JPH05502754A - 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム本発明は、半導体加工中におい て半導体ウェハーのパーティクル汚染を減少する標準化されたメカニカルインタ ーフェースシステムに関する。特に、本発明は標準メカニカルインターフェース システムにおける情報処理装置に関する。

関連技術の説明 標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）はウエノ飄−へのパーテ ィクルフラックス（粒子流動）を減少させることによってパーティクル汚染を減 少させるよう提案されたものである。゛この目的は、ウェハーの移送、貯蔵及び 処理中にウェハーの周囲のガス媒体（たとえば空気あるいは窒素）をウエノ１− に対する実質的な静止状態を機械的により確実にすることにより、また外部環境 からパーティクルがその中間内部ウェハー環境に入り込まないことを確実にする ことによって達成することができる。

この標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭ　Ｉ　Ｆ）は小容量の静止 したパーティクルのない空気であって、内部パーティクル源を有しないものがウ ェハーに対する可能な最もきれいな環境であるという認識に基づく。この提案シ ステムの詳細は、Ｍｉｈｉｒ　Ｐａｒｉｋｈ及びＵｌｒｉｃｈ　ｋａｅｍｐｈ著 、５ｏｌｉｄ　５ｔａｔｅ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ。

１９８４年７月、第１１１頁〜１１５頁「ウェハーカセットトランスファー及び ＶＬＳＩ製造のための技術」及びこれを引用した出願に記載されている。

標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）は３つの主な構成からな る。すなわち、（１）最小容量の防塵輸送コンテナあるいはボックスをウエハ− カセットのストア及び搬送に用いる、（２）キャノピ−を処理装置のカセットポ ートにかぶせ、ボ、クスとキャノピ−の内側の環境を小さなりリー、ンスペース にする、及び（３）ボンクスのドアは装置のキャノピ−のインターフェースポー トのドアと合うように設計されており、２つのドアは同時に開くようになってい る。これによって、外側のドアの表面にたまる可能性のあるパーティクルがドア の間にトラップされる（挟まれる）。

提案されている標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）では、ボ ックスが所定の処理ステーションにあるキャノピ−の上のインターフェースポー トに配置される。ラッチ機構によってボックスのドアとインターフェースボート のドアが同時に開放されるようになっている。機械式のエレベータが２つのドア を下げ、カセットが上から、キャノピ−て覆われたスペースになかに入れられる 。マニピュレータがカセットをピンクアップして、装置のカセットボートエレベ ータのなかに入れる。処理後、逆の操作が行われる。

今日の代表的な処理環境においては、′クリーンルーム」が設けられ、そこでフ ィルターその他の技術によって、半導体ウェハー表面を汚すようなパーティクル を除去する試みが行われる。標準メカニカルインターフェルス／ステム（ＳＭＩ Ｆｉの考え方はクリーンルームで可能な処理環境を改善する対策する方法である 。

提案された標準メカニカルインターフェース／ステム（ＳＭＩ　Ｆ）は処理ステ ーションからボックス内部の処理ステーションにウェハーのカセットを輸送する ことに関係する。処理ステーションは先行するステ＝ノコンから十分能れた場所 に設けられる。さらに、この処理は、複雑で、数多くの処理時間の異！−るステ ップに関係し、処理ステーションにストアされるウェハーカセットを収容するボ 。

クスが必要とｌ−る。したがって、ボックス内のウェハーにつし）での情報を処 理するこまができるようにウェハーを収容するボックスを特定する必要が生じる 。

しかし、提案された標準メカニカルインターフェースシステムｆＳＭＩ　Ｆ）は 十分満足のゆくもので）！！；い。従来の標準メカニカルインターフェース／ス テム（ＳＭＩ　Ｆ）は−０ＣＲ−１あるいはバーコードで７−キンクされたボッ クス備える。この種の７−キック；は特定ボックスを識別するものであるが、ユ ーザー：まボックス内のウェハーに関する情報をボックスの情報と一緒に有効に 含めることができな′、、）っさらに、この種の外部７−キックはボックス内部 のつ□バーに物理的にアクセスする制御に役立てることはでき！＝い。したがっ て、標準メカニカルインターフェース／ステム（ＳＭ　Ｉ　Ｆ）におしＸで情報 処理のための改良された装置が切望されていた。

発明の概要 シタ力って、本発明の目的は、物品を搬送し、ストアする／ステムであって、物 品のすぐれた監視、・ステムを提供することである。

本発明の別の目的は、処理中の物品を集中的に監視し、様々な位置で処理中の物 品に関するデータを集中的にストアする／ステムを提供することである。

本発明の他の目的は、複数のワークスチー７ヨノで処理されている物品の処理を 集中的に制御し、適正な処理ステップを適正な順序で実行できるシステムを提供 することである。

本発明のさらに他の目的は、処理の場面で行われる当該処理についての人間の判 断を減少させ、あるいは解消することができる物品処理システムを提供すること である。

本発明の上記及びその他の目的は、複数のコンテナの各々がストアされたデータ を読み込み、更新するデータストレージと通信リンク備えた／ステムによって達 成できる。複数のワークステーションの各々がコンテナにストアされたデータを 読みコンテナの物品が適正ｔヨ位置に到達したことを［Ｊする通信リンクを備え て′、Ｊ）る。ワークスチー７ヨノはまた物品が到達したこと及びその物品の状 態を中央データプロセッサに報告する。中央データプロセッサは処理情報をダウ ンロードし、次に該ワークステーションはコンテナから当該物品を取り出し、処 理する。

処理済後、ワークステーションは中央データプロセッサに報告し、コンテナにあ る情報を更新する。

本発明に係る物品のための一連の処理ステップを遂行するシステムは、物品の移 動コンテナを備え、該移動コンテナは、該移動コンテナ中の物品へのアクセスを 制御する第１インターフェース手段と、物品のアイデンティティ及び処理ヒスト リーに関するデータを受取り、ストアし、伝送するコンテナデータ処理手段上、 各ワークステーションに設けられ前記第１インターフェース手段とインターフェ ースする第２インターフェース手段とを有し、該システムはさらに、各ワークス テーションに設けられ前記コンテナデータ視力手段からデータを受取り及びこれ に対してデータを伝送し、前記コンテナデータ処理手段からデータを受け取り及 びこれに対してデータを伝送し、及び第１及び第２インターフェース手段を制御 し物品の処理ヒストリーとワークステーションとａ５．Ｃｍとの比較に基づいて 前記移動コンテナにある物品へのアクセスを許容するワークステーションデータ 処理手段と、前記各コンテナ及びワークスチー７ヨンデータ処理手段のそれぞれ からデータを受取り及びこれに対してデータを伝送し、前記コンテナ及びワーク ステーションデータ処理手段の各々から受け取ったデータを処理する中央データ 処理手段とを備えている。

図面の簡単な説明 図１は処理装置に隣接して設けられる標準メカニカルインターフェース／ステム （ＳＭＩＦ）の斜視図である。

図２は本発明に使用される標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ ）の概略図である。

図３Ａ及び図３Ｂは本発明の１実施例に係る回路図である。

図４は本発明に従う装置の変形例である。

図５は、本発明に従う電源の概略図である。

図６は、本発明に従う装置の取付は関係を示す概略図である。

図７は、本発明の１実施例における移動コンテナに含まれるシステムのブロック 図である。

図８は、図５の回路の一部の説明に使用するチャートである。

図９は本発明に従う処理システムの説明に使用されるフローチャートである。

図１０は、図９のフローチャートの一部の差し替え用の変更フローチャートであ る。

図１１は、本発明に従う処理／ステムに説明に使用されるフローチャートである 。

図１２は、本発明に従う在庫管理のトレーと移動コンテナの斜視図である。

図１３は、本発明に従う在庫管理システムのブロックダイヤグラムである。

図１４は、本発明に従うシステムの応用にかかるブロックダイヤグラムである。

好ましい実施例の説明 図面を参照して、本発明の詳細な説明する。

図１には、半導体ウェハー処理ステー／コン１００が示されて５）る。任意の半 導体製造プロセスは図１に示すようなステーション１００のような任意の数の処 理ステーションを備える。これらのステーションは、フォトレジスト材料の塗布 、フォトレジスト材料を露出するためのマスクの配列、半導体ウェハー上への材 料のデボンノト等の処理ステップを取り扱うように製造される。

図１は、処理される半導体ウェハーまたはその他の物品の移動コンテナ１０を示 しており、このコンテナは、処理ステーション１００に取り付けられている。

移動コンテナ１０は、図２を参照して説明される係合手段６０によって処理ステ ーション１００のキャノピ−３０に着脱可能に取り付けられている。

移動コンテナ１０は複数の半導体ウェハー３２を保持するカートリッジ３１含む ようになっている。カートリッジ３１は外気に晒されることなく処理ステーショ ン１００内に下ろされる。

