NL1015480C2 - Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette. - Google Patents
Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1015480C2 NL1015480C2 NL1015480A NL1015480A NL1015480C2 NL 1015480 C2 NL1015480 C2 NL 1015480C2 NL 1015480 A NL1015480 A NL 1015480A NL 1015480 A NL1015480 A NL 1015480A NL 1015480 C2 NL1015480 C2 NL 1015480C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- semiconductor
- wafer cassettes
- data
- processing means
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 217
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 170
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 58
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 156
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 151
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 42
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 19
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 17
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 15
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001119 image correlation spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4183—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by data acquisition, e.g. workpiece identification
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31218—Scheduling communication on bus
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32277—Agv schedule integrated into cell schedule
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/60—Electric or hybrid propulsion means for production processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Description
A00-30046/Me/FHE
Korte aanduiding: Halfgeleiderfabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette.
Gebied van de uitvinding
De uitvinding heeft betrekking op een halfgeleiderfabriekauto-matiserings-(hierna aangeduid met FA) systeem, en meer in het bijzonder op een halfgeleider-FA-systeem en werkwijze voor het verwerken 5 van ten minste een halfgeleiderwafelcassette.
Beschrijving van de stand van de techniek
Een gangbaar halfgeleider-FA-systeem verwerkt in het algemeen op automatische wijze halfgeleiderwafels. Het gangbare halfgeleider-FA-systeem bevat verwerkingsapparatuur (hierna aangeduid met EQ's), 10 voorraadhouders en een automatisch geleidervoertuig (hierna aangeduid met AGV). Een EQ voert een halfgeleiderproces uit op de halfgeleiderwafels. Een voorraadhouder laadt een de halfgeleiderwafels bevattende halfgeleiderwafelcassette in de EQ om te worden verwerkt. Verder slaat de voorraadhouder de halfgeleiderwafelcassette, die reeds in de 15 EQ is verwerkt, op. De AGV transporteert de halfgeleiderwafelcassette vanaf de EQ naar een andere EQ. Verder transporteert de AGV de halfgeleiderwafelcassette vanuit de voorraadhouder naar de EQ. Verder transporteert de AGV de halfgeleiderwafelcassette vanuit de procesapparatuur naar de voorraadhouder.
20 Het gangbare halfgeleider-FA-systeem bevat verder een bediener- koppelingserver (hierna aangeduid met OIS) en een EQ server (hierna aangeduid met EQS). De OIS ontvangt van een bediener een procesvoorschrift als procesomstandigheidgegevens, bevattende een procestempe-ratuur, een procesdruk enz. De OIS zendt het procesvoorschrift naar 25 de EQS. De EQS zendt het procesvoorschrift naar de EQ. De EQ dient het halfgeleiderproces volgens het procesvoorschrift uit te voeren.
Nadat de halfgeleiderwafelcassette door de AGV in de EQ is geladen, ontvangt de EQ typisch het procesvoorschrift van de EQS. Terwijl de halfgeleiderwafelcassette door de AGV in de EQ wordt geladen, 30 kan een foutwerking van de EQ of de AGV worden veroorzaakt. In dit stadium kan de EQS het procesvoorschrift niet naar de EQ zenden. Nadat de foutwerking van de EQ of de AGV is verholpen, dient de bediener opnieuw het procesvoorschrift in de OIS in te voeren. Dienover- .1015480 - 2 - eenkomstig treedt er een probleem op, dat de voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette benodigde tijdsperiode toeneemt.
Samenvatting van de uitvinding
Het is daarom een doel van de uitvinding om een halfgeleider-5 FA-systeem en een werkwijze voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette te verschaffen, welke in staat is een voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette benodigde tijdsperiode te verminderen.
Een ander doel van de uitvinding is het verschaffen van een 10 computer-leesbaar medium, dat programmaopdrachten opslaat, waarbij de programmaopdrachten in een computer geplaatst worden om een werkwijze voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette uit te voeren, welke werkwijze in staat is een voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette benodigde tijdsperiode te verminderen.
15 Volgens een uitvoeringsvorm van de uitvinding is een inrichting voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette verschaft, waarbij de halfgeleiderwafelcassette een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels bevat, omvattende: een bedienerkoppelingsmiddel voor het ontvangen van processchemagegevens van de halfgeleiderwafel-20 cassette en een door een bediener ingevoerd, met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend procesvoorschrift; een halfgeleiderver-werkingsmiddel voor het verzenden van een verzoek om het procesvoorschrift en voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfge-25 leiderwafelcassette; een opslagmiddel voor het opslaan van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift; en een besturingsmiddel voor het zenden van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift naar het halfgeleiderverwerkingsmiddel in reactie op het verzoek 30 voordat de halfgeleiderwafelcassette in het halfgeleiderverwerkingsmiddel wordt geladen.
