JP3197273B2 - 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム - Google Patents
情報を有する物品追跡機能を備えた処理システムInfo
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- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
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Description
【発明の詳細な説明】 背景技術 産業上の利用分野 本発明は、半導体加工中において半導体ウェハーのパ
ーティクル汚染を減少する標準化されたメカニカルイン
ターフェースシステムに関する。特に、本発明は標準メ
カニカルインターフェースシステムにおける情報処理装
置に関する。
ーティクル汚染を減少する標準化されたメカニカルイン
ターフェースシステムに関する。特に、本発明は標準メ
カニカルインターフェースシステムにおける情報処理装
置に関する。
関連技術の説明 標準メカニカルインターフェースシステム（SMIF）は
ウェハーへのパーティクルフラックス（粒子流動）を減
少させることによってパーティクル汚染を減少させるよ
う提案されたものである。この目的は、ウェハーの移
送、貯蔵及び処理中にウェハーの周囲のガス媒体（たと
えば空気あるいは窒素）をウェハーに対する実質的な静
止状態を機械的により確実にすることにより、また外部
環境からパーティクルがその中間内部ウェハー環境に入
り込まないことを確実にすることによって達成すること
ができる。
ウェハーへのパーティクルフラックス（粒子流動）を減
少させることによってパーティクル汚染を減少させるよ
う提案されたものである。この目的は、ウェハーの移
送、貯蔵及び処理中にウェハーの周囲のガス媒体（たと
えば空気あるいは窒素）をウェハーに対する実質的な静
止状態を機械的により確実にすることにより、また外部
環境からパーティクルがその中間内部ウェハー環境に入
り込まないことを確実にすることによって達成すること
ができる。
この標準メカニカルインターフェースシステム（SMI
F）は小容量の静止してパーティクルのない空気であっ
て、内部パーティクル源を有しないものがウェハーに対
する可能な最もきれいな環境であるという認識に基づ
く。この提案システムの詳細は、Mihir Perikn及びUlri
ch kaemph著、Solid State Technology、1984年７月、
第111頁〜115頁「ウェハーカセットトランスファー及び
VLSI製造のための技術」及びこれを引用した出願に記載
されている。
F）は小容量の静止してパーティクルのない空気であっ
て、内部パーティクル源を有しないものがウェハーに対
する可能な最もきれいな環境であるという認識に基づ
く。この提案システムの詳細は、Mihir Perikn及びUlri
ch kaemph著、Solid State Technology、1984年７月、
第111頁〜115頁「ウェハーカセットトランスファー及び
VLSI製造のための技術」及びこれを引用した出願に記載
されている。
標準メカニカルインターフェースシステム（SMIF）は
３つの主な構成からなる。すなわち、（１）最小容量の
防塵輸送コンテナあるいはボックスをウエハーカセット
の収容及び搬送に用いる、（２）キャノピーを処理装置
のカセットポートにかぶせ、ボックスとキャノピーの内
側の環境を小さなクリーンスペースにする、及び（３）
ボックスのドアは装置のキャノピーのインターフェース
ポートのドアと合うように設計されており、２つのドア
は同時に開くようになっている。これによって、外側の
ドアの表面にたまる可能性のあるパーティクルがドアの
間にトラップされる（挟まれる）。
３つの主な構成からなる。すなわち、（１）最小容量の
防塵輸送コンテナあるいはボックスをウエハーカセット
の収容及び搬送に用いる、（２）キャノピーを処理装置
のカセットポートにかぶせ、ボックスとキャノピーの内
側の環境を小さなクリーンスペースにする、及び（３）
ボックスのドアは装置のキャノピーのインターフェース
ポートのドアと合うように設計されており、２つのドア
は同時に開くようになっている。これによって、外側の
ドアの表面にたまる可能性のあるパーティクルがドアの
間にトラップされる（挟まれる）。
提案されている標準メカニカルインターフェースシス
テム（SMIF）では、ボックスが所定の処理ステーション
にあるキャノピーの上のインターフェースポートに配置
される。ラッチ機構によってボックスのドアとインター
フェースポートのドアが同時に開放されるようになって
いる。機械式のエレベータが２つのドアを下げ、カセッ
トが上から、キャノピーで覆われたスペースになかに入
れられる。マニピュレータがカセットをピックアップし
て、装置のカセットポートエレベータのなかに入れる。
処理後、逆の操作が行われる。
テム（SMIF）では、ボックスが所定の処理ステーション
にあるキャノピーの上のインターフェースポートに配置
される。ラッチ機構によってボックスのドアとインター
フェースポートのドアが同時に開放されるようになって
いる。機械式のエレベータが２つのドアを下げ、カセッ
トが上から、キャノピーで覆われたスペースになかに入
れられる。マニピュレータがカセットをピックアップし
て、装置のカセットポートエレベータのなかに入れる。
処理後、逆の操作が行われる。
今日の代表的な処理環境においては、「クリーンルー
ム」が設けられ、そこでフィルターその他の技術によっ
て、半導体ウェハー表面を汚すようなパーティクルを除
去する試みが行われる。標準メカニカルインターフェー
スシステム（SMIF）の考え方はクリーンルームで可能な
処理環境を改善する対策する方法である。
ム」が設けられ、そこでフィルターその他の技術によっ
て、半導体ウェハー表面を汚すようなパーティクルを除
去する試みが行われる。標準メカニカルインターフェー
スシステム（SMIF）の考え方はクリーンルームで可能な
処理環境を改善する対策する方法である。
提案された標準メカニカルインターフェースシステム
（SMIF）は処理ステーションからボックス内部の処理ス
テーションにウェハーのカセットを輸送することに関係
する。処理ステーションは先行するステーションから十
分離れた場所に設けられる。さらに、この処理は、複雑
で、数多くの処理時間の異なるステップに関係し、処理
ステーションにストアされるウェハーカセットを収容す
るボックスが必要となる。したがって、ボックス内のウ
ェハーについての情報を処理することができるようにウ
ェハーを収容するボックスを特定する必要が生じる。
（SMIF）は処理ステーションからボックス内部の処理ス
テーションにウェハーのカセットを輸送することに関係
する。処理ステーションは先行するステーションから十
分離れた場所に設けられる。さらに、この処理は、複雑
で、数多くの処理時間の異なるステップに関係し、処理
ステーションにストアされるウェハーカセットを収容す
るボックスが必要となる。したがって、ボックス内のウ
ェハーについての情報を処理することができるようにウ
ェハーを収容するボックスを特定する必要が生じる。
しかし、提案された標準メカニカルインターフェース
システム（SMIF）は十分満足のゆくものではない。従来
の標準メカニカルインターフェースシステム（SMIF）は
「OCR」あるいはバーコードでマーキングされたボック
ス備える。この種のマーキングは特定ボックスを識別す
るものであるが、ユーザーはボックス内のウェハーに関
する情報をボックスの情報と一緒に有効に含めることが
できない。さらに、この種の外部マーキングはボックス
内部のウェハーに物理的にアクセスする制御に役立てる
ことはできない。したがって、標準メカニカルインター
フェースシステム（SMIF）において情報処理のための改
良された装置が切望されていた。
システム（SMIF）は十分満足のゆくものではない。従来
の標準メカニカルインターフェースシステム（SMIF）は
「OCR」あるいはバーコードでマーキングされたボック
ス備える。この種のマーキングは特定ボックスを識別す
るものであるが、ユーザーはボックス内のウェハーに関
する情報をボックスの情報と一緒に有効に含めることが
できない。さらに、この種の外部マーキングはボックス
内部のウェハーに物理的にアクセスする制御に役立てる
ことはできない。したがって、標準メカニカルインター
フェースシステム（SMIF）において情報処理のための改
良された装置が切望されていた。
発明の概要 したがって、本発明の目的は、物品を搬送し、ストア
するシステムであって、物品のすぐれた監視システムを
提供することである。
するシステムであって、物品のすぐれた監視システムを
提供することである。
本発明の別の目的は、処理中の物品を集中的に監視
し、様々な位置で処理中の物品に関するデータを集中的
に格納するシステムを提供することである。
し、様々な位置で処理中の物品に関するデータを集中的
に格納するシステムを提供することである。
本発明の他の目的は、複数のワークステーションで処
理されている物品の処理を集中的に制御し、適正な処理
ステップを適正な順序で実行できるシステムを提供する
ことである。
理されている物品の処理を集中的に制御し、適正な処理
ステップを適正な順序で実行できるシステムを提供する
ことである。
本発明のさらに他の目的は、処理の場面で行われる当
該処理についての人間の判断を減少させ、あるいは解消
することができる物品処理システムを提供することであ
る。
該処理についての人間の判断を減少させ、あるいは解消
することができる物品処理システムを提供することであ
る。
本発明の上記及びその他の目的は、複数のコンテナの
各々が格納されたデータを読み込み、更新するデータス
トレージと通信リンク備えたシステムによって達成でき
る。複数のワークステーションの各々がコンテナにスト
アされたデータを読みコンテナの物品が適正な位置に到
達したことを確認する通信リンクを備えている。ワーク
ステーションはまた物品が到達したこと及びその物品の
状態を中央データプロセッサに報告する。中央データプ
ロセッサは処理情報をダウンロードし、次に該ワークス
テーションはコンテナから当該物品を取り出し、処理す
る。処理済後、ワークステーションは中央データプロセ
ッサに報告し、コンテナにある情報を更新する。
各々が格納されたデータを読み込み、更新するデータス
トレージと通信リンク備えたシステムによって達成でき
る。複数のワークステーションの各々がコンテナにスト
アされたデータを読みコンテナの物品が適正な位置に到
達したことを確認する通信リンクを備えている。ワーク
ステーションはまた物品が到達したこと及びその物品の
状態を中央データプロセッサに報告する。中央データプ
ロセッサは処理情報をダウンロードし、次に該ワークス
テーションはコンテナから当該物品を取り出し、処理す
る。処理済後、ワークステーションは中央データプロセ
ッサに報告し、コンテナにある情報を更新する。
本発明に係る物品のための一連の処理ステップを遂行
するシステムは、 物品の移動コンテナを備え、該移動コンテナは、該移
動コンテナ中の物品へのアクセスを制御する第１インタ
ーフェース手段と、物品の識別子及び処理ヒストリーに
関するデータを受取り、収容し、伝送するコンテナデー
タ処理手段と、各ワークステーションに設けられ前記第
１インターフェース手段とインターフェースする第２イ
ンターフェース手段とを有し、 該システムはさらに、各ワークステーションに設けら
れ前記コンテナデータ視力手段からデータを受取り及び
これに対してデータを伝送し、前記コンテナデータ処理
手段からデータを受け取り及びこれに対してデータを伝
送し、及び第１及び第２インターフェース手段を制御し
物品の処理ヒストリーとワークステーションと認識との
比較に基づいて前記移動コンテナにある物品へのアクセ
スを許容するワークステーションデータ処理手段と、 前記各コンテナ及びワークステーションデータ処理手
段のそれぞれからデータを受取り及びこれに対してデー
タを伝送し、前記コンテナ及びワークステーションデー
タ処理手段の各々から受け取ったデータを処理する中央
データ処理手段とを備えている。
するシステムは、 物品の移動コンテナを備え、該移動コンテナは、該移
動コンテナ中の物品へのアクセスを制御する第１インタ
ーフェース手段と、物品の識別子及び処理ヒストリーに
関するデータを受取り、収容し、伝送するコンテナデー
タ処理手段と、各ワークステーションに設けられ前記第
１インターフェース手段とインターフェースする第２イ
ンターフェース手段とを有し、 該システムはさらに、各ワークステーションに設けら
れ前記コンテナデータ視力手段からデータを受取り及び
これに対してデータを伝送し、前記コンテナデータ処理
手段からデータを受け取り及びこれに対してデータを伝
送し、及び第１及び第２インターフェース手段を制御し
物品の処理ヒストリーとワークステーションと認識との
比較に基づいて前記移動コンテナにある物品へのアクセ
スを許容するワークステーションデータ処理手段と、 前記各コンテナ及びワークステーションデータ処理手
段のそれぞれからデータを受取り及びこれに対してデー
タを伝送し、前記コンテナ及びワークステーションデー
タ処理手段の各々から受け取ったデータを処理する中央
データ処理手段とを備えている。
図面の簡単な説明 図１は処理装置に隣接して設けられる標準メカニカル
インターフェースシステム（SMIF）の斜視図である。
インターフェースシステム（SMIF）の斜視図である。
図２は本発明に使用される標準メカニカルインターフ
ェースシステム（SMIF）の概略図である。
ェースシステム（SMIF）の概略図である。
図3A及び図3Bは本発明の１実施例に係る回路図であ
る。
る。
図４は本発明に従う装置の変形例である。
図５は、本発明に従う電源の概略図である。
図６は、本発明に従う装置の取付け関係を示す概略図
である。
である。
図７は、本発明の１実施例における移動コンテナに含
まれるシステムのブロック図である。
まれるシステムのブロック図である。
図８は、図５の回路の一部の説明に使用するチャート
である。
である。
図９は本発明に従う処理システムの説明に使用される
フローチャートである。
フローチャートである。
図10は、図９のフローチャートの一部の差し替え用の
変更フローチャートである。
変更フローチャートである。
図11は、本発明に従う処理システムに説明に使用され
るフローチャートである。
るフローチャートである。
図12は、本発明に従う在庫管理のトレーと移動コンテ
ナの斜視図である。
ナの斜視図である。
図13は、本発明に従う在庫管理システムのブロックダ
イヤグラムである。
イヤグラムである。
図14は、本発明に従うシステムの応用にかかるブロッ
クダイヤグラムである。
クダイヤグラムである。