本発明によれば、情報データカード４０は移動コンテナ１０に取り付けられる。

本書で使用する「データカード２の語は、移動コンテナ１０の取り付けられる本 発明の部分を指し、少なくとも後述のデータストア手段を含む。さらに、処理ス テーション１００には、処理ステーション１００上に係合する移動コンテナＩＯ の電子カード４０に通信する手段５０が設けられる。データカード４０との通信 手段５０は処理ステーション１００にあるデータプロセッサ２０に接続されてい る。データプロセッサ２０は「ＬＥＤ」や液晶ディスプレーのようなディスプレ ーを備えている。また、データプロセッサ２０はそのプロセスの制御を与えるた とえば、データをイップノトするキーボード２２を備える。

操作において、オペレータは移動コンテナｌＯを該コンテナ１０に付けられたデ ータカード４０と一緒に第１処理ステー／ヨン１００から第２処理ステーシヨン １００まで運ぶ。移動コンテナ１０が結合されたときデータカード４０にストア されているデータは処理ステーション１００にあるデータカード４０との通信手 段に連絡される。移動コンテナ１０のデータカード４０からのデータは、データ プロセッサ２０に該通信手段５０を介して通信される。詳細に後述するように好 ましい態様では、データプロセッサ２０は、手段５０を介してデータカード４０ にも通信できるようになっている。

図２は、処理ステーションのキャノピ−３０に結合されている移動コンテナ１０ を概略的に示している。処理ステーションのキャノピ−３０に移動コンテナ１０ を結合するための結合手段６０が示されている。結合手段６０は、キャノピ−３ ０上にガイド６１を備えている。また、タブ６２が移動コンテナ１０に形成され ている。移動コンテナｌＯがガイド６１に取り付けられて完全に結合されると半 導体ウェハーのカートリッジがそこを介して下ろされるキャノピ−３０のボート ７０が移動コンテナ１０と整合する。データカード４０は、移動コンテナ１０の 少なくとも一方の側に沿って移動コンテナ１０に取り付けられる。通信手段５０ はカード４０に関連して係合手段６０に隣接して取り付けられる。通信手段５０ は通信線５１により処理ステーンコン１００のプロセスコントローラ２０に接続 される。

図３Ａは本発明の１実施例にかかるデータカードに装着するための回路を示す。

図３Ｂは図３Ａに図示されるカード４０からデータを受け取る通信手段を示す。

図３Ａの回路はタイマー／カウンター４１とｒＰＲＯＭ」あるいその他の安定ス トレージ装置のようなストレージ手段４２を備えている。タイマー／カウンター ４１は通信バス４３を介してストレージ手段４２に接続されている。タイマー／ カウンターは、電源が供給されている場合には、ストレージ手段４２に連続した アドレスを与え、発光ダイオード４４あるいはその他の光学的電送手段を介して データを出力する。図３Δの実施例において、データカード４０には単一の発光 ダイオード４４が設けられている。この方法では、ストレージ手段４２にあるデ ータカ−ンヨンを介してタイマー／カウンターは連続しており、発光ダイオード ４４を介してデータを連続的に出力するようになっている。

図３Ｂの通信手段は感光性トランジスタ５２あるいはその他のフォトディテクタ を備えており、これらのものは、発光ダイオード４４によって伝送されたデータ に応答して処理ステーション１００にあるプロセスコントロールと４４ＭＴるコ ントロールライ１５１を介して信号を発生する。移動コンテナ１０が図２に図示 のように結合手段６０と結合したとき、発光ダイオード４４と感光性トランジス タ５２とは光通信ができるように整列させられる。

データカード４０はパンテリのような電源４５を備えており、電力はスイッチ４ ６をかいしてタイマー／カウンターにに与えられるようになっており、このスイ ッチ４６は移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結合したときだけ、接続さ れる。

図４には、データカード４０にある回路の変形例が示されている。図４の実施例 では、マイクロコンピュータ１０１またはその他の処理手段及びＲＡＭ１０２の ようなスタティックメモリ装置が設けられる。マイクロコンピュータ１０１はメ モリ装置にバス１０３によって接続されている。マイクロコンピュータ１０１は 発光ダイオード１０５のようなトランスミンク１０４に接続されている。さらに 、マイクロコノピユータ１０１は感光性トランジスタ１０７のような受信装置１ ０６に接続されている。マイクロコンピュータはライン１０８によって５ボルト で電源から（後述）電力供給を受ける。メモリ装置１０２はライン１０９によっ てバッテリから電力供給を受ける。ストレージ装置１０２も同様に、マイクロコ ンピュータ１０１への電力供給が行われているときには、ライン１１０によって イネイブル信号を受け取る。

ライン１０８の電源電圧、ライン１０９のバッテリ電圧、ライン１１０のイネイ ブル信号の発生は図５に示す回路で行われる。

図５は、図４に示される回路と組み合わせて使用されるデータカード４０に設け られる電源１２０を示す。移動コンテナＩＯが処理ステーンコン１００の結合手 段６０に結合されたとき、電源１２０が変圧力ンブリング装置１２１を介して電 力の供給を受けるようになっている。変圧力ップリンングの関係は図６を参照し てさらに詳細に説明する。変圧力ンプリング手段１２１から受け取られたＡＣ信 号はたとえば図５に示すようなブリツノからなるＡＤ／ＤＣコンバータ１２２て ＤＣに変換される。電圧レギュレータ１２３が設けられており、これによってデ ータカード４０のコンポーネントが作動するための安定した電圧が与えられるよ うになっている。電圧レギュレータ１２３の８カは図４の例ではライン１０８を 介してマイクロコンピュータ１０１へ供給電圧として与えられる。データカード ４０には、バッテリ１２５が設けられている。バッテリ電圧はライン１０８の電 圧レギュレータ１２３の出力より僅かに小さい。バッテリはンヨットレーダイオ ード１２６を介してノード１２７に接続されており、このノード１２７は同様に ／ミソトレーダイオード１２８を介してライン１０８の電源出力に接続されてい る。ノード１２７はライン１０９のストレージ装置１０２にパンテリ電圧として 供給される。メモリイネイブル信号（ＭＥＮＡＢＬＥ）は変圧器結合電源１２１ が入っているときに限り、メモリ装置１０２の動作を可能にするように作用する 。

図５に示す整流オプトカプラー１４１を含む回路に対し及びＲ１、ＣＩ及びダイ オード１４２を含む回路に対し、メモリイネイブル回路は図８に関連して説明す るように設けられる。整流オプトカプラー１４１は、変圧力ップリング装置かの 電源が切られたとき、バッチを月２５のような電源からライン１４３に電圧を与 える手段である。変圧力ップリング装置からの電源がポイント２０１において図 ８のライン２００によって示されるように入ると、図８のライン３００のポイン ト３０１て見られるようにライン１４３の出力は降下する。しかし、ライン１４ ３、メモリイネイブル信号（ＭＥＮＡＢＬＥ）の電圧が降下する速度はＲ１及び Ｃ１によって与えられる時定数によって決定される。したがってライン１０８の 電源は、ライン１１０のイネイブル信号がメモリ装置１０２を作動可能にするレ ベルに到達する前に、マイクロコンピュータ１０１を駆動するのに必要な電圧に 到達する。これによって、電源がデータカード４０で完全に立ち上がる前にメモ リ装置にストアされているデータがこわれるのを防止できる。

しかし、電源が図８のポイント２０２において断たれると、整流オプトカプラー １４１はライン１４３から充電電流を供給し、これによって、図８のラインにあ るポイント３０２で示されるようにキャパシタＣ１はすぐに充電される。従って 、スタティックＲＡＭは電源が変圧力ップリング装置１２１から断たれたときは 、きわめて早く不能になる。

メモリ装置」０２にストアされているデータを保護する他の様々な回路は、ユー ザが選択するデータカード４０の特定の実施例に適するように変更することがで きる。

図６は、データカード４０からのデータを受け取り、データカード４０に対して データを伝送する通信手段５０と通信して、図４及び図５を参照して説明したよ うなデータカード４０を装着するための１つの形態を示す。移動コンテナ１０が 結合手段６０に完全に結合し、処理ステーションのキャノピ−３０に完全に取り 付けられたとき、データカード４０と通信手段５０とは通信できるように配列さ れる。図５を参照して述べたように、変圧力ップリング装置１２１がデータカー ド４０に取り付けられる。同様に、これと対をなす変圧力ップリング装置１３１ が通信手段５０に取り付けられる。移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結 合したとき、変圧力ップリング装置１２１とその対の装置１３１は整合し、これ によって電力が通信手段５０から移動コンテナｌＯのデータカード４０に伝送さ れる。

