CN1186739C - 工件的选择处理系统及其控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种工件的选择处理系统及其控制方法。该系统包括：接收卡匣并对工件进行作业的设备；数据库，其内储存有工件的工作程序以及卡匣的信息；及控制器，当卡匣装入设备时，从数据库中得到工件信息和工作程序信息，选择要处理的工件，并控制设备对所选工件进行处理，设备执行工件信息，工作程序信息针对卡匣存储工件中所选工件。因此，在不需要采取另外的机械操作以及在无工作者介入的情况下，可对设备进行远程驱动。

Description

工件的选择处理系统 及其控制方法
技术领域
本发明涉及一种工件的选择处理系统及其控制方法，特别是涉及一种制造半导体元件或薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的过程中使用的工件的选择处理系统及其控制方法。
背景技术
下面，首先描述在制造TFT-LCD的过程中使用的工件的选择处理系统及其控制方法。
同一卡匣内的多个玻璃基片，经过检测、补修、洗涤、干燥及封合等过程而完成TFT-LCD组装。此时，玻璃基片经历的过程称之为工作程序。
储存于同一卡匣内的所有玻璃基片，可通过前述的一系列设备而制成TFT-LCD，也可以是，其中一部分玻璃基片通过另外的设备而制成TFT-LCD。但是，通常使用的TFT-LCD制造方法中，每件设备接收一个工作程序，从而处理各卡匣内的所有玻璃基片。因此，如果在同一卡匣内储存有应当以两种以上不同的工作程序处理的玻璃基片时，就不可能通过一个工作命令完成对玻璃基片的作用。即，工作人员或主机不可能在多个玻璃基片中只选择特定的玻璃基片，进行不同的工作程序。因此，过去在制造TFT-LCD时，在离线或在线时，为了对同一卡匣内的一部分玻璃基片实施选择性的工作程序，需要工作人员对各设备分别操作。但是，这在需要持续地、具体地下达工作命令时并不适合，比如，对粒子测定设备以及监控设备的情形。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种远程在线制造过程中，对工件进行作业时，在没有工作人员介入的情况下，对卡匣内的各自具有不同工作程序的工件进行选择处理的工件的选择处理系统及其控制方法。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面工件的选择处理系统包括：
一设备，用以接收卡匣，并对工件进行作业；一数据库，其内储存有工件的工作程序以及卡匣的信息；及一控制器，当卡匣装入设备时，从数据库中得到工件信息和工作程序信息，选择要处理的工件，并控制设备对所选工件进行处理，其中，设备执行工件信息，工作程序信息针对卡匣存储工件中所选工件。
该系统进一步包括与控制器相连接的用户界面，通过该界面工作人员可以直接选择设备要处理的工件。
优选的是，控制器从储存在卡匣内的工件中选择特定工件，并控制设备，以便对该特定工件以同一工作程序进行处理。
或者，控制器选择储存在卡匣内的所有工件，并控制设备，从而对工件以多种工作程序进行处理。
或者，控制器从储存在卡匣内的工件中选择特定工件，并控制设备，从而对该特定工件以多种工作程序进行处理。
控制器包括：一设备服务器，其与设备相连接，用于控制设备；及主机，当卡匣装入设备时，向设备服务器传送应在设备中进行作业的工件信息，以及针对卡匣存储工件中所选工件的工作程序信息，设备服务器通过从主机接收应在设备中进行作业的卡匣内的工件的信息，以及所选工件的工作程序的第一信息，并向设备传送包括所选工件的工作程序在内的第二信息而管理上述设备。
