロール71,71,7
1間に導き相互に圧着一体化し、ピンチロール72で引
き取る。
と基材シートの樹脂とが、熱可塑性により圧着できる温
度であることが必要で、基材シート及び塗膜の樹脂の軟
化温度から溶融温度までの範囲となるが、他方、熱圧着
の過程で、塗膜と離型フィルムとが剥離不能となる程度
に強固に固着されるのは妥当でないから、離型フィルム
の加圧下で軟化温度以下であることが目安となる。離型
シートの樹脂に、ポリエチレンテレフタレート(PE
T)や、ポリカーボネート(PC)を使用する場合に
は、加熱温度は230℃以下を必要とし、この場合、塗
膜用樹脂及び基材シートの樹脂をポリ塩化ビニルとする
例では、加熱温度は120〜210℃が適当となる。熱
圧着の際の圧力は、樹脂の種類により又加熱温度に依存
するが、通常4〜100kgf/cm2 程度である。
面に塗布形成された導電性塗膜を、熱圧着によって基材
シート表面に移転させる担持体の役割を有するものであ
るが、さらに、塗膜が離型樹脂フィルムと接触する面は
平坦であるから、導電材料粒子が塗膜の当該樹脂面から
突出しておらず、従って、熱圧着の際の軽度の圧下によ
り、塗膜層表面は、平滑性と導電性がすぐれたものとな
る。他方、離型フィルム上に塗布された塗膜の表面が多
数の導電材料粒子の突出した凹凸面となっている場合で
も、この面は熱圧着により、基材シートに埋没されるか
ら支障はない。このように、本発明の熱圧着は、塗膜表
面を平滑にするものではなく、塗膜と基材シートとを一
体化するものでしかない。
ら、プレス金型などにより、基材シートに塗膜を熱圧着
する際に、塗膜と基材シートとは溶融圧着するが、離型
フィルムは溶融しないので、塗膜が基材シートの外周縁
へ流れようとするのが抑制され、従って塗膜層の厚みは
塗膜全面にわたって均一化でき、表面電気抵抗のバラツ
キが少なくなる効果がある。
トに形成した後の二次加工や洗浄運搬その他の取扱工程
における表面保護フィルムとして機能するもので、使用
する前に剥離する。
シグナル社(米)製、品名Versicon 粒度0.2〜1
00μm)10重量部を、ポリ塩化ビニル(PVC)5
重量部、溶剤としてシクロヘキサノン30重量部及びメ
チルイソブチルケトン55重量部から成る樹脂液中に混
合攪拌して、調製した。
ィルムを使用し、このフィルム上に上記塗料をロールコ
ーターによって塗布して乾燥させ塗膜を形成した。塗布
量は、塗膜乾燥後の厚みが0.5、0.8、3.1及び
6.5μmの4水準になるように調整した。塗膜の乾燥
硬化後の導電性ポリアニリンとPET樹脂の重量比は約
2:1となった。
mの形状19cm×35cmのPVCシートを使用し、
この基材シートの上に、塗膜を下に向けて上記の離型フ
ィルムを載せて、金型間隙に装入して、160℃の温度
で、16kgf/cm2 の圧力で加圧し、次いで金型を
冷却してのち、シートを金型から取外し、離型フィルム
を剥離して、導電性樹脂シートを得た。
て表面電気抵抗を測定した(測定機:日置電機(株);
日置MΩ Hi−TESTER 3110)。測定位置
は、シート表面の中央部、同長手方向の端縁部及び幅方
向の端縁部の三点とした。
の当該フィルム側と上記基材樹脂シートとが直接に面接
するように、基材樹脂シートに重積して、金型間隙に装
入して加熱加圧した。その他の方法・条件は、実施例と
同じである。
測定結果を表1に示した。表2には、シート表面の測定
位置における表面抵抗がまとめてある。
1のシートの表面抵抗が低く、また、表面抵抗のバラツ
キが少ないことが判る。比較例は、熱圧着時に塗膜表面
が鏡面板とは接触しているが拘束されていないために周
囲に流れやすく厚みの減少が大きいから抵抗値が大きく
なると考えられる。他方、実施例1は、熱圧着過程で、
塗膜が溶融しない離型フィルムに固着されているから周
囲に流れ難くほぼ均一な厚みが得られるため、抵抗値の
バラツキが少ないものとなる。
ンに代えて、導電性SnO2 微粉を使用した例を以下に
示す。
0.2μm)15重量部をポリ塩化ビニル7.5重量部
及び溶剤77重量部に添加・混練し、以下実施例1と同
様にして導電性シートを形成した。その結果を表3及び
表4に示した。
た導電性シート(実施例1)につき、光学的性質を調べ
た。
トに0.5〜6.5μmの乾燥塗膜厚みを備えた離型フ
ィルムを熱圧着して後剥離した導電性シートの遠赤外域
から紫外域までの光透過率を示している。図中a曲線が
PVC基材シート自体の透過率を示すのに対して、b〜
e曲線のように導電性塗膜の厚みが増加するほど、赤外
域及び紫外域の吸収が大きくなり、可視光域では赤外域
及び紫外域に比して透過率が大きいという効果が認めら
れる。
ように適度の導電性塗膜を形成すると、赤外線及び紫外
線の双方に対して透過率を10%以下とし、かつ可視光
に対しては40%程度の透過率を示して黄緑色又は緑褐
色を呈する。そこで、大面域の安価な紫外線フィルター
として、また赤外線フィルターとして利用できる。この
ような用途として、半導体ウェハーのフォトエッチング
工程における紫外線照射室の遮光材などに簡便に利用で
きる。
は、あらかじめ離型フィルムに塗布乾燥した導電性塗膜
を基材シート表面に塗膜面を接して離型フィルムを圧着
するものであるから、基材シート上に移転した塗膜の厚
みが、表面全域で均一であり、かつ、その表面が平滑性
であるとともに表面電気抵抗が一様に低いすぐれた導電
性が得られる。
を付与するフィルムとして、また熱圧着後は導電塗膜保
護フィルムとして共用でき、導電性樹脂シートの製造・
取扱の際の導電性塗膜表面の汚染・欠損を防止できる。
用することによって、導電性樹脂シートは、金属を表面
塗膜に含有しないものであり、特に金属を嫌う用途の表
面導電性材料として有益に使用され、紫外線及び赤外線
の透過を遮蔽する遮光板としても利用することができ
る。
圧着後(B)及び剥離過程(C)の剥離シート、塗膜及
び基材シートの模式的断面図。
模式図。
の製造法模式図。
Claims (3)
- 【請求項1】 熱可塑性樹脂と導電性材料とから成る塗
料を熱可塑性樹脂離型フィルムの表面に塗布し硬化させ
て導電性塗膜を形成し、次いで、当該離型フィルムを、
その塗膜面を熱可塑性樹脂の基材シートの表面に対面さ
せて当該樹脂基材シートと熱圧着することを特徴とする
導電性樹脂シートの製造方法。 - 【請求項2】 上記導電性材料が導電性ポリアニリンで
ある請求項1記載の導電性樹脂シートの製造方法。 - 【請求項3】 熱可塑性樹脂と導電性ポリアニリンとか
ら成る導電性塗膜層が、熱可塑性樹脂基材シートの表面
に、熱圧一体に積層形成されてなる導電性樹脂シート。
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- 1993-03-16 JP JP08263193A patent/JP3213115B2/ja not_active Expired - Fee Related
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