また、図６には、カード４０上にある伝送手段１０４と受信手段１０６とが概略 的に示されている。移動コンテナ１０が完全に結合されたとき、データカード４ ０からのデータを受け取るための対をなす受信手段１３４が通信手段５０にある 伝送手段１０４に隣接して設けられる。また、伝送手段１３６が通信手段５０に 設けられており、これによって、移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結合 したとき移動コンテナ１０の受信手段１０６に隣接する。通信手段５０は通信線 ５１によって処理ステーション１００のデータ処理手段２０と連絡する。データ カード４０に設けられる回路の好ましい実施例が図７に示されている。図７に概 略的に示されるデータカード４０はバス１５２を介して複数の入出力装置１５３ と連絡するデータ処理システム１５１を備えている。

このデータ処理システムはＣＰＵ１５４、ＲＯＭ１５５のような不揮発性メモリ 装置、データの読みこみ、書き込みを行うランダムアクセスメモリ装置１５６及 び図５に示すような電源１５７を備える。

複数の入出力装置は以下の任意の装置を含む。まず、ＬＥＤあるいは液晶ディス プレーのようなディスプレー１６０がオペレータにデータを与えるためにデータ カード４０に設けられる。また、キーボード１６１が移動コンテナ１０と一緒の データカード４０に設けられ、これによってデータカード４０にストアされたデ ータをオペレータが制御することができる。センサ装置１６２が移動コンテナ１ ０の複数のセンサと接続されるデータカード４０に設けられる。これらのセンサ は移動コンテナ１０と結合手段６０との結合、結合解除といった状態に関す情報 、コンテナにストアされている物品へのアクセスを許容するためのコンテナ１０ にあるボートの開閉の状態その他の状態に関する情報を与える。さらに、コンテ ナにストアされている物品に保持装置が係合したかどうかを示すセンサが設けら れる。遂行される特定の処理ステップにより及び移動コンテナ１０で搬送される 物品の特性により他の多くのセンサを設けることができる。

複数の入出力袋Ｗ１１５３は発光ダイオード４４及び感光性トランジスタ５２の ような送信袋Ｗ１６３及び受信装置１１６４を備えており、これらについては図 ４及び図６を参照して説明する。発信装置１６３及び受信装置１６４は所望の特 定の用途に応じ他のいろいろなフォトトランジスタ及び光検出装置で構成するこ 七ができる。さらに、送信装置及び受信装置は磁気テープ及び磁気読み取りヘン ドを備えることができる。電子的データカード４０と通信手段５０との間のデー タ通信を達成するために他の音響的、誘電的、光学的な手段を装置の特定の必要 性に応じて設けることができる。

さらに、データカード４０はリアルタイムに関するデータを発生するためにリア ルタイムクロック１６５を備える。クロック１６５からのデータは処理ステーシ ョンにおいて、処理のためのパラメータ等を決定するあたって活用できる。また 、クロック１６５は移動コンテナ１０に収容される物品のストレージ時間の長さ を決めるのに使用できる。

分配処理システム 本発明によれば、移動コンテナ１０はこれに付けられたデータカード４０ととも に図１に示すようなワークステーション１００のような複数のワークステーショ ンと組み合わせて使用することができ、新規な分配処理システムを構成する。

かつて、そのよう！二分配処理システムは半導体集積回路の製造に使用された。

半導体集積回路の製造は、代表的には、対応する各種のワークステーションを使 用する各種別々の処理操作を用いる半導体ウェハーの製造に関連している。

たとえば、半導体ウェハーから半導体集積回路の製造において関係する処理操作 及び対応するワークステーションは以下の操作及びワークステーションを含む。

レジストが第１のワークステーションでウェハーに加えられる。レジストの厚み が第２ワークステーンヨノで測定される。回路パターンが第３ワークステーショ ンでレジスト上に露光される。回路パターンが第４ワークステーションで現像さ れる。１つ以上の回路トレースの幅が第５ワークステーションで測定される。露 光されたレジストのエツチングが第６ワークステ＝ノヨンで行われる。上記例示 の処理ステップとワークステーションは多くのさまざまな可能な処理ステップと ワークステーションの代表的なものにすぎないことを当業者は理解するであろう 。

任意の半導体集積回路製造斑境において、さまざまな同時進行するウエハ−製造 にかかるバッチがある。各バッチは異なる移動コンテナ１０または各々がこれと 協働するカード４０を有する一連のコンテナ内に含まれる。さらに、異なるノイ ンチのウェハーは異なるワークステーションで異なる操作を受け、これによって 最終的に異なる形式の半導体集積回路になる。また、異なるノイ・ノチの半導体 ウェハーに同じワークステーションを使用することができるが、ワークステーシ ョンによって異なる処理を行うことによって、最終的に形式の半導体ウニ／％− を製造することができる。たとえば、２つのノ＼ノチのウエノ飄−のレジストを 第６ワークステーションで双方をエツチングすることができるが、一方のノイ・ ンチを他方の７　ｓｌッチより長い時間エツチングすることができる。

さらに、あるバッチのウェハーから集積回路を製造する過程で行われる処理操作 の種類は先行の処理ステップの結果による。たとえば、第６ワークステーション における露光レジストのエツチングステ・ノブは第５ワークステーシヨンで測定 された１つ以上の回路トレースの幅によって異なるエツチング時間を与えてもよ い。したがって、回路トレースの測定結果がエツチング時間の決定に使用される こととなる。

この結果、半導体集積回路の製造のような複雑な処理操作の制御に対して本発明 のような処理システムの必要性が生じてくる。

図１を参照すると、ワークステーション１００は本発明に従う処理システムの一 部を構成することができる各種のワークステーションの代表的なもののほんの一 例にすぎないことを理解されたい。したがって、図１に示すようにワークステー ション１００を参照して処理システムを説明するけれども、現実の処理システム は、上記のようなレジストの付加、レジスト厚さの測定、レジストの露光、回路 トレース幅の測定及びレジストのエツチングといった各種の処理操作を行う複数 のワークステーションを備えていることを理解されたい。

再び図２を参照するとローカル操作コントロールプロセッサ２０（以下ローカル ２０）にはローカルトランスファコントロールプロセッサ３００とローカル操作 コントロールプロ七ノサ３０２が接続されている。操作において、ローカル２０ は手段５０と電子的に接続されているワークステーション１００に設けられる。

この手段５０はデータカード４０に対し２方向通信手段して作用する。図４を参 照すると、データカード４０のマイクロコンピュータＩ０１は送信装置１０４と 受信装置１０６を介して手段５０と２方向通信で結合される。図９を参照スると 、ローカル２０はローカルトランスファコントロールプロセンサ３００及びロー カル操作コントロールプロセンサ３０２に対し電子的な通信関係にある。

ローカルトランスファコントロールプロセッサ３００はトランスファ手段３０４ の操作を制御する。このトランスファ手段３０４は、ウニノー−３２を収容する カートリッツ３１をワークステーション１００と移動コンテナ１０との間で移送 するアーム３０６を備えている。好ましいトランスファ手段３０４の１例が米国 特許第４．６７６．７０９号に記載されている。トランスファ手段３０４の他の 例が米国特許第４，６７４．９３６号に記載されている。この２つの特許はこの 参照によって本書に組み入れられている。ローカル操作コントローＪレブロセノ サ３０２はワークステーシヨン１００の操作を制御する。上記したように、ワー クステーションｌＯＯは例示目的だけで図示されているものである。対応する各 種の処理操作を行う数多くの各種の異なる形式のワークステーションを処理シス テムに含めることができる。

このシステムを例示的な製造操作を参照して、特に半導体集積回路の製造を参照 して説明するが、このシステムを他の操作に対しても同様に適用できることを理 解されたい。図９及び図１０のフローチャートは本システムの新規な分配制御特 徴を示すものである。分配制御は本発明のシステムでは重要な特徴であって、各 種の処理ステップ及びワークステーションのなかから効率的に選択できる程度に 柔軟性をもっていなければならない。

