JPH0534910B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0534910B2
JPH0534910B2 JP60065457A JP6545785A JPH0534910B2 JP H0534910 B2 JPH0534910 B2 JP H0534910B2 JP 60065457 A JP60065457 A JP 60065457A JP 6545785 A JP6545785 A JP 6545785A JP H0534910 B2 JPH0534910 B2 JP H0534910B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrating body
rotor
contact
flange
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60065457A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61224882A (ja
Inventor
Ichiro Okumura
Takayuki Tsukimoto
Takuo Okuno
Kazuhiro Izukawa
Hiroyuki Seki
Hitoshi Mukojima
Naoya Kaneda
Akira Hiramatsu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP60065457A priority Critical patent/JPS61224882A/ja
Priority to GB8607412A priority patent/GB2175174B/en
Priority to US06/843,624 priority patent/US4692650A/en
Priority to DE19863610304 priority patent/DE3610304A1/de
Priority to FR868604555A priority patent/FR2579683B1/fr
Publication of JPS61224882A publication Critical patent/JPS61224882A/ja
Publication of JPH0534910B2 publication Critical patent/JPH0534910B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163—Motors with ring stator
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/04—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus
    • H04R17/08—Gramophone pick-ups using a stylus; Recorders using a stylus signals being recorded or played back by vibration of a stylus in two orthogonal directions simultaneously

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は振動波モータ、特に振動波モータの振
動体と摩擦接触する物体の構造に関する。
＜従来技術＞ 振動波モータには該モータの振動体と該振動体
と摩擦接触する物体とのトルクの伝達効率が充分
でない場合には振動波モータのエネルギー効率は
低くなつてしまうという根本的な欠点があつた。
そこで従来から振動体と該振動体と摩擦接触する
物体とのトルクの伝達特性を向上させる方法がい
くつか提案されている。トルクの伝達効率が充分
でない原因の１つに振動体と振動体と摩擦接触す
る物体の接触面の平衡度が充分でないためにミク
ロ的に見れば振動体に発生する振動の頂点が物体
と均一に接触しないため、結果的にトルク伝達が
うまく行われなかつたことがある。かかる原因を
解消する方法の１つとして特開昭59−188381号公
報には振動体と摩擦接触する物体をゴム等の弾生
体で支持し、物体が自由度をもつて可動できる様
にすることによつて振動体に発生する振動が良好
に物体に伝達される様にする方法が開示されてい
る。
また本出願人により提案されている特願昭59−
272358号には振動体に接触するロータを回転中心
から外側に傾斜させた様なつば形状をしているフ
ランジ部を有するフランジタイプのロータとして
フランジ部の弾性変形によつて振動体とロータと
の接触を良好に行わせる方法が示されている。
かかる従来のフランジタイプリング状のロータ
を第１図ａ，ｂに示す。第１図ａはフランジタイ
プのロータの断面図、第１図ｂは第１図ａに断面
を示したフランジ部を拡大した断面図である。こ
こでフランジ部を有するフランジタイプのロータ
は１で示し、２はロータ１を摩擦駆動する振動体
を示している。ロータ１は第１図において振動体
２に生じる縦方向の振動によつて摩擦駆動される
ためロータ１のフランジ部も該フランジ部の弾力
性により前記縦方向の振動に応じて第１図ｂの点
線に示す様に弾性変形することになる。かかる弾
性変形は、フランジ部が図の点線で示す様に弾性
変形した際には該フランジ部がやや外側に拡がる
一点鎖線で示した軌跡３を描く様に行われる。
ここで振動体２は円環状を示しているため振動
体２に生じる振動には縦方向の振動のみでなく第
２図の点線に示す様に振動するねじれ成分も含ま
れており、該ねじれ成分によつて振動体２に生じ
る縦方向の振動の軌跡は第２図の実線４に示すや
や内側に傾いて描かれる。尚第１図ｂ、第２図に
