FR2796474A1 - Systeme d'automatisation d'usine de fabrication de semi- conducteurs et procede de traitement d'au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs pour traiter au moins une cassette contenant un nombre prédéterminé de plaquettes de semi-conducteur, système qui comprend une interface d'opérateur (201) pour recevoir des données de planification et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; un moyen (204) pour traiter la cassette conformément au mode opératoire et aux données; une mémoire (202) pour mémoriser les données et le mode opératoire; et un moyen de commande (202) pour envoyer les données et le mode opératoire au moyen de traitement (204) avant le chargement de la cassette dans ce dernier.L'invention concerne également un procédé de traitement mis en oeuvre dans ce système.
Description
La présente invention concerne, d'une manière
générale, l'automatisation de la fabrication de semi-
conducteurs et, plus particulièrement, un système
d'automatisation d'usine de fabrication de semi-
conducteurs et un procédé de traitement d'au moins une
cassette de plaquettes de semi-conducteur.
D'une manière générale, un système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs conventionnel traite automatiquement des plaquettes formées d'un semi-conducteur. Le système conventionnel
comprend des équipements de traitement (appelés ci-
après EQ), des unités de stockage et un véhicule de guidage automatique (appelé ci-après un AGV). Les EQ appliquent chacun un traitement de semiconducteur aux plaquettes de semi-conducteur. Les unités de stockage sont chargées de cassettes de plaquettes de semi-conducteur contenant les plaquettes destinées à être traitées dans les EQ. En outre, les unités de
stockage stockent les cassettes de plaquettes de semi-
conducteur déjà traitées dans les EQ. L'AGV transporte les cassettes de plaquettes de semi-conducteur d'un EQ à l'autre. L'AGV transporte aussi les cassettes de plaquettes de semi-conducteur des unités de stockage
aux EQ et de ces derniers aux unités de stockage.
Le système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs conventionnel comprend également un serveur d'interface d'opérateur (ciaprès appelé un OIS) et un serveur d'équipement de traitement (ci-après appelé un EQS). L'OIS reçoit d'un opérateur un mode opératoire de traitement comme données de conditions de traitement comprenant, entre autres, une température de traitement et une pression de traitement. L'OIS envoie
le mode opératoire de traitement à l'EQS.
L'EQS transmet le mode opératoire de traitement à l'EQ.
Ce dernier doit effectuer le traitement de semi-
conducteur conformément au mode opératoire de traitement. De manière caractéristique, une fois que la cassette de plaquettes de semiconducteur a été chargée dans l'EQ par l'AGV, 1'EQ reçoit le mode opératoire de traitement de l'EQS. Pendant le chargement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur dans l'EQ par 1'AGV, une défaillance peut se produire dans l'un ou l'autre de ces derniers. A ce moment-là, l'EQS ne peut pas transmettre le mode opératoire de traitement à 1'EQ. Lorsque la défaillance de l'EQ ou de l'AGV a été réparée, l'opérateur doit réintroduire le mode opératoire de traitement dans l'OIS. Ceci a pour conséquence d'augmenter la période de temps nécessaire
pour traiter la cassette de plaquettes de semi-
conducteur. La présente invention a donc pour but de proposer un système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs et un procédé pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur qui permettent de réduire une période de temps nécessaire
pour traiter la cassette.
La présente invention a aussi pour autre but de proposer un support lisible par ordinateur contenant des instructions de programme, instructions de programme qui sont fournies à un ordinateur afin de mettre en oeuvre le procédé de traitement d'au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur pour réduire
le temps nécessaire au traitement de la cassette.
Pour atteindre les buts ci-dessus et selon un premier aspect de la présente invention, il est proposé un dispositif pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur, cassette qui contient un nombre prédéterminé de plaquettes de semi-conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen formant interface d'opérateur destiné à recevoir des données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; un moyen de traitement de semiconducteur destiné à émettre une demande pour obtenir le mode opératoire de traitement et à traiter la cassette de plaquettes de semi-conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de traitement de la cassette; un moyen formant mémoire destiné à mémoriser les données de planification de traitement de la cassette et le mode opératoire de traitement; et un moyen de commande destiné à envoyer les données de planification de
traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et le mode opératoire de traitement au moyen de traitement de semi-conducteur en réponse à la demande de celui-ci, préalablement au chargement de la
cassette dans le moyen de traitement.
