JPH06104161A - レイヤ自動生成装置およびｅｂカット処理装置 - Google Patents
レイヤ自動生成装置およびｅｂカット処理装置Info
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- JPH06104161A JPH06104161A JP4251302A JP25130292A JPH06104161A JP H06104161 A JPH06104161 A JP H06104161A JP 4251302 A JP4251302 A JP 4251302A JP 25130292 A JP25130292 A JP 25130292A JP H06104161 A JPH06104161 A JP H06104161A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体のレイアウトパターンデータを入力し
てレイヤを自動生成したりＥＢカット処理によってフォ
トマスク描画装置への出力データを作成する際、一度に
作成する中間データの量を減少できるレイヤ自動生成装
置およびＥＢカット処理装置を得る。 【構成】 レイヤ自動生成処理を行う場合、自動生成用
中間データ作成時に、中間データを一度に作成するか分
割して作成するかを制御する自動生成用中間データ作成
制御部２ｄを備えたものである。 【効果】 レイヤ自動生成装置およびＥＢカット処理装
置のディスク容量を小さくできる。
てレイヤを自動生成したりＥＢカット処理によってフォ
トマスク描画装置への出力データを作成する際、一度に
作成する中間データの量を減少できるレイヤ自動生成装
置およびＥＢカット処理装置を得る。 【構成】 レイヤ自動生成処理を行う場合、自動生成用
中間データ作成時に、中間データを一度に作成するか分
割して作成するかを制御する自動生成用中間データ作成
制御部２ｄを備えたものである。 【効果】 レイヤ自動生成装置およびＥＢカット処理装
置のディスク容量を小さくできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体のレイアウト
パターンデータを図形演算処理手法を用いてレイヤ自動
生成するレイヤ自動生成装置、およびフォトマスク描画
装置への入力データに変換するＥＢカット処理装置に関
するものである。
パターンデータを図形演算処理手法を用いてレイヤ自動
生成するレイヤ自動生成装置、およびフォトマスク描画
装置への入力データに変換するＥＢカット処理装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は従来のレイヤ自動生成装置および
ＥＢカット処理装置の構成を示すブロック図である。図
において、１は処理内容を入力するパラメータ入力部、
２は自動生成処理部で、入力されたパラメータに従って
自動生成処理の制御を行う自動生成制御部２ａ、パター
ンデータのサイジング処理，論理和・論理積などの図形
演算処理などを行う自動生成演算部２ｂ、および自動生
成用の中間データを作成する自動生成用中間データ作成
部２ｃからなる。３は不要になった中間データを消去す
るデータ消去制御部である。４はＥＢカット処理部で、
入力されたパラメータに従ってＥＢカット処理の制御を
行うＥＢカット処理制御部４ａ、パターンデータをＥＢ
データへ変換するＥＢデータ変換部４ｂ、およびＥＢカ
ット処理用の中間データを作成するＥＢカット処理用中
間データ作成部４ｃからなる。５は入力データを記憶す
る入力データ記憶部、６は中間データを記憶する中間デ
ータ記憶部、７は出力データを記憶する出力データ記憶
部、８は各記憶部に対してデータを読み書きするデータ
リードライト部である。
ＥＢカット処理装置の構成を示すブロック図である。図
において、１は処理内容を入力するパラメータ入力部、
２は自動生成処理部で、入力されたパラメータに従って
自動生成処理の制御を行う自動生成制御部２ａ、パター
ンデータのサイジング処理，論理和・論理積などの図形
演算処理などを行う自動生成演算部２ｂ、および自動生
成用の中間データを作成する自動生成用中間データ作成
部２ｃからなる。３は不要になった中間データを消去す
るデータ消去制御部である。４はＥＢカット処理部で、
入力されたパラメータに従ってＥＢカット処理の制御を
行うＥＢカット処理制御部４ａ、パターンデータをＥＢ
データへ変換するＥＢデータ変換部４ｂ、およびＥＢカ
ット処理用の中間データを作成するＥＢカット処理用中
間データ作成部４ｃからなる。５は入力データを記憶す
る入力データ記憶部、６は中間データを記憶する中間デ
ータ記憶部、７は出力データを記憶する出力データ記憶
部、８は各記憶部に対してデータを読み書きするデータ
リードライト部である。
