KR20000031175A - 작업대상물의 선택처리 시스템 및 그 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 작업대상물의 선택처리 시스템에 관한 것으로 설비에 카세트가 로드되면 설비서버와 호스트가 파일서버에서 작업대상물의 작업 스케쥴을 검색한 후, 설비에서 수행되어야 하는 작업대상물만 선택하고, 선택된 작업대상물이 각각 서로 다른 상기 작업 스케쥴로 처리됨으로써, 별도로 수동의 기계적 조치 및 작업자의 개입없이 설비를 자동으로 원격 구동시킬 수 있다

Description

작업대상물의 선택처리 시스템 및 그 제어방법
본 발명은 작업대상물의 선택처리 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로 더욱 상세하게 말하자면 특히 반도체나 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display; 이하 'TFT-LCD' 라 함) 등의 제조 공정에 사용되는 작업대상물의 선택처리 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
이하, TFT-LCD의 제조 공정에 따라 종래의 작업대상물의 선택처리 시스템 및 그 제어방법에 대해서 설명한다.
종래의 TFT-LCD 제조 공정의 온라인(online) 중에는 동일 카세트(cassette)에 다수의 글래스(glass, '작업대상물'과 동일한 개념임)가 보관되어 검사기, 보수기, 세정기, 오븐기, 봉합기 등의 설비로 반송된다. 동일 카세트에 있는 다수의 글래스는 이러한 일련의 설비를 거쳐서 TFT-LCD로 완성된다. 이때, 하나의 글래스가 위에서 언급한 일련의 설비를 거치는 것을 '작업 스케쥴(job schedule)'이라 한다.
한편, 동일 카세트에 들어 있는 모든 글래스는 위에서 언급한 일련의 설비를 동일하게 거치면서 제조될 수도 있으나, 일부 글래스는 별도의 설비를 거치면서 제조될 수도 있다.
그러나, 종래의 TFT-LCD 제조 공정의 각 설비는 카세트가 반송되면, 동일 카세트에 있는 모든 글래스에 대한 작업 스케쥴을 동일하게 받아 처리한다. 따라서, 동일 카세트에 최소 2개 이상의 서로 다른 작업 스케쥴로 처리되어야 하는 글래스가 들어 있는 경우, 이들 글래스에 대하여 하나의 명령으로 작업을 수행할 수 없었다. 즉, 작업자 또는 호스트가 필요로 하는 글래스만을 선택하여, 선택된 글래스에 대해서 서로 다른 작업 스케쥴을 부여할 수 없었다.
따라서, 종래의 TFT-LCD 제조 공정에서 오프라인(offline) 또는 온라인 시에 동일 카세트에 들어 있는 일부 글래스에 대해서 선택적으로 작업 스케쥴을 부여하기 위해서는 별도로 작업자가 각각의 설비에 수동적으로 작업 지시를 내려야 한다. 그러나, 이러한 작업자의 작업 지시는 지속적이고 구체적인 작업지시를 필요로 하는 설비 예컨대, 파티클 측정을 위한 설비와 모니터링을 위한 설비에는 부적합하다는 문제점이 있다.
본 발명의 과제는 이와 같은 점을 해결하기 위한 것으로서, 원격 온라인 제조 공정에서 작업대상물을 진행할 때 작업자의 개입 없이 동일 카세트 내의 서로 다른 작업 스케쥴을 가지는 작업대상물을 선택하여 처리하는 시스템 및 그 제어방법을 제공하는데 있다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 작업대상물의 선택처리 시스템의 구성 블록도이다.
도2a 및 도2b는 도1에서 사용되는 메시지 형식이다.
도3a 및 도3b는 도1에서 교환되는 메시지 흐름도이다.