Selon un deuxième aspect de la présente invention, il est proposé un système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur, cassette qui contient un nombre prédéterminé de plaquettes de semi-conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen formant interface d'opérateur destiné à recevoir des données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; un moyen de traitement de semi-conducteur destiné à traiter la cassette de plaquettes de semi-conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de traitement de la cassette; un moyen formant mémoire monté entre le moyen formant interface
d'opérateur et le moyen de traitement de semi-
conducteur pour mémoriser les données de planification de traitement de la cassette et le mode opératoire de traitement; et un moyen de commande destiné à envoyer les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur et le mode opératoire de traitement au moyen de traitement de semi-conducteur préalablement au chargement de la
cassette dans ce dernier.
Selon un troisième aspect de la présente invention, il est proposé un procédé de traitement d'au moins une cassette de plaquettes de semiconducteur Jans un système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs, cassette qui contient -un nombre prédéterminé de plaquettes de semi-conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes qui consistent à a) recevoir des données de planification
de traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; b) mémoriser les données de planification de
traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et le mode opératoire de traitement; c) envoyer les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semiconducteur et le mode opératoire de traitement à un équipement de traitement préalablement au chargement de la cassette dans celui-ci; et d) traiter la cassette de plaquettes de semi-conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de
traitement de la cassette.
Selon un quatrième aspect de la présente invention, il est proposé un support lisible par ordinateur contenant des instructions pour mettre en oeuvre le
procédé ci-dessus.
Ce qui précède, ainsi que d'autres buts, caractéristiques et avantages de la présente invention,
ressortira plus clairement de la description détaillée
suivante de modes de réalisation préférés donnée à titre d'exemple nullement limitatif en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 est un schéma fonctionnel d'un système
d'automatisation d'usine de fabrication de semi-
conducteurs pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semiconducteur conformément à la présente invention; la figure 2 est un schéma fonctionnel d'une partie de commande de transport visible sur la figure 1; et les figures 3 et 4 sont des organigrammes représentant un procédé de traitement d'au moins une cassette de plaquettes de semi- conducteur dans un système d'automatisation d'usine de fabrication de
semi-conducteurs conformément à la présente invention.
En référence à la figure 1, un système
d'automatisation d'usine de fabrication de semi-
conducteurs pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semiconducteur, selon la présente invention, comprend au moins une cellule comportant un nombre prédéterminé (4 par exemple) d'unités de production de semi-conducteurs 400. Chaque unité de production de semi-conducteurs 400 comporte des EQ 204, des dispositifs de stockage 216 et un AGV 214. Chaque EQ 204 traite des plaquettes de semi-conducteur afin de former des composants à semi-conducteur. L'EQ 204 comprend, par exemple, un équipement de gravure ou d'attaque chimique, un équipement de photogravure, un équipement formant four, un équipement de dépôt physique en phase vapeur (PVD), un équipement de
pulvérisation cathodique ou un équipement similaire.
Chaque dispositif de stockage 216 stocke temporairement
un certain nombre de cassettes de plaquettes de semi-
conducteur. Chaque cassette de plaquettes de semi-
conducteur comporte un nombre prédéterminé de plaquettes de semiconducteur, appelé un lot. Les cassettes de plaquettes de semi-conducteur sont transportées sélectivement jusqu'à 1'EQ 204 à l'aide de 1'AGV 214. La cassette de plaquettes de semi-conducteur stockée dans le dispositif de stockage 216 est transportée jusqu'à une autre unité de production de
semi-conducteurs 400.
Un serveur d'équipement de traitement (appelé ci-après un EQS) 202 est relié à une ligne de communication commune 500, telle qu'un réseau Ethernet, marque commerciale appartenant à la société Xerox Corporation, par exemple. Un organe de commande
d'AGV (appelé ci-après un AGVC) 212 commande l'AGV 214.
