JP2611423B2 - 処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体露光装置上でのマスク合わせに必要
なマスク合わせマークの自動配置とダイシングラインの
自動生成とを同時に行なう処理装置に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

第４図はダイシングライン上の一部にマスク合わせマ
ークを配置した正面図である。

図において、14はマスク合わせマーク、15はダイシン
グラインである。

通常、半導体チップ上に配置するマスク合わせマーク
の配置位置は、露光装置の配置基準により決定される。
従って、作成者がダイシングライン15上にマスク合わせ
マーク14を配置する場合は、チップ作成毎にチップサイ
ズより露光装置の配置基準に従いマスク合わせマーク位
置を算出し、予め用意されたマスク合わせマークをレイ
アウト編集装置上で配置していた。

また、ダイシングラインデータを別に作成し、マーク
が配置される領域に存在するダイシングラインデータを
予め除去してマークを配置していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら従来の方法では、チップサイズが変わる
毎にマスク合わせマークの配置位置の計算，配置及びマ
スク合わせマークを配置する領域内に存在するダイシン
グラインレイアウト情報の除去をやり直さなくてはなら
なかった。このため、作成に要する作業量が非常に多く
なり、開発工期にも少なからず影響を与えていた。ま
た、配置ミスやダイシングライン作成ミスを起こし易い
欠点があった。

本発明は上記の欠点を解消するためになされたもの
で、作成者のチップに関する入力情報に基づいて、マス
ク合わせマークの配置位置の計算，マスク合わせマーク
の配置，マークを配置しない領域にダイシングラインを
生成するに必要なレイアウト情報を作成するという一連
の作業を効率よく高品質に実施できる処理装置を得るこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る処理装置は、入力されたチップサイズ値
に基づいて予め登録した配置ルール及びダイシングライ
ン生成ルール情報に従ってマスク合わせマークの位置座
標とマーク周辺のダイシングラインを多角形に分割する
頂点座標とを算出する算出手段と、この算出手段により
算出されたマスク合わせマークの位置座標と予め登録さ
れたマークセルライブラリ内の情報とからマークデータ
配置を行なう配置手段と、算出手段により算出されたマ
ーク周辺の頂点座標とダイシングライン生成ルール情報
とからダイシングラインを生成する生成手段と、配置手
段のデータと生成手段のデータより、マークが配置され
たダイシングラインレイアウトデータ及びマーク座標と
を出力する出力手段とを備えている。

〔作 用〕

チップに関する入力情報に基づいて、マスク合わせマ
ークの位置座標とマーク周辺の座標の計算，マークデー
タ配置，ダイシングラインを生成し、マークが配置され
たダイシングラインレイアウトデータ及びマーク座標と
を出力する。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。第１
図は本発明の一実施例を示す処理装置の構成図である。

図において、１は「かな」キー，「ファンクション」
キー等を備えたキーボード、２は制御部である。また、
３は配置ルール及びダイシングライン生成ルールファイ
ルを格納したメモリ、４はマーク位置及びマーク周辺座
標計算手段（以下、計算手段という）、５はマスク合わ
せマーク位置座標ファイルを格納したメモリ、６はダイ
シングライン頂点座標ファイルを格納したメモリ、７は
マークデータ配置手段、８はマークセルライブラリを格
納したメモリ、９はマークレイアウト情報ファイルを格
納したメモリ、10はダイシングライン生成手段、11はダ
イシングラインレイアウト情報ファイルを格納したメモ
リ、12はマークを含むダイシングラインデータ生成手段
（出力手段）、13はマークを含むダイシングラインレイ
アウトファイルを格納するメモリである。