好ましい実施例の説明 図面を参照して、本発明を詳細に説明する。
図１には、半導体ウェハー処理ステーション100が示
されている。任意の半導体製造プロセスは図１に示すよ
うなステーション100のような任意の数の処理ステーシ
ョンを備える。これらのステーションは、フォトレジス
ト材料の塗布、フォトレジスト材料を露出するためのマ
スクの配列、半導体ウェハー上への材料のデポジット等
の処理ステップを取り扱うように製造される。
されている。任意の半導体製造プロセスは図１に示すよ
うなステーション100のような任意の数の処理ステーシ
ョンを備える。これらのステーションは、フォトレジス
ト材料の塗布、フォトレジスト材料を露出するためのマ
スクの配列、半導体ウェハー上への材料のデポジット等
の処理ステップを取り扱うように製造される。
図１は、処理される半導体ウェハーまたはその他の物
品の移動コンテナ10を示しており、このコンテナは、処
理ステーション100に取り付けられている。移動コンテ
ナ10は、図２を参照して説明される係合手段60によって
処理ステーション100のキャノピー30に着脱可能に取り
付けられている。
品の移動コンテナ10を示しており、このコンテナは、処
理ステーション100に取り付けられている。移動コンテ
ナ10は、図２を参照して説明される係合手段60によって
処理ステーション100のキャノピー30に着脱可能に取り
付けられている。
移動コンテナ10は複数の半導体ウェハー32を保持する
カートリッジ31含むようになっている。カートリッジ31
は外気に晒されることなく処理ステーション100内に下
ろされる。
カートリッジ31含むようになっている。カートリッジ31
は外気に晒されることなく処理ステーション100内に下
ろされる。
本発明によれば、情報データカード40は移動コンテナ
10に取り付けられる。本書で使用する「データカード」
の語は、移動コンテナ10の取り付けられる本発明の部分
を指し、少なくとも後述のデータストア手段を含む。さ
らに、処理ステーション100には、処理ステーション100
上に係合する移動コンテナ10の電子カード40に通信する
手段50が設けられる。データカード40との通信手段50は
処理ステーション100にあるデータプロセッサ20に接続
されている。データプロセッサ20は「LED」や液晶ディ
スプレーのようなディスプレーを備えている。また、デ
ータプロセッサ20はそのプロセスの制御を与えるたとえ
ば、データをイップットするキーボード22を備える。
10に取り付けられる。本書で使用する「データカード」
の語は、移動コンテナ10の取り付けられる本発明の部分
を指し、少なくとも後述のデータストア手段を含む。さ
らに、処理ステーション100には、処理ステーション100
上に係合する移動コンテナ10の電子カード40に通信する
手段50が設けられる。データカード40との通信手段50は
処理ステーション100にあるデータプロセッサ20に接続
されている。データプロセッサ20は「LED」や液晶ディ
スプレーのようなディスプレーを備えている。また、デ
ータプロセッサ20はそのプロセスの制御を与えるたとえ
ば、データをイップットするキーボード22を備える。
操作において、オペレータは移動コンテナ10を該コン
テナ10に付けられたデータカード40と一緒に第１処理ス
テーション100から第２処理ステーション100まで運ぶ。
移動コンテナ10が結合されたときデータカード40にスト
アされているデータは処理ステーション100にあるデー
タカード40との通信手段に連絡される。移動コンテナ10
のデータカード40からのデータは、データプロセッサ20
に該通信手段50を介して通信される。詳細に後述するよ
うに好ましい態様では、データプロセッサ20は、手段50
を介してデータカード40にも通信できるようになってい
る。
テナ10に付けられたデータカード40と一緒に第１処理ス
テーション100から第２処理ステーション100まで運ぶ。
移動コンテナ10が結合されたときデータカード40にスト
アされているデータは処理ステーション100にあるデー
タカード40との通信手段に連絡される。移動コンテナ10
のデータカード40からのデータは、データプロセッサ20
に該通信手段50を介して通信される。詳細に後述するよ
うに好ましい態様では、データプロセッサ20は、手段50
を介してデータカード40にも通信できるようになってい
る。
図２は、処理ステーションのキャノピー30に結合され
ている移動コンテナ10を概略的に示している。処理ステ
ーションのキャノピー30に移動コンテナ10を結合するた
めの結合手段60が示されている。結合手段60は、キャノ
ピー30上にガイド61を備えている。また、タブ62が移動
コンテナ10に形成されている。移動コンテナ10がガイド
61に取り付けられて完全に結合されると半導体ウェハー
のカートリッジがそこを介して下ろされるキャノピー30
のポート70が移動コンテナ10と整合する。データカード
40は、移動コンテナ10の少なくとも一方の側に沿って移
動コンテナ10に取り付けられる。通信手段50はカード40
に関連して係合手段60に隣接して取り付けられる。通信
手段50は通信線51により処理ステーション100のプロセ
スコントローラ20に接続される。
ている移動コンテナ10を概略的に示している。処理ステ
ーションのキャノピー30に移動コンテナ10を結合するた
めの結合手段60が示されている。結合手段60は、キャノ
ピー30上にガイド61を備えている。また、タブ62が移動
コンテナ10に形成されている。移動コンテナ10がガイド
61に取り付けられて完全に結合されると半導体ウェハー
のカートリッジがそこを介して下ろされるキャノピー30
のポート70が移動コンテナ10と整合する。データカード
40は、移動コンテナ10の少なくとも一方の側に沿って移
動コンテナ10に取り付けられる。通信手段50はカード40
に関連して係合手段60に隣接して取り付けられる。通信
手段50は通信線51により処理ステーション100のプロセ
スコントローラ20に接続される。
図3Aは本発明の１実施例にかかるデータカードに装着
するための回路を示す。図3Bは図3Aに図示されるカード
40からデータを受け取る通信手段を示す。図3Aの回路は
タイマー／カウンター41と「PROM」あるいその他の安定
ストレージ装置のようなストレージ手段42を備えてい
る。タイマー／カウンター41は通信バス43を介してスト
レージ手段42に接続されている。タイマー／カウンター
は、電源が供給されている場合には、ストレージ手段42
に連続したアドレスを与え、発光ダイオード44あるいは
その他の光学的電送手段を介してデータを出力する。図
3Aの実施例において、データカード40には単一の発光ダ
イオード44が設けられている。この方法では、ストレー
ジ手段42にあるデータロケーションを介してタイマー／
カウンターは連続しており、発光ダイオード44を介して
データを連続的に出力するようになっている。
するための回路を示す。図3Bは図3Aに図示されるカード
40からデータを受け取る通信手段を示す。図3Aの回路は
タイマー／カウンター41と「PROM」あるいその他の安定
ストレージ装置のようなストレージ手段42を備えてい
る。タイマー／カウンター41は通信バス43を介してスト
レージ手段42に接続されている。タイマー／カウンター
は、電源が供給されている場合には、ストレージ手段42
に連続したアドレスを与え、発光ダイオード44あるいは
その他の光学的電送手段を介してデータを出力する。図
3Aの実施例において、データカード40には単一の発光ダ
イオード44が設けられている。この方法では、ストレー
ジ手段42にあるデータロケーションを介してタイマー／
カウンターは連続しており、発光ダイオード44を介して
データを連続的に出力するようになっている。
図3Bの通信手段は感光性トランジスタ52あるいはその
他のフォトディテクタを備えており、これらのものは、
発光ダイオード44によって伝送されたデータに応答して
処理ステーション100にあるプロセスコントロールと通
信するコントロールライン51を介して信号を発生する。
移動コンテナ10が図２に図示のように結合手段60と結合
したとき、発光ダイオード44と感光性トランジスタ52と
は光通信ができるように整列させられる。
他のフォトディテクタを備えており、これらのものは、
発光ダイオード44によって伝送されたデータに応答して
処理ステーション100にあるプロセスコントロールと通
信するコントロールライン51を介して信号を発生する。
移動コンテナ10が図２に図示のように結合手段60と結合
したとき、発光ダイオード44と感光性トランジスタ52と
は光通信ができるように整列させられる。
データカード40はバッテリのような電源45を備えてお
り、電力はスイッチ46をかいしてタイマー／カウンター
にに与えられるようになっており、このスイッチ46は移
動コンテナ10が結合手段60に完全に結合したときだけ、
接続される。
り、電力はスイッチ46をかいしてタイマー／カウンター
にに与えられるようになっており、このスイッチ46は移
動コンテナ10が結合手段60に完全に結合したときだけ、
接続される。
図４には、データカード40にある回路の変形例が示さ
れている。図４の実施例では、マイクロコンピュータ10
1またはその他の処理手段及びRAM102のようなスタティ
ックメモリ装置が設けられる。マイクロコンピュータ10
1はメモリ装置にバス103によって接続されている。マイ
クロコンピュータ101は発光ダイオード105のようなトラ
ンスミッタ104に接続されている。さらに、マイクロコ
ンピュータ101は感光性トランジスタ107のような受信装
置106に接続されている。マイクロコンピュータはライ
ン108によって５ボルトで電源から（後述）電力供給を
受ける。メモリ装置102はライン109によってバッテリか
ら電力供給を受ける。ストレージ装置102も同様に、マ
イクロコンピュータ101へ電力供給が行われているとき
には、ライン110によってイネイブル信号を受け取る。
れている。図４の実施例では、マイクロコンピュータ10
1またはその他の処理手段及びRAM102のようなスタティ
ックメモリ装置が設けられる。マイクロコンピュータ10
1はメモリ装置にバス103によって接続されている。マイ
クロコンピュータ101は発光ダイオード105のようなトラ
ンスミッタ104に接続されている。さらに、マイクロコ
ンピュータ101は感光性トランジスタ107のような受信装
置106に接続されている。マイクロコンピュータはライ
ン108によって５ボルトで電源から（後述）電力供給を
受ける。メモリ装置102はライン109によってバッテリか
ら電力供給を受ける。ストレージ装置102も同様に、マ
イクロコンピュータ101へ電力供給が行われているとき
には、ライン110によってイネイブル信号を受け取る。
ライン108の電源電圧、ライン109のバッテリ電圧、ラ
イン110のイネイブル信号の発生は図５に示す回路で行
われる。
イン110のイネイブル信号の発生は図５に示す回路で行
われる。
図５は、図４に示される回路と組み合わせて使用され
るデータカード40に設けられる電源120を示す。移動コ
ンテナ10が処理ステーション100の結合手段60に結合さ
れたとき、電源120が変圧カップリング装置121を介して
電力の供給を受けるようになっている。変圧カップリン
ングの関係は図６を参照してさらに詳細に説明する。変
圧カップリング手段121から受け取られたAC信号はたと
えば図５に示すようなブリッジからなるAD/DCコンバー
タ122でDCに変換される。電圧レギュレータ123が設けら
れており、これによってデータカード40のコンポーネン
トが作動するための安定した電圧が与えられるようにな
っている。電圧レギュレータ123の出力は図４の例では
ライン108を介してマイクロコンピュータ101へ供給電圧
として与えられる。データカード40には、バッテリ125
が設けられている。バッテリ電圧はライン108の電圧レ
ギュレータ123の出力より僅かに小さい。バッテリはシ
ョットレーダイオード126を介してノード127に接続され
ており、このノード127は同様にショットレーダイオー
ド128を介してライン108の電源出力に接続されている。
ノード127はライン109のストレージ装置102にバッテリ
電圧として供給される。メモリイネイブル信号（MENABL
E）は変圧器結合電源121が入っているときに限り、メモ
リ装置102の動作を可能にするように作用する。
るデータカード40に設けられる電源120を示す。移動コ
ンテナ10が処理ステーション100の結合手段60に結合さ
れたとき、電源120が変圧カップリング装置121を介して
電力の供給を受けるようになっている。変圧カップリン
ングの関係は図６を参照してさらに詳細に説明する。変
圧カップリング手段121から受け取られたAC信号はたと
えば図５に示すようなブリッジからなるAD/DCコンバー
タ122でDCに変換される。電圧レギュレータ123が設けら
れており、これによってデータカード40のコンポーネン
トが作動するための安定した電圧が与えられるようにな
っている。電圧レギュレータ123の出力は図４の例では
ライン108を介してマイクロコンピュータ101へ供給電圧
として与えられる。データカード40には、バッテリ125
が設けられている。バッテリ電圧はライン108の電圧レ
ギュレータ123の出力より僅かに小さい。バッテリはシ
ョットレーダイオード126を介してノード127に接続され
ており、このノード127は同様にショットレーダイオー
ド128を介してライン108の電源出力に接続されている。
ノード127はライン109のストレージ装置102にバッテリ
電圧として供給される。メモリイネイブル信号（MENABL
E）は変圧器結合電源121が入っているときに限り、メモ
リ装置102の動作を可能にするように作用する。
図５に示す整流オプトカプラー141を含む回路に対し
及びR1、C1及びダイオード142を含む回路に対し、メモ
リイネイブル回路は図８に関連して説明するように設け
られる。整流オプトカプラー141は、変圧カップリング
装置がの電源を切られたとき、バッテリ125のような電
源からライン143に電圧を与える手段である。変圧カッ
プリング装置からの電源がポイント201において図８の
ライン200によって示されるように入ると、図８のライ
ン300のポイント301で見られるようにライン143の出力
は降下する。しかし、ライン143、メモリイネイブル信
号（MENABLE）の電圧が降下する速度はR1及びC1によっ
て与えられる時定数によって決定される。したがってラ
イン108の電源は、ライン110のイネイブル信号がメモリ
装置102を作動可能にするレベルに到達する前に、マイ
クロコンピュータ101を駆動するのに必要な電圧に到達
する。これによって、電源がデータカード40で完全に立
ち上がる前にメモリ装置にストアされているデータがこ
