JPH02267930A - 処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体露光装置上でのマスク合わせに必要な
マスク合わせマークの自動配置とダイシングラインの自
動生成とを同時に行なう処理装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図はダイシングライン上の一部にマスク合わせマー
クを配置した正面図である。

図において、１４はマスク合わせマーク、１５はダイシ
ングラインである。

通常、半導体チップ上に配置するマスク合わせマークの
配置位置は、露光装置の配置基準により決定される。従
って、作成者がダイシングライン１５上にマスク合わせ
マーク１４を配置する場合は、チップ作成毎にチップサ
イズより露光装置の配置基準に従いマスク合わせマーク
位置を算出し、予め用意されたマスク合わせマークをレ
イアウト編集装置上で配置していた。

また、ダイシングラインデータを別に作成し、マークが
配置される領域に存在するダイシングラインデータを予
め除去してマークを配置していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら従来の方法では、チップサイズが変わる毎
にマスク合わせマークの配置位置の計算。

配置及びマスク合わせマークを配置する領域内に存在す
るダイシングラインレイアウト情報の除去をやり直さな
くてはならなかった。このため、作成に要する作業量が
非常に多くなり、開発工期にも少なからず影響を与えて
いた。また、配置ミスやダイシングライン作成ミスを起
こし易い欠点があった。

本発明は上記の欠点を解消するためになされたもので、
作成者のチップに関する入力情報に基づいて、マスク合
わせマークの配置位置の計算、マスク合わせマークの配
置、マークを配置しない領域にダイシングラインを生成
するに必要なレイアウト情報を作成するという一連の作
業を効率よく高品質に実施できる処理装置を得ることを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る処理装置は、人力されたチップサイズ値に
基づいて予め登録した配置ルール及びダイシングライン
生成ルール情報に従ってマスク合わせマークの位置座標
とマーク周辺座標とを算出する算出手段と、この算出手
段により算出されたマスク合わせマーク位置座標と予め
登録されたマークセルライブラリ内の情報とからマーク
データ配置を行なう配置手段と、算出手段により算出さ
れたマーク周辺座標とダイシングライン生成ルール情報
とからダイシングラインを生成する生成手段と、配置手
段のデータと生成手段のデータより、マークが配置され
たダイシングラインレイアウトデータ及びマーク座標と
を出力する出力手段とを備えている。

〔作　用〕

チップに関する入力情報に基づいて、マスク合わせマー
クの位置座標とマーク周辺の座標の計算。

マークデータ配置、ダイシングラインを生成し、マーク
が配置されたダイシングラインレイアウトデータ及びマ
ーク座標とを出力する。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す処理装置の構成図であ
る。

図において、１は「かな」キー、「ファンクションフキ
−等を備えたキーボード、２は制御部である。また、３
は配置ルール及びダイシングライン生成ルールファイル
を格納したメモリ、４はマーク位置及びマーク周辺座標
計算手段（以下、計算手段という）、５はマスク合わせ
マーク位１座標ファイルを格納したメモリ、６はダイシ
ングライン頂点座標ファイルを格納したメモリ、７はマ
ークデータ配置手段、８はマークセルライブラリを格納
したメモリ、９はマークレイアウト情報ファイルを格納
したメモリ、１０はダイシングライン生成手段、１１は
ダイシングラインレイアウト情報ファイルを格納したメ
モリ、１２はマークを含むダイシングラインデータ生成
手段（出力手段）、１３はマークを含むダイシングライ
ンレイアウトファイルを格納するメモリである。