主机包括：搬运管理器，用以控制自动搬运装置，使卡匣在多个设备与储存器之间移动；卡匣管理器，用以管理由自动搬运装置搬运的卡匣的工作状态；及工件管理器，用以管理储存于卡匣内的多个工件的工作状态以及工作程序。
本发明还提供了一种系统的选择处理工件的控制方法，多个工件储存在卡匣中，卡匣位于存储器内，该系统包括：接收卡匣并对工件进行作业的设备；数据库，其内储存有工件的工作程序以及卡匣的信息；及控制器，当卡匣装入设备时，从数据库中得到工件信息和工作程序信息，选择要处理的工件，并控制设备对所选工件进行处理，其中，设备执行工件信息，工作程序信息针对卡匣存储工件中所选工件，方法包括如下步骤：该设备向控制器报告储存有多个工件的卡匣已装载到设备上；控制器从数据库中检索应在设备中进行作业的工件的信息，以及针对卡匣存储工件中所选工件的工作程序信息，然后形成并传送包括从数据库中检索到的信息在内的开始工作信息；及设备接收开始工作信息，根据该开始工作信息，选择储存在卡匣内的工件，并以工作程序处理所选工件。
在根据工作程序的工件的处理步骤中，从卡匣内的多个工件中，只选择特定的工件，并对其以同一工作程序进行作业。
或者，在根据工作程序的工件的处理步骤中，选择所有储存在卡匣内的工件，并对其以两种以上的工作程序进行作业。
或者，在根据工作程序的工件的处理步骤中，从储存在卡匣内的多个工件中，只选择特定的工件，并对其以两种以上的工作程序进行作业。
在此，在对工件的处理步骤中，从卡匣内的多个工件中，可以只选择特定的工件，并对其以同一工作程序进行作业，也可以选择全部工件，并对其以两种以上的工作程序进行作业。或者，在对工件的处理阶段中，从卡匣内的多个工件中，只选择特定的工件，并对其以两种以上的工作程序进行作业。
附图说明
图1是表示根据本发明实施例的工件的选择处理系统的方块图；
图2a及图2b是表示图1中所使用的信息形式图；
图3a及图3b是表示图1中信息交换的流程图；和
图4是表示图1的处理流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的工件的选择处理系统及其控制方法做详细说明。
图1是表示根据本发明实施例的工件的选择处理系统的方块图。如图中所示，工件的选择处理系统包括：主机10；设备服务器20；设备30；文件服务器40；和用户界面50。主机10包括：搬运管理器12；卡匣管理器14；及工件管理器16等。在此，搬运管理器12，通过控制自动搬运装置(未图示)，使卡匣在多个设备与储存器之间移送。卡匣管理器14用以管理自动搬运装置的搬运状态，工件管理器16用以管理储存于卡匣内的多个工件(即玻璃基片)的状态，以及工作程序等。
另外，设备服务器20处于主机10与设备30之间，从主机10接收有关设备30的信息，据此管理设备30，并对从设备接收的各种事件(卡匣的装载，卸载等事件)进行处理，然后向主机10报告。另外，设备30在设备服务器20的控制下，选择并处理工件。
另外，文件服务器40具有数据库(41～43)，该数据库储存有对工件进行工作程序的信息在内的多种信息及资料。
例如，假设对同一卡匣内的第1，3，5，7个玻璃基片的工作程序为检测机，补修机，洗涤机，干燥机，垫片机，封合机的顺序，而对除该第1，3，5，7个玻璃基片以外的其他玻璃基片的工作程序为洗涤机，干燥机，封合机的顺序，那么，检测机设备首先从上述卡匣内的玻璃基片中，只选择第1，3，5，7个玻璃基片，对其进行检测及补修工作，然后，对储存于上述卡匣内的所有玻璃基片进行洗涤、加热及封合工作。
另外，用户界面50与主机10相连接，使用户输入应在各设备中进行作业的特定玻璃基片。此时，对被输入的玻璃基片的工作程序，在文件服务器40的数据库41～43中得到更新。