われるのを防止できる。
及びR1、C1及びダイオード142を含む回路に対し、メモ
リイネイブル回路は図８に関連して説明するように設け
られる。整流オプトカプラー141は、変圧カップリング
装置がの電源を切られたとき、バッテリ125のような電
源からライン143に電圧を与える手段である。変圧カッ
プリング装置からの電源がポイント201において図８の
ライン200によって示されるように入ると、図８のライ
ン300のポイント301で見られるようにライン143の出力
は降下する。しかし、ライン143、メモリイネイブル信
号（MENABLE）の電圧が降下する速度はR1及びC1によっ
て与えられる時定数によって決定される。したがってラ
イン108の電源は、ライン110のイネイブル信号がメモリ
装置102を作動可能にするレベルに到達する前に、マイ
クロコンピュータ101を駆動するのに必要な電圧に到達
する。これによって、電源がデータカード40で完全に立
ち上がる前にメモリ装置にストアされているデータがこ
われるのを防止できる。
しかし、電源が図８をポイント202において断たれる
と、整流オプトカプラー141はライン143から充電電流を
供給し、これによって、図８のラインにあるポイント30
2で示されるようにキャパシタC1はすぐに充電される。
従って、スタティックRAMは電源が変圧カップリング装
置121から断たれたときは、きわめて早く不能になる。
と、整流オプトカプラー141はライン143から充電電流を
供給し、これによって、図８のラインにあるポイント30
2で示されるようにキャパシタC1はすぐに充電される。
従って、スタティックRAMは電源が変圧カップリング装
置121から断たれたときは、きわめて早く不能になる。
メモリ装置102にストアされているデータを保護する
他の様々な回路は、ユーザが選択するデータカード40の
特定の実施例に適するように変更することができる。
他の様々な回路は、ユーザが選択するデータカード40の
特定の実施例に適するように変更することができる。
図６は、データカード40からのデータを受け取り、デ
ータカード40に対してデータを伝送する通信手段50と通
信して、図４及び図５を参照して説明したようなデータ
カード40を装着するための１つの形態を示す。移動コン
テナ10が結合手段60に完全に結合し、処理ステーション
のキャノピー30に完全に取り付けられたとき、データカ
ード40と通信手段50とは通信できるように配列される。
図５を参照して述べたように、変圧カップリング装置12
1がデータカード40に取り付けられる。同様に、これと
対をなす変圧カップリング装置131が通信手段50に取り
付けられる。移動コンテナ10が結合手段60に完全に結合
したとき、変圧カップリング装置121とその対の装置131
は整合し、これによって電力が通信手段50から移動コン
テナ10のデータカード40に伝送される。
ータカード40に対してデータを伝送する通信手段50と通
信して、図４及び図５を参照して説明したようなデータ
カード40を装着するための１つの形態を示す。移動コン
テナ10が結合手段60に完全に結合し、処理ステーション
のキャノピー30に完全に取り付けられたとき、データカ
ード40と通信手段50とは通信できるように配列される。
図５を参照して述べたように、変圧カップリング装置12
1がデータカード40に取り付けられる。同様に、これと
対をなす変圧カップリング装置131が通信手段50に取り
付けられる。移動コンテナ10が結合手段60に完全に結合
したとき、変圧カップリング装置121とその対の装置131
は整合し、これによって電力が通信手段50から移動コン
テナ10のデータカード40に伝送される。
また、図６には、カード40上にある伝送手段104と受
信手段106とが概略的に示されている。移動コンテナ10
が完全に結合されたとき、データカード40からのデータ
を受け取るための対をなす受信手段134が通信手段50に
ある伝送手段104に隣接して設けられる。また、伝送手
段136が通信手段50に設けられており、これによって、
移動コンテナ10が結合手段60に完全に結合したとき移動
コンテナ10の受信手段106に隣接する。通信手段50は通
信線51によって処理ステーション100のデータ処理手段2
0と連絡する。データカード40に設けられる回路の好ま
しい実施例が図７に示されている。図７に概略的に示さ
れるデータカード40はバス152を介して複数の入出力装
置153と連絡するデータ処理システム151を備えている。
信手段106とが概略的に示されている。移動コンテナ10
が完全に結合されたとき、データカード40からのデータ
を受け取るための対をなす受信手段134が通信手段50に
ある伝送手段104に隣接して設けられる。また、伝送手
段136が通信手段50に設けられており、これによって、
移動コンテナ10が結合手段60に完全に結合したとき移動
コンテナ10の受信手段106に隣接する。通信手段50は通
信線51によって処理ステーション100のデータ処理手段2
0と連絡する。データカード40に設けられる回路の好ま
しい実施例が図７に示されている。図７に概略的に示さ
れるデータカード40はバス152を介して複数の入出力装
置153と連絡するデータ処理システム151を備えている。
このデータ処理システムはCPU154、ROM155のような不
揮発性メモリ装置、データの読みこみ、書き込みを行う
ランダムアクセスメモリ装置156及び図５に示すような
電源157を備える。
揮発性メモリ装置、データの読みこみ、書き込みを行う
ランダムアクセスメモリ装置156及び図５に示すような
電源157を備える。
複数の入出力装置は以下の任意の装置を含む。まず、
LEDあるいは液晶ディスプレーのようなディスプレー160
がオペレータにデータを与えるためにデータカード40に
設けられる。また、キーボード161が移動コンテナ10と
一緒のデータカード40に設けられ、これによってデータ
カード40に格納されたデータをオペレータが制御するこ
とができる。センサ装置162が移動コンテナ10の複数の
センサと接続されるデータカード40に設けられる。これ
らのセンサは移動コンテナ10と結合手段60との結合、結
合解除といった状態に関す情報、コンテナに収容されて
いる物品へのアクセスを許容するためのコンテナ10にあ
るポートの開閉の状態その他の状態に関する情報を与え
る。さらに、コンテナに収容されている物品に保持装置
が係合したかどうかを示すセンサが設けられる。遂行さ
れる特定の処理ステップにより及び移動コンテナ10で搬
送される物品の特性により他の多くのセンサを設けるこ
とができる。
LEDあるいは液晶ディスプレーのようなディスプレー160
がオペレータにデータを与えるためにデータカード40に
設けられる。また、キーボード161が移動コンテナ10と
一緒のデータカード40に設けられ、これによってデータ
カード40に格納されたデータをオペレータが制御するこ
とができる。センサ装置162が移動コンテナ10の複数の
センサと接続されるデータカード40に設けられる。これ
らのセンサは移動コンテナ10と結合手段60との結合、結
合解除といった状態に関す情報、コンテナに収容されて
いる物品へのアクセスを許容するためのコンテナ10にあ
るポートの開閉の状態その他の状態に関する情報を与え
る。さらに、コンテナに収容されている物品に保持装置
が係合したかどうかを示すセンサが設けられる。遂行さ
れる特定の処理ステップにより及び移動コンテナ10で搬
送される物品の特性により他の多くのセンサを設けるこ
とができる。
複数の入出力装置153は発光ダイオード44及び感光性
トランジスタ52のような送信装置163及び受信装置164を
備えており、これについては図４及び図６を参照して説
明する。発信装置163及び受信装置164は所望の特定の用
途に応じ他のいろいろなフォトトランジスタ及び光検出
装置で構成することができる。さらに、送信装置及び受
信装置は磁気テープ及び磁気読み取りヘッドを備えるこ
とができる。電子的データカード40と通信手段50との間
のデータ通信を達成するための他の音響的、誘電的、光
学的な手段を装置の特定の必要性に応じて設けることが
できる。
トランジスタ52のような送信装置163及び受信装置164を
備えており、これについては図４及び図６を参照して説
明する。発信装置163及び受信装置164は所望の特定の用
途に応じ他のいろいろなフォトトランジスタ及び光検出
装置で構成することができる。さらに、送信装置及び受
信装置は磁気テープ及び磁気読み取りヘッドを備えるこ
とができる。電子的データカード40と通信手段50との間
のデータ通信を達成するための他の音響的、誘電的、光
学的な手段を装置の特定の必要性に応じて設けることが
できる。
さらに、データカード40はリアルタイムに関するデー
タを発生するためにリアルタイムクロック165を備え
る。クロック165からのデータは処理ステーションにお
いて、処理のためのパラメータ等を決定するあたって活
用できる。また、クロック165は移動コンテナ10に収容
される物品のストレージ時間の長さを決めるのに使用で
きる。
タを発生するためにリアルタイムクロック165を備え
る。クロック165からのデータは処理ステーションにお
いて、処理のためのパラメータ等を決定するあたって活
用できる。また、クロック165は移動コンテナ10に収容
される物品のストレージ時間の長さを決めるのに使用で
きる。
分配処理システム 本発明によれば、移動コンテナ10はこれに付けられた
データカード40とともに図１に示すようなワークステー
ション100のような複数のワークステーションと組み合
わせて使用することができ、新規な分配処理システムを
構成する。かつて、そのような分配処理システムは半導
体集積回路の製造に使用された。半導体集積回路の製造
は、代表的には、対応する各種のワークステーションを
使用する各種別々の処理操作を用いる半導体ウェハーの
製造に関連している。
データカード40とともに図１に示すようなワークステー
ション100のような複数のワークステーションと組み合
わせて使用することができ、新規な分配処理システムを
構成する。かつて、そのような分配処理システムは半導
体集積回路の製造に使用された。半導体集積回路の製造
は、代表的には、対応する各種のワークステーションを
使用する各種別々の処理操作を用いる半導体ウェハーの
製造に関連している。
たとえば、半導体ウェハーから半導体集積回路の製造
において関係する処理操作及び対応するワークステーシ
ョンは以下の操作及びワークステーションを含む。レジ
ストが第１のワークステーションでウェハーに加えられ
る。レジストの厚みが第２ワークステーションで測定さ
れる。回路パターンが第３ワークステーションでレジス
ト上に露光される。回路パターンが第４ワークステーシ
ョンで現像される。１つ以上の回路トレースの幅が第５
ワークステーションで測定される。露光されたレジスト
のエッチングが第６ワークステーションで行われる。上
記例示の処理ステップとワークステーションは多くのさ
まざまな可能な処理ステップとワークステーションの代
表的なものにすぎないことを当業者は理解するであろ
う。
において関係する処理操作及び対応するワークステーシ
ョンは以下の操作及びワークステーションを含む。レジ
ストが第１のワークステーションでウェハーに加えられ
る。レジストの厚みが第２ワークステーションで測定さ
れる。回路パターンが第３ワークステーションでレジス
ト上に露光される。回路パターンが第４ワークステーシ
ョンで現像される。１つ以上の回路トレースの幅が第５
ワークステーションで測定される。露光されたレジスト
のエッチングが第６ワークステーションで行われる。上
記例示の処理ステップとワークステーションは多くのさ
まざまな可能な処理ステップとワークステーションの代
表的なものにすぎないことを当業者は理解するであろ
う。
任意の半導体集積回路製造環境において、さまざまな
同時進行するウェハー製造にかかるバッチがある。各バ
ッチは異なる移動コンテナ10または各々がこれと協働す
るカード40を有する一連のコンテナ内に含まれる。さら
に、異なるバッチのウェハーは異なるワークステーショ
ンで異なる操作を受け、これによって最終的に異なる形
式の半導体集積回路になる。また、異なるバッチの半導
体ウェハーに同じワークステーションを使用することが
できるが、ワークステーションによって異なる処理を行
うことによって、最終的に形式の半導体ウェハーを製造
することができる。たとえば、２つのバッチのウェハー
のレジストを第６ワークステーションで双方をエッチン
グすることができるが、一方のバッチを他方のバッチよ
り長い時間エッチングすることができる。
同時進行するウェハー製造にかかるバッチがある。各バ
ッチは異なる移動コンテナ10または各々がこれと協働す
るカード40を有する一連のコンテナ内に含まれる。さら
に、異なるバッチのウェハーは異なるワークステーショ
ンで異なる操作を受け、これによって最終的に異なる形
式の半導体集積回路になる。また、異なるバッチの半導
体ウェハーに同じワークステーションを使用することが
できるが、ワークステーションによって異なる処理を行
うことによって、最終的に形式の半導体ウェハーを製造
することができる。たとえば、２つのバッチのウェハー
のレジストを第６ワークステーションで双方をエッチン
グすることができるが、一方のバッチを他方のバッチよ
り長い時間エッチングすることができる。
さらに、あるバッチのウェハーから集積回路を製造す
る過程で行われる処理操作の種類は先行の処理ステップ
の結果による。たとえば、第６ワークステーションにお
ける露光レジストのエッチングステップは第５ワークス
テーションで測定された１つ以上の回路トレースの幅に
よって異なるエッチング時間を与えてもよい。したがっ
て、回路トレースの測定結果がエッチング時間の決定に
使用されることとなる。
る過程で行われる処理操作の種類は先行の処理ステップ
の結果による。たとえば、第６ワークステーションにお
ける露光レジストのエッチングステップは第５ワークス
テーションで測定された１つ以上の回路トレースの幅に
よって異なるエッチング時間を与えてもよい。したがっ
て、回路トレースの測定結果がエッチング時間の決定に
使用されることとなる。
この結果、半導体集積回路の製造のような複雑な処理
操作の制御に対して本発明のような処理システムの必要
性が生じてくる。
操作の制御に対して本発明のような処理システムの必要
性が生じてくる。
図１を参照すると、ワークステーション100は本発明
に従う処理システムの一部を構成することができる各種
のワークステーションの代表的なもののほんの一例にす
ぎないことを理解されたい。したがって、図１に示すよ
うなワークステーション100を参照して処理システムを
説明するけれども、現実の処理システムは、上記のよう
なレジストの付加、レジスト厚さの測定、レジストの露
光、回路トレース幅の測定及びレジストのエッチングと