おいて一点鎖線６はリング状振動体のリング面の
中心線である。
したがつて従来のフランジタイプのロータにお
いてはロータのフランジ部の運動軌跡と振動体の
振動による運動軌跡の方向が一致せず、両者はそ
の接触部においてすべりながら摩擦接触すること
になり、かかるすべりは駆動力として有効に使わ
れずに損失となつて効率を向上させることが出来
なかつた。
＜発明の目的＞ 本発明は振動波モータの振動体に発生する振動
の軌跡の方向と該振動体に、接触部において摩擦
接触する物体の接触部の変位の軌跡の方向とを略
一致させる様に振動波モータを構成することによ
り従来の欠点を解消することを目的とする。上記
軌跡方向一致のための構成として本発明では ステーターとローターとを有する振動波モータ
ーであつて、 ステーターは振動体を有し、振動体は環形状の
平面体であつて、振動体表面に進行性振動波を形
成するものであり、 ローターは本体部と延出部を有し、延出部は本
体部の外面から周状に延出する鍔形状の部材であ
り、本体部の外面から下向きであつて、かつ振動
体の内径方向に延出するものであり、更に鍔形状
の端部は振動体の表面に摩擦接触する構成又はス
テーターとローターとを有する振動波モーターで
あつて、 ステーターは振動体を有し、振動体は環形状の
平面体であつて、振動体表面に進行性振動波を形
成するものであり、 ローターは本体部と延出部を有し、延出部は本
体部の外面から周状に延出する鍔形状の部材であ
り、本体部の外面から上向きであつて、振動体の
外径方向に延出するものであり、更に鍔形状の端
部は振動体の表面に摩擦接触する構成となしたも
のである。
＜実施例＞ 以下に使用する実施例においては振動体２と該
振動体２に摩擦接触する振動体１とが接触する要
部を拡大した断面に示す図を用いて説明する。
実施例 １ 第３図ａに本発明の第１の実施例を示す。第３
図ａにおいて、第１図、第２図に示した要素と同
じ要素については同じ符号を付し説明を省略す
る。１はリング状のローターで、該ローター１は
本体部１′及び延出部としてのフランジ部１１を
有する。
８はリング状のロータ１のフランジ部１１を構
成する弾性体の支点、９はフランジ部１１の振動
体２と接触する接触部、１０は接触部９と支点８
を結ぶ直線を示している。本実施例においては接
触部９と支点８を結ぶ直線１０と振動体２に生じ
る振動の軌跡とが直交する様にしている。６はリ
ング状振動体２の中心軸を示している。
（厳密にいえば振動体２に生じる振動は進行波
であるため振動の軌跡は図面の裏ないし、表から
その反対側に進行しているため、振動の軌跡を進
行波の進行方向に垂直な平面に投影したときの軌
跡と直線１０とが直交することになる。尚これ
は、以下の実施例においてすべて同様である。） 実施例 ２ 第３図ｂに本発明の第１の実施例を示す。第３
図ｂにおいては接触部９の形状を第３図ａに示し
た実施例の接触部９の形状よりも厚くして剛性を
高くしている。
実施例 ３ 第３図ｃに本発明の第３の実施例を示す。第３
図ｃにおいてはフランジ部１１を板バネ等の弾性
部材で構成してロータ１、接触部９にインサート
している。本実施例においては接触部９と、フラ
ンジ部１１、ロータ１とを別体で形成してから、
フランジ部１１をロータ１、接触部９にインサー
トしている。したがつて接触部に耐摩耗性へ材料
を使用しようとした場合に、第３図ａ，ｂに示し
た実施例においては接触部、フランジ部、ロータ
が一体に形成されているため全体を耐摩耗性の材
料で構成するか、接触部９の先端部にメツキ、ス
パツタリング等の方法に依り耐摩耗性の材料を付
けなければならなかつたのに対して本実施例に依
れば接触部９全体を耐摩耗性の材料で形成して、
フランジ部１１にインサートして形成するという
簡単な構成で行えばよい。またロータ１を樹脂で
形成してフランジ部１１をインサートすればロー
タのコストを低下させることができる。
実施例 ４ 第３図ｄに本発明の第４の実施例を示す。第３
図ａ〜ｃに示した実施例においてはフランジ部１
１を振動体１のリング面の中心線から外側にのば
したが、本実施例では従来の様にフランジ部を中
心線６方向すなわち内側にのばしている。しかし
ながら従来の様にフランジ部を斜め下方にのばす
のではなく、本実施例においては斜め上方にのば
している。
したがつてフランジ部１１の支点８と接触部９
を結ぶ直線は従来の様に図において右上がりの直
線ではなく本発明の他の実施例と同じく右下がり
の直線になり、振動体２の振動の変位方向とは直
交する。
本実施例に依ればロータ１を振動体２の内側に
設けフランジ部１１を中心線方向すなわち内側か
ら振動体２の方向の斜め上方にのばしているため
モータの外径を小さくすることができるという効
果を奏する。更にフランジ部１１が振動体の内側
に沈み込む形状となるのでロータの厚みが同じで
あるならば他の実施例に比べてモータの厚さを薄
くすることが出来る。
以上説明した第３図ａ〜ｄに示す本発明の実施
例においては振動体２に発生する振動の方向と、
該振動体に摩擦接触する物体（ロータ１）の接触
部９とフランジ部１１を構成する弾性体の支点８
とを結ぶ直線の方向とが互に直交している。換言
するとこれは接触部９が支点８を中心に移動する
場合かかる移動の方向と振動体に発生する振動の
方向が略一致することを示している。したがつて
かかる実施例においては振動体に発生する振動と
摩擦駆動する物体と、振動体との接触面が従来の
様にすべつてしまうことにより発生する損失を防
止できる。
また第３図ａ、第３図ｄに示す実施例において
は接触部９の厚さがフランジ部の厚さと同等もし
くはフランジ部の厚さより薄くなる構造をとつて
いた。かかる構造においては、接触部９の固有振
動数が高くでき、振動追従性は良いが、接触部９
の曲げ剛性も小さくなつているため振動体２とロ
ータ１の加圧力により接触部９がたわんでしま
い、振動体２との接触領域がリング状のロータ１
