JPH0756403Y2 - クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、クリーンルームの壁等
に供されるクリーンルーム用磁気シールド仕切構造体に
関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、電気部品等の誤動作の原因とな
る磁気を遮蔽するため、磁気シールドルームが設置され
るが、例えば、磁気シールドルームの壁が図６，図７に
示されている。

【０００３】図において、パーマロイ等を材料とした磁
気シールドパネル１０１の片面には、帯板１０１Ａを介
して多数のビス１０１Ｂにより合板１０２からなるパネ
ル本体が固着されている。

【０００４】上記磁気シールドパネル１０１，合板１０
２からなるパネルユニット１０３は、それらの端面を近
接させて連続するように隣接して配置されており、両磁
気シールドパネル１０１，１０１の端面付近の内側面上
に磁気シールドパッチ１０４が重ねられ、ビス１０５に
より固着されている。

【０００５】この磁気シールドパネル１０１で囲まれた
磁気シールドルーム１０６が、さらに、例えば、半導体
工場における空気の清浄度の高いクリーンルームである
ことが要求されている場合には、壁面に付着する塵埃等
の問題から壁面がクリーンルーム用内装仕上材を貼り付
けることが必要となる。

【０００６】この場合には、図６→図８→図９の順序で
クリーンルーム用内装仕上材がパネルユニット１０３に
組み立てられ、図１０に示す断面のパネルユニット１１
１が組み立てられる。

【０００７】即ち、先ず、図８に示すように、パネルユ
ニット１０３の両側面に支柱１０７，１０７が取り付け
られ、さらに、図９，図１０に示すように、この支柱１
０７にビス１０９でクリーンルーム用内装仕上材１０８
が取り付けられる。なお、磁気シールドパネル１０１上
にクリーンルーム用内装仕上材１０８を直接接着剤で貼
ることは困難である。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】ところが、図１０に示
す断面のパネルユニット１１１にあっては、パネルユニ
ット１０３に支柱１０７を介してクリーンルーム用内装
仕上材１０８が取り付けられるので、クリーンルーム用
内装仕上材１０８と磁気シールドパネル１０１の間に
は、空間１１０が生じ、壁の厚さＴが厚くなるので、そ
れだけ磁気シールドルーム１０６の容積が少なくなると
いう問題がある。

【０００９】また、現場で、パネルユニット１０３に支
柱１０７を介してクリーンルーム用内装仕上材１０８を
取り付ける必要があるので、クリーンルーム用内装仕上
材１０８の現場での取付け作業が面倒であり、施工性が
悪いという問題がある。

【００１０】本考案は、上述の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、強度を確保しつつ厚さを
薄くするとともに、クリーンルーム用内装仕上材の現場
で取り付けの必要を無くし、現場作業を簡便にすること
ができるクリーンルーム用磁気シールド仕切構造体を提
供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の考案は、
磁気シールドパネルと、この磁気シールドパネルの両側
面にそれぞれ固着されて磁気シールドパネルを挟持する
パネル本体と、各パネル本体の外側面にそれぞれ固着さ
れたクリーンルーム用内装仕上材とを備えていることを
特徴とする。

【００１２】請求項２記載の考案は、磁気シールドパネ
ルの両側面にそれぞれパネル本体を固着して挟持し、さ
らに、一側のパネル本体の外側面に、一側のクリーンル
ーム用内装仕上材を固着するとともに他側のパネル本体
の外側面に他側のクリーンルーム用内装仕上材を固着し
てなるパネルユニットを、連続するように隣接して配置
し、隣接する一側のパネル本体及び一側のクリーンルー
ム用内装仕上材の各端面間に隙間をそれぞれ形成し、隣
接する磁気シールドパネルの端面付近の一側面上に磁気
シールドパッチを重ねて固着し、隣接する一側のクリー
ンルーム用内装仕上材の隙間に化粧板を埋め込んで固着
したことを特徴とする。

【００１３】

【作用】請求項１記載の考案においては、磁気シールド
パネルの両側面にパネル本体を介してクリーンルーム用
内装仕上材が一体化されており、例えば、室内の磁気の
漏洩が磁気シールドパネルで遮蔽されるとともに、クリ
ーンルーム用内装仕上材により室内の塵埃等の付着が防
止される。

【００１４】請求項２記載の考案においては、請求項１
記載の考案の作用が生じるとともに、磁気シールドパネ
ルにパネル本体を介してクリーンルーム用内装仕上材を
一体化してなるパネルユニットを連続するように隣接し
て配置し、磁気シールドパッチ及び化粧板を介して接合
すれば、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体が形
成される。