도4는 도1의 처리 흐름도이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 특징에 따른 작업대상물의 선택처리 시스템은
다수의 작업대상물을 가지는 카세트를 로드받아 상기 작업 대상물에 대하여 작업을 수행하는 설비와, 상기 작업대상물에 대한 작업 스케쥴과 상기 카세트에 대한 정보를 가지고 있는 데이터 베이스와, 상기 설비에 상기 카세트가 로드되면, 상기 카세트에 보관된 작업 대상물 중 설비에서 수행하여야 할 작업 대상물에 관한 정보와 선택된 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴의 정보를 상기 데이터 베이스로부터 검색하여 상기 설비의 작업을 제어하는 제어기를 포함한다.
여기서, 상기 제어기는 카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고 상기 특정 작업 대상물을 동일한 작업 스케쥴로 작업하도록 설비를 제어할 수 있으며, 카세트에 보관된 모든 작업 대상물을 선택하고 상기 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업하도록 설비를 제어할 수 있다. 또한, 상기 제어기는 카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고, 상기 특정 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업하도록 설비를 제어할 수 있다.
상기 제어기는 상기 설비와 연결되어 상기 설비를 직접 제어하는 설비 서버와, 상기 설비에 상기 카세트가 로드되면 상기 카세트에 보관된 작업 대상물 중 설비에서 수행하여야 할 작업 대상물에 관한 정보와 선택된 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴의 정보를 상기 설비 서버로 전송하는 호스트를 포함한다.
이 때, 상기 호스트는 자동운송장치를 제어하여 상기 카세트가 다수의 상기 설비들과 스토커 사이에서 반송되도록 하는 반송관리자와, 상기 자동운송장치가 반송하는 카세트의 작업 상태를 관리하는 카세트 관리자와, 상기 카세트에 보관된 다수의 상기 작업대상물의 작업 상태와 작업 스케쥴을 관리하는 작업대상물 관리자를 포함한다.
한편, 본 발명의 다른 특징에 따른 작업대상물의 선택처리 시스템의 제어방법은 설비에 다수의 작업대상물이 보관된 카세트가 로드되었다는 것을 보고하는 단계와, 상기 카세트에 보관된 작업 대상물 중 설비에서 수행하여야 할 작업 대상물에 관한 정보와 선택된 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴의 정보를 상기 데이터 베이스로부터 검색하여 상기 정보를 포함하는 작업 개시 메시지를 만들어 전송하는 단계와, 상기 작업 개시 메시지를 수신한 후, 상기 작업 개시 메시지내의 정보에 따라 카세트에 보관된 작업 대상물을 선택하고 선택된 작업 대상물을 상기 작업 스케쥴로 처리하는 단계를 포함한다.
여기서, 작업 대상물을 처리하는 단계는
카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고 상기 특정 작업 대상물을 동일한 작업 스케쥴로 작업할 수 있으며, 카세트에 보관된 모든 작업 대상물을 선택하고 상기 선택된 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업할 수도 있다. 또한, 작업 대상물을 처리하는 단계는 카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고, 상기 특정 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업할 수 있다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 작업대상물의 선택처리 시스템 및 그 제어방법에 대해 구체적으로 설명한다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 작업대상물의 선택처리 시스템의 구성 블록도이다.
도1에 도시한 바와 같이, 작업대상물의 선택처리 시스템은 호스트(10), 설비서버(20), 설비(30), 파일서버(40) 및 사용자 인터페이스(50)로 이루어진다. 호스트(10)는 내부에 반송 관리자(12), 카세트 관리자(14), 작업대상물 관리자(16) 등을 포함한다. 여기서, 반송 관리자(12)는 자동운송장치(도시하지 않음)를 제어하여 다수의 설비들과 스토커 사이에 카세트가 반송되도록 한다. 카세트 관리자(14)는 자동운송장치가 반송하는 카세트의 작업 상태를 관리하고, 작업대상물 관리자(16)는 카세트에 보관된 다수의 작업대상물인 글래스의 각각의 작업 상태, 작업 스케쥴 등을 관리한다.