次に、本実施例の動作について説明する。まず、作成者
はキーボードによりチップサイズ値等のチップに関する
情報を計算手段４に入力する。ここで、計算手段４はキ
ーボード１から入力されたチップサイズ値等のチップに
関する情報から必要とする配置ルール及びダイシングラ
イン生成ルールをメモリ３から選択する。次に、計算手
段４は上記２つのルールに書き込まれた処理を実行する
ことにより、マスク合わせマーク位置座標及びマーク周
辺の多角形に分割されたダイシングライン頂点座標を計
算し、それぞれメモリ５及びメモリ６に格納する。次に
、マークデータ配置手段７は、メモリ５に格納されたマ
スク合わせマーク位置座標ファイル及びメモリ８に既に
格納されたマークセルライブラリにより、マークレイア
ウト情報を出力してメモリ９に格納する。また、ダイシ
ングライン生成手段１０は、既にメモリ６に格納されて
いるダイシングライン頂点ファイルにダイシングライン
レイヤデータを付加することにより、ダイシングライン
部のレイアウト情報をメモリ１１に格納する。そして、
マークを含むダイシングラインレイアウトデータ生成手
段１２は、メモリ９に格納されたマークレイアウト情報
ファイルとメモリ１１に格納したダイシングラインレイ
アウト情報ファイルとを合成することにより、マークが
配置されたレイアウトデータをメモリ１３に出力する。

次に、第２図は第１図に示す計算手段４の動作を示した
フローチャートである。ここでは、ダイシングラインを
多角形に分割する頂点座標算出処理方法について説明す
る。

また、第３図はダイシングライン部を四角形に分割する
場合を示す説明図である０図において、第４図と同様に
１５はダイシングラインを示しており、１４はダイシン
グライン内に設けられたマスク合わせマークを示してい
る。

さて、第２図に示すように計算処理が開始されると、メ
モリ５に格納されたマーク位置座標ファイル及び別に入
力されたマークセルサイズ、ダイシングライン幅を基に
、第３図に示すようにマスク合わせマーク１４を除いた
ダイシングライン領域を四角形に分割する（ステップ２
１．２２）。

これにより、分割された四角形の頂点座標は、それぞれ
マークセルサイズ、マーク配置座標、ダイシングライン
幅より第３図のように算出される（ステップ２３）。

このように本実施例における処理装置は、作成者の入力
情報を基に配置規則にあったマスク合わせマークの配置
及びダイシングライン部の自動生成を行なうので、作業
の手間が短縮され、マークの配置ミス又はダイシングラ
イン生成ミスがなくなるという効果を有する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、チップに関する入力情報
に基づいて、マスク合わせマークの位置座標とマーク周
辺の座標の計算、マークデータ配置、ダイシングライン
を生成することにより、マーりが配置されたダイシング
ラインデータ及びマーク座標とを出力するため、作業の
手間が短縮され、マークの配置ミス又はダイシングライ
ン生成ミスをなくすことができるなど優れた効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す処理装置の構成図、第
２図は第１図に示すマーク位置及びマーク周辺座標計算
手段４の動作を示したフローチャート、第３図はダイシ
ングライン部を四角形に分割する場合を示す説明図、第
４図はダイシングライン上の一部にマスク合わせマーク
を配置した正面図である。 ■・・・キーボード、２・・・制御部、４・マーク位置
及びマーク周辺座標計算手段、７・・・マークデータ配
置手段、１０・・・ダイシングライン生成手段、１２は
マークを含むダイシングラインデータ生成手段。 第　１　図 Ｌ　　　＋＋　　　＋　　　＋＋　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　−Ｊ１キー；ｔ
、”−ト’ ２　制御舒

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 マスク合わせマークをダイシングライン上に配置するた
   めのデータ処理を行なう処理装置において、 入力されたチップサイズ値に基づいて予め登録した配置
   ルール及びダイシングライン生成ルール情報に従ってマ
   スク合わせマークの位置座標とマーク周辺座標とを算出
   する算出手段と、 この算出手段により算出されたマスク合わせマークの位
   置座標と予め登録されたマークセルライブラリ内の情報
   とからマークデータ配置を行なう配置手段と、 前記算出手段により算出されたマーク周辺座標と前記ダ
   イシングライン生成ルール情報とからダイシングライン
   を生成する生成手段と、 前記配置手段のデータと前記生成手段のデータより、マ
   ークが配置されたダイシングラインレイアウトデータ及
   びマーク座標を出力する出力手段とを備えたことを特徴
   とする処理装置。