Volgens een andere uitvoeringsvorm van de uitvinding is een halfgeleiderfabriekautomatiserings(FA)systeem voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette verschaft, waarbij de half-35 geleiderwafelcassette een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels bevat, omvattende: een bedienerkoppelingsmiddel voor het ontvangen van processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en een door een bediener ingevoerd, met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend procesvoorschrift; een halfgeleiderverwerkingsmiddel voor het verwer-
)- '1 3 C V
V l · · · : · .'· · • \j . v/ vy - 3 - ken van de halfgeleiderwafelcassette volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette; een tussen het bedienerkoppelingsmiddel en het halfgeleiderverwerkingsmiddel geschakeld opslagmiddel voor het opslaan van de processchemagegevens 5 van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift; en een be-sturingsmiddel voor het zenden van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift naar het halfgeleiderverwerkingsmiddel zodat de halfgeleiderwafelcassette in het halfgeleiderverwerkingsmiddel wordt geladen.
10 Volgens een ander aspect van de uitvinding is een werkwijze voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette in een halfgeleiderfabriekautomatiserings(FA)systeem verschaft, waarbij de halfgeleiderwafelcassette een voorafbepaald aantal halfgeleiderwa-fels bevat, omvattende de stappen van: a) het ontvangen van proces-15 schemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en een door een bediener ingevoerde, met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend procesvoorschrift; b) het opslaan van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift; c) het zenden van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafels en het procesvoor-20 schrift naar een procesinrichting voordat de halfgeleiderwafelcassette in de procesinrichting wordt geladen; en d) het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette.
Volgens een verder aspect van de uitvinding is een computer-25 leesbaar medium, dat programmainstructies opslaat, welke programmain-structies geplaatst worden in een computer om de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette in een halfgeleiderfabriekauto-matiseringssysteem uit te voeren, verschaft, waarbij de halfgeleiderwafelcassette een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels bevat, om-30 vattende de stappen van: a) het ontvangen van processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en een door een bediener ingevoerde, met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend procesvoorschrift; b) het opslaan van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift; c) het zenden van de processchema-35 gegevens van de halfgeleiderwafels en het procesvoorschrift naar een procesinrichting voordat de halfgeleiderwafelcassette in de procesinrichting wordt geladen; en d) het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette.
1015480 - 4 -
Korte beschrijving van de tekening
De bovenstaande en andere doelen en kenmerken van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de volgende beschrijving van voorkeursuitvoeringsvormen in samenhang met de bijgevoegde tekening, waarin: 5 fig. 1 een blokschema is, dat een halfgeleider-FA-systeem voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette volgens de uitvinding beschrijft; fig. 2 een blokschema is, dat een in fig. 1 weergegeven trans-portbesturingsgedeelte toont; en 10 fig. 3 en 4 stroomschema's zijn, die een werkwijze voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette in een halfgeleider-FA-systeem volgens de uitvinding tonen.
Gedetailleerde beschrijving van de uitvinding
Er wordt nu verwezen naar fig. 1, waarin een blokschema is 15 weergegeven, dat een halfgeleider-FA-systeem voor het verwerken van ten minste een halfgeleiderwafelcassette volgens de uitvinding toont. Zoals is weergegeven bevat het halfgeleider-FA-systeem ten minste een cel, die een voorafbepaald aantal, bijv. 4, halfgeleiderproductiecom-partimenten heeft. Een halfgeleiderproductiecompartiment 400 is opge-20 nomen in een cel. Een halfgeleiderproductiecompartiment 400 is voorzien van EQ's 204, voorraadhouders 216 en een AGV 214. De EQ 204 verwerkt halfgeleiderwafels om halfgeleiderinrichtingen te verkrijgen.
De EQ 204 bevat bijv. een etsinrichting, een fotolithografische inrichting, een oveninrichting, een fysische opdamp(PVD)inrichting, een 25 sputterinrichting en dergelijke. Een voorraadhouder 216 slaat tijdelijk een aantal halfgeleiderwafelcassette op. De halfgeleiderwafel-cassettes hebben elk een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels, welk aantal als een partij wordt aangeduid. De halfgeleiderwafelcas-settes worden onder gebruikmaking van de AGV 214 selectief naar de EQ 30 204 getransporteerd. De in de voorraadhouder 216 opgeslagen halfge leiderwafelcassette wordt naar een ander halfgeleiderproductiecompar-timent 400 getransporteerd.
Een procesinrichtingserver (hierna aanduid met EQS) 202 is gekoppeld aan een gemeenschappelijke communicatielijn 500, bijv. Ether-35 net™, geleverd door Xerox Corporation. Een AGV-besturing (hierna aangeduid met AGVC) 212 bestuurt de AGV 214.
Het halfgeleider-FA-systeem bevat ook een celbeheergedeelte 100, een met het celbeheergedeelte 100 verbonden onvertraagde-gege-vensbestand 300, een tijdelijke opslageenheid 310, een met de tijde- 1015480 - 5 - lijke opslageenheid 310 verbonden historiebeheergedeelte 312 en een met het historiebeheergedeelte 312 verbonden historiegegevensbestand 314. Het celbeheergedeelte 100, het historiebeheergedeelte 312 en het historiegegevensbestand 314 zijn respectievelijk verbonden met de ge-5 meenschappelijke communicatielijn 500 voor onderlinge communicatie.
