JP3179601B2 - 振動波モータおよび振動波モータを備えた装置 - Google Patents

振動波モータおよび振動波モータを備えた装置

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    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
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    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/106—Langevin motors

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動波モータおよび振動
波モータを備えた装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２に振動波モータの中で棒状に形成さ
れた振動子に使用している圧電素子（ＰＺＴ）の分極パ
ターンおよびその配置図を示す。各圧電素子ＰＺＴは中
心線を境にして左右反転して分極処理が施されていて、
これらの圧電素子は２枚を一組としてＡ相とＢ相に分け
られ、９０度の位相を違えて配置されている。なお、最
下部の圧電素子は振動検出用（Ｓ相）に用いられ、また
図には示さなかったが各圧電素子間には電極板が挿入さ
れている。
【０００３】以下図３にしたがって駆動原理を説明す
る。Ａ相だけに交流電圧を印加すると、圧電素子の伸縮
によって振動子１には紙面に水平な方向の一次曲げ固有
振動が励起され、Ｂ相だけに交流電圧を印加すると、紙
面に垂直な方向へ振動する。
【０００４】Ａ相によって励起された水平方向の振動
と、Ｂ相による垂直方向の振動を時間的にも９０度位相
を違えて加えると、振動子１には長手軸に対して右又は
左回りの縁運動が発生する。振動子１は変位拡大用の周
溝１ｑを有するため、振動子１の先端には図３に示した
ような首振運動が生じる。ロータとの接触面（振動子上
面）から見ると、この振動は１波の進行波に相当する。
この振動子に、接触バネを有するロータ２を加圧接触さ
せると、ロータは波頭付近の１箇所のみでステータと接
触し、逆方向に回転する。出力はロータ上部で玉軸受３
の外周側に取り付けたギア４により取り出される。
【０００５】また、棒状振動波モータでは、支持ピン棒
５（軸先端）−フランジ６系も一体として振動子の固有
モードをＦＥＭ解析し、フランジ６の振動振幅が非常に
小さくなるようにしているので、円環型の振動子と較べ
支持損失は極めて小さいものとなっている。
【０００６】一方、ロータ２はロータ本環の下部にバネ
構造の接触バネ７が形成され、この接触バネ７は円環型
と同様に固有振動数が振動子の加振周波数よりも十分高
く、振動に追従することができるようにしている。ま
た、ロータ本環は慣性質量が十分大きく、振動子の加振
によって振動が励起されないようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】振動波モータの短所の
一つとしてモータ効率が低いことが挙げられており、一
般に棒状の振動波モータにおいては振動子の支持をステ
ンレス等の金属ピンを使用した弾性体により行っている
ため、支持損失は小さく、また振動子やロータも真鍮や
アルミ等の内部振動減衰の少ない材料で構成しているた
め、これらの内部損失も小さい。
【０００８】したがって、ロータとステータとの接触部
における滑りによる損失がモータ中でのエネルギ損失の
支配的要因であり、これを少なくしてモータ効率を向上
させることが本発明の目的である。
【０００９】上記した接触部における滑りは、ロータの
回転軸を中心とした円柱座標系で考えれば、径方向の滑
りと周方向の滑りに分けることができる。なお、径方向
における滑り防止対策としては、特開昭６１−２２４８
８２号、特開昭６３−１７４５８１号等に開示されてい
るのに対し、周方向における滑り防止については従来何
等の対策も施されていなかった。
【００１０】ここで、周方向における滑りのメカニズム
を以下に説明する。
【００１１】図４の（ａ）は、ある時刻における振動子
の接触面における振動変位に対応した周方向速度を矢印
の長さおよび向きで示し、図４の（ｂ）にその時の周方
向速度分布を示しており、ステータである振動子の接触
面に形成される振動は波頭付近での速度が速い。
【００１２】一方、振動子に接触しているロータである
移動体の接触部の様子を図５に示す。図５において、実
線で示す波形が振動子の変位、破線はロータの変位を示
している。ここで、振動子とロータの接触する面におけ
るＡ、Ｂ２点での各々の速度をＶas（Ａ点における振動
子の速度），Ｖar（Ａ点おけるロータの速度），Ｖｂｓ
（Ｂ点における振動子の速度），Ｖｂｒ（Ｂ点における
ロータの速度）とする。
【００１３】ロータは慣性力等によりある一定の周速度