いった各種の処理操作を行う複数のワークステーション
を備えていることを理解されたい。
に従う処理システムの一部を構成することができる各種
のワークステーションの代表的なもののほんの一例にす
ぎないことを理解されたい。したがって、図１に示すよ
うなワークステーション100を参照して処理システムを
説明するけれども、現実の処理システムは、上記のよう
なレジストの付加、レジスト厚さの測定、レジストの露
光、回路トレース幅の測定及びレジストのエッチングと
いった各種の処理操作を行う複数のワークステーション
を備えていることを理解されたい。
再び図２を参照するとローカル操作コントロールプロ
セッサ20（以下ローカル20）にはローカルトランスファ
コントロールプロセッサ300とローカル操作コントロー
ルプロセッサ302が接続されている。操作において、ロ
ーカル20は手段50と電子的に接続されているワークステ
ーション100に設けられる。この手段50はデータカード4
0に対し２方向通信手段して作用する。図４を参照する
と、データカード40のマイクロコンピュータ101は送信
装置104と受信装置106を介して手段50と２方向通信で結
合される。図９を参照すると、ローカル20はローカルト
ランスファコントロールプロセッサ300及びローカル操
作コントロールプロセッサ302に対し電子的な通信関係
にある。ローカルトランスファコントロールプロセッサ
300はトランスファ手段304の操作を制御する。このトラ
ンスファ手段304は、ウェハー32を収容するカートリッ
ジ31をワークステーション100と移動コンテナ10との間
で移送するアーム306を備えている。好ましいトランス
ファ手段304の１例が米国特許第4,676,709号に記載され
ている。トランスファ手段304の他の例が米国特許第4,6
74,936号に記載されている。この２つの特許はこの参照
によって本書に組み入れられている。ローカル操作コン
トロールプロセッサ302はワークステーション100の操作
を制御する。上記したように、ワークステーション100
は例示目的だけで図示されているものである。対応する
各種の処理操作を行う数多くの各種の異なる形式のワー
クステーションを処理システムに含めることができる。
セッサ20（以下ローカル20）にはローカルトランスファ
コントロールプロセッサ300とローカル操作コントロー
ルプロセッサ302が接続されている。操作において、ロ
ーカル20は手段50と電子的に接続されているワークステ
ーション100に設けられる。この手段50はデータカード4
0に対し２方向通信手段して作用する。図４を参照する
と、データカード40のマイクロコンピュータ101は送信
装置104と受信装置106を介して手段50と２方向通信で結
合される。図９を参照すると、ローカル20はローカルト
ランスファコントロールプロセッサ300及びローカル操
作コントロールプロセッサ302に対し電子的な通信関係
にある。ローカルトランスファコントロールプロセッサ
300はトランスファ手段304の操作を制御する。このトラ
ンスファ手段304は、ウェハー32を収容するカートリッ
ジ31をワークステーション100と移動コンテナ10との間
で移送するアーム306を備えている。好ましいトランス
ファ手段304の１例が米国特許第4,676,709号に記載され
ている。トランスファ手段304の他の例が米国特許第4,6
74,936号に記載されている。この２つの特許はこの参照
によって本書に組み入れられている。ローカル操作コン
トロールプロセッサ302はワークステーション100の操作
を制御する。上記したように、ワークステーション100
は例示目的だけで図示されているものである。対応する
各種の処理操作を行う数多くの各種の異なる形式のワー
クステーションを処理システムに含めることができる。
このシステムを例示的な製造操作を参照して、特に半
導体集積回路の製造を参照して説明するが、このシステ
ムを他の操作に対しても同様に適用できることを理解さ
れたい。図９及び図10のフローチャートは本システムの
新規な分配制御特徴を示すものである。分配制御は本発
明のシステムでは重要な特徴であって、各種の処理ステ
ップ及びワークステーションのなかから効率的に選択で
きる程度に柔軟性をもっていなければならない。
導体集積回路の製造を参照して説明するが、このシステ
ムを他の操作に対しても同様に適用できることを理解さ
れたい。図９及び図10のフローチャートは本システムの
新規な分配制御特徴を示すものである。分配制御は本発
明のシステムでは重要な特徴であって、各種の処理ステ
ップ及びワークステーションのなかから効率的に選択で
きる程度に柔軟性をもっていなければならない。
図１を参照して説明したように、付属のデータカード
40を伴う移動コンテナ10は例えば、人間オペレータによ
ってワークステーションに搬送される。図１及び図９を
参照すると、コンテナ10がワークステーション100に結
合された後、図９のフローチャートのステップ402に示
すようにワークステーション100に結合されたローカル2
0は、データカード40に対し、ステップ404においてデジ
タル情報を交換できるがどうかたずねる。データカード
40は、そのマイクロコンピュータ101（図４参照）によ
って発生されたデジタルメッセージ対し、ステップ406
においてデジタル情報を交換する用意がととのっている
という応答をする。ステップ408において、ローカル20
はデータカード40に対しその現状を報告するように指示
する。これに応え、データカード40のマイクロコンピュ
ータ101はステップ410て自己テストを行う。自己テスト
は例えば、カードのバッテリ125とRAM102が適性な作業
順序であるかどうかを決定するテストを含む。もし自己
テストによってカードが適性な作業順序になっていない
と判定した場合には、マイクロコンピュータ101は信号
を発生してステップ411でカードのディスプレー21上に
カード40が適性に作動していないことを表示させる。そ
して、通常、カード40とローカル20とのデジタル通信は
停止する。しかし、もし自己テストの結果により、カー
ド40が適性に動作していることが判明した場合にはカー
ド40はステップ412において作業を進めることを報告す
る。
40を伴う移動コンテナ10は例えば、人間オペレータによ
ってワークステーションに搬送される。図１及び図９を
参照すると、コンテナ10がワークステーション100に結
合された後、図９のフローチャートのステップ402に示
すようにワークステーション100に結合されたローカル2
0は、データカード40に対し、ステップ404においてデジ
タル情報を交換できるがどうかたずねる。データカード
40は、そのマイクロコンピュータ101（図４参照）によ
って発生されたデジタルメッセージ対し、ステップ406
においてデジタル情報を交換する用意がととのっている
という応答をする。ステップ408において、ローカル20
はデータカード40に対しその現状を報告するように指示
する。これに応え、データカード40のマイクロコンピュ
ータ101はステップ410て自己テストを行う。自己テスト
は例えば、カードのバッテリ125とRAM102が適性な作業
順序であるかどうかを決定するテストを含む。もし自己
テストによってカードが適性な作業順序になっていない
と判定した場合には、マイクロコンピュータ101は信号
を発生してステップ411でカードのディスプレー21上に
カード40が適性に作動していないことを表示させる。そ
して、通常、カード40とローカル20とのデジタル通信は
停止する。しかし、もし自己テストの結果により、カー
ド40が適性に動作していることが判明した場合にはカー
ド40はステップ412において作業を進めることを報告す
る。
ローカル20は次に、ステップ414で、カード40に対し
自己を識別すること及び現在の処理データを与えるよう
に要求する。これに応え、カード40は識別コードを与え
る。半導体集積回路製造処理システムでは、ステップ41
6においてカードは処理される半導体ウェハーのロット
番号を識別させるとともに、つぎに処理するステップを
行うワークステーションとどんな処理ステップが次に行
われるかという仕様をし識別させる。たとえば、次の処
理ステップは第３ワークステーションにおけるレジスト
への回路パターンの露光である。ローカル20は、コンテ
ナ10がその内容物及びそのカード40とともにつぎの処理
ステップを行う正しいワークステーションにあるかどう
かを判定する（ステップ418）。もしそうでないなら
ば、データカード40にコンテナ10が間違ったワークステ
ーションにあるということをディスプレー21によって報
告し（ステップ420）、通常は、カード40とローカル20
とのデジタル通信を停止する。もしローカル20が、カー
ド40が正しいワークステーションにあると判定したとき
はデジタル通信はカード40とローカル20との間で継続さ
れる。
自己を識別すること及び現在の処理データを与えるよう
に要求する。これに応え、カード40は識別コードを与え
る。半導体集積回路製造処理システムでは、ステップ41
6においてカードは処理される半導体ウェハーのロット
番号を識別させるとともに、つぎに処理するステップを
行うワークステーションとどんな処理ステップが次に行
われるかという仕様をし識別させる。たとえば、次の処
理ステップは第３ワークステーションにおけるレジスト
への回路パターンの露光である。ローカル20は、コンテ
ナ10がその内容物及びそのカード40とともにつぎの処理
ステップを行う正しいワークステーションにあるかどう
かを判定する（ステップ418）。もしそうでないなら
ば、データカード40にコンテナ10が間違ったワークステ
ーションにあるということをディスプレー21によって報
告し（ステップ420）、通常は、カード40とローカル20
とのデジタル通信を停止する。もしローカル20が、カー
ド40が正しいワークステーションにあると判定したとき
はデジタル通信はカード40とローカル20との間で継続さ
れる。
ローカル20はローカルトランスファコントロールプロ
セッサ300に指示することによって応答し、処理すべき
物品を移動コンテナ10からワークステーション100に移
送させる（ステップ422）。たとえば、半導体集積回路
の製造では、処理すべきウェハー32を収容したカートリ
ッジ31がコンテナ10からワークステーション100にアー
ム306を介して下ろされる。
セッサ300に指示することによって応答し、処理すべき
物品を移動コンテナ10からワークステーション100に移
送させる（ステップ422）。たとえば、半導体集積回路
の製造では、処理すべきウェハー32を収容したカートリ
ッジ31がコンテナ10からワークステーション100にアー
ム306を介して下ろされる。
つぎに、ローカル20はローカル操作コントロールプロ
セッサ302に対して指示を出し、処理操作を開始させる
（ステップ424）。たとえば、ワークステーションで行
われる処理操作は半導体ウェハーの付加されるレジスト
の上への回路パターンの露光である。
セッサ302に対して指示を出し、処理操作を開始させる
（ステップ424）。たとえば、ワークステーションで行
われる処理操作は半導体ウェハーの付加されるレジスト
の上への回路パターンの露光である。
ローカル20はカードに対し、移送が完了し、処理操作
が開始したことを知らせる（ステップ426）。ローカル2
0はワークステーションを識別し、移送が完了して処理
操作が開始されたことを示す第１履歴記録を作成する
（ステップ428）。ローカル20は第１履歴記録をカード4
0に連絡する（ステップ430）。カード40は第１履歴記憶
を格納する（ステップ432）。ローカル20はカード40に
指示を出し、マイクロコンピュータ101とリアルタイム
クロック165（図７参照）を用い、日付と時間によって
第１履歴記録を類別させる。カード40は指示に応じて第
１履歴記録の日付と時間を記録する（ステップ434）。
が開始したことを知らせる（ステップ426）。ローカル2
0はワークステーションを識別し、移送が完了して処理
操作が開始されたことを示す第１履歴記録を作成する
（ステップ428）。ローカル20は第１履歴記録をカード4
0に連絡する（ステップ430）。カード40は第１履歴記憶
を格納する（ステップ432）。ローカル20はカード40に
指示を出し、マイクロコンピュータ101とリアルタイム
クロック165（図７参照）を用い、日付と時間によって
第１履歴記録を類別させる。カード40は指示に応じて第
１履歴記録の日付と時間を記録する（ステップ434）。
処理操作が完了すると、ローカル操作コントロールプ
ロセッサ302はローカル29にその完了を知らせる（ステ
ップ436）。ローカル20はローカルトランスファコント
ロールプロセッサ300に指示を出し、処理される物品例
えば半導体ウェハー32をワークステーション100から移
動コンテナ10に戻す搬送を開始させる（ステップ43
8）。
ロセッサ302はローカル29にその完了を知らせる（ステ
ップ436）。ローカル20はローカルトランスファコント
ロールプロセッサ300に指示を出し、処理される物品例
えば半導体ウェハー32をワークステーション100から移
動コンテナ10に戻す搬送を開始させる（ステップ43
8）。
ローカル20は第２履歴記録を作成する。第２履歴記録
は例えば半導体ウェハーに付加されるレジストの上に回
路パターンを露光する操作の記録を与える。ローカル20
は第２履歴記録をカード40に連絡し（ステップ442）、
カードに指示を出して日付と時間によって類別させ、第
２履歴記録を格納させる（ステップ444）。
は例えば半導体ウェハーに付加されるレジストの上に回
路パターンを露光する操作の記録を与える。ローカル20
は第２履歴記録をカード40に連絡し（ステップ442）、
カードに指示を出して日付と時間によって類別させ、第
２履歴記録を格納させる（ステップ444）。
ローカル20はカード40に指示を出してつぎの処理ステ
ップに進ませる（ステップ446）。これに応え、カード4
0はつぎの処理ステップの準備を行う（ステップ448）。
たとえば、次のワークステーションにおいてステップ41
6で識別されたワークステーションと処理の識別子を変
更する。最後に、カード40はそのディスプレー21に対し
オペレータが移動コンテナ10が行くべき次のワークステ
ーションを識別できるようにさせる（ステップ450）。
次の２つの例はカード40にあるマイクロコンピュータ10
1を備えることの重要性を説明するものである。
ップに進ませる（ステップ446）。これに応え、カード4
0はつぎの処理ステップの準備を行う（ステップ448）。
たとえば、次のワークステーションにおいてステップ41
6で識別されたワークステーションと処理の識別子を変
更する。最後に、カード40はそのディスプレー21に対し
オペレータが移動コンテナ10が行くべき次のワークステ