Het celbeheergedeelte 100 bevat een celbeheerserver (CMS) 206, een bedienerkoppelingserver (hierna aangeduid met OIS) 201 en een ge-gevensverzamelserver (DGS) 207. De DGS 207 slaat met de partij verbonden procesgegevens op in het onvertraagde-gegevensbestand 300.
10 De OIS 201 ontvangt processchemagegevens van de halfgeleiderwa- felcassette en een met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend procesvoorschrift van een bediener. De EQ 204 zendt fen verzoek voor het procesvoorschrift aan de EQS 202. De EQ 204 verwerkt de halfgeleiderwafelcassette volgens het procesvoorschrift en de processchema-15 gegevens van de halfgeleiderwafelcassette. De tussen de OIS 201 en de EQ 204 geschakelde EQS 202 slaat de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift op. De EQS 202 zendt de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift naar de EQ 204 in reactie op het verzoek voordat de 20 halfgeleiderwafelcassette in de EQ 204 wordt geladen.
De OIS 201 zendt een lijnmodusomzettingsbericht naar de EQS 202. De EQS 202 zendt een met het lijnmodusomzettingsbericht corresponderend lijmodusomzettingscommando naar de EQ 204. De EQS 202 zet een communicatielijnmodus van een niet-gekoppelde naar een gekoppelde 25 modus om. Verder communiceert de EQS 202 met de EQ 204 op basis van de gekoppelde modus. De EQS 202 zendt gegevens en tijdgegevens naar de EQ 204. De in de EQ 204 opgenomen gegevens en tijdgegevens worden aangepast aan de in de EQ 202 opgenomen gegevens. De EQ 204 rapporteert een poorttoestand en een werkingsmodustoestand van de EQ 204 30 aan de EQS 202, waarbij de werkingsmodustoestand een volautomatische modus en een halfautomatische modus bevat. De EQ 202 zendt resultaatgegevens van het halfgeleiderproces naar de EQS 202 nadat het halfge-leiderproces met betrekking tot de halfgeleiderwafelcassette is voltooid .
35 Dienovereenkomstig kan het halfgeleider-FA-systeem een voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassette benodigde tijdsperiode verminderen door het zenden van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het procesvoorschrift naar de EQ 204 voordat de halfgeleiderwafelcassette in de EQ 204 wordt geladen.
1015480 - 6 -
Er wordt nu verwezen naar fig. 2, waarin een blokschema is weergegeven, dat een in fig. 1 weergegeven transportbesturingsgedeel-te toont. Zoals is weergegeven, bevat het transportbesturingsgedeelte 116 aan de gemeenschappelijke communicatielijn 500 gekoppelde intra-5 compartimentbesturingsservers (hierna aangeduid met ICS's) en voor-raadhouderbesturingsservers (hierna aangeduid met SCS's) 218. De ICS 210 zet een van de gemeenschappelijke communicatielijn 500 afkomstig transportbericht om in een transportcommando. De SCS 218 wekt een voorraadhouderbesturingscommando op om de voorraadhouders 216 in re-10 actie op het transportcommando te besturen. De AGVC 212 wekt een AGV-besturingscommando op om een AGV 214 in reactie op het transportcommando te besturen.
Er wordt nu verwezen naar fig. 3 en 4, waarin stroomschema's zijn weergegeven, die een werkwijze voor het verwerken van ten minste 15 een halfgeleiderwafelcassette in een halfgeleider-FA-systeem volgens de uitvinding tonen.
Er wordt nu verwezen naar fig. 3, waarin in stap 302 de OIS 201 een door de bediener ingevoerd lijnmodusomzettingscommando ontvangt en een met het lijnmodusomzettingscommando corresponderend bericht 20 via de gemeenschappelijke communicatielijn 500 naar de EQS 202 zendt.
In stap S304 zet de EQS 202 een communicatielijnmodus van een niet-gekoppelde modus om in een gekoppelde modus. De EQS 202 zendt het lijnmodusomzettingscommando naar de EQ 204. Vervolgens communiceert de EQS 202 met de EQ 204 op basis van een gekoppelde modus.
25 In stap S306 vraagt de EQ 204 aan de EQS 202 om gegevens en tijdgegevens, na het ontvangen van het lijnmodusomzettingscommando van de EQS 202.
In stap S308 zendt de EQ 202 de gegevens en tijdgegevens naar de EQ 204. Vervolgens worden de in de EQ 204 opgeslagen gegevens en 30 tijdgegevens aangepast aan de in de EQS 202 opgeslagen gegevens.
In stap S310 rapporteert de EQ 204 een poorttoestand, een EQ-toestand en een werkingsmodustoestand van de EQ 204 aan de EQS 202, waarbij de werkingsmodustoestand een volautomatische modus en een halfautomatische modus bevat.
35 In stap S312 zendt de EQS 202 in reactie op het van de EQ 204 afkomstige rapport een bevestigingssignaal naar de EQ 204.
In stap S314 zendt de EQ 204 een verzoek aan de EQS 202, zodat de halfgeleiderwafelcassette in de EQ 204 kan worden geladen.