ｖ0 で回転しているが、ロータ接触面は振動子の振動面
に対し有限な長さで接触しているため、振動子からは同
時に各接触点において異なる周速度ｖas〜ｖbsの送りを
受けることになる。したがって、ロータの周速度がｖ0
以外の接触部では滑りを生じることになる。例えば、点
Ａでは相対速度ｖas−ｖ0 、点Ｂでは相対速度ｖ0 −ｖ
bsの滑りを生じる。
【００１４】この周方向（駆動方向）の滑りに摩擦力を
掛け合わせたものが摺動部の損失パワーとなり、本発明
の目的はこの損失パワーを低減又は防止することにあ
る。
【００１５】上記した速度差が生じる理由を図７ないし
図１０を用いてさらに説明する。
【００１６】図７はロータに形成される接触バネにおけ
る曲げの中立面（点線で示す）Ｎの径方向分布を示し、
図８はその時の周方向における曲げ変形の状態を示し、
ロータの接触バネにおける接触面での周方向歪みは、図
８に示すように振動子との接触状態下において、中立面
を中心に波頭付近では縮み（速度が遅い）、接触が離れ
る付近では伸びる（速度が速い）。そして、振動が進行
した時の接触面上の点位置の時間的変遷を図９に示して
いる。ここで、Ｔを振動の一周期で進行波が一波長分進
む時間とし、振動子の振動は紙面上左から右へ、ロータ
は右から左へ進むものとする。
【００１７】図９において、点Ｐ6 に着目すると、ｔ＝
１／１０Ｔでは左から右へ運動しており、ロータ全体は
右から左へ周速度ｖr で運動し、変形の中心点Ｐ6 は変
形による速度Δｖｐ6 を合わせ持っている。なお、ｔ＝
２／１０Ｔにおける点Ｐ4 の変形による速度Δｖ4 はΔ
ｐ6 と逆向きになる。このようにして順次変形していっ
た場合の速度分布を図１０に示しており、ロータの周速
度の方向を正としている。
【００１８】一方、振動子の接触面の周速度の分布は、
図１１に示すように正弦波状態であるが、振動子の周速
度とロータの周速度の差Δｖは、接触領域において図１
２に示す分布状態となる。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した摺動損
失を防止又は低減することを目的とし、これを実現する
ためには振動子とロータの接触面における両者間の速度
差を無くすか、小さくすれば良い。換言すれば任意の２
点におけるロータの接触面と振動子の接触面の周方向相
対速度差Δｖと、該２点における振動子本体の周方向振
動速度差ΔＶとの間に、ΔＶ＞Δｖとすることである。
すなわち、第１の発明は、振動子に設けられた電気−機
械エネルギー変換素子に電気信号を印加することによ
り、該振動子の駆動部に円又は楕円運動を生じさせ、該
振動子に押圧した接触部材と該振動子とを相対移動させ
る振動波モータにおいて、接触部の任意の２点間におけ
る該接触部材の接触面と該振動子の接触面との周方向相
対速度差Δｖと、該２点における振動子本体の周方向振
動速度差ΔＶとの間にΔＶ＞Δｖなる関係を有すること
を特徴とするものである。また第２の発明は、振動子に
設けられた電気−機械エネルギー変換素子に電気信号を
印加することにより、該振動子の駆動部に円又は楕円運
動を生じさせ、該振動子に押圧した接触部材と該振動子
とを相対移動させる振動波モータにおいて、 前記接触
部材は前記振動子との接触部近傍が接触バネに形成さ
れ、前記接触バネの曲げの中立面は、前記振動子との接
触面を越えた前記振動子側の位置にあることを特徴とす
るものである。
【００２０】このことを分かりやすく図５を例にして説
明すれば、 Δｖ＝（ｖas−ｖar）−（ｖbs−ｖbr） ΔＶ＝ｖas−ｖbs つまり、ロータに着目した場合には、ｖar＞ｖbr のよ
うに波頭付近の周速度を速くすればよいことになる。
【００２１】なお、振動子本体の周速度とは、実施例で
説明するように振動子に接触バネが設けられていない場
合には接触面の周速度であり、接触バネが設けられてい
る場合には接触バネが摩擦力により変形していないとき
（ロータと接触していない状態）の接触面の周速度分布
を示す。
【００２２】以上のような関係を満足させるための手段
としては、 ：摺動面を複数の面で構成し、各分割面を周方向にお
いて独立に変位可能とすることで、周方向のスリップを
防止する。
【００２３】：振動子本体の接触面における周方向速
度分布に、ロータ接触面の周方向速度分布を近付け、両
者の速度差を小さくする。
【００２４】そして、このことを具現化する構成として
は、上記したの接触バネの摺動面を複数分割する手段
に対しては、各分割接触面に周方向の可撓性を与えるこ
とにより実現できる。
【００２５】接触バネ材料は、樹脂を使用することもで
きるが、金属等の内部減衰の小さい材料で構成すること
が望ましい。例えば、従来の接触バネを周方向に細かく
分割することによっても実現できるが、この場合細分化
された各分割接触面は駆動周波数に対して十分に応答で
きることが要求される。
【００２６】また、各分割接触面の周方向の長さは短い