の周方向においてが広くなる。
即ち、接触部９は振動体２に発生する波の頂点
付近より広い範囲で接触してしまう。しかしなが
らかかる広い接触範囲内では固定子振動体が速度
分布をもつ、つまり質点運動の駆動方向成分は振
動体２に発生する頂点で最も大きく、頂点より離
れるに従つて小さくなり、頂点と頂点の中間に位
置すなわち波の底点で最も小さく（頂点と同じ大
きさで逆方向）なる。したがつて振動体２と接触
部９とは広い接触範囲内で接触し、かつその接触
している範囲では振動体２の接触面における質点
の速度が一様でないため接触範囲内の一部はスリ
ツプすることになり、やはり損失が生じることに
なる。
ここで第３図ｂ、第３図ｃに示した実施例にお
いては接触部９の厚みが大きくなつているので接
触部の曲げ剛性が向上し、第３図ａ、第３図ｄの
実施例の様に接触部９と振動体２が広い接触範囲
内で接触することを防止でき、前述のスリツプを
解消して損失を減らすことができる。
また第３図ｃにおいては接触部９の材料を耐摩
耗性の材料で形成する実施例について説明した
が、接触部９と振動体２がリング状ロータの同方
向において広い接触範囲で接触することを防止す
るため接触部９の材料を、板バネで構成したフラ
ンジ部１１の材料よりも高い弾性率をもつた材料
とし、接触部９の厚みを大きくすることに加え
て、更に曲げ剛性を向上させることができる。
この場合、接触部９の材料としては、アルミナ
セラミツクスのように、軽くて硬い、ぜい性材料
も使うこともができ、接触部の振動追従性を劣ら
せずに曲げ剛性を向上させて前述のスリツプを解
消して更に損失を減らすことが可能となる。
上述の様に接触部９に曲げ剛性の高い材料を用
いることは、本発明の全ての実施例に適用可能で
あることは勿論である。
更に接触部９に曲げ剛性の高い材料を用いる構
成は本実施例の他の振動波モータ、例えば他の回
転型、直線型にかぎらず適用することができる。
また第３図ｃに示したフランジ部１１は前述の
様に板バネで構成していたわけであるが、かかる
板バネにはバネ線形性の良いリン青銅、あるい
は、振動減衰の大きいプラスチツク板などを使え
ば、バネ部の機能をさらに向上させることができ
る。
次に第３図ａ〜ｄに示した実施例のフランジ部
１１を分割したロータを第４図に示す。尚第４図
はロータの断面形状をわかりやすくするためロー
タの一部を切り取つた際の斜視図を示す。
かかるロータはフランジ部１１が分割している
ため分割されたフランジ部１１が独立に可動出来
るため更に良好に振動体に発生する振動が物体に
伝達される。
尚本実施例においては回転型の振動波モータを
示したが、直線駆動型の振動波モータにも本発明
が適用出来ることは勿論である。
＜発明の効果＞ 以上の如く本発明の振動波モーターの構成とし
ては ステーターとローターとを有する振動波モータ
ーであつて、 ステーターは振動体を有し、振動体は環形状の
平面体であつて、振動体表面に進行性振動波を形
成するものであり、 ローターは本体部と延出部を有し、延出部は本
体部の外面から周状に延出する鍔形状の部材であ
り、本体部の外面から下向きであつて、かつ振動
体の内径方向に延出するものであり、更に鍔形状
の端部は振動体の表面に摩擦接触する様に構成又
はステーターとローターとを有する振動波モータ
ーであつて、 ステーターは振動体を有し、振動体は環形状の
平面体であつて、振動体表面に進行性振動波を形
成するものであり、 ローターは本体部と延出部を有し、延出部は本
体部の外面から周状に延出する鍔形状の部材であ
り、本体部の外面から上向きであつて、振動体の
外径方向に延出するものであり、更に鍔形状の端
部は振動体の表面に摩擦接触するものであること
を特徴とする振動波モーター様構成したので振動
体に発生する振動の軌跡の方向と、該振動体に接
触部において摩擦接触する物体の接触部の変位の
軌跡の方向とが略一致する様に構成されているた
め、振動体に発生する振動と摩擦接触する物体
と、該振動体との接触面が従来の様に互いにすべ
つてしまうことによつて発生する損失を防止で
き、効率を向上させることができる。尚、第３図
及び第４図において、ローター１がローターに相
当し、振動体２がステーターに相当し、１′がロ
ーター本体部に相当し、フランジ部１１が延出部
に相当する。
【図面の簡単な説明】
第１図ａ，ｂは従来のフランジタイプのロータ
の断面図、第２図は振動体の振動の様子を示す断
面図、第３図ａ〜第３図ｄは本発明の第１〜第４
の実施例の断面図、第４図は第３図ａ〜第３図ｄ
に示した実施例においてフランジ部１１を分割し
たロータの斜視図である。 １…ローター、１′…本体部、２…振動体（ス
テーター）、１１…フランジ部（延出部）。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ ステーター２とローター１とを有する振動波
    モーターであつて、 ステーターは振動体２を有し、振動体は環形状
    の平面体であつて、振動体表面に進行性振動波を
    形成するものであり、 ローターは本体部１′と延出部１１を有し、延
    出部は本体部の外面から周状に延出する鍔形状の
    部材であり、本体部の外面から下向きであつて、
    かつ振動体の内径方向に延出するものであり、更
    に鍔形状の端部９は振動体の表面に摩擦接触する
    ものであることを特徴とする振動波モータ。 ２ ステーター２とローター１とを有する振動波
    モーターであつて、 ステーターは振動体２を有し、振動体は環形状
    の平面体であつて、振動体表面に進行性振動波を
    形成するものであり、 ローターは本体部１′と延出部１１を有し、延
    出部は本体部の外面から周状に延出する鍔形状の
    部材であり、本体部の外面から上向きであつて、
    振動体の外径方向に延出するものであり、更に鍔
