JPH0622414U - クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 本考案は、クリーンルームの壁等に供される
クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体に関し、強度
を確保しつつ厚さを薄くするとともに、クリーンルーム
用内装仕上材の現場で取り付けの必要を無くし、現場作
業を簡便にすることを目的とする。 【構成】 磁気シールドパネル１１と、この磁気シール
ドパネル１１の両側面にそれぞれ固着されて磁気シール
ドパネル１１を挟持するパネル本体１２，１３と、各パ
ネル本体１２，１３の外側面にそれぞれ固着されたクリ
ーンルーム用内装仕上材１４とを備えている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルームの壁等に供されるクリーンルーム用磁気シールド仕 切構造体に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、電気部品等の誤動作の原因となる磁気を遮蔽するため、磁気シールド ルームが設置されるが、例えば、磁気シールドルームの壁が図６，図７に示され ている。

【０００３】 図において、パーマロイ等を材料とした磁気シールドパネル１０１の片面には 、帯板１０１Ａを介して多数のビス１０１Ｂにより合板１０２からなるパネル本 体が固着されている。

【０００４】 上記磁気シールドパネル１０１，合板１０２からなるパネルユニット１０３は 、それらの端面を近接させて連続するように隣接して配置されており、両磁気シ ールドパネル１０１，１０１の端面付近の内側面上に磁気シールドパッチ１０４ が重ねられ、ビス１０５により固着されている。

【０００５】 この磁気シールドパネル１０１で囲まれた磁気シールドルーム１０６が、さら に、例えば、半導体工場における空気の清浄度の高いクリーンルームであること が要求されている場合には、壁面に付着する塵埃等の問題から壁面がクリーンル ーム用内装仕上材を貼り付けることが必要となる。

【０００６】 この場合には、図６→図８→図９の順序でクリーンルーム用内装仕上材がパネ ルユニット１０３に組み立てられ、図１０に示す断面のパネルユニット１１１が 組み立てられる。

【０００７】 即ち、先ず、図８に示すように、パネルユニット１０３の両側面に支柱１０７ ，１０７が取り付けられ、さらに、図９，図１０に示すように、この支柱１０７ にビス１０９でクリーンルーム用内装仕上材１０８が取り付けられる。なお、磁 気シールドパネル１０１上にクリーンルーム用内装仕上材１０８を直接接着剤で 貼ることは困難である。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、図１０に示す断面のパネルユニット１１１にあっては、パネルユニ ット１０３に支柱１０７を介してクリーンルーム用内装仕上材１０８が取り付け られるので、クリーンルーム用内装仕上材１０８と磁気シールドパネル１０１の 間には、空間１１０が生じ、壁の厚さＴが厚くなるので、それだけ磁気シールド ルーム１０６の容積が少なくなるという問題がある。

【０００９】 また、現場で、パネルユニット１０３に支柱１０７を介してクリーンルーム用 内装仕上材１０８を取り付ける必要があるので、クリーンルーム用内装仕上材１ ０８の現場での取付け作業が面倒であり、施工性が悪いという問題がある。

【００１０】 本考案は、上述の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、強度 を確保しつつ厚さを薄くするとともに、クリーンルーム用内装仕上材の現場で取 り付けの必要を無くし、現場作業を簡便にすることができるクリーンルーム用磁 気シールド仕切構造体を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

請求項１記載の考案は、磁気シールドパネルと、この磁気シールドパネルの両 側面にそれぞれ固着されて磁気シールドパネルを挟持するパネル本体と、各パネ ル本体の外側面にそれぞれ固着されたクリーンルーム用内装仕上材とを備えてい ることを特徴とする。

【００１２】 請求項２記載の考案は、磁気シールドパネルの両側面にそれぞれパネル本体を 固着して挟持し、さらに、一側のパネル本体の外側面に、一側のクリーンルーム 用内装仕上材を固着するとともに他側のパネル本体の外側面に他側のクリーンル ーム用内装仕上材を固着してなるパネルユニットを、連続するように隣接して配 置し、隣接する一側のパネル本体及び一側のクリーンルーム用内装仕上材の各端 面間に隙間をそれぞれ形成し、隣接する磁気シールドパネルの端面付近の一側面 上に磁気シールドパッチを重ねて固着し、隣接する一側のクリーンルーム用内装 仕上材の隙間に化粧板を埋め込んで固着したことを特徴とする。

【００１３】

【作用】

請求項１記載の考案においては、磁気シールドパネルの両側面にパネル本体を 介してクリーンルーム用内装仕上材が一体化されており、例えば、室内の磁気の 漏洩が磁気シールドパネルで遮蔽されるとともに、クリーンルーム用内装仕上材 により室内の塵埃等の付着が防止される。