程よく、これは接触面が短い程接触面内に生じる速度差
が小さくなるため、面内での摺動損失が減ることによ
る。
【００２７】できれば速度差が接触面の材料内部での剪
断変形により完全に吸収できる範囲内の大きさが望まし
い。この大きさは接触部材料、摩擦力、速度差等により
異なり、金属材料では極めて小さい。樹脂やゴムを用い
ればこの領域は増え、各分割接触面を大きくとれる利点
はあるが、軸方向にも柔らかいため、駆動振動に対する
沈み込みが大きく、モータ回転数の低下を招く。
【００２８】振動変位方向に繊維を添加するなど、径方
向に剛、周方向に柔なる異方性を基せることが望まし
い。
【００２９】また、各分割接触面を構成する各切片の接
触面間の距離が大きく離れていることは好ましくはな
い。つまり、図６に示すように、接触面間距離が大きく
離れていると、周方向速度の大きい波頭付近と接触のな
い時間が生じてしまうためで、このときモータ回転速度
は低下し、取り出されるエネルギが少なくなる分、モー
タ効率が悪化することになる。
【００３０】したがって、駆動振動の１波長の中に多数
の小接触切片が存在していることが必要といえる。
【００３１】ところで、ロータ接触面を複数の面で構成
するものについては特開昭６１−１５０６７７号、接触
バネを周方向分割するものについては特開平４−９１６
７２号があるが、これらは加工状生じる接触面の面変形
にならうためのものであり、１波長中の分割数は粗く、
また面変形にならうものであるから、分割された各バネ
部材は接触面外、例えば棒状振動波モータでは軸方向へ
の可撓性が要求されるものであって、本発明の目的、構
成とも相違する。
【００３２】一方、上記したの振動子本体の接触面に
おける周方向速度分布に、ロータ接触面の周方向速度分
布を近付け、両者の速度差を小さくする手段としては、
接触バネの曲げの中立面が接触面外に存在すれば、接触
面上の点位置の時間的変遷は図１３に示すようになり、
このときの曲げ変形による周速度の分布は図１４のよう
になる。このときの周速度分布は図１１に近くなり、ロ
ータと振動子の両接触面間の速度差を小さくすることが
できる。
【００３３】
【実施例】図１は本発明の実施例を示す。
【００３４】本実施例は棒状振動波モータに係り、接触
部材としてのロータ２の下部に形成している接触バネ２
ａは軸方向への可撓性を有しており、接触面の加工上生
じる面変形を吸収し、振動に対し適当に沈み込ませるよ
うにしている。そして、薄肉に形成された外周部２ｂを
接触部とし、該接触部の接触面よりも下方に突出するよ
うに根本部を形成し、図１３に示すようにロータ２の接
触位置での曲げの中立面Ｎを該接触面よりも下げるよう
にし、振動子接触面での周速度分布とロータ接触面での
周速度分布を近づけ、両速度差を緩和している。
【００３５】すなわち、図１３と図９とを比較すると、
従来例を示す図９では、波頭付近での接触面の速度が遅
いのに対し、本実施例の図１３では波頭付近での接触面
の速度が速く、したがって、図４の（ｂ）に示す振動子
の周速度分布と似るため、周方向の滑りが少なくなる
（Δｖ≒０）。
【００３６】一方、本実施例はロータのみならず振動子
に対しても周方向滑りの防止対策を施しており、振動子
１の駆動部に形成した接触バネ１ａについては径方向へ
の可撓性を有する構造として径方向のスリップを防止
し、接触バネ１ａの先端部を周方向に沿って細分化して
多数の突起１ｂを形成し、該複数の突起１ｂは周方向可
撓性を有する構造とすることで周方向の滑りを防止す
る。
【００３７】なお、ロータ２の接触位置での曲げの中立
面Ｎを該接触面よりも下げる方法としては、図１６に示
すように、厚肉にする根本部をロータの材質より高剛性
材料の別部材２ｃを接合するようにしてもよい。
【００３８】また、図２１に示すように、ロータの接触
バネを軸方向下方の延出端部から上方に一旦戻し、その
戻り端部２ｊを接触部とすることによってもロータ２の
接触位置での曲げの中立面Ｎを該接触面よりも下げるこ
とができる。
【００３９】図１７は本発明の第２実施例を示す。
【００４０】本実施例のロータ２は、バネ荷重を支える
金属製の内周基部２Ｂの外周に、合成樹脂からなるギヤ
４を有する外周部２Ａを接合した出力部材兼用型で、外
周部２Ａの下部には、図１８の展開図に示すように、台
形断面を有する接触バネ２ｅを形成し、周波数応答性を
良好なものとしており、また、該接触バネ２ｅは周方向
と径方向の両方向にバネ性を有するよう形成されてい
る。
【００４１】この接触バネ２ｅはロータ２の外周縁に形
成しているため、振動子１の接触バネ２ｄはフランジ上
に形成し、ロータ２の接触バネ２ｅとの当接を確保でき
るようにしている。
【００４２】図１９は本発明の第３実施例を示す。
【００４３】本実施例は円環型の振動波モータに係り、
図１９の（ａ）はそのロータの一部を示す斜視図、同図
の（ｂ）はその拡大断面図である。
【００４４】本実施例では、ロータ２０の内周部に下方