図１を参照して説明したように、付属のデータカード４０を伴う移動コンテナ１ ０は例えば、人間オペレータによってワークステーションに搬送される。図１及 び図９を参照すると、コンテナ１０がワークステーション１００に結合された後 、図９のフローチャートのステップ４０２に示すようにワークステーション１０ ０に結合されたローカル２０は、データカード４０に対し、ステップ４０４にお いてテ゛ジタル情報を交換できるかどうかたずねる。データカード４０は、その マイクロコンピュータ１０１　（図４参照）によって発生されたデジタルメソセ ージ対し、ステップ４０６においてデジタル情報を交換する用意がととのってい るという応答をする。ステップ４０８において、ローカル２０はデータカード４ ０に対しそのステータスを報告するように指示する。これに応え、データカード ４０のマイクロコンピュータ１０１はステップ４１０て自己テストを行う。自己 テストは例えば、カードのバッチ１月２５とＲＡＭ１０２が適性な作業順序であ るかどうかを決定するテストを含む。もし自己テストによってカードが適性な作 業順序になっていないと判定した場合には、マイクロコンピュータ１０１は信号 を発生してステップ４１１でカードのディスプレー２１上にカード４０が適性に 作動していないことを表示させる。そして、通常、カード４０とローカル２０と のデジタル通信は停止する。しかし、もし自己テストの結果により、カード４０ が適性に動作していることが判明した場合にはカード４０はステ・ツブ４１２に おいて作業を進めることを報告する。

ローカル２０は次に、ステップ４１４で、カード４０に対し自己を識別すること 及び現在の処理データを与えるように要求する。これに応え、カード４０は識別 コードを与える。半導体集積回路製造処理システムでは、ステップ４１６におい てカードは処理される半導体ウェハーのロント番号を識別させるとともに、つぎ に処理するステップを行うワークステーションとどんな処理ステップが次に行わ れるかという仕様をし識別させる。たとえば、次の処理ステップは第３ワークス テーションにおけるレジストへの回路パターンの露光である。ローカル２０は、 コンテナ１０がその内容物及びそのカード４０とともにつぎの処理ステ・ツブを 行う正しいワークステーションにあるかどうかを判定する（ステップ４１８）。

もしそうでないならば、データカード４０にコンテナｌＯが間違ったワークステ ーションにあるということをディスプレー２１によって報告しくステ・ツブ４２ ０）、通常は、カード４０とローカル２０とのデジタル通信を停止する。もしロ ーカル２０が、カード４０が正しいワークステーションにあると判定したときは デジタル通信はカード４０とローカル２０との間で継続される。

ローカル２０はローカルトランスファコントロールプロセッサ３００に指示スる ことによって応答し、処理すべき物品を移動コンテナ１０からワークステーショ ン１００に移送させる（ステップ４２２）。たとえば、半導体集積回路の製造で は、処理すべきウェハー３２を収容したカートリッジ３１がコンテナ１０からワ ークステーションｌＯＯにアーム３０６を介して下ろされる。

つぎに、ローカル２０はローカル操作コントロールプロセッサ３０２に対して指 示を出し、処理操作を開始させる（ステップ４２４）。たとえば、ワークステー ションで行われる処理操作は半導体ウェハーの付加されるレジストの上への回路 パターンの露光である。

ローカル２０はカードに対し、移送が完了し、処理操作が開始したことを知らセ ル（ステ、ブ４２６）。ローカル２０はワークステーンヨ／を１１１シ、移送が 完了して処理操作が開始されたことを示す第１ヒス）ＩＪ−記録を作成する（ス テップ４２８）。ローカル２０は第１ヒストリー記録をカード４０に連絡する（ ステップ４３０）。カード４０は第１ヒストリー記録をストアする（ステップ４ ３２）。ローカル２０はカード４０に指示を出し、マイクロコノピユータ１０１ とリアルタイムクロック１６５（１１７参照）を用い、日付光時間によって第１ ヒストリー記録を類別させる。カード４０は指示に応じて第１ヒストリー記録の 日付と時間を記録する（ステップ４３４）。

処理操作が完了すると、ローカル操作コントロールプロセッサ３０２はローカル ２０にその完了を知らせる（ステップ４３６）。ローカル２０はローカルトラン スファコントロールプロセッサ３００に指示を出し、処理される物品例えば半導 体ウェハー３２をワークステーション１００から移動コンテナ１０に戻す搬送を 開始させる（ステップ４３８）。

ローカル２０は第２ヒストＩＪ−記録を作成する。第２ヒストリー記録は例えば 半導体ウェハーに付加されるレノストの上に回路パターンを露光する操作の記録 を与える。ローカル２０は第２ヒストリー記録をカード４０に連絡しくステップ ４４２）、カードに指示を出ｊ−で日付と時間によって類別させ、第２ヒストリ ー記録をストアさせる（ステップ４４４）。

ローカル２０はカード４０に指示を出してつぎの処理ステップに進ませる（ステ ップ４４６）。これに応え、カード４０はつぎの処理ステップのＭを行う（ステ ップ４４８）。たとえば、次のワークステーションにおいてステップ４１６で識 別されたワークステーションと処理のアイデンティティを変更する。

最後に、カード４０はそのディスプレー２１に対しオペレータが移動コンテナ１ ０が行くべき次のワークステーションを識別できるようにさせる（ステップ４５ ０）。次の２つの例はカード４０にあるマイクロコンピュータ１．０１を備える ことの重要性を説明するものである。

第１の例を図１０を参照して説明する。図１０には、図９のフローチャートのス テップ４０８から４２０に代用できる別のフローチャートが示されている。この 変形フローチャートにおいて、ステップ４０６につづいて、上記のようにカード ４０は上記ステップ４１０に関連して説明したような自己テストを開始してこれ を遂行する（ステップ５００）。もしカード４０が、正常の動作していないと判 定したときはカード４０はディスプレー２１にその操作不能状態を報告させ（ス テップ５０２）、通常ローカル２０との通信を停止する。一方、もしカード４０ が正常に動作していると判定したときは、カード４０はローカル２０に対しその アイデンティティを報告するように要求する（ステップ５０４）。これに応えて 、ローカル２０はカード４０に対して自身を−Ｇすする（ステップ５０６）。

つぎに、カード４０は正しいワークステーションであるかどうかを判定する。正 しくなし）場合には、ディスプレー２１に対し適当なメツセージを表示させ（ス テップ５０８）、は通常ローカル２０との通信を停止する。カード４０が正しい ワークステーションにあると判定した場合には、カード４０はローカル２０に対 して指示を出し、第１材料の搬送を開始させる（ステップ５１０）。

第２の例を図１１のフローチャートを参照して説明する。図１１には、例示的な 半導体集積回路製造工程からの代表的な一連のカード操作及びワークステーショ ン操作が示されている。本例の目的のために、カード４０はエンチング時間を計 算する式をＲＡＭ１．０２の中にストアしているものと仮定する。ステップ６０ ０はその式のストアを表す。咳式はたとえば、Ｋ＋Ａ　（特定幅−測定幅）十Ｂ （レジスト厚さ）とすることができる。ここでに、Ａ及びＢは定数、及び「特定 幅」は回路トレースの特定の幅を指し、「測定幅」は回路トレースの測定幅を指 し、Ｆし／スト厚さＪは半導体ウェハーに付加されたレジストの測定厚さであ第 １処理ステツプは処理される半導体ウェハーにレノストを付加することである（ ステップ６０２）。このステップはたとえば、第１ワークステーノヨンて行われ る。レジストの厚さは第２ワークステ−ンコンで測定され（ステップ６０４）、 測定厚さはカードのＲＡＭにストアされる（ステップ６０６）。回路パターンは 第３ワークステーンヨノでレジスト上に露光される（ステップ６０８）。回路パ ターンは第４ワークスチー／ヨノで現像される（ステップ６１０）。１つ以上の 回路トレースの幅が第５ワークステーシヨンで測定される（ステップ６１２）。

その測定幅はカードのＲＡＭ１０２にストアされる（ステップ６１４）。マイク ロコンピュータ１０１を用い、ステップ６００でストアした式及びステップ６０ ６及び６１４てストアした測定結果を使ってカード４０はエンチング時間を計算 する（ステップ６１６）。露光されたレジストは計算されたエツチング時間だけ エツチングが施される（ステップ６１８）。

上記の２つの例から、カード４０が集中制御を必要としない分配処理システムの 一部として有利に使用できることを理解されたい。そのかわり、処理される物品 を収容した移動コンテナ１０と協働するカード４０は特定の物品に関する処理デ ータをストアすることができ、物品を適正に処理するのに必要な計算を行うこと ができる。