如前述，各设备可从卡匣内的玻璃基片中选择特定的玻璃基片，并以不同的工作程序进行作业，可通过以下四种方法进行作业。
第一种方法，从卡匣内的玻璃基片中，只选择特定的玻璃基片，并对其以同一工作程序进行作业；第二种方法，对储存于卡匣内的所有玻璃基片，以同一工作程序进行作业；第三种方法，从卡匣内的玻璃基片中，只选择特定的玻璃基片，并对其以另外的工作程序进行作业；第四种方法，选择卡匣内的所有玻璃基片，并对它们以另外的工作程序进行作业。即，在本发明的实施例中，设备30可以对工件进行选择处理，也可以对工件进行比较处理。
图2a是表示以第一种方法及第二种方法进行作业时，主机向设备服务器传送的信息形式图。信息形式图包括多个区段。在此，第1区段110是表示对各设备的工作指示内容，第2区段120是表示对多个玻璃基片的全部指示内容。具体地说，第2区段120包括：玻璃基片集合ID 120a(以下称：LOT ID)、设备30的输入埠ID 120b、被转运的卡匣ID 120c及工作程序ID120d等。第3区段130最多由20个区段构成，表示各玻璃基片的ID以及作业与否状况。
在图2a中，当设备以上述第一种方法进行作业时，第1区段110和第2区段120与设备相应而构成，第3区段130，在相应的区段中，记录被选定玻璃基片的玻璃基片ID及作业目录。例如，从卡匣内的玻璃基片中，只选择第1，3，5，7个玻璃基片时，第3区段130的相应区段130a，130c，130e，130g表示出上述玻璃基片的ID以及作业与否状况。
另外，当设备以上述第二种方法进行作业时，第1区段110和第2区段120跟前述相同，与设备相应而构成，在第3区段130的所有区段中，记录储存于卡匣内的所有玻璃基片的ID和作业与否状况。
图2b是表示以第三种方法及第四种方法进行作业时，主机向设备服务器传送信息形式图。
图2b与图2a相同，也是由多个区段构成。在此，第1区段210是表示对各设备的工作指示内容，第2区段220输入对多个玻璃基片的全部指示内容。具体地说，第2区段220包括：玻璃基片的ID 220a(以下称LOT ID)；设备30中的输入埠ID 220b；输出埠ID 220c；被转送到位的卡匣ID 220d；操作完成时，插入玻璃基片用的卡匣ID 220e及测量设备ID 220g等。在此，测量设备ID 220g主要指粒子的测定以及监控设备。第3区段230最多由20个区段230a～230y构成，各区段又形成3个子区段。具体地说，第1子区段230a-1，230b-1，230c-1...表示区(slot)号，第2子区段230a-2，230b-2，230c-2...表示玻璃基片ID，第3子区段230a-3，230b-3，230c-3...表示对第2子区段所指的玻璃基片进行作业的工作程序ID。
在图2b中，当设备以前述第三种方法进行作业时，第1区段210和第2区段220与设备相应而构成，第3区段230在相应于选定玻璃基片的区段中记录玻璃基片ID，以及作业目录。例如，从卡匣内的玻璃基片中，只选择第1，3，5，7个玻璃基片时，在第3区段230的相应区段230a，230c...中，表示出区号、玻璃基片ID及工作程序ID，对相应于剩余玻璃基片的区段，以空白形式放置或记录缺省值。那么，设备在收到信息后，只选择第三区段230中记录有玻璃基片ID以及工作程序ID的子区段中存有资料的区开始进行作业。另外，一部分设备只选择必要的区传送信息。即，在第3区段230中，只顺次记录有关第1，3，5，7玻璃基片的资料，因此，可防止不必要的玻璃基片以空白形式传送。
当设备以前述第四种方法进行作业时，第1区段210及第2区段220与第三种情况相同，在第3区段230的所有区段中，记录区号、玻璃基片ID以及工作程序。在此，所记录的工作程序对各玻璃基片不同。