に向けて突出した接触バネ２１に、周方向に沿って周方
向の変位を拡大するための突起２１を形成し、周方向に
おける速度差を吸収できるようにしている。
【００４５】また、円環型の振動波モータはその振動子
の駆動面に周方向変位拡大用の多数のスリットを形成し
ているものが一般的となっていることから、該スリット
間の溝にロータ２０の突起２１が落ち込まないように
し、しかも周方向には適度なバネ性を確保するために、
図１９の（ｂ）に示すように開口幅２２を狭くした円形
の隙間２３を形成している。
【００４６】さらに、円環型振動波モータの振動子に対
し、図２２に示すように、振動拡大用の突起１Ａの接触
面部に周方向に変位可能なバネ１Ｂを形成するようにし
てもよい。
【００４７】なお、円環型振動波モータにおいては、振
動子の形状を長円形にして直線部を設け、この直線部に
物体を押し付けることによりリニアモータとしたものが
既に提案されているが、この場合についても該物体の接
触バネの構造を同様とすることができる。
【００４８】図２０は本発明の第４実施例を示す。
【００４９】本実施例は、棒状振動波モータをリニアモ
ータに使用した場合で、振動子１を支持ピン５を介して
フランジ６により不図示の取り付け部材に固定し、案内
軸９に対してボール８を介してスライド可能なスライド
部材７を振動波モータのロータ２により駆動するように
したもので、ロータ２には径方向に突出していて、軸方
向に可撓性を有する接触バネ２ｇを有し、該接触バネの
端部には耐摩耗性を有する樹脂により転写法等で突起２
ｉが形成されている。この突起２ｉは三角形断面に形成
され、スライド部材７の移動方向に対して可撓性を有し
ている。
【００５０】図２０は上記した各実施例の中で第１実施
例の振動波モータを駆動源とするレンズ鏡筒のＡＦ駆動
系を示し、振動波モータの回転力を減速ギア３１を介し
てレンズ保持枠３０を駆動するもので、振動波モータの
駆動力は入力ギア３１Ａを介して出力ギア３１Ｂに伝達
され、レンズ保持枠３０を回転する。
【００５１】
【発明の効果】本発明によれば、摺動損失の低減化が図
れ、モータ効率の向上・耐摩耗性の向上・鳴きの発生防
止等が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す図。
【図２】圧電素子の分極パターンを示す図。
【図３】棒状振動波モータの構成を示す図。
【図４】（ａ）は振動子の振動変位と周速度との関係を
示す図、（ｂ）は１波長又は１周期における周速度分布
を示す図。
【図５】ロータの接触状態を示す図。
【図６】ロータの接触状態を示す図。
【図７】ロータの中立面を示す図。
【図８】接触による中立面の周方向展開図。
【図９】接触面の表面の点の移動状態を示す図。
【図１０】ロータ接触面の周速度分布を示す図。
【図１１】振動子接触面の周速度分布を示す図。
【図１２】ロータと振動子の両接触面間の周速度差
【図１３】第１実施例によるロータの接触面の表面の点
の移動。
【図１４】第１実施例におけるロータ接触面の周速度分
布を示す図。
【図１５】第１実施例における振動子の周方向接触バネ
の変形状態を示す図。
【図１６】第１実施例の変形例を示すロータの斜視図。
【図１７】第２実施例を示す図。
【図１８】図１７のロータ接触バネの展開図。
【図１９】第３実施例を示す円環型振動波モータのロー
タの一部を示す図。
【図２０】第４実施例を示す図。
【図２１】第１実施例の変形例を示すロータの一部断面
図。
【図２２】第３実施例の変形例を示す図。
【図２３】第１実施例の振動波モータをＡＦモータとし
て用いたレンズ鏡筒の断面図。
【符号の説明】
１ 振動子 ２ ロータ ３ 玉軸受 ４ ギア ５ 支持ピン ６ フランジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−150781（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−331482（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−145881（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−15278（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−144368（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−292764（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−113566（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 振動子に設けられた電気−機械エネルギ
    ー変換素子に電気信号を印加することにより、該振動子
    の駆動部に円又は楕円運動を生じさせ、該振動子に押圧