한편, 설비서버(20)는 호스트(10)와 설비(30) 사이에 위치하여 호스트(10)로부터 설비(30)에 대한 메시지를 받고 이에 따라 설비(30)를 관리하고, 설비(30)로부터 올라오는 각종 이벤트(카세트 로드, 언로드 등의 사건)에 대한 처리를 한후 이를 호스트(10)에 보고한다. 또한, 설비(30)는 설비서버(20)의 제어에 따라 작업대상물을 선택하여 처리한다.
한편, 파일서버(40)는 데이터베이스(41~43)를 가지고 있으며, 이 데이터베이스(41~43)는 작업대상물에 대한 작업 스케쥴을 포함하는 다양한 정보와 데이터를 보관한다.
예를 들어, 동일 카세트내의 제1, 3, 5, 7의 글래스들에 대한 작업 스케쥴이 검사기, 보수기, 세정기, 오븐기, 스페이서기, 봉합기의 순서로 되어 있으며, 제1, 3, 5, 7의 글래스를 제외한 나머지 글래스들에 대한 작업 스케쥴은 세정기, 오븐기, 봉합기의 순서로 되어 있다고 하자.
그러면, 검사기 설비는 먼저 위의 카세트 내에 보관된 글래스 중 제1, 3, 5, 7의 글래스만 선택해서 검사 공정 및 보수 공정을 수행한다. 그리고 나서, 위의 카세트내에 보관된 모든 글래스에 대하여 세정, 가열 및 봉합 공정을 수행한다.
한편, 사용자 인터페이스(50)는 호스트(10)와 연결되어 사용자가 각각의 설비(30)에서 수행되어야 할 특정 글래스를 입력하게 한다. 이 때, 입력된 글래스에 대한 작업 스케쥴은 파일서버(40)의 데이터베이스(41~43)에서 갱신된다.
이와 같이 각각의 설비는 카세트에 보관된 글래스 중 특정 글래스를 선택하고, 서로 다른 작업 스케쥴로 작업을 수행할 수 있으며, 구체적으로 다음의 4가지 방법으로 작업을 수행할 수 있다.
즉, 설비는 첫째, 카세트에 보관된 글래스 중 특정 글래스만을 선택하고 선택한 글래스에 대해 동일한 작업 스케쥴을 가지고 작업을 진행할 수 있으며, 둘째, 카세트에 보관된 모든 글래스에 대해 동일한 작업 스케쥴을 가지고 작업을 진행할 수 있다. 또한 설비는 셋째, 카세트에 보관된 클래스 중 특정 글래스를 선택하고 선택된 글래스에 대해 다른 작업 스케쥴을 가지고 작업을 진행할 수 있으며, 넷째, 설비(30)는 카세트에 보관된 모든 글래스를 선택하고 모든 글래스에 대해 다른 작업 스케쥴을 가지고 작업을 진행할 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예에서 설비는 작업대상물을 선택하여 처리하거나 일괄적으로 처리할 수 있다.
도2a는 첫 번째 방법 및 두 번째 방법에 의해 작업을 수행하는 경우 호스트가 설비서버에 전송하는 메시지 형식을 나타내는 도면이다.
도2a에서, 호스트(10)가 설비서버(20)에 전송하는 메시지(100) 형식으로서 다수의 필드로 이루어진다. 여기서, 제1 필드(110)는 각각의 설비에 대한 작업 지시 내용을 가리키고, 제2 필드(120)는 다수의 글래스에 대한 전체적인 지시 내용을 입력한다. 좀더 구체적으로 말하면, 제2 필드(120)는 글래스 집합에 대한 아이디(이하 LOT ID라 칭함, 120a), 설비(30)에서의 입력 포트 아이디(120b), 반송된 카세트 아이디(120c), 작업 스케쥴 아이디(120d) 등을 포함한다. 제3 필드(130)는 최대 20개의 필드로 구성되고 각각의 글래스 아이디와 작업 여부를 가리킨다.