Le système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs comprend également une partie de gestion de cellule 100, une base de données en temps réel 300 reliée à la partie de gestion de cellule 100, une unité de mémoire temporaire 310, une partie de gestion d'historique (HIS) 312 reliée à l'unité de mémoire temporaire 310 et une base de données historiques 314 reliée à la partie de gestion d'historique 312. La partie de gestion de cellule 100, la partie de gestion d'historique 312 et la base de données historiques 314 sont respectivement reliées à la ligne de communication commune 500 pour communiquer
entre elles.
La partie de gestion de cellule 100 comprend un serveur de gestion de cellule (CMS) 206, un serveur d'interface d'opérateur (appelé ci-après un OIS) 201 et un serveur de collecte de données (DGS) 207. Le DGS 207 mémorise des données de traitement associées au lot
dans la base de données en temps réel 300.
L'OIS 201 reçoit d'un opérateur des données de planification de traitement relatives à la cassette de plaquettes de semi-conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette. L'EQ 204 envoie à l'EQS 202 une demande pour obtenir le mode opératoire de traitement. L'EQ 204 traite la cassette de plaquettes de semi-conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de traitement de la cassette. L'EQS 202 qui et monté entre l'OIS 201 et l'EQ 204 mémorise les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur ainsi que le mode opératoire de traitement. L'EQS 202 envoie les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur et le mode opératoire de traitement à l'EQ 204 en réponse à la demande de celui-ci, préalablement au chargement de la cassette
dans l'EQ 204.
L'OIS 201 transmet à l'EQS 202 un message de conversion de mode de ligne. L'EQS 202 envoie une instruction de conversion de mode de ligne correspondant au message de conversion de mode de ligne à l'EQ 204. L'EQS 202 convertit un mode de ligne de
communication d'un mode hors ligne en un mode en ligne.
En outre, l'EQS 202 communique avec l'EQ 204 sur la base du mode en ligne. L'EQS 202 envoie des données de date et d'heure à l'EQ 204. Les données de date et d'heure contenues dans l'EQ 204 sont ajustées en fonction de celles contenues dans l'EQS 202. Un état d'accès et un état de mode de fonctionnement de l'EQ 204 sont signalés par ce dernier à l'EQS 202, l'état de mode de fonctionnement comprenant un mode
d'automatisation totale et un mode de semi-
automatisation. L'EQ 204 envoie des données de résultat du traitement de semi-conducteur à l'EQS 202 après avoir terminé le traitement concernant la cassette de
plaquettes de semi-conducteur.
Par conséquent, le système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs permet de réduire une période de temps nécessaire au traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur grâce à l'envoi du mode opératoire de traitement et des données de planification de traitement de la cassette à l'EQ 204 préalablement au chargement de la cassette
dans ce dernier.
En référence à la figure 2, une partie de commande de transport 116 visible sur la figure 1 comprend des serveurs de commande intra-unité (appelés ci-après ICS) 210 reliés à la ligne de communication commune 500 et des serveurs de commande de dispositifs de stockage (appelés ci-après SCS) 218. Chaque ICS 210 convertit un message de transport en une instruction de transport à partir de la ligne de communication commune 500. Chaque SCS 218 génère une instruction de commande de dispositif de stockage pour commander les dispositifs de stockage 216 en réponse à l'instruction de transport. L'AGVC 212 génère une instruction de commande d'AGV pour commander l'AGV 214 en réponse à
l'instruction de transport.
En se référant aux figures 3 et 4, on peut voir des organigrammes illustrant un procédé de traitement d'au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur dans un système d'automatisation d'usine de fabrication
de semi-conducteurs selon la présente invention.
En référence à la figure 3, à l'étape S302, le serveur OIS 201 reçoit une instruction de conversion de mode de ligne introduite par l'opérateur et envoie au serveur EQS 202 un message correspondant à l'instruction de conversion de mode de ligne par l'intermédiaire de la ligne de communication
commune 500.