【００１４】 請求項２記載の考案においては、請求項１記載の考案の作用が生じるとともに 、磁気シールドパネルにパネル本体を介してクリーンルーム用内装仕上材を一体 化してなるパネルユニットを連続するように隣接して配置し、磁気シールドパッ チ及び化粧板を介して接合すれば、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体が 形成される。

【００１５】

【実施例】

以下、図面により本考案の実施例を説明する。 図１ないし図５は本考案の実施例に係わるクリーンルーム用磁気シールド仕切 構造体を示す。

【００１６】 図１において、符号１はクリーンルームで、このクリーンルーム１の壁２，天 井３，床面４には、図２以下に示すクリーンルーム用磁気シールド仕切構造体５ が使用されている。

【００１７】 クリーンルーム１内にはＨＥＰＡフィルタ６が吊持され、ＨＥＰＡフィルタ６ と天井３の間には天井空間６Ａが形成されている。 クリーンルーム１内には上床７が床面４から所定の高さに敷設され、上床７と 床面４の間に、床下空間７Ａが形成されている。

【００１８】 ８は空調機で、この空調機８の送り側部分に連結された給気ダクト８Ａは天井 空間６Ａ内に開口し、この空調機８の戻り側部分に連結された環気ダクト８Ｂは 床下空間７Ａ内に開口している。

【００１９】 そして、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体５の構造は図２ないし図４ に示されている。図に示すように、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体５ は、隣接するパネルユニット９，１０を連続するように配置されている。パネル ユニット９，１０の構造は同じであり、パネルユニット９の構造について説明す る。

【００２０】 パネルユニット９は、図３に示すように、パーマロイを材料とした磁気シール ドパネル１１の両側面にそれぞれ合板（パネル本体）１２，１３を多数のビス１ １Ｂにより固着して挟持し、さらに、一側の合板１２の外側面に、一側のクリー ンルーム用内装仕上材１４を接着剤で固着するとともに他側の合板１３の外側面 に他側のクリーンルーム用内装仕上材１５を接着剤で固着してなる。上記クリー ンルーム用内装仕上材１４，１５にはカラー鋼板等が使用されている。

【００２１】 そして、パネルユニット９の一側の合板１２及び一側のクリーンルーム用内装 仕上材１４の端面間に隙間１６が形成され、隣接する両磁気シールドパネル１１ ，１１の端面付近の内側面１１Ａ，１１Ａ上に磁気シールドパッチ１７がビス１ ８，１８により重ねて固着されている。

【００２２】 隣接する一側のクリーンルーム用内装仕上材１４，１４の隙間１６に化粧板１ ９が埋め込まれ、この化粧板１９の両端と一側のクリーンルーム用内装仕上材１ ４，１４の間にはシール剤２０が充填され、固着されている。また、隣接する他 側のクリーンルーム用内装仕上材１５，１５の端面間にもシール剤２１が充填さ れている。

【００２３】 また、図５に示すように、クリーンルーム１のクリーンルーム用磁気シールド 仕切構造体５からなる壁２，２の端には、支柱２２が設けられ、特殊形の磁気シ ールドブラケット２３が壁２，２の端にかけて支柱２２の内側に設けられ、さら に、磁気シールドブラケット２３の外側に位置して化粧板１９，１９が埋め込ま れている。

【００２４】 しかして、本実施例においては、磁気シールドパネル１１に合板１２，１３を 介してクリーンルーム用内装仕上材１４，１５が一体化されており、クリーンル ーム１内の磁気の漏洩、または、クリーンルーム１外からの磁気の漏洩が磁気シ ールドパネル１１で遮蔽されるとともに、一側のクリーンルーム用内装仕上材１ ４によりクリーンルーム１内の塵埃等の壁面への付着が防止されている。

【００２５】 以上の如き構成によれば、クリーンルーム用磁気シールド構造体５は、クリー ンルーム１内の磁気のクリーンルーム１外への漏洩、または、クリーンルーム１ 外の磁気のクリーンルーム１内への漏洩を磁気シールドパネル１１で遮蔽する機 能と、一側のクリーンルーム用内装仕上材１４でクリーンルーム１内の塵埃等の 壁面等への付着を防止する機能とを有しているが、磁気シールドパネル１１の両 側に合板１２，合板１３を介してクリーンルーム用内装仕上材１４，１５がそれ ぞれ一体に設けられているので、合板１２，１３の厚さを所定厚さ以上にするこ とにより強度を確保し、従来例のように、クリーンルーム用磁気シールド仕切構 造体５内に空間を無くすことができ、強度を確保しつつクリーンルーム用磁気シ ールド構造体５の壁の厚さＴ１を薄くすることができる。