ーションを識別できるようにさせる（ステップ450）。
次の２つの例はカード40にあるマイクロコンピュータ10
1を備えることの重要性を説明するものである。
第１の例を図10を参照して説明する。図10には、図９
のフローチャートのステップ408から420に代用できる別
のフローチャートが示されている。この変形フローチャ
ートにおいて、ステップ406につづいて、上記のように
カード40は上記ステップ410に関連して説明したような
自己テストを開始してこれを遂行する（ステップ50
0）。もしカード40が、正常の動作していないと判定し
たときはカード40はディスプレー21にその操作不能状態
を報告させ（ステップ502）、通常ローカル20との通信
を停止する。一方、もしカード40が正常に動作している
と判定したときは、カード40はローカル20に対しそのア
イデンティティを報告するように要求する（ステップ50
4）。これに応えて、ローカル20はカード40に対して自
身を識別する（ステップ506）。つぎに、カード40は正
しいワークステーションであるかどうかを判定する。正
しくない場合には、ディスプレー21に対し適当なメッセ
ージを表示させ（ステップ508）、は通常ローカル20と
の通信を停止する。カード40が正しいワークステーショ
ンにあると判定した場合には、カード40はローカル20に
対して指示を出し、第１材料の搬送を開始させる（ステ
ップ510）。
のフローチャートのステップ408から420に代用できる別
のフローチャートが示されている。この変形フローチャ
ートにおいて、ステップ406につづいて、上記のように
カード40は上記ステップ410に関連して説明したような
自己テストを開始してこれを遂行する（ステップ50
0）。もしカード40が、正常の動作していないと判定し
たときはカード40はディスプレー21にその操作不能状態
を報告させ（ステップ502）、通常ローカル20との通信
を停止する。一方、もしカード40が正常に動作している
と判定したときは、カード40はローカル20に対しそのア
イデンティティを報告するように要求する（ステップ50
4）。これに応えて、ローカル20はカード40に対して自
身を識別する（ステップ506）。つぎに、カード40は正
しいワークステーションであるかどうかを判定する。正
しくない場合には、ディスプレー21に対し適当なメッセ
ージを表示させ（ステップ508）、は通常ローカル20と
の通信を停止する。カード40が正しいワークステーショ
ンにあると判定した場合には、カード40はローカル20に
対して指示を出し、第１材料の搬送を開始させる（ステ
ップ510）。
第２の例を図11のフローチャートを参照して説明す
る。図11には、例示的な半導体集積回路製造工程からの
代表的な一連のカード操作及びワークステーション操作
が示されている。本例の目的のために、カード40はエッ
チング時間を計算する式をRAM102の中にストアしている
ものと仮定する。ステップ600はその式のストアを表
す。該式はたとえば、Ｋ＋Ａ（特定幅−測定幅）＋Ｂ
（レジスト厚さ）とすることができる。ここでＫ、Ａ及
びＢは定数、及び「特定幅」は回路トレースの特定の幅
を指し、「測定幅」は回路トレースの測定幅を指し、
「レジスト厚さ」は半導体ウェハーに付加されたレジス
トの測定厚さである。
る。図11には、例示的な半導体集積回路製造工程からの
代表的な一連のカード操作及びワークステーション操作
が示されている。本例の目的のために、カード40はエッ
チング時間を計算する式をRAM102の中にストアしている
ものと仮定する。ステップ600はその式のストアを表
す。該式はたとえば、Ｋ＋Ａ（特定幅−測定幅）＋Ｂ
（レジスト厚さ）とすることができる。ここでＫ、Ａ及
びＢは定数、及び「特定幅」は回路トレースの特定の幅
を指し、「測定幅」は回路トレースの測定幅を指し、
「レジスト厚さ」は半導体ウェハーに付加されたレジス
トの測定厚さである。
第１処理ステップは処理される半導体ウェハーにレジ
ストを付加することである（ステップ602）。このステ
ップはたとえば、第１ワークステーションで行われる。
レジストの厚さは第２ワークステーションで測定され
（ステップ604）、測定厚さはカードのRAMに格納される
（ステップ606）。回路パターンは第３ワークステーシ
ョンでレジスト上に露光される（ステップ608）。回路
パターンは第４ワークステーションで現像される（ステ
ップ610）。１つ以上の回路トレースの幅が第５ワーク
ステーションで測定される（ステップ612）。その測定
幅はカードのRAM102に格納される（ステップ614）。マ
イクロコンピュータ101を用い、ステップ600で格納した
式及びステップ606及び614で格納した測定結果を使って
カード40はエッチング時間を計算する（ステップ61
6）。露光されたレジストは計算されたエッチング時間
だけエッチングが施される（ステップ618）。
ストを付加することである（ステップ602）。このステ
ップはたとえば、第１ワークステーションで行われる。
レジストの厚さは第２ワークステーションで測定され
（ステップ604）、測定厚さはカードのRAMに格納される
（ステップ606）。回路パターンは第３ワークステーシ
ョンでレジスト上に露光される（ステップ608）。回路
パターンは第４ワークステーションで現像される（ステ
ップ610）。１つ以上の回路トレースの幅が第５ワーク
ステーションで測定される（ステップ612）。その測定
幅はカードのRAM102に格納される（ステップ614）。マ
イクロコンピュータ101を用い、ステップ600で格納した
式及びステップ606及び614で格納した測定結果を使って
カード40はエッチング時間を計算する（ステップ61
6）。露光されたレジストは計算されたエッチング時間
だけエッチングが施される（ステップ618）。
上記の２つの例から、カード40が集中制御を必要とし
ない分配処理システムの一部として有利に使用できるこ
とを理解されたい。そのかわり、処理される物品を収容
した移動コンテナ10と協働するカード40は特定の物品に
関する処理データを格納することができ、物品を適正に
処理するのに必要な計算を行うことができる。
ない分配処理システムの一部として有利に使用できるこ
とを理解されたい。そのかわり、処理される物品を収容
した移動コンテナ10と協働するカード40は特定の物品に
関する処理データを格納することができ、物品を適正に
処理するのに必要な計算を行うことができる。
在庫管理システム また、本発明は処理操作の間に物品たとえば半導体ウ
ェハーの現状を有利にモニターできる新規な在庫管理シ
ステムを提供する。
ェハーの現状を有利にモニターできる新規な在庫管理シ
ステムを提供する。
図12を参照すると、図示のように取り付けられたデー
タカード40を有する移動コンテナ10を収容できる大きさ
の凹部632を有するトレー630が示されている。トレー63
0は、ワークステーション100設けられる上記した２方向
通信手段50のような２方向通信手段50−１を備えてい
る。破線634で示すように、移動コンテナ10の基部636は
凹部632にちょうど収まることができる。移動コンテナ1
0が凹部632に収容されると、カード40は２方向通信手段
50−１と整列して、カード40と通信手段50−１とが互い
に２方向通信によって連携する。
タカード40を有する移動コンテナ10を収容できる大きさ
の凹部632を有するトレー630が示されている。トレー63
0は、ワークステーション100設けられる上記した２方向
通信手段50のような２方向通信手段50−１を備えてい
る。破線634で示すように、移動コンテナ10の基部636は
凹部632にちょうど収まることができる。移動コンテナ1
0が凹部632に収容されると、カード40は２方向通信手段
50−１と整列して、カード40と通信手段50−１とが互い
に２方向通信によって連携する。
図13を参照すると、ブロックダイヤグラムの形式で在
庫管理システム637が示されている。この在庫管理シス
テム637は各グループのトレー630−１乃至630−Ｎに分
割された複数のトレーを有する。各トレーは図12を参照
して説明したものと同様である。各グループのトレー63
0−１乃至630−Ｎにある各トレーは各制御ライン639−
１乃至639−Ｎによって多重回路640−１乃至640−Ｎに
接続されている。各マルチプレクサ回路640−１乃至640
−Ｎは制御ライン642（このラインはたとえばRS232Cラ
インとすることができる）によってストレージ制御プロ
セッサ644に結合されている。
庫管理システム637が示されている。この在庫管理シス
テム637は各グループのトレー630−１乃至630−Ｎに分
割された複数のトレーを有する。各トレーは図12を参照
して説明したものと同様である。各グループのトレー63
0−１乃至630−Ｎにある各トレーは各制御ライン639−
１乃至639−Ｎによって多重回路640−１乃至640−Ｎに
接続されている。各マルチプレクサ回路640−１乃至640
−Ｎは制御ライン642（このラインはたとえばRS232Cラ
インとすることができる）によってストレージ制御プロ
セッサ644に結合されている。
現在好ましい態様では、ストレージ制御プロセッサ64
4はIBMと共通使用可能なパーソナルコンピュータを備え
ている。マルチプレクサ640−１乃至640−Ｎは互いにデ
ージーチェーンで結合されており、コントロールライン
642によって伝達された信号があるマルチプレクサ回路
から他のマルチプレクサ回路へ連続的に送られるように
なっている。二つのグループのトレー630−１乃至630−
Ｎのみが２つの協働するマルチプレクサ回路640−１乃
至640−Ｎとともに図示されているが、複数のグループ
のトレーと対応する複数のグループのマルチプレクサを
在庫管理システム637に含めることができることを理解
されたい。操作において、複数の移動コンテナ10が在庫
管理システム637のそれぞれのトレー630−１乃至630−
Ｎのなかに配置される。オペレータはたとえば、システ
ム637の任意のトレーに収容された任意のコンテナ10の
内容物の処理状態を確認するためにストレージ制御プロ
セッサを使用することができる。
4はIBMと共通使用可能なパーソナルコンピュータを備え
ている。マルチプレクサ640−１乃至640−Ｎは互いにデ
ージーチェーンで結合されており、コントロールライン
642によって伝達された信号があるマルチプレクサ回路
から他のマルチプレクサ回路へ連続的に送られるように
なっている。二つのグループのトレー630−１乃至630−
Ｎのみが２つの協働するマルチプレクサ回路640−１乃
至640−Ｎとともに図示されているが、複数のグループ
のトレーと対応する複数のグループのマルチプレクサを
在庫管理システム637に含めることができることを理解
されたい。操作において、複数の移動コンテナ10が在庫
管理システム637のそれぞれのトレー630−１乃至630−
Ｎのなかに配置される。オペレータはたとえば、システ
ム637の任意のトレーに収容された任意のコンテナ10の
内容物の処理状態を確認するためにストレージ制御プロ
セッサを使用することができる。
特に、たとえば、図12に示すコンテナ10の内容物に関
する情報を得るために、ストレージ制御プロセッサ644
はそのトレー630に接続された各マルチプレクサ回路
（図示せず）に指示を出し、そのトレー630を選択し
て、それをプロセッサ644に接続させる。ストレージ制
御プロセッサ644はデジタル信号を選択されたトレー630
に送る。このトレー630は、トレーが取り付けられた２
方向通信手段50−１とカード40との２方向通信を生じさ
せる。２方向通信を通して、ストレージ制御プロセッサ
644は例えば、コンテナ10の内容物、この内容物に対し
てすでに行われた処理ステップと将来どんな処理ステッ
プが行われることになっているかを確認することができ
る。さらに、２方向通信によって、ストレージ制御プロ
セッサ644はカード40のマイクロコンピュータ101を、た
とえば、カードのRAM102に格納された処理指令を修正
し、そのリアルタイムを正すように再プログラムするこ
とができる。
する情報を得るために、ストレージ制御プロセッサ644
はそのトレー630に接続された各マルチプレクサ回路
（図示せず）に指示を出し、そのトレー630を選択し
て、それをプロセッサ644に接続させる。ストレージ制
御プロセッサ644はデジタル信号を選択されたトレー630
に送る。このトレー630は、トレーが取り付けられた２
方向通信手段50−１とカード40との２方向通信を生じさ
せる。２方向通信を通して、ストレージ制御プロセッサ
644は例えば、コンテナ10の内容物、この内容物に対し
てすでに行われた処理ステップと将来どんな処理ステッ
プが行われることになっているかを確認することができ
る。さらに、２方向通信によって、ストレージ制御プロ
セッサ644はカード40のマイクロコンピュータ101を、た
とえば、カードのRAM102に格納された処理指令を修正
し、そのリアルタイムを正すように再プログラムするこ
とができる。
したがって、本発明の在庫管理システム637によって
有利に処理ステップのヒストリーを維持するタスク、各
移動コンテナ10にある物品の将来の処理ステップのスケ
ジュールを有効に分配することができる。この結果、ス
トレージ制御プロセッサ644ではそのような情報を維持
し管理する必要がない。
有利に処理ステップのヒストリーを維持するタスク、各
移動コンテナ10にある物品の将来の処理ステップのスケ
ジュールを有効に分配することができる。この結果、ス
トレージ制御プロセッサ644ではそのような情報を維持
し管理する必要がない。
本発明に従う、SMARTトラベラーシステム（STS）とし
て知られる材料追跡システムの１例を図14を参照して説
明する。
て知られる材料追跡システムの１例を図14を参照して説
明する。
図14に示すシステムは複数のワークセンター700n（た
だ１つのワークセンターのみ図示）とコントロールセン
ター701とを備える。このシステムは処理される各物品
をトラックし、各物品の処理を中央から制御する能力を
有するためにSMARTシステムとして知られる。
だ１つのワークセンターのみ図示）とコントロールセン
ター701とを備える。このシステムは処理される各物品
をトラックし、各物品の処理を中央から制御する能力を
有するためにSMARTシステムとして知られる。
データカード40（SMRATタグとして知られる）がSTSシ
ステムの基本である。データカード40が各材料コンテナ
に取り付けられており、データカード40が取り付けられ
たコンテナ10の中に材料に関する全ての情報を保有して
いる。各データカード40は８キロバイトのRAM156、２方
向赤外線通信システム、１年以上連続使用可能な寿命を
有するバッテリ、16文字液晶ディスプレー160、オンボ
ードマイクロプロセッサ154及びソフトウェアを格納す
るROM155を有する。ROM155にストアされたソフトウェア