A l'étape S304, le serveur EQS 202 convertit un mode de ligne de communication d'un mode hors ligne en un mode en ligne. Le serveur EQS 202 envoie l'instruction de conversion de mode de ligne à l'équipement EQ 204. Le serveur EQS 202 communique ensuite avec l'équipement EQ 204 sur la base d'un mode
en ligne.
A l'étape S306, l'équipement EQ 204 demande au serveur EQS 202 des données de date et d'heure après avoir reçu l'instruction de conversion de mode de ligne
de ce dernier.
A l'étape S308, le serveur EQS 202 envoie à l'équipement EQ 204 les données de date et d'heure. Les données de date et d'heure stockées dans l'équipement EQ 204 sont ensuite ajustées en fonction de celles
stockées dans le serveur EQS 202.
A l'étape S310, l'équipement EQ 204 signale au serveur EQS 202 son état d'accès, son état propre et son état de mode de fonctionnement, l'état de mode de fonctionnement comprenant un mode d'automatisation
complète et un mode de semi-automatisation.
A l'étape S312, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à l'équipement EQ 204 en réponse
aux états signalés par ce dernier.
A l'étape S314, l'équipement EQ 204 envoie au serveur ESQ 202 une demande afin qu'une cassette de plaquettes de semi-conducteur puisse être chargée dans
l'EQ 204.
A l'étape S316, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à 1'EQ 204 en réponse à la
demande de celui-ci.
A l'étape S318, le serveur OIS 201 reçoit de l'opérateur des données de planification de traitement
relatives à la cassette de plaquettes de semi-
conducteur afin que le chargement de celle-ci dans l'équipement EQ 204 soit planifié conformément aux
données de planification de traitement de la cassette.
En outre, le serveur OIS 201 reçoit de l'opérateur un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette de plaquettes de semi-conducteur, mode opératoire de traitement qui comprend, entre autres données de conditions de traitement, une température de traitement et une pression de traitement. Puis, le serveur OIS 201 transmet au serveur EQS 202 les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur ainsi que le mode
opératoire de traitement correspondant à la cassette.
A l'étape S320, le serveur EQS 202 mémorise les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur et le mode opératoire de traitement correspondant à la cassette transmis par le serveur OIS 201. Le serveur EQS 202 demande à l'équipement EQ 204 d'initialiser un traitement de semi-conducteur. A l'étape S322, l'EQ 204 envoie un signal d'accusé de réception au serveur EQS 202 en réponse à la demande
de celui-ci.
A l'étape S324, le serveur EQS 202 envoie le mode
opératoire de traitement à l'équipement EQ 204.
A l'étape S326, l'équipement EQ 204 informe le serveur EQS 202 qu'il a reçu le mode opératoire de
traitement transmis par ce dernier.
A l'étape S328, le serveur EQS 202 demande au véhicule AGV 214 de charger la cassette de plaquettes
de semi-conducteur dans l'équipement EQ 204.
A l'étape S330, le véhicule AGV 214 envoie un signal d'accusé de réception au serveur EQS 202 en
réponse à la demande émise par ce dernier.
Il A l'étape S332, le véhicule AGV 214 informe le serveur EQS 202 qu'il s'est mis en route en direction
de l'équipement EQ 204.
A l'étape S334, le véhicule AGV 214 atteint l'équipement EQ 204 afin d'y charger la cassette de
plaquettes de semi-conducteur.
A l'étape S336, l'équipement EQ 204 procède à
l'ouverture de sa porte.
A l'étape S338, le véhicule AGV 214 charge la cassette de plaquettes de semi-conducteur dans
l'équipement EQ 204.
A l'étape S340, l'équipement EQ 204 signale au
serveur EQS 202 son état d'accès.
A l'étape S342, le serveur EQS 202 envoie à l'équipement EQ 204 un signal d'accusé de réception en
réponse à l'état signalé par ce dernier.
A l'étape S344, l'équipement EQ 204 procède à la
fermeture de sa porte.
A l'étape S346, le véhicule AGV 214 informe le serveur EQS 202 qu'il a chargé la cassette de
plaquettes de semi-conducteur dans 1'EQ 204.