    形状の端部９は振動体の表面に摩擦接触するもの
    であることを特徴とする振動波モータ。
JP60065457A 1985-03-29 1985-03-29 振動波モ−タ Granted JPS61224882A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60065457A JPS61224882A (ja) 1985-03-29 1985-03-29 振動波モ−タ
GB8607412A GB2175174B (en) 1985-03-29 1986-03-25 Vibration wave motor
US06/843,624 US4692650A (en) 1985-03-29 1986-03-25 Vibration wave motor
DE19863610304 DE3610304A1 (de) 1985-03-29 1986-03-26 Vibrationswellenmotor
FR868604555A FR2579683B1 (fr) 1985-03-29 1986-03-28 Moteurs a ondes de vibration

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60065457A JPS61224882A (ja) 1985-03-29 1985-03-29 振動波モ−タ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61224882A JPS61224882A (ja) 1986-10-06
JPH0534910B2 true JPH0534910B2 (ja) 1993-05-25

Family

ID=13287683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60065457A Granted JPS61224882A (ja) 1985-03-29 1985-03-29 振動波モ−タ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4692650A (ja)
JP (1) JPS61224882A (ja)
DE (1) DE3610304A1 (ja)
FR (1) FR2579683B1 (ja)
GB (1) GB2175174B (ja)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2543055B2 (ja) * 1986-11-26 1996-10-16 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JPS63174581A (ja) * 1987-01-12 1988-07-19 Canon Inc 振動波モ−タ
US5159253A (en) * 1987-02-24 1992-10-27 Canon Kabushiki Kaisha Control device for a vibration wave motor
JPS63290782A (ja) * 1987-05-25 1988-11-28 Nippon Kodatsuku Kk 超音波振動駆動形熱転写プリンタ−
JP2568564B2 (ja) * 1987-07-21 1997-01-08 松下電器産業株式会社 ライニング材及びそのライニング材を用いた超音波駆動モ−タ
DE3735623A1 (de) * 1987-10-21 1989-05-03 Philips Patentverwaltung Elektrischer rotations- oder linearmotor, dessen laeufer mittels ultraschallschwingungen angetrieben wird
JPH01270776A (ja) * 1988-04-22 1989-10-30 Aisin Seiki Co Ltd 超音波モータの動体
JPH02123974A (ja) * 1988-10-31 1990-05-11 Aisin Seiki Co Ltd 超音波モータ
US5062622A (en) * 1989-01-19 1991-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Vibratory sheet feeder which uses phase adjustment to control the sheet feeding speed
JP2687233B2 (ja) * 1989-02-10 1997-12-08 キヤノン株式会社 シート送り装置
US5204577A (en) * 1989-05-15 1993-04-20 Nikon Corporation Ultrasonic motor improved in driving efficiency
JP3030050B2 (ja) * 1989-05-30 2000-04-10 オリンパス光学工業株式会社 超音波モータ
US5140214A (en) * 1989-09-06 1992-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driven apparatus
US5192890A (en) * 1989-09-25 1993-03-09 Canon Kabushiki Kaisha Vibration driven actuator
JPH03190573A (ja) * 1989-12-13 1991-08-20 Canon Inc 振動波モータ