도2a에서, 상기한 첫 번째 방법에 의해 설비가 작업을 진행하는 경우에는 제1 필드(110)와 제2 필드(120)는 설비에 맞게 구성되고, 제3 필드(130)는 해당 필드에 설비에서 선택되는 글래스에 대한 글래스 아이디와 작업 리스트를 적는다. 예를 들어, 카세트에 보관된 글래스 중 제1, 3, 5, 7의 글래스만 선택되는 경우 제3 필드(130)의 해당 필드(130a, 130c, 130e, 130g)에 위의 글래스에 대한 글래스 아이디와 작업 여부를 표시한다.
한편, 두 번째 방법에 의해 설비가 작업을 진행하는 경우에는 제1 필드(110)와 제2 필드(120)는 이전의 경우와 마찬가지로 설비에 맞게 구성하며, 제3 필드(130)의 모든 필드에는 카세트에 보관된 모든 글래스에 대한 글래스 아이디와 작업 여부가 기록된다.
도2b는 세 번째 방법 및 네 번째 방법에 의해 작업을 수행하는 경우 호스트가 설비서버에 전송하는 메시지 형식을 나타내는 도면이다.
도2b도 도2a와 마찬가지로 다수의 필드로 이루어진다. 여기서, 제1 필드(210)는 각각의 설비에 대한 작업 지시 내용을 가리키고, 제2 필드(220)는 다수의 글래스에 대한 전체적인 지시 내용을 입력한다. 좀더 구체적으로 말하면, 제2 필드(220)는 글래스 집합에 대한 아이디(이하 LOT ID라 칭함, 220a), 설비에서의 입력 포트 아이디(220b), 출력 포트 아이디(220c), 반송된 카세트 아이디(220d), 작업 완료시 글래스를 넣을 카세트 아이디(220e), 계측 설비 아이디(220g) 등을 포함한다. 여기서, 계측 설비 아이디(220g)는 주로 파티클 측정 및 모니터링 설비를 나타내는 것이다. 제3 필드(230)는 최대 20개의 필드(230a~230y)로 구성되고 각각의 필드는 다시 3개의 서브필드로 이루어진다. 좀더 구체적으로 말하면, 제1 서브필드(230a_1, 230b_1, 230c_1, ...)는 슬롯(slot) 번호를 가리키고, 제2 서브필드(230a_2, 230b_2, 230c_2, ...)는 글래스 아이디를 가리키며, 제3 서브필드(230a_3, 230b_3, 230c_3)는 제2 서브필드가 가리키는 글래스에 수행될 작업 스케쥴 아이디를 가리킨다.
도2b에서 상기한 세 번째 방법에 의해 설비가 작업을 진행하는 경우에는 제1 필드(210)와 제2 필드(220)를 설비에 맞게 구성하고, 제3 필드(230)는 카세트에 보관된 글래스 중 선택되는 글래스에 대해 해당 필드에 글래스 아이디와 작업 리스트를 적는다. 예를 들어, 카세트에 보관된 글래스 중 제1, 3, 5, 7의 글래스만 선택되는 경우에는 제3 필드(230)의 해당 필드(230a, 230c, ...)에 슬롯 번호, 글래스 아이디와 작업 스케쥴 아이디를 표시하고 나머지 글래스에 해당하는 필드는 공백으로 남겨두거나 디폴트(default) 값을 기록한다. 그러면, 설비는 메시지를 수신한 후, 제3 필드(230)에 글래스 아이디와 작업 스케쥴 아이디가 기록되는 서브필드에 데이터가 있는 슬롯만을 선택하여 작업개시하게 된다. 또한, 일부 설비는 필요한 슬롯만을 선택해서 메시지를 보낸다. 즉, 제3 필드(230)에 차례로 제1, 3, 5, 7 글래스에 대한 정보만 기록되게 되어 필요 없는 글래스가 공백 상태로 전송되는 것을 방지할 수 있다.