【００１５】

【実施例】以下、図面により本考案の実施例を説明す
る。図１ないし図５は本考案の実施例に係わるクリーン
ルーム用磁気シールド仕切構造体を示す。

【００１６】図１において、符号１はクリーンルーム
で、このクリーンルーム１の壁２，天井３，床面４に
は、図２以下に示すクリーンルーム用磁気シールド仕切
構造体５が使用されている。

【００１７】クリーンルーム１内にはＨＥＰＡフィルタ
６が吊持され、ＨＥＰＡフィルタ６と天井３の間には天
井空間６Ａが形成されている。クリーンルーム１内には
上床７が床面４から所定の高さに敷設され、上床７と床
面４の間に、床下空間７Ａが形成されている。

【００１８】８は空調機で、この空調機８の送り側部分
に連結された給気ダクト８Ａは天井空間６Ａ内に開口
し、この空調機８の戻り側部分に連結された環気ダクト
８Ｂは床下空間７Ａ内に開口している。

【００１９】そして、クリーンルーム用磁気シールド仕
切構造体５の構造は図２ないし図４に示されている。図
に示すように、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造
体５は、隣接するパネルユニット９，１０を連続するよ
うに配置されている。パネルユニット９，１０の構造は
同じであり、パネルユニット９の構造について説明す
る。

【００２０】パネルユニット９は、図３に示すように、
パーマロイを材料とした磁気シールドパネル１１の両側
面にそれぞれ合板（パネル本体）１２，１３を多数のビ
ス１１Ｂにより固着して挟持し、さらに、一側の合板１
２の外側面に、一側のクリーンルーム用内装仕上材１４
を接着剤で固着するとともに他側の合板１３の外側面に
他側のクリーンルーム用内装仕上材１５を接着剤で固着
してなる。上記クリーンルーム用内装仕上材１４，１５
にはカラー鋼板等が使用されている。

【００２１】そして、パネルユニット９の一側の合板１
２及び一側のクリーンルーム用内装仕上材１４の端面間
に隙間１６が形成され、隣接する両磁気シールドパネル
１１，１１の端面付近の内側面１１Ａ，１１Ａ上に磁気
シールドパッチ１７がビス１８，１８により重ねて固着
されている。

【００２２】隣接する一側のクリーンルーム用内装仕上
材１４，１４の隙間１６に化粧板１９が埋め込まれ、こ
の化粧板１９の両端と一側のクリーンルーム用内装仕上
材１４，１４の間にはシール剤２０が充填され、固着さ
れている。また、隣接する他側のクリーンルーム用内装
仕上材１５，１５の端面間にもシール剤２１が充填され
ている。

【００２３】また、図５に示すように、クリーンルーム
１のクリーンルーム用磁気シールド仕切構造体５からな
る壁２，２の端には、支柱２２が設けられ、特殊形の磁
気シールドブラケット２３が壁２，２の端にかけて支柱
２２の内側に設けられ、さらに、磁気シールドブラケッ
ト２３の外側に位置して化粧板１９，１９が埋め込まれ
ている。

【００２４】しかして、本実施例においては、磁気シー
ルドパネル１１に合板１２，１３を介してクリーンルー
ム用内装仕上材１４，１５が一体化されており、クリー
ンルーム１内の磁気の漏洩、または、クリーンルーム１
外からの磁気の漏洩が磁気シールドパネル１１で遮蔽さ
れるとともに、一側のクリーンルーム用内装仕上材１４
によりクリーンルーム１内の塵埃等の壁面への付着が防
止されている。

【００２５】以上の如き構成によれば、クリーンルーム
用磁気シールド構造体５は、クリーンルーム１内の磁気
のクリーンルーム１外への漏洩、または、クリーンルー
ム１外の磁気のクリーンルーム１内への漏洩を磁気シー
ルドパネル１１で遮蔽する機能と、一側のクリーンルー
ム用内装仕上材１４でクリーンルーム１内の塵埃等の壁
面等への付着を防止する機能とを有しているが、磁気シ
ールドパネル１１の両側に合板１２，合板１３を介して
クリーンルーム用内装仕上材１４，１５がそれぞれ一体
に設けられているので、合板１２，１３の厚さを所定厚
さ以上にすることにより強度を確保し、従来例のよう
に、クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体５内に空
間を無くすことができ、強度を確保しつつクリーンルー
ム用磁気シールド構造体５の壁の厚さＴ１を薄くするこ
とができる。

【００２６】また、磁気シールドパネル１１及びクリー
ンルーム用内装仕上材１４，１５を一体にしたパネルユ
ニット５を現場で組み立てれば、クリーンルーム用磁気
シールド仕切構造体５が造られるので、現場の設置作業
を簡便にし、施工性を良くすることができる。即ち、従
来のように、磁気シールドパネルを設置した後に、磁気
シールドパネルにクリーンルーム用内装仕上材を取り付
ける作業を無くすことができる。