はデータカード40に対して赤外線通信システムを使用す
る外部装置と通信する能力与えるプログラムを備えてい
る。エラーのない通信がハンドシェイクとダブルチエッ
クサムエラー検出方法によって達成される。送信エラー
が検出されると通信が繰り返される。
ステムの基本である。データカード40が各材料コンテナ
に取り付けられており、データカード40が取り付けられ
たコンテナ10の中に材料に関する全ての情報を保有して
いる。各データカード40は８キロバイトのRAM156、２方
向赤外線通信システム、１年以上連続使用可能な寿命を
有するバッテリ、16文字液晶ディスプレー160、オンボ
ードマイクロプロセッサ154及びソフトウェアを格納す
るROM155を有する。ROM155にストアされたソフトウェア
はデータカード40に対して赤外線通信システムを使用す
る外部装置と通信する能力与えるプログラムを備えてい
る。エラーのない通信がハンドシェイクとダブルチエッ
クサムエラー検出方法によって達成される。送信エラー
が検出されると通信が繰り返される。
各処理ステーション702では、ローカルデータプロセ
ッサ（SMARTアームマスター（SAM）として知られる）70
4が各材料キャリア10に取り付けられたデータカード40
をチェックする責任をもっており、適正な材料が適正な
処理ステップを通って処理されたということを確認す
る。材料が処理ステーション702に到達すると、SAM704
は材料が適正なステーション702に到達したことを確認
する。材料が適正なステーションにない場合には、これ
は処理装置706に装填されない。いったん、材料が処理
装置706に装填されると、発生した日付と時間がコント
ロールセンター701に報告される。同様なメッセージが
処理が完了した場合にも記録される。その後、つぎのシ
ーケンスステップ情報がデータカード40上に表示され
る。
ッサ（SMARTアームマスター（SAM）として知られる）70
4が各材料キャリア10に取り付けられたデータカード40
をチェックする責任をもっており、適正な材料が適正な
処理ステップを通って処理されたということを確認す
る。材料が処理ステーション702に到達すると、SAM704
は材料が適正なステーション702に到達したことを確認
する。材料が適正なステーションにない場合には、これ
は処理装置706に装填されない。いったん、材料が処理
装置706に装填されると、発生した日付と時間がコント
ロールセンター701に報告される。同様なメッセージが
処理が完了した場合にも記録される。その後、つぎのシ
ーケンスステップ情報がデータカード40上に表示され
る。
SAM704は通信リンク708を介して各ワークステーショ
ン702に設けられた上記のトランスファ手段304のような
自動装填ユニット（ALU）707と通信する。構成通信リン
ク710がSAM704と処理装置706との間に設けられ制御情報
が直接処理装置706に伝送できるようになっている。同
様に処理装置706で発生した処理パラメータデータがSAM
704によって集められコントロールセンター701に伝送で
きる。各SAM704とALU707と処理装置706との間の通信は9
600ボーでRS−232−Ｃ通信によりSECSI及びSECS IIプロ
トコルである。
ン702に設けられた上記のトランスファ手段304のような
自動装填ユニット（ALU）707と通信する。構成通信リン
ク710がSAM704と処理装置706との間に設けられ制御情報
が直接処理装置706に伝送できるようになっている。同
様に処理装置706で発生した処理パラメータデータがSAM
704によって集められコントロールセンター701に伝送で
きる。各SAM704とALU707と処理装置706との間の通信は9
600ボーでRS−232−Ｃ通信によりSECSI及びSECS IIプロ
トコルである。
SMARTストレージ領域（SSAs）740が各ワークセンター
700に設けられている。処理を受けていないときは、ウ
ェハーはSSA740においてコンテナ10に付随のデータカー
ド40とともに収容されている。コンテナ10がSSA740に持
ち込まれると、これらはストレージトレー630に配置さ
れる。各ストレージトレー630はRS−232ベース通信リン
ク746によってストレージ制御プロセッサ644に接続され
ており、これによってデータカード40がストレージ制御
プロセッサ644と通信できるようになっている。ストレ
ージ制御プロセッサ644はたとえば、IBMと共通使用可能
なパーソナルコンピュータであって、ストレージにある
すべての材料をモニターし、データカード40のデータの
バックアップコピーを保持し、変更がロット（たとえ
ば、ロット到着、待ちロットのロットデータ変更）に影
響するときはデータカード40を更新するユーザーインタ
ーフェイスを与え、そしてストレージ制御プロセッサ64
4によって保持されるSSA740データベース及びコントロ
ールセンター701データベースを更新する。ストレージ
制御プロセッサ644によって実行されるプログラムは、
メニュー・ドリブン・ユーザー・インターフェイスを与
える。多くのコマンドはライトペン750を用いてアクセ
スすることができ、キーボードの必要はない。また、全
ての特徴部にキーボードによってアクセスすることもで
きる。
700に設けられている。処理を受けていないときは、ウ
ェハーはSSA740においてコンテナ10に付随のデータカー
ド40とともに収容されている。コンテナ10がSSA740に持
ち込まれると、これらはストレージトレー630に配置さ
れる。各ストレージトレー630はRS−232ベース通信リン
ク746によってストレージ制御プロセッサ644に接続され
ており、これによってデータカード40がストレージ制御
プロセッサ644と通信できるようになっている。ストレ
ージ制御プロセッサ644はたとえば、IBMと共通使用可能
なパーソナルコンピュータであって、ストレージにある
すべての材料をモニターし、データカード40のデータの
バックアップコピーを保持し、変更がロット（たとえ
ば、ロット到着、待ちロットのロットデータ変更）に影
響するときはデータカード40を更新するユーザーインタ
ーフェイスを与え、そしてストレージ制御プロセッサ64
4によって保持されるSSA740データベース及びコントロ
ールセンター701データベースを更新する。ストレージ
制御プロセッサ644によって実行されるプログラムは、
メニュー・ドリブン・ユーザー・インターフェイスを与
える。多くのコマンドはライトペン750を用いてアクセ
スすることができ、キーボードの必要はない。また、全
ての特徴部にキーボードによってアクセスすることもで
きる。
コントロールセンター701は全体の設備とワークセン
ターの制御を行うものであって中央データプロセッサ
（CDP）720を備えている。このCDP720はCPU721、データ
ストレージ装置722及びオペレータインターフェイスの
ためのターミナル723を有する。本発明の現状での好ま
しい実施例では、CPU721はデジタルイクイップメントコ
ーポレーション（DEC）が製造するVAXコンピュータであ
る。VAXコンピュータはプロミスシステムコーポレーシ
ョンから市販されるPROMISバージョン4.3中央設備ホス
トシステムまたは、コンシリウムから市販のCOMETS中央
設備ホストシステムに適合することができる。
ターの制御を行うものであって中央データプロセッサ
（CDP）720を備えている。このCDP720はCPU721、データ
ストレージ装置722及びオペレータインターフェイスの
ためのターミナル723を有する。本発明の現状での好ま
しい実施例では、CPU721はデジタルイクイップメントコ
ーポレーション（DEC）が製造するVAXコンピュータであ
る。VAXコンピュータはプロミスシステムコーポレーシ
ョンから市販されるPROMISバージョン4.3中央設備ホス
トシステムまたは、コンシリウムから市販のCOMETS中央
設備ホストシステムに適合することができる。
STSシステムのCDP720及びその他全ての構成部分との
あいだの連結はネットワークが行う。このネットワーク
は３つの通信レベル、すなわち、エサーネットベースLA
N760、RS−485ベースLANs762、及びRS−232ベース通信
リンクを含む。
あいだの連結はネットワークが行う。このネットワーク
は３つの通信レベル、すなわち、エサーネットベースLA
N760、RS−485ベースLANs762、及びRS−232ベース通信
リンクを含む。
エサーネットベースLAN760はたとえば、DECNET、デジ
タルイクイップメントコーポレーション（DEC）の適合
性のあるネットワークであって、エサーネット（IEEE
802.3）ハードウェア及びローレベルプロトコルに基づ
くものとすることができる。データは10Mボー（公称）
で各ネットワークノードにおいて特別のタップ及び電子
カードを有する同軸ケーブルによって伝送される。各ス
トレージ制御プロセッサ644はLAN760を用いてCDP720と
通信する。LAN760上で送られるメッセージは、COMESTま
たはPROMISシステムに関するデータのためのSEMI装置通
信基準プロトコル（SECS II）に従って、または、SAM70
4がCDP720のターミナルとして使用される場合にはDECロ
ーカルエリアターミナルプロトコル（LAT）に従って、
フォーマットされている。
タルイクイップメントコーポレーション（DEC）の適合
性のあるネットワークであって、エサーネット（IEEE
802.3）ハードウェア及びローレベルプロトコルに基づ
くものとすることができる。データは10Mボー（公称）
で各ネットワークノードにおいて特別のタップ及び電子
カードを有する同軸ケーブルによって伝送される。各ス
トレージ制御プロセッサ644はLAN760を用いてCDP720と
通信する。LAN760上で送られるメッセージは、COMESTま
たはPROMISシステムに関するデータのためのSEMI装置通
信基準プロトコル（SECS II）に従って、または、SAM70
4がCDP720のターミナルとして使用される場合にはDECロ
ーカルエリアターミナルプロトコル（LAT）に従って、
フォーマットされている。
マルチ−ドロップRS−485「bus」762は各処理ステー
ション702にあるSAM704をローカルリンクマネージャー7
70に接続する。このRS−485チェーンはSDLCローレベル
プロトコルを用いた同期通信モードで1Mボーで動作す
る。各SAM704はSECS IIでフォーマットされたメッセー
ジを発生し、このメッセージはリンクマネージャー770
に送られ、リンクマネージャー770はこれをLAN760によ
ってCDP720に伝送する。
ション702にあるSAM704をローカルリンクマネージャー7
70に接続する。このRS−485チェーンはSDLCローレベル
プロトコルを用いた同期通信モードで1Mボーで動作す
る。各SAM704はSECS IIでフォーマットされたメッセー
ジを発生し、このメッセージはリンクマネージャー770
に送られ、リンクマネージャー770はこれをLAN760によ
ってCDP720に伝送する。
あるワークセンターでは幾つかのSAM704はCDP720との
通信のためには設けなくともよい。この場合、SAM704で
実行されるプログラムはワークステーションに持ち込ま
れるコンテナについてデータカード40に質問をしてコン
テナにあるウェハーの現状について最後のCDP720に報告
されていらい行われた処理ステップの数を決定する。処
理ステップを数が所定数を越えると、たとえば、４ステ
ップを越えるとSAM704はステータス情報がCDP720に報告
されるまでウェハーの処理を行わせない。SAM704とデー
タカード40の双方がコンテナ10がSAM704内または更新の
ためにストレージセンター740に配置されていなければ
ならないということを示すメッセージを表示する。
通信のためには設けなくともよい。この場合、SAM704で
実行されるプログラムはワークステーションに持ち込ま
れるコンテナについてデータカード40に質問をしてコン
テナにあるウェハーの現状について最後のCDP720に報告
されていらい行われた処理ステップの数を決定する。処
理ステップを数が所定数を越えると、たとえば、４ステ
ップを越えるとSAM704はステータス情報がCDP720に報告
されるまでウェハーの処理を行わせない。SAM704とデー
タカード40の双方がコンテナ10がSAM704内または更新の
ためにストレージセンター740に配置されていなければ
ならないということを示すメッセージを表示する。
図14のSTSにおけるウェハー処理は以下の通りであ
る。設備内にあるウェハーのログを始めるために、オペ
レータは初期化タスクのために指定されたALU707にから
のコンテナ10を配置する。つぎにオペレータはALU707を
制御してコンテナ10を開く。ウェハーがカセットに挿入
し、カセットをALU707にある開かれたコンテナ10ドアの
上に配置する。SAM704に関し、NEWLOT機能を開始し、ロ
ットIDとウェハーID番号とを入力する。CDP720はロット
IDの重複をチェックし、当該ロットIDが唯一のものであ
ることを確認する。つぎに、SAM704はCDP720からロット
のステータスを受け取り、データカード40にそのロット
ID、つぎの装置形式、ワークセンターを書き込む。オペ
レータはALU707を制御してウェハーのカセットを中にい
れてコンテナ10を閉じる。コンテナはALU707によって解
放されて、第１処理装置または任意のSSA740に搬送する
用意が整う。
る。設備内にあるウェハーのログを始めるために、オペ
レータは初期化タスクのために指定されたALU707にから
のコンテナ10を配置する。つぎにオペレータはALU707を
制御してコンテナ10を開く。ウェハーがカセットに挿入
し、カセットをALU707にある開かれたコンテナ10ドアの
上に配置する。SAM704に関し、NEWLOT機能を開始し、ロ
ットIDとウェハーID番号とを入力する。CDP720はロット
IDの重複をチェックし、当該ロットIDが唯一のものであ
ることを確認する。つぎに、SAM704はCDP720からロット
のステータスを受け取り、データカード40にそのロット
ID、つぎの装置形式、ワークセンターを書き込む。オペ
レータはALU707を制御してウェハーのカセットを中にい
れてコンテナ10を閉じる。コンテナはALU707によって解
放されて、第１処理装置または任意のSSA740に搬送する
用意が整う。
処理が行われていないとき、ウェハーは各ワークセン
ター700にあるSSA740にストアされる。ウェハーはコン
テナ10内にこれに取り付けられたデータカード40ととも
に保持される。各コンテナ10のデータカード40はロット
名称、ワークセンターアイデンティティ及び次の処理ス
テップに使用される装置形式を示す。輸送オペレータは