도2b에서, 위에서 언급한 네 번째 방법으로 설비가 작업을 진행하는 경우에는 제1 필드(210)와 제2 필드(220)는 셋째 경우와 동일하고, 제3 필드(230)의 모든 필드에 슬롯 번호, 글래스 아이디와 작업 스케쥴이 기록된다. 여기서, 작업 스케쥴에는 해당 글래스에 따라 서로 다른 작업 스케쥴이 기록된다.
한편, 설비에 옵션을 두어 설비가 카세트 내의 다수의 글래스를 처리할 때 위의 첫째 내지 넷째 방법 등의 정보를 호스트로부터 받아서 처리할지 아니면 직접 설비 자체에서 읽어서 처리할지를 선택할 수도 있다.
이상에서는 작업대상물의 선택처리 시스템에 블록도 및 시스템에서 사용되는 메시지 형식을 설명하였다.
이하에서는 위에서 설명한 작업대상물의 선택처리 시스템을 제어하는 방법에 대해 설명한다.
도3a 및 도3b는 도1에서 교환되는 메시지 흐름도이고, 도4는 도1의 처리 흐름도이다.
도3a에서 도시한 바와 같이, 호스트는 설비와 통신을 통해 카세트에 대한 정보를 확인한 후, 파일서버에 저장된 정보에 따라 위에서 언급한 네가지 방법 중 하나를 선택하여 해당 카세트를 원격 구동시킨다.
좀더 구체적으로 설명하면, 설비가 먼저 자동운송장치에 의해 반송된 카세트가 설비에 로드되었다는 이벤트를 호스트에 전송한다(Cst_Load_Event). 이벤트를 수신한 호스트는 이에 대한 응답 메시지를 송신한 후(Cst_Load_Event_ACK), 파일서버 내의 데이터베이스에서 해당 카세트에 대한 작업 스케쥴을 조회한다. 다음, 호스트는 데이터베이스를 조회한 정보를 수집하여 해당 정보를 도2a 및 도2b에서 언급한 메시지 형식으로 구성하여 설비에 전송할 메시지를 만든다. 위에서 설명한 4가지 방법과 같이, 설비는 로드된 카세트에 대해서 일부 글래스만을 선택하여 각각의 글래스에 대해 동일한 작업 스케쥴을 지정하거나 별도의 작업 스케쥴을 지정할 수 있고, 모든 글래스에 대해 동일한 작업 스케쥴을 지정하거나 별도의 작업 스케쥴을 지정할 수 있다. 이러한 방식으로 만들어진 작업 개시 메시지는 호스트에 의해 설비로 전송된다(Start_CMD). 작업 개시 메시지를 받은 설비는 수신한 메시지에 따라 카세트 내의 모든 글래스에 대해 작업을 수행하거나 선택된 글래스에 대해서만 작업을 수행하게 된다(Start_CMD_ACK). 다음, 설비는 카세트 내의 글래스에 대해 작업을 마친 후, 작업 결과를 호스트에 보고한다(Job_Contents_Tx). 보고를 받은 호스트는 이에 대한 응답을 설비로 전송한다(Job_Contents_ACK).
한편, 도3b는 호스트가 먼저 설비의 각 포트에 로드된 카세트에 대해 정보를 요구하고 카세트가 작업 수행이 안된 경우에 관한 것이다.
좀더 구체적으로 설명하면, 호스트가 설비에 포트에 대한 정보를 요청하면(Port_Info_Req), 설비는 해당 포트에 로드된 카세트 정보를 호스트에 전송한다(Port_Info_Ans). 다음, 호스트는 카세트 정보를 수신한 후, 파일서버 내의 데이터베이스에서 카세트 정보에 대한 일련의 작업 스케쥴을 조회한다. 이후의 호스트와 설비의 일련의 동작은 도3a에 설명한 바와 동일하다.
이하에서는 작업대상물의 선택처리 시스템의 제어방법에 대해서 도4를 참조하여 설명한다. 도4는 설비, 설비서버 및 호스트의 관계를 나타낸 것으로 도3a 및 도3b에서 도시한 호스트를 설비서버와 호스트로 분할하여 더욱 구체적으로 나타낸 것이다.