【０００３】次に動作について図９のフローチャートに
従って説明する。まず、パラメータ入力部１から処理パ
ラメータを入力する（Ｓ１）。入力したパラメータが自
動生成処理かＥＢカット処理かを判断し（Ｓ２）、自動
生成処理ならば、自動生成処理部２において自動生成用
中間データ作成部２ｃが入力データ記憶部５に記憶され
ているすべてのパターンデータを読み込み（Ｓ３）、自
動生成用中間データを作成し（Ｓ４）中間データ記憶部
６に記憶する（Ｓ５）。ここで、たとえば入力パターン
データにセルＡとセルＢとがあってセルＢはセルＡが１
００個並んだものとすると、入力データはセルＡを示す
座標データおよびセルＢに含まれる１００個のセルＡの
それぞれの基準座標データとして表される。このとき作
成される自動生成用中間データは、セルＡとセルＢとの
階層関係をはずした１０１個分のセルＡを示す座標デー
タとして表される。次に、中間データ記憶部６に記憶さ
れた自動生成用中間データをデータリードライト部８を
通して読み込んで（Ｓ６）、自動生成演算部２ｂがパタ
ーンデータのサイジング処理，論理和・論理積などの自
動生成処理を行う（Ｓ７）。自動生成処理されたデータ
はデータリードライト部８を通して出力データ記憶部７
に記憶され（Ｓ８）、不要となった自動生成用中間デー
タはデータ消去制御部３によって消去される（Ｓ９）。
ＥＢカット処理の場合（Ｓ２でＥＢカット処理のとき）
も、自動生成処理と同様にしてＥＢカット処理用中間デ
ータを作成し、すべてのＥＢカット処理用中間データに
対してＥＢデータ変換処理を行った後、すべての中間デ
ータを消去する（Ｓ１０〜Ｓ１６）。
従って説明する。まず、パラメータ入力部１から処理パ
ラメータを入力する（Ｓ１）。入力したパラメータが自
動生成処理かＥＢカット処理かを判断し（Ｓ２）、自動
生成処理ならば、自動生成処理部２において自動生成用
中間データ作成部２ｃが入力データ記憶部５に記憶され
ているすべてのパターンデータを読み込み（Ｓ３）、自
動生成用中間データを作成し（Ｓ４）中間データ記憶部
６に記憶する（Ｓ５）。ここで、たとえば入力パターン
データにセルＡとセルＢとがあってセルＢはセルＡが１
００個並んだものとすると、入力データはセルＡを示す
座標データおよびセルＢに含まれる１００個のセルＡの
それぞれの基準座標データとして表される。このとき作
成される自動生成用中間データは、セルＡとセルＢとの
階層関係をはずした１０１個分のセルＡを示す座標デー
タとして表される。次に、中間データ記憶部６に記憶さ
れた自動生成用中間データをデータリードライト部８を
通して読み込んで（Ｓ６）、自動生成演算部２ｂがパタ
ーンデータのサイジング処理，論理和・論理積などの自
動生成処理を行う（Ｓ７）。自動生成処理されたデータ
はデータリードライト部８を通して出力データ記憶部７
に記憶され（Ｓ８）、不要となった自動生成用中間デー
タはデータ消去制御部３によって消去される（Ｓ９）。
ＥＢカット処理の場合（Ｓ２でＥＢカット処理のとき）
も、自動生成処理と同様にしてＥＢカット処理用中間デ
ータを作成し、すべてのＥＢカット処理用中間データに
対してＥＢデータ変換処理を行った後、すべての中間デ
ータを消去する（Ｓ１０〜Ｓ１６）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のレイヤ自動生成
装置およびＥＢカット処理装置は以上のように構成され
ているので、自動生成処理用またはＥＢカット処理用中
間データを一度に作成し処理するため、一度にできる中
間データの量が大きくなるなどの問題点があった。
装置およびＥＢカット処理装置は以上のように構成され
ているので、自動生成処理用またはＥＢカット処理用中
間データを一度に作成し処理するため、一度にできる中
間データの量が大きくなるなどの問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、中間データをセル単位で分割し
て作成し、一度にできる中間データの量を減少させるこ
とができるレイヤ自動生成装置およびＥＢカット処理装
置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、中間データをセル単位で分割し
て作成し、一度にできる中間データの量を減少させるこ
とができるレイヤ自動生成装置およびＥＢカット処理装
置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレイヤ自
動生成装置およびＥＢカット処理装置は、中間データを
一度に作成するかセル単位に分割して作成するかを制御
する自動生成用中間データ作成制御部を備えたものであ
る。また、ＥＢカット処理装置においては、セル単位に
分割して作成する場合にセル間の階層関係を示すセルプ