A l'étape S348, l'EQ 204 informe le serveur EQS 202
qu'il a reçu la cassette de plaquettes de semi-
conducteur. A l'étape S350, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à l'équipement EQ 204, en réponse
aux informations fournies par ce dernier.
En référence à la figure 4, à l'étape S402, le serveur EQS 202 demande à l'équipement EQ 204 de traiter les plaquettes de semi-conducteur contenues
dans la cassette.
A l'étape S404, l'EQ 204 envoie un signal d'accusé de réception au serveur EQS 202 en réponse à la demande
émanant de celui-ci.
A l'étape S406, l'équipement EQ 204 informe le
serveur EQS 202 qu'il a commencé un traitement de semi-
conducteur correspondant à la cassette de plaquettes de semi-conducteur. A l'étape S408, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à l'équipement EQ 204 en réponse
aux informations transmises par ce dernier.
A l'étape S410, l'EQ 204 exécute le traitement de semi-conducteur en ce qui concerne les plaquettes de semi-conducteur contenues dans la cassette,
conformément au mode opératoire de traitement.
A l'étape S412, l'EQ 204 envoie au serveur EQS 202
des données de résultat du traitement de semi-
conducteur. A l'étape S414, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à l'équipement EQ 204 après réception des données de résultat du traitement de semi-conducteur. A l'étape S416, l'équipement EQ 204 informe le
serveur EQS 202 qu'il a terminé le traitement de semi-
conducteur. A l'étape S418, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à 1'EQ 204 en réponse aux
informations transmises par celui-ci.
A l'étape S420, le serveur EQS 202 demande au véhicule AGV 214 de décharger de l'équipement EQ 204 la
cassette de plaquettes de semi-conducteur.
A l'étape S422, le véhicule AGV 214 envoie un signal d'accusé de réception au serveur EQS 202 en
réponse à la demande émanant de ce dernier.
A l'étape S424, le véhicule AGV 214 atteint l'équipement EQ 204 afin de décharger de ce dernier la
cassette de plaquettes de semi-conducteur.
A l'étape S426, l'EQ 204 procède à l'ouverture de
sa porte.
A l'étape S428, le véhicule 214 décharge la
cassette de plaquettes de semi-conducteur de 1'EQ 204.
A l'étape S430, l'équipement EQ 204 signale au
serveur EQS 202 son état d'accès.
A l'étape S432, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à 1'EQ 204 en réponse à l'état
signalé par ce dernier.
A l'étape S434, l'équipement EQ 204 procède à la
fermeture de sa porte.
A l'étape S436, le véhicule AGV 214 informe le serveur EQS 202 qu'il a déchargé la cassette de
plaquettes de semi-conducteur de l'équipement EQ 204.
A l'étape S438, l'équipement EQ 204 informe le
serveur EQS 202 que la cassette de plaquettes de semi-
conducteur a été déchargée.
A l'étape S440, le serveur EQS 202 envoie un signal d'accusé de réception à l'équipement EQ 204 en réponse
aux informations communiquées par ce dernier.
Le procédé ci-dessus est mis en oeuvre grâce à un support lisible par un ordinateur, support sur lequel sont stockées des instructions permettant l'exécution
des différentes étapes du procédé.
Bien que la description précédente ait porté sur
des modes de réalisation préférés de la présente invention, celle-ci n'est bien entendu pas limitée aux exemples particuliers décrits et illustrés ici et l'homme de l'art comprendra aisément qu'il est possible d'y apporter de nombreuses variantes et modifications
sans pour autant sortir du cadre de l'invention.
Claims (26)
1. Dispositif pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semiconducteur, cassette qui contient un nombre prédéterminé de plaquettes de semi- conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen formant interface d'opérateur (201) destiné à recevoir des données de planification de
traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; un moyen de traitement de semi- conducteur (204) destiné à émettre une demande pour obtenir le mode opératoire de traitement et à traiter la cassette de plaquettes de semi- conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de traitement de la cassette; un moyen formant mémoire (202) destiné à mémoriser les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semi-conducteur et le mode opératoire de traitement; et un moyen de commande (202) destiné à envoyer les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semiconducteur et le mode opératoire de traitement au moyen de traitement de
semi-conducteur (204) en réponse à la demande de celui-
ci, préalablement au chargement de la cassette dans le
moyen de traitement (204).