設備を通してウェハーのコンテナ10を移動させるカート
とともにワークセンターのSSA740の中を移動する。輸送
オペレータが一つのSSA740に近づくと、オペレータはラ
イトペンを使って異なるSSA740にあるロット（ストレー
ジ制御プロセッサ644にストアされているストレージエ
リアによって支持されているワークセンターのリストに
もとづいて）を要求する。これらのロットに含まれるス
トレージトレー630にあるLEDが所定時間（たとえば10秒
間）点滅する。輸送オペレータはこれらのコンテナ10を
除去し、異なるSSA740に移動させるためにカートに載せ
る。輸送オペレータは目的のワークセンターについて各
データカード40の液晶ディスプレー（LCD）で調べる。
ター700にあるSSA740にストアされる。ウェハーはコン
テナ10内にこれに取り付けられたデータカード40ととも
に保持される。各コンテナ10のデータカード40はロット
名称、ワークセンターアイデンティティ及び次の処理ス
テップに使用される装置形式を示す。輸送オペレータは
設備を通してウェハーのコンテナ10を移動させるカート
とともにワークセンターのSSA740の中を移動する。輸送
オペレータが一つのSSA740に近づくと、オペレータはラ
イトペンを使って異なるSSA740にあるロット（ストレー
ジ制御プロセッサ644にストアされているストレージエ
リアによって支持されているワークセンターのリストに
もとづいて）を要求する。これらのロットに含まれるス
トレージトレー630にあるLEDが所定時間（たとえば10秒
間）点滅する。輸送オペレータはこれらのコンテナ10を
除去し、異なるSSA740に移動させるためにカートに載せ
る。輸送オペレータは目的のワークセンターについて各
データカード40の液晶ディスプレー（LCD）で調べる。
材料がSSA740に到着すると、ストレージ制御プロセッ
サ644はメッセージをCDP720に送り、次の処理ステップ
情報を要求する。CDP720からの応答によってストレージ
制御プロセッサ704に対する正しい装置形式及びワーク
センターを識別する。データカード40は必要に応じて更
新される。つぎのロットについてのワークセンターがそ
のストレージ領域740についてリストにのっていない場
合には、ロットLEDが（10秒間）点滅して、輸送オペレ
ータに除去するように指示する。
サ644はメッセージをCDP720に送り、次の処理ステップ
情報を要求する。CDP720からの応答によってストレージ
制御プロセッサ704に対する正しい装置形式及びワーク
センターを識別する。データカード40は必要に応じて更
新される。つぎのロットについてのワークセンターがそ
のストレージ領域740についてリストにのっていない場
合には、ロットLEDが（10秒間）点滅して、輸送オペレ
ータに除去するように指示する。
ストレージ制御プロセッサ644は「ACCEPT INTO CEL
L」時刻スタンプメッセージを送る。このメッセージは
ロットの現在のビン番号を含んでおり、CDP720はこれを
後で使用するためにストアする。ロットは装置オペレー
タが処理のために除去するまで待機する。
L」時刻スタンプメッセージを送る。このメッセージは
ロットの現在のビン番号を含んでおり、CDP720はこれを
後で使用するためにストアする。ロットは装置オペレー
タが処理のために除去するまで待機する。
装置オペレータがウェハーを処理する用意をすると、
オペレータはCDP720ターミナル、すなわちSAM704に行
き、材料の列を調べる。オペレータは１つのロットを列
から選択し、CDP720はこのロットの位置を（最終時刻ス
タンプ位置に基づいて）表示する。つぎに、オペレータ
はビン番号によってこのコンテナを配置し、除去する。
オペレータはデータカード40にある液晶ディスプレー
（LCD）をチェックして適正なコンテナが得られたこと
を確認しなければならない。データカード40のLCDは、
次の処理ステップのロットID、ワークセンター及び装置
形式を表示する。コンテナが除去されたときストレージ
制御プロセッサ644はCDP720に「ACCEPT INTO CELL」
時刻スタンプによって、それが除去されたことを知らせ
る。
オペレータはCDP720ターミナル、すなわちSAM704に行
き、材料の列を調べる。オペレータは１つのロットを列
から選択し、CDP720はこのロットの位置を（最終時刻ス
タンプ位置に基づいて）表示する。つぎに、オペレータ
はビン番号によってこのコンテナを配置し、除去する。
オペレータはデータカード40にある液晶ディスプレー
（LCD）をチェックして適正なコンテナが得られたこと
を確認しなければならない。データカード40のLCDは、
次の処理ステップのロットID、ワークセンター及び装置
形式を表示する。コンテナが除去されたときストレージ
制御プロセッサ644はCDP720に「ACCEPT INTO CELL」
時刻スタンプによって、それが除去されたことを知らせ
る。
次の処理ステップの前に制御動作が必要であるという
ことをCDP720のデータが示している場合には、データカ
ード40の液晶ディスプレーは装置形式と行われるべき制
御ウェハー動作（ADDまたはプットパック）を表示す
る。及びは指定されたALU707にコンテナ10を搬送し、コ
ンテナ10をALU707の上に配置する。ALU707と協働するSA
M704は制御ウェハー動作が必要であることを認識し、及
びにコンテナ10を開くことを許容する。
ことをCDP720のデータが示している場合には、データカ
ード40の液晶ディスプレーは装置形式と行われるべき制
御ウェハー動作（ADDまたはプットパック）を表示す
る。及びは指定されたALU707にコンテナ10を搬送し、コ
ンテナ10をALU707の上に配置する。ALU707と協働するSA
M704は制御ウェハー動作が必要であることを認識し、及
びにコンテナ10を開くことを許容する。
オペレータは適正な制御ウェハーをカセットに入れ、
ウェハーID番号をSAM704に入力する。これらのウェハー
番号は制御材料動作メッセージの中で送られCDP720に制
御材料のADD/プットバックの完了を知らせる。つぎにデ
ータカード40はオペレータにロットを処理のためにワー
クステーション702に持っていくように告げる。
ウェハーID番号をSAM704に入力する。これらのウェハー
番号は制御材料動作メッセージの中で送られCDP720に制
御材料のADD/プットバックの完了を知らせる。つぎにデ
ータカード40はオペレータにロットを処理のためにワー
クステーション702に持っていくように告げる。
ワークステーション702の２つがソーターである場合
には、ソーターにあるSAM704はデータカード40から制御
ウェハー要求を読み取り自動ソーターに命令を出す。制
御ウェハーのカセットスロットはソーターで選択され、
データカード40に記録される。完了すると、SAM704は制
御材料動作メッセージを発生してCDP720に制御材料のAD
D/プットバックの完了を知らせる。つぎに、データカー
ド40はオペレータにコンテナ10を処理のために処理ツー
ルに持っていくように告げる。
には、ソーターにあるSAM704はデータカード40から制御
ウェハー要求を読み取り自動ソーターに命令を出す。制
御ウェハーのカセットスロットはソーターで選択され、
データカード40に記録される。完了すると、SAM704は制
御材料動作メッセージを発生してCDP720に制御材料のAD
D/プットバックの完了を知らせる。つぎに、データカー
ド40はオペレータにコンテナ10を処理のために処理ツー
ルに持っていくように告げる。
オペレータはコンテナ10を処理装置に搬送する。該装
置では、ロットがALU707の上に配置される。ロットIDと
意図される処理目的がSAM704によってデータカード40か
ら読み取られる。コンテナが間違った処理装置にある場
合には（データカード40のデータとSAM704の構成が一致
しないことを意味する）、SAM704はCDP720からのロット
ステータス情報を要求し、必要ならば、データカード40
を更新し、（コンテナが依然として間違った装置にある
場合には）LEDを点滅させる。
置では、ロットがALU707の上に配置される。ロットIDと
意図される処理目的がSAM704によってデータカード40か
ら読み取られる。コンテナが間違った処理装置にある場
合には（データカード40のデータとSAM704の構成が一致
しないことを意味する）、SAM704はCDP720からのロット
ステータス情報を要求し、必要ならば、データカード40
を更新し、（コンテナが依然として間違った装置にある
場合には）LEDを点滅させる。
コンテナ10が適正な処理装置にある場合には（データ
カード40のデータとSAM704の構成とが一致することを意
味する）、SAM704はオペレータにオペレータIDを要求
し、この処理装置706にロットをトラック−インさせ
る。受け入れるために、CDP720はロットが待ち状態にあ
ることを照合し、現在の目的地として適正な装置／ワー
クステーション706が有効であり、かつオペレータIDが
有効であるかどうかを確認する。
カード40のデータとSAM704の構成とが一致することを意
味する）、SAM704はオペレータにオペレータIDを要求
し、この処理装置706にロットをトラック−インさせ
る。受け入れるために、CDP720はロットが待ち状態にあ
ることを照合し、現在の目的地として適正な装置／ワー
クステーション706が有効であり、かつオペレータIDが
有効であるかどうかを確認する。
CDP720が拒絶した場合には、SAM704はメッセージをCD
P720に送ってロットステータスを要求する。この場合に
は、ALU707の赤ランプが点灯し、データカード40の液晶
ディスプレーがこのコンテナの最終目的地を示し、カセ
ット搬送操作は許可されない。必要があれば、データカ
ード40を更新する。
P720に送ってロットステータスを要求する。この場合に
は、ALU707の赤ランプが点灯し、データカード40の液晶
ディスプレーがこのコンテナの最終目的地を示し、カセ
ット搬送操作は許可されない。必要があれば、データカ
ード40を更新する。
ロット−トラック−インが受入れられたとき、ALU707
のオペレータ制御パネルにあるライトはそのように表示
する。ロットが除去されると、SAM704は「INQUIRE CAN
CEL TRACK−IN」を発生し、操作を中止する。ロットは
ALU707により装置に装填される。データカード40はラン
状態にあるロットを示すようにマークされる。データカ
ード40にストアされたまたは、CDP720で送られた任意の
処理仕様は、SAM704のターミナルスクリーン上の表示さ
れる。
のオペレータ制御パネルにあるライトはそのように表示
する。ロットが除去されると、SAM704は「INQUIRE CAN
CEL TRACK−IN」を発生し、操作を中止する。ロットは
ALU707により装置に装填される。データカード40はラン
状態にあるロットを示すようにマークされる。データカ
ード40にストアされたまたは、CDP720で送られた任意の
処理仕様は、SAM704のターミナルスクリーン上の表示さ
れる。
SAM704は「Start Run」時間スタンプをCDP720に送
る。もしステーションがコンフィギュレーション可能な
装置インターフェース710を有している場合には、SAM70
4は、CDP720に「Start Run」時間スタンプの信号を送
るまえに、コンフィギュレーションをして処理装置スタ
ートメッセージを待つ。
る。もしステーションがコンフィギュレーション可能な
装置インターフェース710を有している場合には、SAM70
4は、CDP720に「Start Run」時間スタンプの信号を送
るまえに、コンフィギュレーションをして処理装置スタ
ートメッセージを待つ。
もし当該ステーションが、コンフィギュレーション可
能な装置インターフェース710を備えている場合であっ
てロットデータが自動レシピー（recipe）を必要とする
場合には、SAM704はロットパラメータをロットデータか
ら前もってストアされたレシピースケルトンに入れ、こ
のレシピーを装置706に送る。
能な装置インターフェース710を備えている場合であっ
てロットデータが自動レシピー（recipe）を必要とする
場合には、SAM704はロットパラメータをロットデータか
ら前もってストアされたレシピースケルトンに入れ、こ
のレシピーを装置706に送る。
データ収集動作（DCOP）には２つのやり方がある。も
しステーション702がコンフィギュレーション可能な装
置インターフェース710を備えているばあいには、SAM70
4によってデータは装置706から直接得られる。このデー
タはCDP720に送られる。この方法が使用されない場合に
は、収集はオペレータが直接CDP720に入力することによ
って行われる。SAM704は事実上この目的のために使用さ
れる。
しステーション702がコンフィギュレーション可能な装
置インターフェース710を備えているばあいには、SAM70
4によってデータは装置706から直接得られる。このデー
タはCDP720に送られる。この方法が使用されない場合に
は、収集はオペレータが直接CDP720に入力することによ
って行われる。SAM704は事実上この目的のために使用さ
れる。
処理ステップが完了すると、オペレータはALU707にウ
ェハーを装置706から下ろさせ、該ウェハーはコンテナ1
0に戻させる。まず、オペレータはSAM704にある識別番
号を入力するように求められる。SAM704は「End Run」
時間スタンプの信号をCDP720に送る。ステーションがコ
ンフィギュレーション可能な装置インターフェース710
を備えている場合には、装置「Stop」メッセージを受け
取るとSAM704はコンフィギュレーションを行って「End
Run」時間スタンプの信号をCDP720に送る。SAM704に
よってトラック−アウトがCDP720システム上で自動的に
行われる。ロットはこのとき更新され、オペレータに解
放される。液晶ディスプレー（LCD）によってオペレー
タに当該ロットがつぎにどのワークセンターのどの装置
に行くべきかを知らせる。
ェハーを装置706から下ろさせ、該ウェハーはコンテナ1
0に戻させる。まず、オペレータはSAM704にある識別番
号を入力するように求められる。SAM704は「End Run」
時間スタンプの信号をCDP720に送る。ステーションがコ
ンフィギュレーション可能な装置インターフェース710
を備えている場合には、装置「Stop」メッセージを受け
取るとSAM704はコンフィギュレーションを行って「End
Run」時間スタンプの信号をCDP720に送る。SAM704に
よってトラック−アウトがCDP720システム上で自動的に
行われる。ロットはこのとき更新され、オペレータに解
放される。液晶ディスプレー（LCD）によってオペレー