レイス情報を記憶するセル記憶部、およびＥＢカット処
理の後、上記セル記憶部に記憶されているセルプレイス
情報をもとにセル展開を行うセル階層展開部をも備えて
いる。
動生成装置およびＥＢカット処理装置は、中間データを
一度に作成するかセル単位に分割して作成するかを制御
する自動生成用中間データ作成制御部を備えたものであ
る。また、ＥＢカット処理装置においては、セル単位に
分割して作成する場合にセル間の階層関係を示すセルプ
レイス情報を記憶するセル記憶部、およびＥＢカット処
理の後、上記セル記憶部に記憶されているセルプレイス
情報をもとにセル展開を行うセル階層展開部をも備えて
いる。
【０００７】
【作用】この発明における自動生成用中間データ作成制
御部の命令により、パターンデータがセル単位に分割し
て入力され、自動生成用中間データが分割されて作成さ
れる。また、ＥＢカット処理用中間データ作成制御部の
命令により、パターンデータがセルごとに分割して入力
され、ＥＢカット処理用中間データが分割されて作成さ
れる。
御部の命令により、パターンデータがセル単位に分割し
て入力され、自動生成用中間データが分割されて作成さ
れる。また、ＥＢカット処理用中間データ作成制御部の
命令により、パターンデータがセルごとに分割して入力
され、ＥＢカット処理用中間データが分割されて作成さ
れる。
【０００８】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、図８のものと同一または相当部分
には同一の符号を付してその説明を省略する。２ｄは中
間データを一度に作成するか分割して作成するかを制御
し、中間データ分割時のデータ管理を行う自動生成用中
間データ作成制御部である。
する。図１において、図８のものと同一または相当部分
には同一の符号を付してその説明を省略する。２ｄは中
間データを一度に作成するか分割して作成するかを制御
し、中間データ分割時のデータ管理を行う自動生成用中
間データ作成制御部である。
【０００９】次に動作について図２および図３のフロー
チャートを参照しながら説明する。まず処理パラメータ
を入力し（Ｓ１）、処理内容が自動生成処理かＥＢカッ
ト処理かを判断する（Ｓ２）。ＥＢカット処理ならば従
来と同様の処理（Ｓ１０〜Ｓ１６）を行う。自動生成処
理ならば、処理内容がサイジング処理か否かを判断し
（Ｔ１）、サイジング処理でないならばこの場合も従来
と同様の処理（Ｓ３〜Ｓ９）を行う。ここでサイジング
処理とは、パターンデータを構成しているセルごとにそ
れがもつ各データを例えば定数倍する処理で、複数のセ
ルどうしの演算処理、たとえば論理和，論理積等は含ま
れない。サイジング処理であれば、自動生成用中間デー
タ作成制御部２ｄの命令により、入力データ記憶部５か
らパターンデータをデータリードライト部８を通して、
指定量だけ読み込む（Ｔ２）。この指定量とは例えば入
力データの１／４という形で与えられており、また読み
込みはパターンデータを構成しているセル単位に行われ
るため、入力データの１／４を読み込んだ時点でセルデ
ータの途中である場合は、そのセルデータの終了部分ま
で読み込むようにする（Ｔ３〜Ｔ４）。自動生成用中間
データ作成制御部２ｄは、読み込んだパターンデータの
最後の部分を記憶しておく（Ｔ５）。
チャートを参照しながら説明する。まず処理パラメータ
を入力し（Ｓ１）、処理内容が自動生成処理かＥＢカッ
ト処理かを判断する（Ｓ２）。ＥＢカット処理ならば従
来と同様の処理（Ｓ１０〜Ｓ１６）を行う。自動生成処
理ならば、処理内容がサイジング処理か否かを判断し
（Ｔ１）、サイジング処理でないならばこの場合も従来
と同様の処理（Ｓ３〜Ｓ９）を行う。ここでサイジング
処理とは、パターンデータを構成しているセルごとにそ
れがもつ各データを例えば定数倍する処理で、複数のセ
ルどうしの演算処理、たとえば論理和，論理積等は含ま
れない。サイジング処理であれば、自動生成用中間デー
タ作成制御部２ｄの命令により、入力データ記憶部５か
らパターンデータをデータリードライト部８を通して、
指定量だけ読み込む（Ｔ２）。この指定量とは例えば入
力データの１／４という形で与えられており、また読み
込みはパターンデータを構成しているセル単位に行われ
るため、入力データの１／４を読み込んだ時点でセルデ
ータの途中である場合は、そのセルデータの終了部分ま
で読み込むようにする（Ｔ３〜Ｔ４）。自動生成用中間
データ作成制御部２ｄは、読み込んだパターンデータの
最後の部分を記憶しておく（Ｔ５）。
【００１０】自動生成用中間データ作成部２ｃは、分割
して読み込んだパターンデータをもとに自動生成用中間
データを作成し（Ｔ６）、中間データ記憶部６に記憶す
る（Ｔ７）。自動生成演算部２ｂは分割して作成された
自動生成用中間データを読み込んで（Ｔ８）、サイジン