도4에 도시한 바와 같이, 자동운송장치(도시하지 않음)가 카세트를 설비의 포트에 로드하면(S100), 설비는 이에 해당하는 이벤트를 전송한다(S110). 이벤트는 설비서버로 전송되고, 설비서버는 호스트에 카세트 정보를 요청한다(S120). 호스트는 카세트 정보 요청에 따라 파일서버의 데이터베이스에서 해당 카세트에 대해 조회한 후(S130), 그 결과를 다시 설비서버에 통보한다(S140). 설비서버는 조회 결과를 수신하여 해당 카세트가 정상적인 작업대상물인지를 판단하고(S150), 정상적이면 호스트에 작업 개시 허가를 요청한다(S160). 호스트는 해당 작업대상물에 대한 작업 개시 허가 요청을 수신한 후, 다시 파일서버 내의 데이터베이스에서 작업대상물 정보를 조회한다(S170). 다음, 호스트는 해당 작업대상물이 정상적인지 확인하고(S180), 정상적이면 작업 개시 허가를 설비서버에 통보한다(S190). 설비서버는 작업 개시 허가 통보를 받고 파일서버의 데이터베이스에서 해당 카세트 내의 다수의 글래스에 대한 작업 스케쥴을 검색한다(S200). 다음, 설비서버는 검색이 완료되면 그 결과에 따라 메시지를 만들어 설비에 작업 개시 명령을 한다(S210). 설비가 도2a 및 도2b의 메시지 형식으로 만들어진 작업 개시 명령을 받으면, 해당 메시지 내의 작업 스케쥴이 정상적인지 판단하고(S220), 정상적이면 작업을 개시한다. 마지막으로, 설비는 작업을 완료하면 이를 설비서버에 보고하고(S230) 설비서버는 작업대상물의 작업 개시 시간과 종료 시간을 세트한다(S240).
이상에서 살펴본 바와 같이, 설비는 설비서버로부터 작업 개시 명령을 일련의 메시지 형식으로 받는다. 이때, 일련의 메시지에는 작업 개시 명령, 글래스 선택 및 선택된 글래스에 대한 작업 스케쥴 지정이 모두 들어 있다. 또한, 호스트는 글래스 선택 및 선택된 글래스에 대한 작업 스케쥴 지정을 제1 메시지로 하여 먼저 송신하고 이어서 작업 개시 명령을 제2 메시지로 하여 송신할 수 있다.
본 발명의 실시예에서 각각의 설비가 생산 단위로 묶인 작업집합물에서 필요한 작업대상물만 선택하여 처리하는 다양한 시스템을 설명하였으나 여기에 한정되는 것은 아니다. 또한, 여기서 언급한 모든 방법은 언급한 사항에만 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 TFT-LCD의 제조를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 상기한 TFT-LCD의 제조에 한하는 것은 아니며, 플라즈마 디스플레이 패널 등과 같이 작업집합물에서 필요한 작업대상물만 선택하여 처리하는 모든 산업 분야에서 적용될 수 있다.
이상에서 본 바와 같이 본 발명에 따르면, 인라인(inline) 설비 및 특정 설비에서 재작업 등의 특이 목적으로 일정 작업대상물만 선택하여 작업하도록 하고, 나머지 작업대상물은 카세트내에 남아 있도록 처리함으로써 별도로 수동의 기계적 조치 및 작업자의 개입없이 설비를 자동으로 원격 구동시킬 수 있다.