タに当該ロットがつぎにどのワークセンターのどの装置
に行くべきかを知らせる。
オペレータはそのロットをつぎのステーション702ま
たはSSA740に運ぶ。ロットがSSA740に着くと、「Send
from Cell」時間スタンプが送られ、つぎにロットの場
所が確認される。
たはSSA740に運ぶ。ロットがSSA740に着くと、「Send
from Cell」時間スタンプが送られ、つぎにロットの場
所が確認される。
この方法で、どのウェハーの処理もCDP720によって追
跡される。この精密なウェハー追跡を行うことは、異な
るウェハーが単一のコンテナ10収容されて異なる処理ス
テップにかかる場合には特に重要である。CDP720との相
互作用を行うことの別の重要な点は、オペレータが各種
のバッチの処理パラメータを決定する必要がないという
ことであり、処理パラメータはCDP720からSAM704にダウ
ンロードされ、SAM704で表示されるかあるいはSAM704か
ら装置706にインターフェース710を介してダウンロード
される。
跡される。この精密なウェハー追跡を行うことは、異な
るウェハーが単一のコンテナ10収容されて異なる処理ス
テップにかかる場合には特に重要である。CDP720との相
互作用を行うことの別の重要な点は、オペレータが各種
のバッチの処理パラメータを決定する必要がないという
ことであり、処理パラメータはCDP720からSAM704にダウ
ンロードされ、SAM704で表示されるかあるいはSAM704か
ら装置706にインターフェース710を介してダウンロード
される。
マニュアルの処理ステップを行う場合には、ALU707は
処理のためにコンテナ10からロットを移動させるのに使
用される。処理すべきロットは１度にALU707の上に配置
される。そのロットは有効なものとされロットデータを
コンテナ10に入力することによって追跡される。つぎ
に、コンテナ10が開けられ、ウェハーは処理を行うため
に取り出される。処理が完了すると、ロットはALU707に
戻される。空のコンテナ10（空のカセットを収容する）
がALU707に配置されてコンテナ10が開かれる。ロットは
コンテナ10内部に配置され、オペレータはロットIDを入
力する。SAM704は「Trackout」を行い、ロット情報をデ
ータカード40に書き込む。ALU707はコンテナ10を閉じ
る。
処理のためにコンテナ10からロットを移動させるのに使
用される。処理すべきロットは１度にALU707の上に配置
される。そのロットは有効なものとされロットデータを
コンテナ10に入力することによって追跡される。つぎ
に、コンテナ10が開けられ、ウェハーは処理を行うため
に取り出される。処理が完了すると、ロットはALU707に
戻される。空のコンテナ10（空のカセットを収容する）
がALU707に配置されてコンテナ10が開かれる。ロットは
コンテナ10内部に配置され、オペレータはロットIDを入
力する。SAM704は「Trackout」を行い、ロット情報をデ
ータカード40に書き込む。ALU707はコンテナ10を閉じ
る。
再作業、分割、結合または廃棄が必要な場合には、オ
ペレータはCDP720にターミナルに行って、これらのシー
ケンスの内の１つ以上のものを開始しなければならな
い。ロットはつぎにストレージの中に配置されるかまた
は、ALU707に配置され、データカード40を更新する。
ペレータはCDP720にターミナルに行って、これらのシー
ケンスの内の１つ以上のものを開始しなければならな
い。ロットはつぎにストレージの中に配置されるかまた
は、ALU707に配置され、データカード40を更新する。
ある場合には、トラック−インに関してSAM704によっ
て得られた材料情報には、トラック−アウトの前に制御
動作を指示するフラグが必要となるということを含める
ことができる。この場合には、処理ツールにあるSAM704
は「Request Control Meterial Removal Informati
on」のメッセージを送る。得られた材料取り出し命令は
擬似処理ステップに形式でデータカード40に格納され
る。材料取り出し命令が処理ステップに後に続く場合に
は、オペレータはデータカード40からテストウェハーを
取り出すためにALU707に行くように知らされる。ALU707
では、ウェハーは手動で取り出され、CDP720には、「Co
ntrol Material Action」メッセージによって知らさ
れ、その後トラック−アウトされる。
て得られた材料情報には、トラック−アウトの前に制御
動作を指示するフラグが必要となるということを含める
ことができる。この場合には、処理ツールにあるSAM704
は「Request Control Meterial Removal Informati
on」のメッセージを送る。得られた材料取り出し命令は
擬似処理ステップに形式でデータカード40に格納され
る。材料取り出し命令が処理ステップに後に続く場合に
は、オペレータはデータカード40からテストウェハーを
取り出すためにALU707に行くように知らされる。ALU707
では、ウェハーは手動で取り出され、CDP720には、「Co
ntrol Material Action」メッセージによって知らさ
れ、その後トラック−アウトされる。
本発明の好ましい実施例についての上記の説明は、例
示と説明の目的で行われたものである。これは本発明を
消耗させるものでも、開示された正確な形態に限定する
ものでもなく、多くの修正変更が上記の教示に照らして
可能となる。特定の実施例が本発明の原理を最も良く説
明するために選択され、説明されており、これによっ
て、当業者が各種の実施態様で本発明を活用することが
可能となり、各種の変更を特定の用途に適合させること
ができる。本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によっ
て規定されものであることを意図している。
示と説明の目的で行われたものである。これは本発明を
消耗させるものでも、開示された正確な形態に限定する
ものでもなく、多くの修正変更が上記の教示に照らして
可能となる。特定の実施例が本発明の原理を最も良く説
明するために選択され、説明されており、これによっ
て、当業者が各種の実施態様で本発明を活用することが
可能となり、各種の変更を特定の用途に適合させること
ができる。本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によっ
て規定されものであることを意図している。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ボノラ アントニー シー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94025 メンロ パーク フェルトン ドライブ 300 (72)発明者 パーリク ミーハ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 95120 サン ホセ ウッディード レ イク ドライブ 7174 (72)発明者 ブライアン マイケル ディー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94605 オークランド コーヴィングト ン ストリート 245 (56)参考文献 特開 昭64−34643（ＪＰ，Ａ) 特表 昭63−503260（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 1/137 G05B 19/418 G06F 17/60
Claims (4)
- 【請求項１】物品の移送と処理を行うシステムであっ
て、 物品を収容する内部領域を有する少なくとも１つの移動
コンテナと、 前記移動コンテナ内に設けられ、対応する移動コンテナ
に収容された物品に関する情報を受信し、格納し、送信
し、表示する第１手段と、 複数のワークステーションとを備え、 該各ワークステーションは、 前記移動コンテナの１つを収容する第２手段と、 前記第２手段に収容された移動コンテナによって搬送さ
れる物品を処理する第３手段と、 前記第２手段に収容された移動コンテナに設けられた第
１手段に格納された前記情報に応答し、前記第２及び第
３手段を制御し、前記第３手段で行われる処理に関する
情報を前記第１手段に送信する第４手段とを有し、 前記システムはさらに、 少なくとも１つの前記ワークステーションの第３手段と
を通信して対応するワークステーションのステータスに
関する情報を受信し、ワークステーションの前記第３手
段で行われる処理に関する情報を送信し、ワークステー
ションの第２手段に収容された移動コンテナ上に設けら
れた第１手段によって格納された情報を受信する第５手
段と、 さらに、前記移動コンテナの１つを収容する第６手段を
備え、該第６手段は、該第６手段に収容された移動コン
テナの第１手段と前記第５手段との間の通信を与えるよ
うになっており、 さらに、 前記複数のワークステーションの第１のグループの各々
の第３手段の間の通信を与える第１ネットワーク手段
と、 前記複数のワークステーションの第２のグループの各々
の第３手段の間の通信を与える第２ネットワーク手段
と、 前記第１ネットワーク手段を制御し、該第１ネットワー
ク手段と前記第５手段との間の通信を与える第１ローカ
ル処理手段と、 前記第２ネットワーク手段を制御し、前記第２ネットワ
ーク手段と前記第５手段との間の通信を与える第２ロー
カル処理手段とを備えたことを特徴とするシステム。 - 【請求項２】物品を収容し、搬送し、処理するシステム
であって、 複数の移動コンテナを備え、 各移動コンテナは、複数の物品を収容する内部領域を有
しており、 前記システムはさらに、 各移動コンテナに設けられ、対応する移動コンテナに収
容された物品に関する情報を受信し、格納し、送信し、
表示するデータ処理手段と、 複数のワークステーションとを備え、 該各ワークステーションは、 １つの前記移動コンテナを収容する第１手段と、 該第１手段に収容された移動コンテナによって輸送され
る物品の選択されたものを処理する第２処理手段と、 前記第１手段に収容された移動コンテナに設けられたデ
ータ処理手段によって格納された前記情報に応答して、 （ｉ）前記第１手段に収容された移動コンテナにある少
なくとも１つの物品が適当なワークステーションに到着
したことを確認し、 （ii）物品が適当なワークステーションに到着しなかっ
たときは前記データ処理手段を制御して該適当なワーク
ステーションの識別子を表示し、 （iii）該ワークステーションで処理されるべき各物品
の処理情報を格納し、 （iv）前記第１手段及び第２手段を制御して前記確認と
選択された物品についての処理情報に従い物品の選択さ
れたものを処理し、 （ｖ）中央処理ユニットに前記物品の処理時間を報告
し、 （vi）前記第１手段に収容された移動コンテナの前記デ
ータ処理手段を制御し後続の処理ステップに関連する情
報を表示する第３手段と、を有し、 前記システムはさらに、 少なくとも１つの前記ワークステーションの第３手段と
通信して対応するワークステーションのステータスに関
する情報を受信し、該ワークステーションの前記第２手
段によって行われるべき処理に関する情報を送信し、ワ
ークステーションの第１手段に収容された移動コンテナ
に設けられたデータ処理手段によって格納された情報を
受信する中央処理ユニットと、 前記移動コンテナを収容し、前記移動コンテナに設けら
れたデータ処理手段と中央処理ユニットとの間の通信を
与え、前記データ処理手段によって格納された情報のバ
ックアップコピーを作成する手段を有するストレージス
テーションとを備えたことを特徴とするシステム。 - 【請求項３】前記ストレージ手段が前記データ処理手段
によって格納された情報を更新することを特徴とする請
求項２に記載のシステム。 - 【請求項４】各データ処理手段が該データ処理手段に対
し、該データ処理手段に格納されている情報を表示させ
る制御手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載の
システム。
Applications Claiming Priority (2)
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| US458,767 | 1989-12-29 | ||
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|---|---|---|---|
| JP2001045585A Division JP3636669B2 (ja) | 1989-12-29 | 2001-02-21 | 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05502754A JPH05502754A (ja) | 1993-05-13 |
| JP3197273B2 true JP3197273B2 (ja) | 2001-08-13 |
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ID=23822002
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51309590A Expired - Fee Related JP3197273B2 (ja) | 1989-12-29 | 1990-09-18 | 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム |
| JP2001045585A Expired - Fee Related JP3636669B2 (ja) | 1989-12-29 | 2001-02-21 | 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム |
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|---|---|---|---|
| JP2001045585A Expired - Fee Related JP3636669B2 (ja) | 1989-12-29 | 2001-02-21 | 情報を有する物品追跡機能を備えた処理システム |
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|---|---|
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| AT (1) | ATE177851T1 (ja) |
| DE (1) | DE69033008T2 (ja) |
| WO (1) | WO1991010202A1 (ja) |
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