グ処理を行う（Ｔ９）。サイジング処理後のデータは、デ
ータリードライト部８を通して出力データ記憶部７に記
憶され（Ｔ１０）、不要となった自動生成用中間データ
はデータ消去制御部３によって消去される（Ｔ１１）。
最後に、自動生成用中間データ作成制御部２ｄが記憶し
ていた入力データの最後の部分をもとにパターンデータ
をすべて入力したかを判断し（Ｔ１２）、入力していな
いならば、入力データの続きから同様にパターンデータ
の１／４の量を読み込み、上記Ｔ２〜Ｔ１２の処理を繰
り返す。すべてのパターンデータを入力したならば、全
処理を終了する。以上の処理により、一度に作成される
中間データの量を減少することが可能となる。
して読み込んだパターンデータをもとに自動生成用中間
データを作成し（Ｔ６）、中間データ記憶部６に記憶す
る（Ｔ７）。自動生成演算部２ｂは分割して作成された
自動生成用中間データを読み込んで（Ｔ８）、サイジン
グ処理を行う（Ｔ９）。サイジング処理後のデータは、デ
ータリードライト部８を通して出力データ記憶部７に記
憶され（Ｔ１０）、不要となった自動生成用中間データ
はデータ消去制御部３によって消去される（Ｔ１１）。
最後に、自動生成用中間データ作成制御部２ｄが記憶し
ていた入力データの最後の部分をもとにパターンデータ
をすべて入力したかを判断し（Ｔ１２）、入力していな
いならば、入力データの続きから同様にパターンデータ
の１／４の量を読み込み、上記Ｔ２〜Ｔ１２の処理を繰
り返す。すべてのパターンデータを入力したならば、全
処理を終了する。以上の処理により、一度に作成される
中間データの量を減少することが可能となる。
【００１１】実施例２．なお、上記実施例１では自動生
成用中間データを分割して作成する例を示したが、ＥＢ
カット処理用中間データを分割して作成するようにして
もよい。図４は実施例２による装置を示すブロック図で
あり、図８のものと同一または相当部分には同一の符号
を付して説明を省略する。４ｄは変換されたＥＢデータ
をセル階層を示すセルプレイス情報をもとに展開するセ
ル階層展開部、４ｅはＥＢカット処理用中間データを一
度に作成するか分割して作成するかを制御するＥＢカッ
ト処理用中間データ作成制御部、９はセル展開前のセル
ごとの階層を示すセルプレイス情報を記憶するセル記憶
部である。
成用中間データを分割して作成する例を示したが、ＥＢ
カット処理用中間データを分割して作成するようにして
もよい。図４は実施例２による装置を示すブロック図で
あり、図８のものと同一または相当部分には同一の符号
を付して説明を省略する。４ｄは変換されたＥＢデータ
をセル階層を示すセルプレイス情報をもとに展開するセ
ル階層展開部、４ｅはＥＢカット処理用中間データを一
度に作成するか分割して作成するかを制御するＥＢカッ
ト処理用中間データ作成制御部、９はセル展開前のセル
ごとの階層を示すセルプレイス情報を記憶するセル記憶
部である。
【００１２】次に動作について図７のフローチャートを
参照しながら説明する。まず処理パラメータを入力し
（Ｓ１）、処理の内容が自動生成処理かＥＢカット処理
かを判断して（Ｓ２）、自動生成処理ならば従来と同様
の処理を行う（Ｓ３〜Ｓ９）。ＥＢカット処理ならば、
実施例１と同様、パターンデータを指定量だけ読み込む
が、そのデータがセルデータの途中なら終了部分まで読
み込む（Ｕ１〜Ｕ３）。ＥＢカット処理用中間データ作
成制御部４ｅは読み込んだ最後の部分を記憶しておく
（Ｕ４）。また、セル階層展開部４ｄは、読み込んだパ
ターンデータの中にセルプレイス情報があれば、プレイ
スされているセル名，プレイスしているセル名，角度，
ＭＡＧなどのプレイス情報をセル記憶部９に記憶する
（Ｕ５）。図５に示す例では、セルＡＡにセルＢＢが
（１，１）（３，１）の座標で角度０，反転なし，ＭＡ
Ｇ１でセルプレイスされていると記憶する。ＥＢカット
処理用中間データ作成部４ｃは入力したパターンデータ
をもとに中間データを作成し、中間データ記憶部６に記
憶する（Ｕ６〜Ｕ７）。ＥＢデータ変換部４ｂは作成さ
れた中間データを読み込んで、セルごとにＥＢデータ変
換処理を行い、出力データ記憶部７に記憶する（Ｕ８〜
Ｕ１０）。ここで、不要となったＥＢカット処理用中間
データをデータ消去制御部３によって消去する（Ｕ１
１）。すべてのパターンデータ入力が終了していないな
らば（Ｕ１２でＮＯのとき）上記の処理を繰り返す。
参照しながら説明する。まず処理パラメータを入力し
（Ｓ１）、処理の内容が自動生成処理かＥＢカット処理
かを判断して（Ｓ２）、自動生成処理ならば従来と同様
の処理を行う（Ｓ３〜Ｓ９）。ＥＢカット処理ならば、
実施例１と同様、パターンデータを指定量だけ読み込む
が、そのデータがセルデータの途中なら終了部分まで読
み込む（Ｕ１〜Ｕ３）。ＥＢカット処理用中間データ作