次に、本実施例の動作について説明する。まず、作成
者はキーボードによりチップサイズ値等のチップに関す
る情報を計算手段４に入力する。ここで、計算手段４は
キーボード１から入力されたチップサイズ値等のチップ
に関する情報から必要とする配置ルール及びダイシング
ライン生成ルールをメモリ３から選択する。次に、計算
手段４は上記２つのルールに書き込まれた処理を実行す
ることにより、マスク合わせマーク位置座標及びマーク
周辺の多角形に分割されたダイシングライン頂点座標を
計算し、それぞれメモリ５及びメモリ６に格納する。次
に、マークデータ配置手段７は、メモリ５に格納された
マスク合わせマーク位置座標ファイル及びメモリ８に既
に格納されたマークセルライブラリにより、マークレイ
アウト情報を出力してメモリ９に格納する。また、ダイ
シングライン生成手段10は、既にメモリ６に格納されて
いるダイシングライン頂点ファイルにダイシングライン
レイヤデータを付加することにより、ダイシングライン
部のレイアウト情報をメモリ11に格納する。そして、マ
ークを含むダイシングラインレイアウトデータ生成手段
12は、メモリ９に格納されたマークレイアウト情報ファ
イルとメモリ11に格納したダイシングラインレイアウト
情報ファイルとを合成することにより、マークが配置さ
れたレイアウトデータをメモリ13に出力する。

次に、第２図は第１図に示す計算手段４の動作を示し
たフローチャートである。ここでは、ダイシングライン
を多角形に分割する頂点座標算出処理方法について説明
する。

また、第３図はダイシングライン部を四角形に分割す
る場合を示す説明図である。図において、第４図と同様
に15はダイシングラインを示しており、14はダイシング
ライン内に設けられたマスク合わせマークを示してい
る。

さて、第２図に示すように計算処理が開始されると、
メモリ５に格納されたマーク位置座標ファイル及び別に
入力されたマークセルサイズ，ダイシングライン幅を基
に、第３図に示すようにマスク合わせマーク14を除いた
ダイシングライン領域を四角形に分割する（ステップ2
1,22）。これにより、分割された四角形の頂点座標は、
それぞれマークセルサイズ，マーク配置座標，ダイシン
グライン幅より第３図のように算出される（ステップ2
3）。

このように本実施例における処理装置は、作成者の入
力情報を基に配置規則にあったマスク合わせマークの配
置及びダイシングライン部の自動生成を行なうので、作
業の手間が短縮され、マークの配置ミス又はダイシング
ライン生成ミスがなくなるという効果を有する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、チップに関する入力情
報に基づいて、マスク合わせマークの位置座標とマーク
周辺の座標の計算，マークデータ配置，ダイシングライ
ンを生成することにより、マークが配置されたダイシン
グラインデータ及びマーク座標とを出力するため、作業
の手間が短縮され、マークの配置ミス又はダイシングラ
イン生成ミスをなくすことができるなど優れた効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す処理装置の構成図、第
２図は第１図に示すマーク位置及びマーク周辺座標計算
手段４の動作を示したフローチャート、第３図はダイシ
ングライン部を四角形に分割する場合を示す説明図、第
４図はダイシングライン上の一部にマスク合わせマーク
を配置した正面図である。 １……キーボード、２……制御部、４……マーク位置及
びマーク周辺座標計算手段、７……マークデータ配置手
段、10……ダイシングライン生成手段、12はマークを含
むダイシングラインデータ生成手段。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】マスク合わせマークをダイシングライン上
   に配置するためのデータ処理を行なう処理装置におい
   て、 入力されたチップサイズ値に基づいて、予め登録した配
   置ルール及びダイシングライン生成ルール情報に従っ
   て、マスク合わせマークの位置座標とマーク周辺のダイ
   シングラインを多角形に分割する頂点座標とを算出する
   算出手段と、 この算出手段により算出されたマスク合わせマークの位
   置座標と予め登録されたマークセルライブラリ内の情報
   とからマークデータ配置を行なう配置手段と、 前記算出手段により算出されたマーク周辺の頂点座標と
   前記ダイシングライン生成ルール情報とからダイシング
   ラインを生成する生成手段と、 前記配置手段のデータと前記生成手段のデータより、マ
   ークが配置されたダイシングラインレイアウトデータ及
   びマーク座標を出力する出力手段と を備えたことを特徴とする処理装置。