【００２７】さらに、クリーンルーム用磁気シールド仕
切構造体５を自立させるための支柱２２は必要であるも
のの、クリーンルーム用内装仕上材１４，１５が当初か
ら磁気シールドパネル１１，合板（パネル本体）１２，
１３に一体となっているので、従来例の如きクリーンル
ーム用内装仕上材を取り付けるための支柱を無くすこと
ができる。

【００２８】なお、本実施例においては、磁気シールド
パネル１１の材料としてパーマロイが用いられている
が、これに限定されることなく、例えば、アモルファス
合金でも良い。

【００２９】

【考案の効果】以上説明したように、請求項１記載の考
案は、室内の磁気の室外への漏洩を磁気シールドパネル
で遮蔽する機能と、クリーンルーム用内装仕上材で室内
の塵埃等の壁面等への付着を防止する機能とを有してい
るが、磁気シールドパネルの両側にパネル本体を介して
クリーンルーム用内装仕上材がそれぞれ一体に設けられ
ているので、従来例のように、クリーンルーム用磁気シ
ールド仕切構造体内に空間を無くすことができ、強度を
確保しつつクリーンルーム用磁気シールド仕切構造体の
壁の厚さを薄くすることができる効果を奏する。

【００３０】請求項２記載の考案によれば、請求項１記
載の考案の効果に加えて、磁気シールドパネル及びクリ
ーンルーム用内装仕上材を一体にしたパネルユニットを
現場で組み立てれば、クリーンルーム用磁気シールド仕
切構造体が造られるので、現場の設置作業を簡便にし、
施工性を良くすることができる。即ち、従来のように、
磁気シールドパネルを設置した後に、磁気シールドパネ
ルにクリーンルーム用内装仕上材を取り付ける作業を無
くすことができる。

【００３１】また、クリーンルーム用内装仕上材が当初
から磁気シールドパネルに一体となっているので、従来
例の如きクリーンルーム用内装仕上材を取り付けるため
の支柱を無くすことができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係わるクリーンルーム用磁気
シールド仕切構造体を適用したクリーンルームの断面図
である。

【図２】同クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体を
示す斜視図である。

【図３】同クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体の
パネルユニットの斜視図である。

【図４】同クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体の
継ぎ目部分の断面図である。

【図５】図１のクリーンルームの隅部付近を示す平面図
である。

【図６】従来における磁気シールド壁を示す斜視図であ
る。

【図７】図６の磁気シールド壁の継ぎ目部分の断面図で
ある。

【図８】図７の磁気シールド壁に両面に支柱を取り付け
た状態を示す斜視図である。

【図９】図７の支柱にクリーンルーム用内装仕上材を取
り付けた状態を示す斜視図である。

【図１０】図９における磁気シールド壁の支柱付近の継
ぎ目部分を示す断面図である。

【符号の説明】

５ クリーンルーム用磁気シールド仕切構造体 ９ パネルユニット １０ パネルユニット １１ 磁気シールドパネル １２ 一側の合板（パネル本体） １３ 他側の合板（パネル本体） １４ 一側のクリーンルーム用内装仕上材 １５ 他側のクリーンルーム用内装仕上材 １６ 隙間 １７ 磁気シールドパッチ １９ 化粧板

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気シールドパネルと、 この磁気シールドパネルの両側面にそれぞれ固着されて
   磁気シールドパネルを挟持するパネル本体と、 各パネル本体の外側面にそれぞれ固着されたクリーンル
   ーム用内装仕上材とを備えていることを特徴とするクリ
   ーンルーム用磁気シールド仕切構造体。
2. 【請求項２】 磁気シールドパネルの両側面にそれぞれ
   パネル本体を固着して挟持し、さらに、一側のパネル本
   体の外側面に、一側のクリーンルーム用内装仕上材を固
   着するとともに他側のパネル本体の外側面に他側のクリ
   ーンルーム用内装仕上材を固着してなるパネルユニット
   を、連続するように隣接して配置し、 隣接する一側のパネル本体及び一側のクリーンルーム用
   内装仕上材の各端面間に隙間をそれぞれ形成し、 隣接する磁気シールドパネルの端面付近の一側面上に磁
   気シールドパッチを重ねて固着し、 隣接する一側のクリーンルーム用内装仕上材の隙間に化
   粧板を埋め込んで固着したことを特徴とするクリーンル
   ーム用磁気シールド仕切構造体。