可以给设备以选择权，使其在处理卡匣内的多数玻璃基片时，从主机接收前述的四种方法进行处理，或直接从设备自身读取信息而进行处理。
以上对工件的选择处理系统及在系统中所使用的信息形式做了说明。下面，对工件的选择处理系统的控制方法做说明。
图3a及图3b为图1中信息交换的流程图，图4为图1的处理过程流程图。
主机通过与设备的通讯而确认卡匣的信息后，根据文件服务器内的信息，从前述四种方法中选择一种方法，并对相应的卡匣实施远距离驱动。如图3a所示，设备向主机传送卡匣已被自动搬运装置装载到设备的事件(Cst-Load-Event)。接收到事件的主机，传送对此事件的应答信息(Cst-Loat-Event-ACK)后，在文件服务器内的数据库中，查询相应卡匣的工作程序。之后，主机收集查询数据库的信息，把该信息构成图2a及图2b中所示的信息形式，从而形成向设备传送的信息。与前述四种方法相同，设备可从已完成装载的卡匣中，只选择一部分玻璃基片，并对各选定的玻璃基片指定同一工作程序，或指定另外的工作程序，也可以对卡匣内的所有玻璃基片指定同一工作程序，或指定另外的工作程序。以这种方式形成的开始工作信息，通过主机传送到设备(Start-CMD)。收到开始工作信息的设备，根据收到的信息对卡匣内所有玻璃基片进行作业，或只对被选定的玻璃基片进行作业(Start-CMD-ACK)。当设备完成对卡匣内玻璃基片的工作后，向主机报告工作结果(Job-Contents-Tx)。得到报告的主机，向设备传送应答(Job-Contents-ACK)。
图3b是有关主机要求装载到前一设备各埠上的卡匣的信息，卡匣没有被实施作业的情况。具体地说，当主机向设备的埠发出信息请求(Port-Info-Rep)时，设备向主机传送装载到相应埠上的卡匣的信息(Port-Info-Ans)。主机收到有关卡匣的信息后，向文件服务器内的数据库查询有关卡匣的工作程序。之后，主机和设备的动作与图3a中说明的相同。
下面，参照附图4对工件的选择处理系统的控制方法做详细说明。图4是表示有关设备、设备服务器及主机之间关系的图，是对图3a及图3b所示设备服务器以及主机的详细图。
如图所示，当自动搬运装置(未图示)把卡匣装载到设备的埠上S100时，设备传送与之相应的事件S110。事件传送到设备服务器，设备服务器向主机要求有关卡匣的信息S120。主机根据要求，从文件服务器内的数据库中，查询相应卡匣后S130，再把其结果通报给设备服务器S140。设备服务器接收查询结果后，判断相应卡匣是否为正常工件S150，结果为正常，那么就向主机请求开始工作S160。主机得到请求信息后，再次查询文件服务器内的数据库中的工件信息S170。之后，主机确认相应工件是否正常S180，如果为正常，那么，向设备服务器通报开始工作许可S190。设备服务器得到开始工作通报后，在文件服务器内的数据库中检索相应卡匣内的多数玻璃基片的工作程序S200。完成检索后，设备服务器根据其结果形成信息，并向设备下达开始工作命令S210。当设备接收到，以图2a及图2b所示的信息形式构成的开始工作命令时，判断相应信息内的工作程序是否正常S220，如果为正常，就开始工作。最后，当完成工作后，设备向设备服务器报告完成工作S230，设备服务器设置工件的工作开始时间及终止时间S240。
如上所述，设备从设备服务器，以一系列信息形式接收开始工作命令。此时，该一系列信息中包括开始工作命令、玻璃基片的选择以及对选定的玻璃基片的工作程序等。另外，主机首先以第一信息形式传送玻璃基片的选择信息以及对被选定玻璃基片的工作程序，然后，以第二信息传送开始工作命令。
如上所述，根据本发明，为了在直列式设备及特定设备中进行再作业，可以从多个工件中，只选择部分工件进行处理，而其余的工件保留在卡匣内，因此，可在不采取另外的机械措施以及在无工作者介入的情况下，实现远程驱动设备。