] η 1 r-T 3 o ,·-) - 7 -
In stap S316 zendt de EQS 202 in reactie op het van de EQ 204 afkomstige verzoek het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
In stap S318 ontvangt de OIS 201 van de bediener processchema-gegevens van de halfgeleiderwafelcassette, zodat de halfgeleiderwa-5 felcassette gepland wordt om in de EQ 204 te worden geladen volgens de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette. Verder ontvangt de OIS 201 van de bediener een met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend procesvoorschrift, waarbij het procesvoorschrift een procestemperatuur, een procesdruk enz. als procesomstandigheidgege-10 vens bevat. Vervolgens zendt de OIS 201 de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het met de halfgeleiderwafelcassette corresponderende procesvoorschrift naar de EQS 202.
In stap S320 slaat de EQS 202 de van de OIS 201 afkomstige processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassette en het met de 15 halfgeleiderwafelcassette corresponderende procesvoorschrift op. De EQS 202 vraagt aan de EQ 204 om een halfgeleiderproces te initialise-ren.
In stap S322 zendt de EQ 204 in reactie op de vraag van de EQS 202 het bevestigingssignaal de EQS 202.
20 In stap S324 zendt de EQS 202 het procesvoorschrift naar de EQ
204 .
In stap S326 informeert de EQ 204 de EQS 202 dat de EQ 204 het procesvoorschrift van de EQS 202 heeft ontvangen.
In stap S328 vraagt de EQS 202 aan de AGV 214 om de halfgelei-25 derwafelcassette in de EQ 204 te laden.
In stap S330 zendt de AGV 214 in reactie op de vraag van de EQS 202 het bevestigingssignaal naar de EQS 202.
In stap S332 informeert de AGV 214 de EQS 202 dat de AGV 214 voor de EQ 204 is gestart.
30 In stap S334 bereikt de AGV 214 de EQ 204 om de halfgeleiderwa felcassette in de EQ 204 te laden.
In stap S336 maakt de EQ 204 zijn deur open.
In stap S338 laadt de AGV 214 de halfgeleiderwafelcassette in de EQ 204.
35 In stap S340 rapporteert de EQ 204 de poorttoestand van de EQ
204 aan de EQS 202.
In stap S342 zendt de EQS 202 in reactie op het van de EQ 204 afkomstige rapport het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
In stap S344 doet de EQ 204 zijn deur sluiten.
— 'i "· ♦ r\ ··'> i i i.i. ’ i - 8 -
In stap S346 informeert de AGV 214 de EQS 202 dat de AGV 214 de halfgeleiderwafelcassette in de EQ 204 heeft geladen.
In stap S348 informeert de EQ 204 de EQS 202 dat de halfgeleiderwafelcassette in de EQ 204 is geladen.
5 In stap S350 zendt de EQS 202 in reactie op de van de EQ 204 afkomstige informatie het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
Er wordt nu verwezen naar fig. 4, waarin in stap S402 de EQS 202 aan de EQ 204 vraagt om de in de halfgeleiderwafelcassette aanwezige halfgeleiderwafels te verwerken.
10 In stap S404 zendt de EQ 204 in reactie op de van de EQS 202 afkomstige vraag het bevestigingssignaal naar de EQS 202.
In stap S406 informeert de EQ 204 de EQS 202 dat de EQ 204 een met de halfgeleiderwafelcassette corresponderend halfgeleiderproces heeft gestart.
15 In stap S408 zendt de EQS 202 in reactie op de van de EQ 204 afkomstige informatie het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
In stap S410 voert de EQ 204 het halfgeleiderproces met betrekking tot de in de halfgeleiderwafelcassette aanwezige halfgeleiderwa-fels volgens het procesvoorschrift uit.
20 In stap S412 zendt de EQ 204 resultaatgegevens van het halfge leiderproces naar de EQS 202.
In stap S414 zendt de EQS 202 het bevestigingssignaal naar de EQ 204 na het ontvangen van de resultaatgegevens van het halfgeleiderproces .
25 In stap S416 informeert de EQ 204 de EQS 202 dat de EQ 204 het halfgeleiderproces heeft voltooid.
In stap S418 zendt de EQS 202 in reactie op de van de EQ 204 afkomstige informatie het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
In stap S420 vraagt de EQS 202 aan de AGV 214 om de halfgelei- 30 derwafelcassette uit de EQ 204 te ontladen.
In stap S422 zendt de AGV 214 in reactie op de van de EQS 202 afkomstige vraag het bevestigingssignaal naar de EQS 202.
In stap S424 bereikt de AGV 214 de EQ 204 om de halfgeleiderwafelcassette uit de EQ 204 te ontladen.
35 In stap S426 maakt de EQ 204 zijn deur open.
In stap S428 ontlaadt de AGV 214 de halfgeleiderwafelcassette uit de EQ 204.
In stap S430 rapporteert de EQ 204 de poorttoestand van de EQ 204 aan de EQS 202.
} d . - r O J
- 9 -
In stap S432 zendt de EQS 202 in reactie op het van de EQ 204 afkomstige rapport het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
In stap S434 doet de EQ 204 zijn deur sluiten.