【００２６】 また、磁気シールドパネル１１及びクリーンルーム用内装仕上材１４，１５を 一体にしたパネルユニット５を現場で組み立てれば、クリーンルーム用磁気シー ルド仕切構造体５が造られるので、現場の設置作業を簡便にし、施工性を良くす ることができる。即ち、従来のように、磁気シールドパネルを設置した後に、磁 気シールドパネルにクリーンルーム用内装仕上材を取り付ける作業を無くすこと ができる。

【００２７】 さらに、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体５を自立させるための支柱 ２２は必要であるものの、クリーンルーム用内装仕上材１４，１５が当初から磁 気シールドパネル１１，合板（パネル本体）１２，１３に一体となっているので 、従来例の如きクリーンルーム用内装仕上材を取り付けるための支柱を無くすこ とができる。

【００２８】 なお、本実施例においては、磁気シールドパネル１１の材料としてパーマロイ が用いられているが、これに限定されることなく、例えば、アモルファス合金で も良い。

【００２９】

【考案の効果】

以上説明したように、請求項１記載の考案は、室内の磁気の室外への漏洩を磁 気シールドパネルで遮蔽する機能と、クリーンルーム用内装仕上材で室内の塵埃 等の壁面等への付着を防止する機能とを有しているが、磁気シールドパネルの両 側にパネル本体を介してクリーンルーム用内装仕上材がそれぞれ一体に設けられ ているので、従来例のように、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体内に空 間を無くすことができ、強度を確保しつつクリーンルーム用磁気シールド仕切構 造体の壁の厚さを薄くすることができる効果を奏する。

【００３０】 請求項２記載の考案によれば、請求項１記載の考案の効果に加えて、磁気シー ルドパネル及びクリーンルーム用内装仕上材を一体にしたパネルユニットを現場 で組み立てれば、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体が造られるので、現 場の設置作業を簡便にし、施工性を良くすることができる。即ち、従来のように 、磁気シールドパネルを設置した後に、磁気シールドパネルにクリーンルーム用 内装仕上材を取り付ける作業を無くすことができる。

【００３１】 また、クリーンルーム用内装仕上材が当初から磁気シールドパネルに一体とな っているので、従来例の如きクリーンルーム用内装仕上材を取り付けるための支 柱を無くすことができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係わるクリーンルーム用磁気
シールド仕切構造体を適用したクリーンルームの断面図
である。

【図２】同クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体を
示す斜視図である。

【図３】同クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体の
パネルユニットの斜視図である。

【図４】同クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体の
継ぎ目部分の断面図である。

【図５】図１のクリーンルームの隅部付近を示す平面図
である。

【図６】従来における磁気シールド壁を示す斜視図であ
る。

【図７】図６の磁気シールド壁の継ぎ目部分の断面図で
ある。

【図８】図７の磁気シールド壁に両面に支柱を取り付け
た状態を示す斜視図である。

【図９】図７の支柱にクリーンルーム用内装仕上材を取
り付けた状態を示す斜視図である。

【図１０】図９における磁気シールド壁の支柱付近の継
ぎ目部分を示す断面図である。

【符号の説明】

５ クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体 ９ パネルユニット １０ パネルユニット １１ 磁気シールドパネル １２ 一側の合板（パネル本体） １３ 他側の合板（パネル本体） １４ 一側のクリーンルーム用内装仕上材 １５ 他側のクリーンルーム用内装仕上材 １６ 隙間 １７ 磁気シールドパッチ １９ 化粧板

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気シールドパネルと、 この磁気シールドパネルの両側面にそれぞれ固着されて
   磁気シールドパネルを挟持するパネル本体と、 各パネル本体の外側面にそれぞれ固着されたクリーンル
   ーム用内装仕上材とを備えていることを特徴とするクリ
   ーンルーム用磁気シールド仕切構造体。
2. 【請求項２】 磁気シールドパネルの両側面にそれぞれ
   パネル本体を固着して挟持し、さらに、一側のパネル本
   体の外側面に、一側のクリーンルーム用内装仕上材を固
   着するとともに他側のパネル本体の外側面に他側のクリ
   ーンルーム用内装仕上材を固着してなるパネルユニット
   を、連続するように隣接して配置し、 隣接する一側のパネル本体及び一側のクリーンルーム用
   内装仕上材の各端面間に隙間をそれぞれ形成し、 隣接する磁気シールドパネルの端面付近の一側面上に磁
   気シールドパッチを重ねて固着し、 隣接する一側のクリーンルーム用内装仕上材の隙間に化
   粧板を埋め込んで固着したことを特徴とするクリーンル
   ーム用磁気シールド仕切構造体。