在庫管理システム また、本発明は処理操作の間に物品たとえば半導体ウェハーのステータスを有利 にモニターできる新規な在庫管理システムを提供する。

図１２を参照すると、図示のように取り付けられたデータカード４０を有する移 動コンテナ１０を収容できる大きさの凹部６３２を有するトレー６３０が示され ている。トレー６３０は、ワークステーション１００設けられる上記した２方向 通信手段５０のような２方向通信手段５０−１を備えている。破線６３４て示す ように、移動コンテナ１０の基部６３６は［！！１！６３２にちょうど収まるこ とができる。移動コンテナ１０が凹部６３２に収容されると、カード４０は２方 向通信手段５０−１と整夕１ルて、カード４０と通信手段５０−１とが互いに２ 方向通信によって連携する。

図１３を参照すると、ブロックダイヤグラムの形式で在庫管理システム６３７が 示されている。この在庫管理システム６３７は各グループのトレー６３０−１乃 至６３０−Ｎに分割された複数のトレーを有する。各トレーは図１２を参照して 説明したものと同様である。各グループのトレー６３０−１乃至６３０−Ｎにあ る各トレーは各制御ライン６３９−１乃至６３９−Ｈによって多重回路６４０− １乃至６４０−Ｎに接続されている。各マルチプレクサ回路６４０−１乃至６４ ０−Ｎは制御ライン６４２　（このラインはたとえばＲ５２３２Ｃラインとする ことができる）によってストレージ制御プロセンサ６４４に結合されている。

現在好ましい態様では、ストレージ制御プロセッサ６４４はＩＢＭと共通使用可 能なパーソナルコンピュータを備えている。マルチプレクサ６４（１−１乃至６ ４０−Ｎは互いにデージ−チェーンで結合されており、コントロールライン６４ ２によって伝達された信号があるマルチプレクサ回路から他のマルチプレクサ回 路へ連続的に送られるようになっている。二つのグループのトレー６３０−１乃 至６３０−Ｎのみが２つの協働するマルチプレクサ回路６４Ｃ１−１乃至６４０ −Ｎとともに図示されているが、複数のグループのトレーと対応する複数のグル ープのマルチプレクサを在庫管理システム６３７に含めることができることを理 解されたい。操作において、複数の移動コンテナ１０が在庫管理システム６３７ のそれぞれのトレー６３０−１乃至６３０−Ｈのなかに配置される。オペレータ はたとえば、システム６３７の任意のトレーに収容された任意のコンテナ１０の 内容物の処理状態を確認するためにストレージ制御プロセッサを使用することが できる。

特に、たとえば、図１２に示すコンテナ１０の内容物に関する情報を得るために 、ストレージ制御プロセッサ６４４はそのトレー６３０に接続された各マルチプ レクサ回路（図示せず）に指示を出し、そのトレー６３０を選択して、それをプ ロセフす６４４に接続させる。ストレージ制御プロセッサ６４４はデジタル信号 を選択されたトレー６３０に送る。このトレー６３０は、トレーが取り付けられ た２方向通信手段５０−１とカード４０との２方向通信を生じさせる。２方向通 信を通して、ストレージ制御プロセンサ６４４は例えば、コンテナ１０の内容物 、この内容物に対してすでに行われた処理ステップと将来どんな処理ステンブが 行われることになっているかをｌｉ’！Ｂすることができる。さらに、２方向通 信によって、ストレージ制御プロセッサ６４４はカード４０のマイクロコンピュ ータ１０１を、たとえば、カードのＲＡＭ１０２にストアされた処理指令を修正 し、そのリアルタイムを正すように再プログラムすることができる。

したがって、本発明の在庫管理システム６３７によって有利に処理ステ、ブのヒ ストリーを維持するタスク、各移動コンテナ１０にある物品の将来の処理ステッ プのスケジュールを有効に分配することができる。この結果、ストレージ制御プ ロセンサ６４４ではそのような情報を維持し管理する必要がない。

本発明に従う、ＳＭＡＲＴ）ラベラーシステム（ＳＴＳ）として知られる材料追 跡／ステムの１例を図１４を参照して説明する。

図１４に示すシステムは複数のワークセンター７００ｎ　（ただ１つのワークセ ンターのみ図示）とコントロールセンター７０１とを備える。この／ステムは処 理される各物品をトラックし、各物品の処理を中央から制御する能力を有するた めにＳＭＡＲＴ／ステムとして知られる。

データカード４０　（ＳＭＲＡＴタグとして知られる）がＳＴＳシステムの基本 である。データカード４０が各材料コンテナに取り付けられており、データカー ド４０が取り付けられたコンテナＩＧの中の材料に関する全ての情報を保有して いる。各データカード４０は８キロバイトのＲＡＭ１５６．２方向赤外線通信シ ステム、１年以上連続使用可能な寿命を有するバッテリ、１６文字液晶ディスプ レー１６０、オンボードマイクロプロセッサ１５４及びソフトウェアをストアす るＲＯＭ１５５を有する。ＲＯＭ１５５にストアされたソフトウェアはデータカ ード４０に対して赤外線通信システムを使用する外部装置と通信する能力与える プログラムを備えている。エラーのない通信がハンド／エイフとダブルチエンク サムエラー検出方法によって達成される。送信エラーが検圧される七通信が繰り 返される。

各処理ステーション７０２ては、ローカルデータプロセッサ（ＳＭＡＲＴアーム マスター（ＳＡＭ）として知られる）７０４が各材料キャリア１０に取り付けら れたデータカード４０をチェックする責任をもっており、適正な材料が適正な処 理ステップを通って処理されたということを確認する。材料が処理ステーション ７０２に到達すると、ＳＡＭ７０４は材料が適正なステーション７０２に到達し たことを確認する。材料が適正なステーションにない場合には、これは処理装置 ７０６に装填されない。いったん、材料が処理装置７０６に装填されると、発生 した日付と時間がコントロールセンター７０１に報告される。同様なメツセージ が処理が完了した場合にも記録される。その後、つぎのシーケンスステップ情報 がデータカード４０上；二表示される。

ＳＡＭ７０４は通信リンク７０８を介して各ワークステーション７０２に設けら れた上記のトランスファ手段３０４のような自動装填ユニット（ＡＬＵ）７０７ と通信する。構成通信リック７１０がＳＡＭ７０４と処理装置７０６との間に設 けられ制御情報が直接処理装置７０６に伝送できるようになっている。同様に処 理装置７０６で発生した処理パラメータデータが５ＡＩＶ１７０４によって集め られコントロールセンタ〜７０１に伝送できる。各ＳＡＭ７０４とＡＬＵ７０７ と処理装置７０６との間の通信は９６００ボーでＲ５−２３２’−Ｃ通信により ５ＥＣ５Ｉ及び５ＥＣ３ＩＩプロトコルである。

ＳＭＡＲＴストレーノ領域（ＳＳＡｓ）７４０が各ワークセンター７００に設け られている。処理を受けていないときは、ウェハーは５ＳＡ７４０においてコン テナｌＧに付随のデータカード４０とともにストアされている。コンテナ１０が ５ＳＡ７４０に持ち込まれると、これらはストレージトレー６３０に配置される 。各ストレージトレー６３０はＲ３−２３２ベ一ス通儒リンク７４６によってス トレーン制御プロセッサ６４４に接続されており、これによってデータカード４ ０がストレージ制御プロセッサ６４４と通信できるようになっている。ストレー ／制御プロセッサ６４４はたとえば、ＩＢＭと共通使用可能なパーソナルコンピ ュータであって、ストレージにあるすべての材料をモニターし、データカード４ ０のデータのバックアンプコピーを保持し、変更がロフト（たとえば、ロット到 着、待ちロフトのロットデータ変更）に影響するときはデータカード４０を更新 するユーザーインターフェイスを与え、そしてストレージ制御プロセッサ６４４ によって保持される５ＳＡ７４０データベース及びコントロールセンター７０１ データベースを更新する。ストレー／制御プロセッサ６４４によって実行される フ鍔グラムは、メニュー・ドリグン・ユーザー・インターフェイスを与える。多 くのコマンドはライトペン７５０を用いてアクセスすることができ、キーボード の必要はない。また、全ての特徴部にキーボードによってアクセスすることもで きる。

コントロールセンター７０１は全体の設備とワークセンターの制御を行うもので あって中央データプロセッサ（ＣＤＰ）７２０を備えている。このＣＤＰ７２０ はＣＰＵ７２１、データストレージ装置７２２及びオペレータインターフェイス のためのターミナル７２３を有する。本発明の現状での好ましい実施例では、Ｃ ＰＵ７２１はデジタルイクイノブメントコ−ポレーション（ＤＥＣ）が製造する ＶＡＸコンピュータである。ＶＡＸコンピュータはプロミス／ステムコーポレー ンコンから市販されるＦＲＯＭＩＳバージョン４，３中央設備ホストシステムま たは、コンシリウムから市販のＣＯＭＥＴＳ中央設備ホストンステムに適合する ことができる。