In stap S436 informeert de AGV 214 de EQS 202 dat de AGV 214 de 5 halfgeleiderwafelcassette uit de EQ 204 heeft ontladen.
In stap S438 informeert de EQ 204 aan de EQS 202 dat de halfgeleiderwafelcassette uit de EQ 204 is ontladen.
In stap S440 zendt de EQS 202 in reactie op de van de EQ 204 afkomstige informatie het bevestigingssignaal naar de EQ 204.
10 Hoewel de voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding zijn ge openbaard voor illustratieve doeleinden, zal het voor de vakman op dit gebied van de techniek duidelijk zijn dat verschillende modificaties, toevoegingen en vervangingen mogelijk zijn, zonder het kader en de gedachte van de uitvinding, zoals deze geopenbaard worden in de 15 bijgevoegde conclusies, te verlaten.
1015480
Claims (30)
1. Inrichting voor het verwerken van halfgeleiderwafelcasset-5 tes, waarbij elk van de halfgeleiderwafelcassettes een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels bevat, omvattende: een bedienerkoppelingsmiddel voor het ontvangen van processche-magegevens van de halfgeleiderwafelcassettes en een door een bediener ingevoerd, met de halfgeleiderwafelcassettes corresponderend proces-10 voorschrift; een verwerkingsmiddel voor het verzenden van een verzoek om het procesvoorschrift en voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassettes volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes; 15 een opslagmiddel voor het opslaan van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes en het procesvoorschrift; en een besturingsmiddel voor het zenden van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes en het procesvoorschrift naar genoemd verwerkingsmiddel in reactie op het verzoek voordat de half-20 geleiderwafelcassettes in het verwerkingsmiddel worden geladen.
2. Inrichting volgens conclusie 1, verder omvattende: een transportmiddel voor het transporteren van de halfgeleiderwafelcassettes naar genoemd verwerkingsmiddel.
3. Inrichting volgens conclusie 2, waarbij genoemd bediener-25 koppelingsmiddel een lijnmodusomzettingsbericht naar genoemd besturingsmiddel zendt.
4. Inrichting volgens conclusie 3, waarbij genoemd besturingsmiddel een met het lijnmodusomzettingsbericht corresponderend lijnmodusomzettingscommando naar genoemd verwerkingsmiddel zendt, een 30 communicatielijnmodus van een niet-gekoppelde modus omzet in een gekoppelde modus, en communiceert met genoemd verwerkingsmiddel op basis van de gekoppelde modus.
5. Inrichting volgens conclusie 4, waarbij genoemd besturingsmiddel datumgegevens en tijdgegevens naar genoemd verwerkings- 35 middel zendt en de in genoemd verwerkingsmiddel opgenomen datumgegevens en tijdgegevens worden aangepast aan de in genoemd besturingsmiddel aanwezige gegevens.
6. Inrichting volgens conclusie 5, waarbij het verwerkingsmiddel een poorttoestand en een werkingsmodustoestand van genoemd 40 verwerkingsmiddel aan genoemd besturingsmiddel rapporteert en waarbij 101 5480"* de werkingsmodustoestand een volautomatische modus en een halfautoma-tische modus omvat.
7. Inrichting volgens conclusie 6, waarbij genoemd bediener-koppelingsmiddel en genoemd besturingsmiddel het door Xerox Corpora- 5 tion geleverde Ethernet™ delen.
8. Inrichting volgens conclusie 7, waarbij genoemd verwer-kingsmiddel resultaatgegevens van het halfgeleiderproces naar genoemd besturingsmiddel zendt na voltooiing van het halfgeleiderproces met betrekking tot de halfgeleiderwafelcassettes.
9. Halfgeleiderfabriekautomatiserings(FA)systeem voor het verwerken van halfgeleiderwafelcassettes, waarbij elk van de halfgeleiderwafelcassettes een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels bevat, omvattende: een bedienerkoppelingsmiddel voor het ontvangen van processche-15 magegevens van de halfgeleiderwafelcassettes en een door een bediener ingevoerd, met de halfgeleiderwafelcassettes corresponderend procesvoorschrift; een verwerkingsmiddel voor het verwerken van de halfgeleiderwafelcassettes volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens 20 van de halfgeleiderwafelcassettes; een tussen genoemd bedienerkoppelingsmiddel en genoemd verwerkingsmiddel geschakeld opslagmiddel voor het opslaan van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes en het procesvoorschrift; en 25 een besturingsmiddel voor het zenden van de processchemagege vens van de halfgeleiderwafelcassettes en het procesvoorschrift naar genoemd verwerkingsmiddel voordat de halfgeleiderwafelcassettes in genoemd verwerkingsmiddel worden geladen.
10. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 9, verder omvat-30 tende: een transportmiddel voor het transporteren van de halfgeleiderwafelcassettes naar genoemd verwerkingsmiddel.
11. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 10, verder omvattende : 35 een voorraadhouder voor het opslaan van de halfgeleiderwafel cassettes .
12. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 11, waarbij genoemd transportmiddel de halfgeleiderwafelcassettes vanaf genoemde voorraadhouder naar genoemd verwerkingsmiddel transporteert. 1015480·
13. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 12, waarbij genoemd verwerkingsmiddel, genoemde voorraadhouder en genoemd transportmiddel in een halfgeleiderproductiecompartiment zijn gelegen.
14. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 13, waarbij de 5 halfgeleiderwafelcassettes door een voertuig vanuit het halfgeleider-productiecompartiment naar een ander halfgeleiderproductiecomparti-ment worden getransporteerd.
15. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 14, waarbij genoemd bedienerkoppelingsmiddel een lijnmodusomzettingsbericht naar 10 genoemd besturingsmiddel zendt.
16. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 15, waarbij genoemd besturingsmiddel een met het lijnmodusomzettingsbericht corresponderend lijnmodusomzettingscommando naar genoemd verwerkingsmiddel zendt en een communicatielijnmodus van een niet-gekoppelde modus om- 15 zet in een gekoppelde modus en genoemd besturingsmiddel communiceert met genoemd verwerkingsmiddel op basis van de gekoppelde modus.
17. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 16, waarbij genoemd besturingsmiddel datumgegevens en tijdgegevens naar genoemd verwerkingsmiddel zendt en de in genoemd verwerkingsmiddel opgenomen 20 datumgegevens en tijdgegevens worden aangepast aan de in genoemd besturingsmiddel aanwezige gegevens.
18. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 17, waarbij genoemd verwerkingsmiddel een poorttoestand en een werkingsmodustoe-stand van genoemd verwerkingsmiddel rapporteert aan genoemd bestu- 25 ringsmiddel en waarbij de werkingsmodustoestand een volautomatische modus en een halfautomatische modus omvat.
19. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 18, waarbij genoemd bedienerkoppelingsmiddel en genoemd besturingsmiddel het door Xerox Corporation geleverde Ethernet™ delen.
20. Halfgeleider-FA-systeem volgens conclusie 19, waarbij ge noemd verwerkingsmiddel resultaatgegevens van het halfgeleiderproces naar genoemd besturingsmiddel zendt na voltooiing van het halfgeleiderproces met betrekking tot de halfgeleiderwafelcassettes.
21. Werkwijze voor het verwerken van halfgeleiderwafelcasset- 35 tes in een halfgeleiderfabriekautomatiserings(FA)systeem, waarbij elk van de halfgeleiderwafelcassettes een voorafbepaald aantal halfgelei-derwafels bevat, omvattende de stappen van: a) het ontvangen van processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes en een door een bediener ingevoerd, met de halfge- 40 leiderwafelcassettes corresponderend procesvoorschrift; 1015480* b) het opslaan van de processchemagegevens van de halfgelei-derwafelcassettes en het procesvoorschrift; c) het zenden van de processchemagegevens van de halfgelei-derwafels en het procesvoorschrift naar een procesinrichting voordat 5 de halfgeleiderwafelcassettes in de procesinrichting worden geladen; en d) het verwerken van de halfgeleiderwafelcassettes volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes .
22. Werkwijze volgens conclusie 21, verder omvattende de stap van: e) het transporteren van de halfgeleiderwafelcassettes naar de procesinrichting.
23. Werkwijze volgens conclusie 22, waarbij genoemde stap a) 15 verder de stappen omvat van: al) het zenden van een lijnmodusomzettingsbericht vanaf een bedienerkoppelingserver naar een procesinrichtingsserver; a2) het zenden van een met het lijnmodusomzettingsbericht corresponderend lijnmodusomzettingscommando vanaf de procesinrichtings-20 server naar de procesinrichting; en a3) het omzetten van een communicatielijnmodus tussen de procesinrichting en de procesinrichtingsserver van een niet-gekoppelde modus in een gekoppelde modus.
24. Werkwijze volgens conclusie 23, waarbij genoemde stap a) 25 verder de stappen omvat van: a4) het zenden van datumgegevens en tijdgegevens vanaf de procesinrichtingsserver naar de procesinrichting; en a5) het aanpassen van de in de procesinrichting opgeslagen datumgegevens en tijdgegevens aan de in de procesinrichtingsserver op-30 geslagen gegevens.
25. Werkwijze volgens conclusie 24, waarbij genoemde stap d) verder de stap omvat van: dl) het zenden van resultaatgegevens van het halfgeleiderpro-ces vanaf de procesinrichting naar de procesinrichtingsserver na het 35 voltooien van het halfgeleiderproces met betrekking tot de halfgeleiderwafelcassettes .
26. Computer-leesbaar medium, dat programmainstructies opslaat, welke programmainstructies geplaatst worden in een computer om de verwerking van halfgeleiderwafelcassettes in een halfgeleiderfa- 40 briekautomatiseringssysteem uit te voeren, waarbij elk van de halfge- 1015480· leiderwafelcassettes een voorafbepaald aantal halfgeleiderwafels bevat, omvattende de stappen van: a) het ontvangen van processschemagegevens van de halfgelei-derwafelcassettes en een door een bediener ingevoerd, met de halfge- 5 leiderwafelcassettes corresponderend procesvoorschrift; b) het opslaan van de prcesschemagegevens van de halfgelei-derwafelcassettes en het procesvoorschrift; c) het zenden van de processchemagegevens van de halfgeleiderwafels en het procesvoorschrift naar een procesinrichting voordat 10 de halfgeleiderwafelcassettes in de procesinrichting worden geladen; en d) het verwerken van de halfgeleiderwafelcassettes volgens het procesvoorschrift en de processchemagegevens van de halfgeleiderwafelcassettes .