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend également un moyen de transport (214) destiné à transporter la cassette de plaquettes de semi-conducteur jusqu'au moyen de
traitement de semi-conducteur (204).
3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le moyen formant interface d'opérateur (201) envoie un message de conversion de
mode de ligne au moyen de commande (202).
4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que le moyen de commande (202) envoie une instruction de conversion de mode de ligne correspondant au message de conversion de mode de ligne au moyen de traitement de semi-conducteur (204), convertit un mode de ligne de communication d'un mode hors ligne en un mode en ligne, et communique avec le moyen de traitement de semi-conducteur (204) sur la
base du mode en ligne.
5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le moyen de commande (202) envoie des données de date et d'heure au moyen de traitement de semi-conducteur (204), les données de date et
d'heure contenues dans le moyen de traitement de semi-
conducteur (204) étant ajustées en fonction de celles
contenues dans le moyen de commande (202).
6. Dispositif selon la revendication 5,
caractérisé en ce que le moyen de traitement de semi-
conducteur (204) signale son état d'accès et son état de mode de fonctionnement au moyen de commande (202); et en ce que l'état de mode de fonctionnement comprend
un mode d'automatisation totale et un mode de semi-
automatisation.
7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le moyen formant interface d'opérateur (201) et le moyen de commande (202) partage un réseau Ethernet, marque commerciale appartenant à la
société Xerox Corporation.
8. Dispositif selon la revendication 7,
caractérisé en ce que le moyen de traitement de semi-
conducteur (204) envoie des données de résultat du traitement de semiconducteur au moyen de commande
(202) après avoir terminé le traitement de semi-
conducteur concernant la cassette de plaquettes de semi-conducteur.
9. Système d'automatisation d'usine de fabrication de semi-conducteurs pour traiter au moins une cassette de plaquettes de semi-conducteur, cassette qui contient
un nombre prédéterminé de plaquettes de semi-
conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen formant interface d'opérateur (201) destiné à recevoir des données de planification de
traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; un moyen de traitement de semi- conducteur (204)
destiné à traiter la cassette de plaquettes de semi-
conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de traitement de la cassette; un moyen formant mémoire (202) monté entre le moyen formant interface d'opérateur (201) et le moyen de traitement de semi-conducteur (204) pour mémoriser les données de planification de traitement de la cassette et le mode opératoire de traitement; et un moyen de commande (202) destiné à envoyer les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semiconducteur et le mode opératoire de traitement au moyen de traitement de semi-conducteur (204) avant le chargement de la
cassette dans ce dernier.
10. Système selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend également un moyen de transport (214) destiné à transporter la cassette de plaquettes de semi-conducteur jusqu'au moyen de traitement de
semi-conducteur (204).
11. Système selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend également un dispositif de stockage (216) destiné à stocker la cassette de
plaquettes de semi-conducteur.
12. Système selon la revendication 11, caractérisé en ce que le moyen de transport (214) transporte la cassette de plaquettes de semi-conducteur du dispositif
de stockage (216) jusqu'au moyen de traitement de semi-
conducteur (204).
13. Système selon la revendication 12, caractérisé en ce que le moyen de traitement de semi-conducteur (204), le dispositif de stockage (216) et le moyen de transport (214) sont situés au niveau d'une unité de
production de semi-conducteurs (400).
14. Système selon la revendication 13, caractérisé en ce que la cassette de plaquettes de semi-conducteur
est transportée de l'unité de production de semi-
conducteurs (400) à une autre unité de production de
semi-conducteurs (400) par un véhicule (214).
15. Système selon la revendication 14, caractérisé en ce que le moyen formant interface d'opérateur (201) envoie un message de conversion de mode de ligne au
moyen de commande (202).