ＳＴＳシステムのＣＤＰ７２０及びその地金ての構成部分とのあいだの連結はネ ットワークが行う。このネットワークは３つの通信レベル、すなわち、エサ−ネ ットベースＬＡＮ７６０、Ｒ３−４８５ベースＬＡＮ５７６２、及びＲ５−２３ ２ベ一ス通信リンクを含む。

エサ−ネットベースＬＡＮ７６０はたとえば、ＤＥＣＮＥＴ、テ°ジタルイクイ ップメントコーポレーション（ＤＥＣ）の適合性のあるネットワークであって、 エサ−ネット　（ＩＥＥＥ　８０２．３＞ハードウェア及ヒローレベルプロトコ ルに基づくものとすることができる。デヘタは１０Ｍボー（公称）で各ネットワ ークノードにおいて特別のタップ及び電子カードを有する同軸ケーブルによって 伝送される。各ストレージ制御プロセッサ６４４はＬＡＮ７６０を用いてＣＤＰ ７２０と通信する。ＬＡＮ７６０上で送られるメツセージは、ＣＯＭＥＴＳまた はＦＲＯＭＩＳシステムに関するデータのためのＳＥＭＩ装置通信基準プロトコ ル（ＳＥＣｉ）に従って、または、ＳＡＭ７０４がＣＤＰ７２０のターミナルと して使用される場合にはＤＥＣローカルエリアターミナルプロトコル（ＬＡＴ） に従って、フォーマットされている。

マルチードｔｆｆ−）プＲ３−４８５ｒｂｕｓ」７６２は各処理ステー’、ｙ− ３ン７０２にあるＳＡＭ７０４をローカルリンクマネージャー７７０に接続する 。このＲ３−４８５チエーンにｔＳＤＬＣローレベルプロトコルを用いた同期通 信モードで１Ｍボーで動作する。各ＳＡＭ７０４は５ＥＣ３ＩＩでフォーマット されたメツセージを発生し、このメツセージはリンクマネージャー７７０に送ら れ、リンクマネージャー７７０はこれをＬＡＮ　７６０によってＣＤＰ　７２０ に伝送する。

あるワークセンターでは幾つかのＳＡＭ７０４はＣＤＰ７２０との通信のために は設けなくともよい。この場合、ＳＡＭ７０４で実行されるプログラムはワーク スチー／コンに持ち込まれるコンテナについてデータカード４０に質問をしてコ ンテナにあるウェハーのステータスについて最後のＣＤＰ７２０に報告されてい らい行われた処理ステップの数を決定する。処理ステップを数が所定数を越える さ、たとえば、４ステツプを越えるとＳＡＭ７０４はステータス情報がＣＤＰ７ ２０に報告されるまでウェハーの処理を行わせない。ＳＡＭ７０４とデータカー ド４０の双方がコンテナ１０がＳＡＭ７０４内または更新のためにストレージセ ンター７４０に配置されていなければならないということを示すメツセージを表 示する。

図１４のＳＴＳにおけるウェハー処理は以下の通りである。設備内にあるウェハ ーのログを始めるために、オペレータは初期化タスクのために指定されたＡＬＵ ７０７にからのコンテナ１０を配置する。つぎにオペレータはＡＬＵ７０７を制 御してコンテナ１０を開く。ウェハーがカセットに挿入し、カセットをＡＬＵ７ ０７にある開かれたコンテチェ０ドアの上に配置する。ＳＡＭ７０４に関し、Ｎ ＥＷＬＯＴ機能を開始し、ロッ１−ＩＤとウェハーＩＤ番号とを入力する。ＣＤ Ｐ７２０はロットＩＤの重複をチェックし、当該ロットＩＤが唯一のものである ことを確認する。つぎに、ＳＡＭ７０４はＣＤＰ７２０からロットのステータス を受け取り、データカード４０にそのロットＩＤ、つぎの装置形式、ワークセン ターを書き込む。オペレータはＡＬＵ７０７を制御してウエノ１−のカセットを 中にいれてコンテナ１０を閉じる。コンテナはＡＬＵ７０７によって解放されて 、第１処理装置または任意の５ＳＡ７４０に搬送する用意が整う。

処理が行われていないとき、ウェハーは各ワークセンター７００にある５ＳＡ７ ４０にストアされる。ウェハーはコンテナ１０内にこれに取り付けられたデータ カード４０とともに保持される。各コンテナ１０のデータカード４０はロフト名 称、ワークセンターアイデンティティ及び次の処理ステップに使用される装置形 式を示す。輸送オペレータは設備を通してウェハーのコンテナ１ｏを移動させる カートとともにワークセンターの５ＳＡ７４０の中を移動する。輸送オペレータ が一つの５ＳＡ７４０に近づくと、オペレータはライトペンを使って異なる５Ｓ Ａ７４０にあるＯ−７ト　（ストレージ制御プロセッサ６４４にストアされてい るストレージエリアによって支持されているワークセンターのリストにもとづい て）を要求する。これらの口ｙトに含まれるストレージトレー６３０にあるＬＥ Ｄが所定時間（たとえば１０秒間）点滅する。輸送オペレータはこれらのコンテ ナ１０を除去し、異なる５ＳＡ７４０に移動させるためにカートに載せる。輸送 オペレータは目的のワークセンタ一ついて各データカード４０の液晶ディスプレ ー（ＬＣＤ）で調べる。

材料が５ＳＡ７４０に到着すると、ストレージ制御プロセッサ６４４はメツを一 ジをＣＤＰ　７２０に送り、次の処理ステップ情報を要求する。ＣＤＰ７２０か らの応答によってストレージ制御プロセッサ７０４に対する正しい装置形式及び ワークセンターを識別する。データカード４０は必要に応じて更新される。っぎ の辞ントについてのワークセンターがそのストレージ領域７４０についてリスト にのっていない場合には、ロツ）ＬＥＤが（１，０秒間）点滅して、輸送オペレ ータに除去するように指示する。

ストＬ／−ノ制御ブｏセッサ６４４は’ＡｃｃＥＰＴ　ＩＮＴＯＣＥＬＬ＝時刻 スタンプメツセージを送る。このメツセージはロットの現在のビン番号を含んで おり、ＣＤＰ　７２０はこれを後で使用するためにストアする。ロットは装置オ ペレータが処理のために除去するまで待機する。

装置オペレータがウェハーを処理する用意をする出、オペレータはＣＤＰ７２０ ターミナル、すなわちＳＡＭ７０４に行き、材料の列を調べる。オペレータは１ つのロア）を列から選択し、ＣＤＰ７２０はこのロフトの位置を（最終時刻スタ ッブ位置に基づいて）表示する。つぎに、オペレータはビン番号によってこのコ ンテナを配置し、除去する。オペレータはデータカード４０にある液晶ディスプ レー（ＬＣＤ）をチェックして適正なコンテナが得られたことをｎ、認しなけれ ばならない。データカード４０のＬＣＤは、次の処理ステップのロットＩＤ、ワ ークセンター及び装置形式を表示する。コンテナが除去されたときストレージ制 御プロセッサ６４４はＣＤＰ７２０にｒＡＣＣＥＰＴ　ＩＮＴＯＣＥＬＩ−Ｊ時 刻スタンプによって、それが除去されたことを知らせる。

次の処理ステップの前に制御動作が必要であるということをＣＤＰ７２０のデー タが示している場合には、データカード４０の液晶ディスプレーは装置形式と行 われるべき制御ウェハー動作（ＡＤＤまたはプントバック）を表示する。及びは 指定されたＡＬＵ７０７にコンテナ１０を搬送し、コンテナＩＯをＡＬＵ７０７ の上に配置する。ＡＬＵ７０７と協働するＳＡＭ７０４は制御ウェハー動作が必 要であることを沼識し、及びにコンテナ１０を開くことを許容する。

オペレータは適正な制御ウェハーをカセットに入れ、ウェハーＩＤ番号をＳＡＭ ７０４に入力する。これらのウェハ一番号は制御材料動作メツセージの中で送ら れＣＤＰ７２０に制御材料のＡＤＤ／プントバックの完了を知らせる。つぎにデ ータカード４０はオペレータにロフトを処理のためにワークスチー／ヨシ７０２ に持っていくように告げる。