27. Computer-leesbaar medium volgens conclusie 26, verder om vattende de stap van: e) het transporteren van de halfgeleiderwafelcassettes naar de procesinrichting.
28. Computer-leesbaar medum volgens conclusie 27, waarbij ge-20 noemde stap a) verder de stappen omvat van: al) het zenden van een lijnmodusomzettingsbericht vanaf een bedienerkoppelingsserver naar een procesinrichtingsserver; a2) het zenden van een met het lijnmodusomzettingsbericht corresponderend lijnmodusomzettingscommando vanaf de procesinrichtings-25 server naar de procesinrichting; en a3) het omzetten van een communicatielijnmodus tussen de procesinrichting en de procesinrichtingsserver van een niet-gekoppelde modus in een gekoppelde modus.
29. Computer-leesbaar medium volgens conclusie 28, waarbij ge-30 noemde stap a) verder de stappen omvat van: a4) het zenden van datumgegevens en tijdgegevens vanaf de procesinrichtingsserver naar de procesinrichting; en a5) het aanpassen van de in de procesinrichting opgeslagen datumgegevens en tijdgegevens aan de in de procesinrichtingsserver op-35 geslagen gegevens.
30. Computer-leesbaar medium volgens conclusie 29, waarbij genoemde stap d) verder de stap omvat van: dl) het zenden van resultaatgegevens van het halfgeleiderproces vanaf de procesinrichting naar de procesinrichtingsserver na het vol- f015480· 5 * tooien van het halfgeleiderproces met betrekking tot de halfgeleider-wafelcassettes. 1015480·
Applications Claiming Priority (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR19990023540 | 1999-06-22 | ||
| KR10-1999-0023539A KR100529389B1 (ko) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 반도체 제조를 위한 세정장비 운용 방법 |
| KR10-1999-0023540A KR100507871B1 (ko) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 반도체 제조를 위한 물리 기상 증착 장비에 공정조건을 제공하는방법 |
| KR19990023539 | 1999-06-22 | ||
| KR19990024872 | 1999-06-28 | ||
| KR1019990024872A KR100540471B1 (ko) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 반도체 제조를 위한 매엽식 장비 자동화 시스템 및 그 방법 |
| KR10-1999-0028417A KR100498602B1 (ko) | 1999-07-14 | 1999-07-14 | 반도체 제조를 위한 스퍼터링 장비 운용 방법 |
| KR19990028417 | 1999-07-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1015480A1 NL1015480A1 (nl) | 2000-12-28 |
| NL1015480C2 true NL1015480C2 (nl) | 2002-08-22 |
Family
ID=27483375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1015480A NL1015480C2 (nl) | 1999-06-22 | 2000-06-20 | Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette. |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001068391A (nl) |
| CN (1) | CN1196044C (nl) |
| DE (1) | DE10030461A1 (nl) |
| FR (1) | FR2796474B1 (nl) |
| GB (1) | GB2351363B (nl) |
| IT (1) | IT1318042B1 (nl) |
| NL (1) | NL1015480C2 (nl) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6535784B2 (en) * | 2001-04-26 | 2003-03-18 | Tokyo Electron, Ltd. | System and method for scheduling the movement of wafers in a wafer-processing tool |
| US7337019B2 (en) * | 2001-07-16 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Integration of fault detection with run-to-run control |
| US6907305B2 (en) * | 2002-04-30 | 2005-06-14 | Advanced Micro Devices, Inc. | Agent reactive scheduling in an automated manufacturing environment |
| JP4673548B2 (ja) * | 2003-11-12 | 2011-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及びその制御方法 |
| CN111301982A (zh) * | 2019-11-12 | 2020-06-19 | 深圳中集智能科技有限公司 | 集装箱生产工厂的同步节拍系统以及控制方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4667403A (en) * | 1984-05-16 | 1987-05-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for manufacturing electronic card modules |
| WO1991010202A1 (en) * | 1989-12-29 | 1991-07-11 | Asyst Technologies, Inc. | Processing systems with intelligent article tracking |
| EP0530973A1 (en) * | 1991-09-05 | 1993-03-10 | Hitachi, Ltd. | Multiprocessing apparatus |
| EP0633207A1 (de) * | 1993-07-07 | 1995-01-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Transportsystem zum Transport von Proben zu unterschiedlichen Behandlungseinrichtungen |
| US5432702A (en) * | 1994-06-17 | 1995-07-11 | Advanced Micro Devices Inc. | Bar code recipe selection system using workstation controllers |
| US5751581A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-12 | Advanced Micro Devices | Material movement server |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2279775B (en) * | 1990-09-17 | 1995-04-26 | Honda Motor Co Ltd | Production control method and system therefor |