JP2675911B2 (ja) * 1990-08-28 1997-11-12 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP2925272B2 (ja) * 1990-08-31 1999-07-28 キヤノン株式会社 振動波モータ
EP0507264B1 (en) * 1991-04-02 1996-07-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic motor with vibrating body and moving body driven thereby
CH685183A5 (fr) * 1991-08-30 1995-04-13 Asulab Sa Moteur piézo-électrique.
JP3205026B2 (ja) * 1992-01-30 2001-09-04 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置
JPH06141565A (ja) * 1992-10-28 1994-05-20 Nikon Corp 超音波モータのロータ
JP3107933B2 (ja) * 1992-12-03 2000-11-13 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた装置
JPH06178560A (ja) * 1992-12-03 1994-06-24 Canon Inc 振動波モータおよびプリンタ装置
JP3179601B2 (ja) * 1992-12-17 2001-06-25 キヤノン株式会社 振動波モータおよび振動波モータを備えた装置
DE4243323C2 (de) * 1992-12-21 1996-10-02 Daimler Benz Ag Schwingungsmotor mit Resonanzvermeidung
JP3155109B2 (ja) * 1993-01-22 2001-04-09 キヤノン株式会社 振動波駆動装置およびプリンタ装置
JP3059031B2 (ja) * 1993-09-22 2000-07-04 キヤノン株式会社 振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた装置
US5760529A (en) * 1995-04-24 1998-06-02 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave actuator and system using the same
US5949178A (en) * 1995-04-26 1999-09-07 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driving apparatus and a vibration member, and manufacturing method of the apparatus and the member
US6628046B2 (en) 1997-05-27 2003-09-30 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator
US6198201B1 (en) 1998-06-03 2001-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave apparatus
JP4328412B2 (ja) 1999-05-14 2009-09-09 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置
US6930436B2 (en) * 2001-01-22 2005-08-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration element and vibration wave driving apparatus
JP3526298B2 (ja) * 2001-01-22 2004-05-10 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
JP4027090B2 (ja) * 2001-12-27 2007-12-26 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
US20040113519A1 (en) * 2002-12-12 2004-06-17 Charles Mentesana Micro-beam friction liner and method of transferring energy
CN101572505B (zh) * 2009-03-16 2011-06-01 电子科技大学 一种旋转与直线两用超声电动机
JP5631018B2 (ja) 2009-04-07 2014-11-26 キヤノン株式会社 回転型振動波駆動装置
US8987972B2 (en) * 2010-03-16 2015-03-24 Canon Kabushiki Kaisha Vibrator in vibration type driving apparatus and manufacturing method thereof
JP5843469B2 (ja) 2011-04-26 2016-01-13 キヤノン株式会社 振動波モータ

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59188381A (ja) * 1983-04-06 1984-10-25 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ
JPS6022479A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ
JPS61150677A (ja) * 1984-12-24 1986-07-09 Canon Inc 振動波モ−タ−

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU658684A1 (ru) * 1977-04-19 1979-04-25 Каунасский Политехнический Институт Имени Антанаса Снечкуса Пъезоэлектрический двигатель
GB1591183A (en) * 1977-04-20 1981-06-17 Ard Anstalt Electroacoustic tranducers
DE3006973C2 (de) * 1980-02-25 1982-06-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Anordnung zur Ausführung einer steuerbaren linearen Bewegung
US4325264A (en) * 1980-03-24 1982-04-20 Toshiiku Sashida Supersonic vibration driven motor device
US4429247A (en) * 1982-01-28 1984-01-31 Amp Incorporated Piezoelectric transducer supporting and contacting means
AT384912B (de) * 1982-04-16 1988-01-25 Ki Polt I Piezoelektrischer motor
US4495432A (en) * 1982-12-15 1985-01-22 Canon Kabushiki Kaisha Piezoelectric vibration wave motor with sloped drive surface
JPS59201685A (ja) * 1983-04-30 1984-11-15 Canon Inc 振動波モ−タ
JPH0622479A (ja) * 1992-07-07 1994-01-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電動機の固定子

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59188381A (ja) * 1983-04-06 1984-10-25 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ
JPS6022479A (ja) * 1983-07-18 1985-02-04 Shinsei Kogyo:Kk 超音波モータ
JPS61150677A (ja) * 1984-12-24 1986-07-09 Canon Inc 振動波モ−タ−

Also Published As

Publication number Publication date
GB8607412D0 (en) 1986-04-30
DE3610304A1 (de) 1986-10-02
GB2175174A (en) 1986-11-19
JPS61224882A (ja) 1986-10-06
DE3610304C2 (ja) 1990-04-05
FR2579683B1 (fr) 1992-05-29
FR2579683A1 (fr) 1986-10-03
US4692650A (en) 1987-09-08
GB2175174B (en) 1989-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0534910B2 (ja)
JP2010263769A (ja) 回転型振動波駆動装置
EP0740353B1 (en) A vibriation wave driving apparatus and a vibration member
US5204577A (en) Ultrasonic motor improved in driving efficiency
WO1992010874A1 (en) Piezoelectric motor
JPH0532991B2 (ja)
JP3526298B2 (ja) 振動体および振動波駆動装置
US5917270A (en) Vibration driven motor or actuator
CN102739102B (zh) 环形振动波致动器
JP2001197690A (ja) 回転電機機器
US6628045B2 (en) Ring-type piezoelectric ultrasonic motor
KR100223165B1 (ko) 고정자 및 회전자의 형상을 개선한 초음파 모터
JP4130031B2 (ja) 球面アクチュエータ用ステータ及びそれを用いた球面アクチュエータ
JPS63190570A (ja) 超音波モ−タ
JPS61191278A (ja) 超音波モ−タ
JPH08298792A (ja) 振動波駆動装置
JP2712776B2 (ja) 超音波モータ
JP2549310B2 (ja) 超音波モータ
JP2754625B2 (ja) 振動アクチュエータ
JPS61116978A (ja) 超音波駆動モ−タ
JPH0315278A (ja) 超音波モータ
JPS60200779A (ja) 超音波駆動モ−タ
KR200149142Y1 (ko) 2중구조의 초음파 모터
JPS6377385A (ja) 表面波モ−タ
JP2530091Y2 (ja) 無段変速機のプーリー構造

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term