16. Système selon la revendication 15, caractérisé en ce que le moyen de commande (202) envoie une instruction de conversion de mode de ligne correspondant au message de conversion de mode de ligne au moyen de traitement de semi-conducteur (204), convertit un mode de ligne de communication d'un mode hors ligne en un mode en ligne, et communique avec le moyen de traitement de semi-conducteur (204) sur la
base du mode en ligne.
17. Système selon la revendication 16, caractérisé en ce que le moyen de commande (202) envoie des données
de date et d'heure au moyen de traitement de semi-
conducteur (204), les données de date et d'heure contenues dans le moyen de traitement de semi- conducteur (204) étant ajustées en fonction de celles
contenues dans le moyen de commande (202).
18. Système selon la revendication 17, caractérisé en ce que le moyen de traitement de semi-conducteur (204) signale son état d'accès et son état de mode de fonctionnement au moyen de commande (202); et en ce que l'état de mode de fonctionnement comprend un mode
d'automatisation totale et un mode de semi-
automatisation.
19. Système selon la revendication 18, caractérisé en ce que le moyen formant interface d'opérateur (201) et le moyen de commande (202) partage un réseau Ethernet, marque commerciale appartenant à la société
Xerox Corporation.
20. Système selon la revendication 19, caractérisé en ce que le moyen de traitement de semi-conducteur (204) envoie des données de résultat du traitement de semi-conducteur au moyen de commande (202) après avoir terminé le traitement de semi-conducteur concernant la
cassette de plaquettes de semi-conducteur.
21. Procédé de traitement d'au moins une cassette de plaquettes de semiconducteur dans un système
d'automatisation d'usine de fabrication de semi-
conducteurs, cassette qui contient un nombre prédéterminé de plaquettes de semi-conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes qui consistent à: a) recevoir (S318) des données de planification de
traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et un mode opératoire de traitement correspondant à la cassette introduits par un opérateur; b) mémoriser (S320) les données de planification de traitement de la cassette de plaquettes de semiconducteur et le mode opératoire de traitement; c) envoyer (S324) les données de planification
de traitement de la cassette de plaquettes de semi-
conducteur et le mode opératoire de traitement à un équipement de traitement (204) avant le chargement de la cassette dans celui-ci; et d) traiter (S410) la cassette de plaquettes de semi-conducteur conformément au mode opératoire de traitement et aux données de planification de
traitement de la cassette.
22. Procédé selon la revendication 21, caractérisé en ce qu'il comprend également l'étape qui consiste à: e) transporter (S332) la cassette de plaquettes de semi-conducteur jusqu'à l'équipement de traitement
(204).
23. Procédé selon la revendication 22, caractérisé en ce que l'étape a) comprend, en outre, les étapes qui consistent à: al) envoyer (S302) un message de conversion de mode de ligne d'un serveur d'interface d'opérateur (201) à un serveur d'équipement de traitement (202); a2) envoyer (S304) une instruction de conversion de mode de ligne correspondant au message de conversion de mode de ligne du serveur d'équipement de traitement (202) à l'équipement de traitement (204); et a3) convertir (S304) un mode de ligne de communication entre l'équipement de traitement (204) et le serveur d'équipement de traitement (202) d'un mode
hors ligne en un mode en ligne.
24. Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que l'étape a) comprend également les étapes qui consistent à: a4) envoyer (S308) des données de date et d'heure du serveur d'équipement de traitement (202) à l'équipement de traitement (204); et a5) ajuster les données de date et d'heure stockées dans l'équipement de traitement (204) en fonction de celles stockées dans le serveur
d'équipement de traitement (202).
25. Procédé selon].a revendication 24, caractérisé en ce que l'étape d) comprend également l'étape qui consiste à: dl) envoyer (S412) des données de résultat du traitement de semi-conducteur de l'équipement de traitement (204) au serveur d'équipement de traitement (202) après achèvement du traitement de semi-conducteur
en ce qui concerne la cassette de plaquettes de semi-
conducteur.
26. Support lisible par ordinateur caractérisé en ce qu'il contient des instructions pour mettre en oeuvre
le procédé selon l'une quelconque des revendications 21
à 25.
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