| US5668056A (en) * | 1990-12-17 | 1997-09-16 | United Microelectronics Corporation | Single semiconductor wafer transfer method and manufacturing system |
-
2000
- 2000-06-20 NL NL1015480A patent/NL1015480C2/nl not_active IP Right Cessation
- 2000-06-21 DE DE10030461A patent/DE10030461A1/de not_active Withdrawn
- 2000-06-22 CN CNB001240226A patent/CN1196044C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-06-22 FR FR0008010A patent/FR2796474B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2000-06-22 IT IT2000MI001408A patent/IT1318042B1/it active
- 2000-06-22 JP JP2000187909A patent/JP2001068391A/ja active Pending
- 2000-06-22 GB GB0015352A patent/GB2351363B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4667403A (en) * | 1984-05-16 | 1987-05-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for manufacturing electronic card modules |
| WO1991010202A1 (en) * | 1989-12-29 | 1991-07-11 | Asyst Technologies, Inc. | Processing systems with intelligent article tracking |
| EP0530973A1 (en) * | 1991-09-05 | 1993-03-10 | Hitachi, Ltd. | Multiprocessing apparatus |
| EP0633207A1 (de) * | 1993-07-07 | 1995-01-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Transportsystem zum Transport von Proben zu unterschiedlichen Behandlungseinrichtungen |
| US5432702A (en) * | 1994-06-17 | 1995-07-11 | Advanced Micro Devices Inc. | Bar code recipe selection system using workstation controllers |
| US5751581A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-12 | Advanced Micro Devices | Material movement server |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL1015480A1 (nl) | 2000-12-28 |
| GB2351363B (en) | 2003-12-10 |
| FR2796474A1 (fr) | 2001-01-19 |
| FR2796474B1 (fr) | 2006-11-17 |
| ITMI20001408A0 (it) | 2000-06-22 |
| ITMI20001408A1 (it) | 2001-12-22 |
| GB2351363A (en) | 2000-12-27 |
| GB0015352D0 (en) | 2000-08-16 |
| CN1280323A (zh) | 2001-01-17 |
| IT1318042B1 (it) | 2003-07-21 |
| DE10030461A1 (de) | 2001-01-25 |
| JP2001068391A (ja) | 2001-03-16 |
| CN1196044C (zh) | 2005-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3197273B2 (ja) | 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム | |
| US5448470A (en) | Multiprocessing apparatus | |
| JP4760919B2 (ja) | 塗布、現像装置 | |
| US6269279B1 (en) | Control system | |
| US20050273191A1 (en) | Small lot size lithography bays | |
| US6622057B1 (en) | Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle | |
| US6772032B2 (en) | Semiconductor device manufacturing line | |
| NL1015480C2 (nl) | Halfgeleider fabriekautomatiseringssysteem en werkwijze voor de verwerking van ten minste een halfgeleiderwafelcassette. | |
| KR101079487B1 (ko) | 기판 캐리어 핸들러의 향상된 동작을 위한 방법 및 장치 | |
| US6514345B1 (en) | Processing apparatus and managing method of operational condition parameter thereof | |
| JP2001068392A (ja) | 半導体工場自動化装置及びその自動化システム並びにその自動化方法 | |
| JP2004335750A (ja) | 処理スケジュール作成方法 | |
| JP3169001B2 (ja) | ロット搬送制御システム及びその搬送制御方法ならびに搬送制御プログラムを格納した記憶媒体 | |
| US20060271223A1 (en) | Method and system for integrating equipment integration software, equipment events, mes and rules databases | |
| KR100379847B1 (ko) | 제품 웨이퍼를 포함하는 비제품 웨이퍼의 자동화 처리방법 및 시스템 및 동 방법이 기록된 기록매체 | |
| US6604010B2 (en) | System for selectively managing workpieces and a method for controlling the same | |
| GB2358935A (en) | Controlling the transport of special lots of semiconductor wafers between process stockers, eg for dust monitoring | |
| CN100461055C (zh) | 共享半导体机台的方法与使用该方法的制造系统 | |
| JP2001076982A (ja) | 半導体ウェーハを測定する測定装備を制御するための半導体工場自動化システム及び自動化方法 | |
| KR100393867B1 (ko) | 검사 및 수리 시스템, 제품 제조 시스템, 부재 검사 장치,데이터 처리 장치, 부재 수리 장치 및 정보 저장 매체 | |
| JP2001353644A (ja) | 生産ライン | |
| JP2003099126A (ja) | 搬送システムおよび搬送方法 | |
| JP3080493B2 (ja) | ライブラリ装置のアクセッサと、その位置情報復元方法 | |
| KR100537190B1 (ko) | 버퍼 스테이션을 사용한 반도체 생산 라인의 부하 완화 방법 | |
| JPH10270525A (ja) | 基板処理装置、基板処理システムおよび処理レシピのデータ構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AD1A | A request for search or an international type search has been filed | ||
| RD2N | Patents in respect of which a decision has been taken or a report has been made (novelty report) |
Effective date: 20020610 |
|
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20110101 |