７−クステーンコン７０２の１つがソーターである場合には、ソーターにあるＳ ＡＭ７０４はデータカード４０から制御ウェハー要求を読み取り自動ソーターに 命令を出す。制御ウェハーのカセットスロットはソーターで選択され、データカ ード４０に記録される。完了すると、ＳＡＭ７０４は制御材料動作メツセージを 発生してＣＤＰ７２０に制御材料のＡＤＤ／プツトバックの完了を知らせる。

つぎに、データカード４０はオペレータにコンテナ１０を処理のために処理ツー ルに侍っていくように告げる。

オペレータはコンテナＩＯを処理装置に搬送する。該装置では、ロフトがＡＬし ７０７の上に配置される。ロソ１−ＩＤと意図される処理目的がＳＡＭ７０４に よってデータカード４０から読み取られる。コンテナが間違った処理装置にある 場合にはくデータカード４０のデータとＳＡＭ７０４の構成が一致しないことを 意味する）　、ＳＡＭ７０４はＣＤＰ７２０からのロットステータス情報を要求 し、必要ならば、データカード４０を更新し、　（コンテナが依然として間違っ た装置にある場合には）ＬＥＤを点滅させる。

コンテナ１０が適正な処理装置にある場合には（データカード４０のデータとＳ ＡＭ７０４の構成とが一致するこ々を意味する）、ＳＡＭ７０４はオペレータに オペレータＩＤを要求し、この処理装置７０６にロフトをトラック−インさせる 。受は入れるために、ＣＤＰ７２０はロットが待ち状態にあることを照合し、現 在の目的地として適正な装！／ワークスチー／コン７０６が有効であり、かつオ ペレータｒＤが有効であるかどうかを確認する。

ＣＤＰ７２０が拒絶した場合には、ＳＡＭ７０４はメツセーフをＣＤＰ７２０に 送ってロフトステータスを要求する。この場合には、ＡＬＵ７０７の赤ラップが 点灯し、データカード４０の液晶ディスプレーがこのコンテナの最終目的地を示 し、カセット搬送操作は許可されない。必要があれば、データカード４０を更新 する。

ロノトートラククーインが受入れられたとき、ＡＬＵ７０７のオペレータ制御パ ネルにあるライトはそのように表示する。ロットが除去されると、ＳＡＭ７０４ はｒｒＮＱＵＩＲＥ　ＣＡＮＣＥＬ　ＴＲＡＣＫ−ＩＮＪを発生し、操作を中止 する。ロットはＡＬＵＴＯ７により装置に装填される。データカード４０はラン 状態にあるロットを示すようにマークされる。データカード４０にストアされた または、ＣＤＰ７２０で送られた任意の処理仕様は、ＳＡ、Ｍ２Ｏ３のターミナ ルスクリーン上の表示される。

ＳＡＭ７０４はｒＳｔａｒｔ　Ｒｕｎ」時間スタンプをＣＤＰ　７２０に送る。

もしステーションがコンフィギユレーション可能の装置インターフェース７１０ を有している場合には、ＳＡＭ７０４は、ＣＤＰ　７２０にｒｓｔａｒｔ　Ｒｕ ＩＩＪ時間スタンプの信号を送るまえに、コンフィギユレーションをして処理装 置スタートメソセージを待つ。

もし当該ステーションが、コンフィギユレーション可能な装置インターフェース ７１０を備えている場合であってロットデータが自動レンビー（ｒｅｃｉｐｅ） を必要とする場合には、ＳＡＭ７０４は喝ノドパラメータを０７１−データから 前もってストアされたレシピ−スケルトンに入れ、このレンビーを装置７０６に 送る。

データ収集動作（ＤＣＯＰ）には２つのやり方がある。もしステーション７０２ がコンフィギユレーション可能な装置インターフェース７１０を備えているばあ いには、ＳＡＭ７０４によってデータは装置７０６から直接得られる。このデー タはＣＤＰ７２０に送られる。この方法が使用されない場合には、収集はオペレ ータが直接ＣＤＰ７２０に入力することによって行われる。ＳＡＭ７０４は事実 上この目的のために使用される。

処理ステップが完了すると、オペレータはＡＬＵ７０７にウェハーを装置７０６ から下ろさせ、咳ウェハーはコンテナ１０に戻させる。まず、オペレータはＳＡ Ｍ７０４にある識別番号を入力するようにめられる。ＳＡＭ７０４はｒ　Ｅ　ｎ 　ｄ　Ｒ，ｕ　ｎ　Ｊ時間スタンプの信号をＣＤＰ７２０に送る。ステーション がフンフィギュレーノコン可能な装置インターフェース７１０を備えている場合 には、装置ｒｓｔｏｐ」メツセージを受け取るとＳＡＭ７０４はコンフィギユレ ーションを行ってｒＥｒ＋ｄ　Ｒｕｎ」時間スタンプの信号をＣＤＰ７２０に送 る。

ＳＡＭ７０４によってトラック−アウトがＣＤＰ７２０システム上で自動的に行 われる。ロットはこのとき更新され、オペレータに解放される。液晶ディスプレ ー　（ＬＣＤ）によってオペレータに当該ロットがつぎにどのワークセンターの どの装置に行くべきかを知らせる。

オペレータはそのロフトをつぎのステーション７０２または５ＳＡ７４０に運ぶ 。０７トが５ＳＡ７４０に着くと、ｒｓｅｎｄ　ｆｒｏｍ　ＣｅｌｌＪ時間スタ ンプが送られ、つぎにロフトの場所が確認される。

この方法で、どのウェハーの処理もＣＤＰ７２０によって追跡される。この精密 なウェハー追跡を行うことは、異なるウェハーが単一のコンテナ１０収容されて 異なる処理ステップにかかる場合には特に重要である。ＣＤＰ　７２０との相互 作用を行うことの別の重要な点は、オペレータが各種のバッチの処理パラメータ を決定する必要がないということであり、処理パラメータはＣＤＰ７２０からＳ ＡＭ７０４にダウンロードされ、ＳＡＭ７０４で表示されるかあるいはＳＡＭ７ ０４から装置７０６にインターフェース７１０を介してダウンロードされる。

マニュアルの処理ステップを行う場合には、ＡＬＵ７０７は処理のためにコンテ ナ１０からロットを移動させるのに使用される。処理すべきロフトは１度にＡＬ Ｕ７０７の上に配置される。そのロフトは有効なものとされロットデータをコン テナ１０に入力することによって追跡される。つぎに、コンテナ１０が開けられ 、ウェハーは処理を行うために取り出される。処理が完了すると、ロットはＡＬ ＴＪ７０７に戻される。空のコンテナ１０　（空のカセットを収容する）がＡＬ Ｕ７０７に配置されてコンテナ１０が開かれる。ロットはコンテナ１０内部に配 置さね、オペレータはロットＩＤを入力する。ＳＡＭ７０４はｒＴｒａｃｋＯＬ ｌｔＪを行い、ロット情報をデータカード４０に書き込む。ＡＬＵ７０７ｉ；ｔ ｒンテナ１０を閉じる。

再作業、分割、結合または廃棄が必要な場合には、オペレータはＣＤＰ７２０に ターミナルに行って、これらのシーケンスの内の１つ以上のものを開始しなけれ ばならない。ロフトはつぎにストレージの中に配置されるかまたは、ＡＬＵ７０ ７に配置され、データカード４０を更新する。

ある場合には、トランク−イノに関してＳＡＭ７０４によって得られた材料情報 には、トランク−アウトの前に制御動作を指示するフラグが必要となるというこ とを含めることができる。この場合には、処理ソールにあるＳＡＭ７０４はｒＲ ｅｑｕｅｓｔ　Ｃｏｎｔｒｏｔ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　ＲｅｍｏｖａｌＴｎｆｏｒ ｍａｔｉｏｎ」のメツセージを送る。得られた材料取り出し命令は擬似処理ステ ップに形式でデータカード４０にストアされる。材料取り出し命令が処理ステッ プに後に続く場合には、オペレータはデータカード４０からテストウェハーを取 り出すためにＡＬＵ７０７に行くように知らされる。ＡＬＵ７０７では、つｘバ ーは手動で取り出され、ＣＤＰ７２０には、ｒｃｏｎｔｒｏｌＭａｔｅｒｉａｌ 　Ａｃｔｉｏｎｊメツセージによって知らされ、その後トラック−アウトされる 。

本発明の好ましい実施例についての上記の説明は、例示と説明の目的で行われた ものである。これは本発明を消耗させるものでも、開示された正確な形態に限定 するものでも／、（＜、多くの修正変更が上記の教示に照らして可能となる。特 定の実施例が本発明の原理を最も良く説明するために選択され、説明されており 、これによって、当業者が各種の実施態様で本発明を活用することが可能となり 、各種の変更を特定の用途に適合させることができる。本発明の範囲は添付の特 許請求の範囲によって規定されものであるこまを意図してし）る。