    した接触部材と該振動子とを相対移動させる振動波モー
    タにおいて、 接触部の任意の2点間における該接触部材の接触面と該
    振動子の接触面との周方向相対速度差Δｖと、該2点に
    おける振動子本体の周方向振動速度差ΔＶとの間にΔＶ
    ＞Δｖなる関係を有することを特徴とする振動波モー
    タ。
  2. 【請求項２】 前記周方向相対速度差Δｖ≒0であるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
  3. 【請求項３】 前記振動子及び前記振動子と相対移動す
    る前記接触部材の一方又は双方に接触バネを有し、前記
    接触バネが一波長中に複数の接触面を有し、かつ接触面
    に周方向の可撓性を持たせて周方向に独立に変位できる
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の振動波モー
    タ。
  4. 【請求項４】 前記接触バネは周方向に細分割されてい
    ることを特徴とする請求項3に記載の振動波モータ。
  5. 【請求項５】 振動子に設けられた電気−機械エネルギ
    ー変換素子に電気信号を印加することにより、該振動子
    の駆動部に円又は楕円運動を生じさせ、該振動子に押圧
    した接触部材と該振動子とを相対移動させる振動波モー
    タにおいて、 前記接触部材は前記振動子との接触部近傍が接触バネに
    形成され、前記接触バネの曲げの中立面は、前記振動子
    との接触面を超えた前記振動子側の位置にあることを特
    徴とする振動波モータ。
  6. 【請求項６】 請求項1ないし5のいずれかに記載の振動
    波モータを駆動源として有することを特徴とする振動波
    モータを備えた装置。
JP33738792A 1992-12-17 1992-12-17 振動波モータおよび振動波モータを備えた装置 Expired - Fee Related JP3179601B2 (ja)

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5949178A (en) * 1995-04-26 1999-09-07 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave driving apparatus and a vibration member, and manufacturing method of the apparatus and the member
US6198201B1 (en) 1998-06-03 2001-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave apparatus
JP4328412B2 (ja) 1999-05-14 2009-09-09 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置
JP3526298B2 (ja) 2001-01-22 2004-05-10 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
US6930436B2 (en) * 2001-01-22 2005-08-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration element and vibration wave driving apparatus
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
US20040113519A1 (en) * 2002-12-12 2004-06-17 Charles Mentesana Micro-beam friction liner and method of transferring energy
JP5206425B2 (ja) * 2009-01-07 2013-06-12 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 超音波アクチュエータ
JP5843469B2 (ja) 2011-04-26 2016-01-13 キヤノン株式会社 振動波モータ

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59201684A (ja) * 1983-04-30 1984-11-15 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS59201685A (ja) * 1983-04-30 1984-11-15 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS6013481A (ja) * 1983-07-04 1985-01-23 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS60170472A (ja) * 1984-02-10 1985-09-03 Canon Inc 振動波モ−タ