Claims (12)

  1. 다수의 작업대상물을 가지는 카세트를 로드받아 상기 작업 대상물에 대하여 작업을 수행하는 설비;
    상기 작업대상물에 대한 작업 스케쥴과 상기 카세트에 대한 정보를 가지고 있는 데이터 베이스와,
    상기 설비에 상기 카세트가 로드되면, 상기 카세트에 보관된 작업 대상물 중 설비에서 수행하여야 할 작업 대상물에 관한 정보와 선택된 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴의 정보를 상기 데이터 베이스로부터 검색하여, 상기 설비의 작업을 제어하는 제어기를 포함하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  2. 제1항에서,
    상기 제어기와 연결되어 사용자가 상기 설비에서 수행되어야 할 상기 작업대상물을 직접 입력하는 사용자 인터페이스를 더 포함하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  3. 제1항에서,
    상기 제어기는
    카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고, 상기 특정 작업 대상물을 동일한 작업 스케쥴로 작업하도록 설비를 제어하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  4. 제1항에서,
    상기 제어기는
    카세트에 보관된 모든 작업 대상물을 선택하고, 상기 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업하도록 설비를 제어하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  5. 제1항에서,
    상기 제어기는
    카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고, 상기 특정 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업하도록 설비를 제어하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  6. 제1항에서,
    상기 제어기는
    상기 설비와 연결되어, 상기 설비를 직접 제어하는 설비 서버와,
    상기 설비에 상기 카세트가 로드되면, 상기 카세트에 보관된 작업 대상물 중 설비에서 수행하여야 할 작업 대상물에 관한 정보와 선택된 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴의 정보를 상기 설비 서버로 전송하는 호스트를 포함하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  7. 제6항에서,
    상기 설비서버는,
    상기 호스트로부터 카세트에 보관된 다수의 작업 대상물 중 상기 설비에서 수행되는 작업 대상물에 대한 정보와, 상기 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴을 포함하는 제1 메시지를 받으며,
    상기 설비에 상기 선택된 작업대상물에 대한 상기 작업 스케쥴을 포함하는 일련의 제2 메시지를 전송하여 상기 설비를 관리하는 것을 특징으로 하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  8. 제7항에서,
    상기 호스트는
    자동운송장치를 제어하여 상기 카세트가 다수의 상기 설비들과 스토커 사이에서 반송되도록 하는 반송관리자;
    상기 자동운송장치가 반송하는 카세트의 작업 상태를 관리하는 카세트 관리자;
    상기 카세트에 보관된 다수의 상기 작업대상물의 작업 상태와 작업 스케쥴을 관리하는 작업대상물 관리자를 포함하는 작업대상물의 선택처리 시스템.
  9. 설비에 다수의 작업대상물이 보관된 카세트가 로드되었다는 것을 보고하는 단계;
    상기 카세트에 보관된 작업 대상물 중 설비에서 수행하여야 할 작업 대상물에 관한 정보와 선택된 작업 대상물에 대한 작업 스케쥴의 정보를 상기 데이터 베이스로부터 검색하여, 상기 정보를 포함하는 작업 개시 메시지를 만들어 전송하는 단계;
    상기 작업 개시 메시지를 수신한 후, 상기 작업 개시 메시지내의 정보에 따라 카세트에 보관된 작업 대상물을 선택하고, 선택된 작업 대상물을 상기 작업 스케쥴로 처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 작업대상물의 선택처리 시스템의 제어방법.
  10. 제9항에서,
    작업 대상물을 처리하는 단계는
    카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고, 상기 특정 작업 대상물을 동일한 작업 스케쥴로 작업하는 것을 특징으로 하는 작업대상물의 선택처리 시스템의 제어방법.
  11. 제9항에서,
    작업 대상물을 처리하는 단계는
    카세트에 보관된 모든 작업 대상물을 선택하고, 상기 선택된 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업하는 것을 특징으로 하는 작업대상물의 선택처리 시스템의 제어방법.
  12. 제9항에서,
    작업 대상물을 처리하는 단계는
    카세트에 보관된 작업 대상물 중 특정 작업 대상물만을 선택하고, 상기 특정 작업 대상물을 둘 이상의 작업 스케쥴로 작업하는 것을 특징으로 하는 작업대상물의 선택처리 시스템의 제어방법.
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