成制御部４ｅは読み込んだ最後の部分を記憶しておく
（Ｕ４）。また、セル階層展開部４ｄは、読み込んだパ
ターンデータの中にセルプレイス情報があれば、プレイ
スされているセル名，プレイスしているセル名，角度，
ＭＡＧなどのプレイス情報をセル記憶部９に記憶する
（Ｕ５）。図５に示す例では、セルＡＡにセルＢＢが
（１，１）（３，１）の座標で角度０，反転なし，ＭＡ
Ｇ１でセルプレイスされていると記憶する。ＥＢカット
処理用中間データ作成部４ｃは入力したパターンデータ
をもとに中間データを作成し、中間データ記憶部６に記
憶する（Ｕ６〜Ｕ７）。ＥＢデータ変換部４ｂは作成さ
れた中間データを読み込んで、セルごとにＥＢデータ変
換処理を行い、出力データ記憶部７に記憶する（Ｕ８〜
Ｕ１０）。ここで、不要となったＥＢカット処理用中間
データをデータ消去制御部３によって消去する（Ｕ１
１）。すべてのパターンデータ入力が終了していないな
らば（Ｕ１２でＮＯのとき）上記の処理を繰り返す。
【００１３】すべてのパターンデータの入力、ＥＢデー
タ変換が終了したならば（Ｕ１２でＹＥＳのとき）、セ
ル階層展開部４ｄはセル記憶部９に記憶されたセルプレ
イス情報を参照しながらＥＢデータの階層展開処理を行
う（Ｕ１３〜Ｕ１４）。このとき、一番下（元となる）
のセルから展開していく。図５の例でいえばセルＡＡに
セルＢＢを展開することになり、その結果を図６に示
す。処理が終了するごとに、不要となったセルプレイス
情報をデータ消去制御部３によって消去する（Ｕ１
５）。すべてのセル展開を行ったあと全処理を終了する
（Ｕ１６）。以上の処理により、本例においても一度に
作成される中間データの量を減少することができる。
タ変換が終了したならば（Ｕ１２でＹＥＳのとき）、セ
ル階層展開部４ｄはセル記憶部９に記憶されたセルプレ
イス情報を参照しながらＥＢデータの階層展開処理を行
う（Ｕ１３〜Ｕ１４）。このとき、一番下（元となる）
のセルから展開していく。図５の例でいえばセルＡＡに
セルＢＢを展開することになり、その結果を図６に示
す。処理が終了するごとに、不要となったセルプレイス
情報をデータ消去制御部３によって消去する（Ｕ１
５）。すべてのセル展開を行ったあと全処理を終了する
（Ｕ１６）。以上の処理により、本例においても一度に
作成される中間データの量を減少することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、中間
データをセル単位に分割して作成できるように構成した
ので、一度にできる中間データの量を減少できるという
効果がある。
データをセル単位に分割して作成できるように構成した
ので、一度にできる中間データの量を減少できるという
効果がある。
【図１】この発明の実施例１によるレイヤ自動生成，Ｅ
Ｂカット処理装置を示すブロック図である。
Ｂカット処理装置を示すブロック図である。
【図２】実施例１による動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】図２のフローチャートに続く処理を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図４】この発明の実施例２によるレイヤ自動生成，Ｅ
Ｂカット処理装置を示すブロック図である。
Ｂカット処理装置を示すブロック図である。
【図５】セルのレイアウトデータ図の例を示す図であ
る。
る。
【図６】図５のセルデータを階層展開した結果を示すＥ
Ｂデータ図である。
Ｂデータ図である。
【図７】実施例２による動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図８】従来の装置を示すブロック図である。
【図９】従来装置による動作を示すフローチャートであ
る。
る。
１ パラメータ入力部 ２ 自動生成処理部 ２ａ 自動生成制御部 ２ｂ 自動生成演算部 ２ｃ 自動生成用中間データ作成部 ２ｄ 自動生成用中間データ作成制御部 ３ データ消去制御部 ４ ＥＢカット処理部 ４ａ ＥＢカット処理制御部 ４ｂ ＥＢデータ変換部 ４ｃ ＥＢカット用中間データ作成部 ４ｄ セル階層展開部 ４ｅ ＥＢカット処理用中間データ作成制御部 ５ 入力データ記憶部 ６ 中間データ記憶部 ７ 出力データ記憶部 ８ データリードライト部 ９ セル記憶部
Claims (2)
- 【請求項１】 単数または複数のセルからなる半導体の
レイアウトパターンデータを入力するパターンデータ入
力部、入力したデータをもとにレイヤ自動生成用の中間
データを作成する中間データ作成部、中間データをもと
にサイジング処理，論理和・論理積等の図形演算を行っ
てレイヤデータを自動生成する出力データ作成部、およ
び不要となった上記中間データを消去する中間データ消