US4831305A (en) * 1984-04-02 1989-05-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor
JPS61150677A (ja) * 1984-12-24 1986-07-09 Canon Inc 振動波モ−タ−
US4752711A (en) * 1985-03-29 1988-06-21 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor
JPS61224882A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS63174581A (ja) * 1987-01-12 1988-07-19 Canon Inc 振動波モ−タ
JPS63224679A (ja) * 1987-03-10 1988-09-19 Marcon Electronics Co Ltd 超音波モ−タ
DE3735623A1 (de) * 1987-10-21 1989-05-03 Philips Patentverwaltung Elektrischer rotations- oder linearmotor, dessen laeufer mittels ultraschallschwingungen angetrieben wird
DE69030827T2 (de) * 1989-02-14 1998-01-15 Canon Kk Vibrationswellenmotor
US5204577A (en) * 1989-05-15 1993-04-20 Nikon Corporation Ultrasonic motor improved in driving efficiency
JP3030050B2 (ja) * 1989-05-30 2000-04-10 オリンパス光学工業株式会社 超音波モータ
US5051647A (en) * 1989-07-06 1991-09-24 Nec Corporation Ultrasonic motor
JP2926765B2 (ja) * 1989-07-17 1999-07-28 アイシン精機株式会社 超音波モータ
JPH03190573A (ja) * 1989-12-13 1991-08-20 Canon Inc 振動波モータ
JP2669916B2 (ja) * 1990-02-02 1997-10-29 キヤノン株式会社 振動波モータ
JP2996477B2 (ja) * 1990-02-05 1999-12-27 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP2879955B2 (ja) * 1990-08-03 1999-04-05 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JPH0491672A (ja) * 1990-08-03 1992-03-25 Canon Inc 超音波モータ
JP2925272B2 (ja) * 1990-08-31 1999-07-28 キヤノン株式会社 振動波モータ
US5256928A (en) * 1990-10-26 1993-10-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic motor with a vibrator having recesses
DE69211880T2 (de) * 1991-04-02 1996-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultraschallmotor mit schwingendem Körper und dadurch angetriebener bewegender Körper
CH685183A5 (fr) * 1991-08-30 1995-04-13 Asulab Sa Moteur piézo-électrique.
JP3117817B2 (ja) * 1991-11-27 2000-12-18 アスモ株式会社 超音波モータのステータ及びその製造方法

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Publication number Publication date
EP0602648B1 (en) 2000-03-29
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