以上参照优选实施例对本发明进行了说明，但应该明白，本发明并不仅限于所公开的实施例，它覆盖了所附权利要求限定的范围内的各种修改和等同结构。

Claims (11)

1.一种工件的选择处理系统，多个工件储存在卡匣中，卡匣位于存储器内，所述系统包括：
一设备，用以接收卡匣，并对工件进行作业；
一数据库，其内储存有工件的工作程序以及卡匣的信息；及
一控制器，当所述卡匣装入设备时，从所述数据库中得到工件信息和工作程序信息，选择要处理的工件，并控制设备对所选工件进行处理，其中，所述设备执行工件信息，工作程序信息针对卡匣存储工件中所选工件。
2.按照权利要求1所述的系统，其特征是，该系统进一步包括与所述控制器相连接的用户界面，通过该界面工作人员可以直接选择设备要处理的工件。
3.按照权利要求1所述的系统，其特征是，所述控制器从储存在所述卡匣内的工件中选择特定工件，并控制设备，以便对该特定工件以同一工作程序进行处理。
4.按照权利要求1所述的系统，其特征是，所述控制器选择储存在卡匣内的所有工件并控制设备，从而对上述工件以多种工作程序进行处理。
5.按照权利要求1所述的系统，其特征是，所述控制器从储存在卡匣内的工件中选择特定工件，并控制设备，从而对该特定工件以多种工作程序进行处理。
6.按照权利要求1所述的系统，其特征是，所述控制器包括：
一设备服务器，其与所述设备相连接，用于控制设备；及
一主机，当所述卡匣装入设备时，向设备服务器传送应在设备中进行作业的工件信息，以及针对卡匣存储工件中所选工件的工作程序信息，所述设备服务器通过从主机接收应在设备中进行作业的卡匣内的工件的信息，以及被选定的工件的工作程序的第一信息，并向上述设备传送包括上述被选定的工件的工作程序在内的第二信息而管理上述设备。
7.按照权利要求6所述的系统，其特征是，所述主机包括：
一搬运管理器，用以控制自动搬运装置，使所述卡匣在多个设备与储存器之间移动；
一卡匣管理器，用以管理由自动搬运装置搬运的卡匣的工作状态；及
一工件管理器，用以管理储存于卡匣内的多个工件的工作状态以及工作程序。
8.一种系统的选择处理工件的控制方法，多个工件储存在卡匣中，卡匣位于存储器内，该系统包括：接收卡匣并对工件进行作业的设备；数据库，其内储存有工件的工作程序以及卡匣的信息；及控制器，当所述卡匣装入设备时，从所述数据库中得到工件信息和工作程序信息，选择要处理的工件，并控制设备对所选工件进行处理，其中，所述设备执行工件信息，工作程序信息针对卡匣存储工件中所选工件，所述方法包括如下步骤：
该设备向控制器报告储存有多个工件的卡匣已装载到设备上；
控制器从数据库中检索应在设备中进行作业的工件的信息，以及针对卡匣存储工件中所选工件的工作程序信息，然后形成并传送包括从数据库中检索到的信息在内的开始工作信息；及
设备接收所述开始工作信息，根据该开始工作信息，选择储存在卡匣内的工件，并以所述工作程序处理上述被选定的工件。
9.按照权利要求8所述的控制方法，其特征是，在根据工作程序的上述工件的处理步骤中，从卡匣内的多个工件中，只选择特定的工件，并对其以同一工作程序进行作业。
10.按照权利要求8所述的控制方法，其特征是，在根据工作程序的上述工件的处理步骤中，选择所有储存在卡匣内的工件，并对其以两种以上的工作程序进行作业。
11.按照权利要求8所述的控制方法，其特征是，在根据工作程序的上述工件的处理步骤中，从储存在卡匣内的多个工件中，只选择特定的工件，并对其以两种以上的工作程序进行作业。
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