去部を備えたレイヤ自動生成装置において、 サイジング処理を行う場合、中間データを一度に作成す
るかセル単位に分割して作成するかを制御する自動生成
用中間データ作成制御部を備え、一度に作成される中間
データ量を減少可能としたことを特徴とするレイヤ自動
生成装置。 - 【請求項２】 単数または複数のセルからなる半導体の
レイアウトパターンデータを入力するパターンデータ入
力部、入力したデータをもとにＥＢカット処理用の中間
データを作成する中間データ作成部、中間データをもと
にＥＢカット処理を行ってフォトマスク描画装置への出
力データを作成する出力データ作成部、および不要とな
った上記中間データを消去する中間データ消去部を備え
たＥＢカット処理装置において、 中間データを一度に作成するかセル単位に分割して作成
するかを制御するＥＢカット処理用中間データ作成制御
部と、セル単位に分割して作成する場合にセル間の階層
関係を示すセルプレイス情報を記憶するセル記憶部、お
よびＥＢカット処理の後、上記セル記憶部に記憶されて
いるセルプレイス情報をもとにセル展開を行うセル階層
展開部とを備え、一度に作成される中間データ量を減少
可能としたことを特徴とするＥＢカット処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4251302A JPH06104161A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | レイヤ自動生成装置およびｅｂカット処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4251302A JPH06104161A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | レイヤ自動生成装置およびｅｂカット処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104161A true JPH06104161A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17220789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4251302A Pending JPH06104161A (ja) | 1992-09-21 | 1992-09-21 | レイヤ自動生成装置およびｅｂカット処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104161A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6543039B1 (en) | 1998-09-29 | 2003-04-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of designing integrated circuit and apparatus for designing integrated circuit |
| JP2009516876A (ja) * | 2005-11-21 | 2009-04-23 | ソフトジン・テクノロジーズ・プライヴェイト・リミテッド | レイアウト後ｅｄａアプリケーションを開発するための方法およびシステム |
-
1992
- 1992-09-21 JP JP4251302A patent/JPH06104161A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6543039B1 (en) | 1998-09-29 | 2003-04-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of designing integrated circuit and apparatus for designing integrated circuit |
| US6993728B2 (en) | 1998-09-29 | 2006-01-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of designing integrated circuit and apparatus for designing integrated circuit |
| JP2009516876A (ja) * | 2005-11-21 | 2009-04-23 | ソフトジン・テクノロジーズ・プライヴェイト・リミテッド | レイアウト後ｅｄａアプリケーションを開発するための方法およびシステム |
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