ＦＩＧ、−１ ＦＩＧ、　−３Ａ ＦＩＧ、−８ ＦＩＧ、−９８ ＦＩＧ、−９Ｃ 門　ＦＩＧ、−ＩＩ ＦＩＧ、　−１２ 国際調査報告

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. １．各処理ステップが対応するワークステーションでおこなわれるようになった 物品のための１連の処理を行うシステムであって、物品のための移動コンテナを 備え、該移動コンテナは、該移動コンテナ内の物品へのアクセスを制御する第１ インターフェースと、物品のアイデンティティと処理ヒストリーに関するデータ を受信し、ストアし、送信するコンテナデータ処理手段を有し、前記システムは 、さらに、 各ワークステーションに設けられ、前記第１インターフェースとインターフェー スする第２インターフェース手段と、各ワークステーションに設けられ、前記コ ンテナデータ処理手段からデータを受信し及び該手段にデータを送信し、前記コ ンテナデータ処理手段から受信したデータを処理し、前記第１及び第２インター フェース手段を制御して物品の処理ヒストリーと該ワークステーションのアイデ ンティティとの比較に基づいて前記移動コンテナにある物品へのアクセスを許容 するワークステーションデータ処理手段と、 前記各コンテナとワークステーションデータ処理手段からデータを受信し及び該 コンテナと手段にデータを送信し、該各コンテナとワークステーションデータ処 理手段から受信したデータを処理する中央データ処理手段とを備えたことを特徴 とするシステム。
2. ２．請求項１において、前記コンテナデータ処理手段と前記ワークステーション データ処理手段が物品のステータスとワークステーションのステータスに関する データを前記中央データ処理手段に送信することを特徴とするシステム。
3. ３．半導体ウエハー処理システムであって、半導体ウエハーをストアする移動コ ンテナを備え、該移動コンテナは、 該コンテナ内にストアする物品への承認されていないアクセスを防止するラッチ を有するドアと、 該コンテナにストアされたウエハーに関するデータをストアし、該データを送信 し、該コンテナ内にストアされている物品に関するデータを受信する第１データ 処理手段とを有し、 該システムはさらに、 複数のワークステーションを備え、 各ワークステーションは、 前記コンテナを収容し、前記コンテナの前記ドアを操作するインターフェースス テーションと、 処理ステーションと、 前記インターフェースステーションと前記処理ステーションとの間で半導体ウエ ハーを移送する移送手段と、 ワークステーションアイデンティティ情報をストアし、データを受信及び送信し 、データを処理し、前記コンテナから受信されたデータとワークステーションア イデンティティ情報とを比較し、前記コンテナから受信されたデータとワークス テーションアイデンティティ情報との比較に応答して前記インターフェースステ ーションを制御し、前記処理ステーションを制御する第２ステーションとを有し 、 該システムはさらに、 前記各第２データ処理手段からデータを受信し及び該手段にデータを送信し各通 信手段から受信されたデータを処理する第３データ処理手段とを備えたことをシ ステム。
4. ４．請求項３において、前記第１データ処理手段は前記コンテナにおいてストア された各ウエハーについてのアイデンティティと、行われる処理ステップと、処 理ヒストリーとを含むデータをストアすることを特徴とするシステム。
5. ５．物品の移送と処理を行うシステムであって、物品を収容する内部領域を有す る少なくとも１つの移動コンテナと、前記移動コンテナ内に設けられ、対応する 移動コンテナに収容された物品に関する情報を受信し、ストアし、送信し、表示 する第１手段と、複数のワークステーションとを備え、 該各ワークステーションは、 前記移動コンテナの１つを収容する第２手段と、前記第２手段に収容された移動 コンテナによって搬送される物品を処理する第３手段と、 前記第２手段に収容された移動コンテナに設けられた第１手段にストアされた前 記情報に応答し、前記第２及び第３手段を制御し、前記第３手段で行われる処理 に関する情報を前記第１手段に送信する第４手段とを有し、前記システムはさら に、 少なくとも１つの前記ワークステーションの第３手段と通信して対応するワーク ステーションのステータスに関する情報を受信し、ワークステーションの前記第 ３手段で行われる処理に関する情報を送信し、ワークステーションの第２手段に 収容された移動コンテナ上に設けられた第１手段によってストアされた情報を受 信する第５手段とを備えたこと特徴とするシステム。
6. ６．請求項５において、さらに、前記移動コンテナの１つをストアし、そこにス トアされた移動コンテナの第１手段と前記第５手段との間の通信を与える第６手 段を備えたことを特徴とするシステム。
7. ７．請求項６において、さらに、 前記複数のワークステーションの第１のグループの各々の第３手段の間の通信を 与える第１ネットワーク手段と、 前記複数のワークステーションの第２のグループの各々の第３手段の間の通信を 与える第２ネットワーク手段と、 前記第１ネットワーク手段を制御し、該第１ネットワーク手段と前記第５手段と の間の通信を与える第１ローカル処理手段と、前記第２ネットワーク手段を制御 し、前記第２ネットワーク手段と前記第５手段との間の通信を与える第２ローカ ル処理手段とを備えたことを特徴とするシステム。
8. ８．物品をストアし、搬送し、処理するシステムであって、複数の移動コンテナ を備え、 各移動コンテナは、複数の物品を収容する内部領域を有しており、前記システム はさらに、 各移動コンテナに設けられ、対応する移動コンテナに収容された物品に関する情 報を受信し、ストアし、送信し、表示するデータ処理手段と、複数のワークステ ーションとを備え、 該各ワークステーションは、 １つの前記移動コンテナを収容する第１手段と、該第１手段に収容された移動コ ンテナによって輸送される物品の選択されたものを処理する第２処理手段と、 前記第１手段に収容された移動コンテナに設けられたデータ処理手段によってス トアされた前記情報に応答して、（ｉ）前記第１手段に収容された移動コンテナ にある少なくとも１つの物品が適当なワークステーションに到着したことを確認 し、（ｉｉ）物品が適当なワークステーションに到着しなかったときは前記デー タ処理手段を制御して該適当なワークステーションのアイデンティティを表示し 、（ｉｉｉ）該ワークステーションで処理されるべき各物品の処理情報をストア し、（ｉｖ）前記第１手段及び第２手段を制御して前記確認と選択された物品に ついての処理情報に従い物品の選択されたものを処理し、（ｖ）中央処理ユニッ トに前記物品の処理時間を報告し、（ｖｉ）前記第１手段に収容された移動コン テナの前記データ処理手段を制御し後続の処理ステップに関連する情報を表示す る第３手段と、を有し、前記システムはさらに、 少なくとも１つの前記ワークステーションの第３手段と通信して対応するワーク ステーションのステータスに関する情報を受信し、該ワークステーションの前記 第２手段によって行われべき処理に関する情報を送信し、ワークステーションの 第１手段に収容された移動コンテナに設けられたデータ処理手段によってストア された情報を受信する中央処理ユニットと、前記移動コンテナを収容し、前記移 動コンテナに設けられたデータ処理手段と中央処理ユニットとの間の通信を与え 、前記データ処理手段によってストアされた情報のバックアップコピーを作成す る手段を有するストレージステーションとを備えたことを特徴とするシステム。
9. ９．請求項８において、前記ストレージ手段が前記データ処理手段によっストア された情報を更新することを特徴とするシステム。
10. １０．各データ処理手段が該データ処理手段に対し、該データ処理手段にストア されている情報を表示させる制御手段を備えたことを特徴とするシステム。
11. １１．物品をストアし、搬送し、処理するシステムであって、複数の移動コンテ ナを備え、 各移動コンテナは複数の物品を収容する内部領域を有しており、前記システムは さらに、 前記各移動コンテナに設けられ、対応する移動コンテナ収容された物品に関する 情報を受信し、ストアし、送信し、表示するデータ処理手段と、複数のワークス テーションを備え、 各ワークステーションは物品の選択されたものを処理する手段を有し、前記シス テムはさらに、 前記各ワークステーションと通信して対応するワークステーションのステータス に関する情報を受信し、前記ワークステーションによって行われるべき処理に関 する情報をダウンロードし、移動コンテナに設けられたデータ処理手段によって ストアされた情報を受信する中央処理ユニットと、移動コンテナを収容し、移動 コンテナ上に設けられたデータ処理手段と中央処理ユニットとの間の通信を与え 、前記データ処理手段によってストアされた情報のバックアップコピーを作成す る手段とを備えたストレージステーションとを備えたことを特徴とするシステム 。