JPH05341630A - 大面積光源用の光変調器 - Google Patents
大面積光源用の光変調器Info
- Publication number
- JPH05341630A JPH05341630A JP15207991A JP15207991A JPH05341630A JP H05341630 A JPH05341630 A JP H05341630A JP 15207991 A JP15207991 A JP 15207991A JP 15207991 A JP15207991 A JP 15207991A JP H05341630 A JPH05341630 A JP H05341630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- modulator
- exposure device
- photosensitive material
- dimensional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D15/00—Component parts of recorders for measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D15/14—Optical recording elements; Recording elements using X-or nuclear radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/465—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using masks, e.g. light-switching masks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/47—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light
- B41J2/471—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light using dot sequential main scanning by means of a light deflector, e.g. a rotating polygonal mirror
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
を用いて光回収効率が高く,かつ書込み速度の高い光書
込み装置を提供する。 【構成】 直線状ア−クランプ1の光をレンズ3により
変形可能なミラーアレイ4上に集束投影する。ミラーア
レイ4は記録信号に従って制御される駆動回路8により
各要素ミラーが静止状態と傾斜状態を随時取ることによ
り適当な速度で移動する感光性物質6上に記録すべき文
字や絵などのパターンをレンズ5を介して投影して光書
込みを行う。
Description
であって、更に詳細には、露光システムにおける光弁と
しても知られているマルチスポット変調器の使用に関す
るものである。
変調器の画像と露光物質との間に相対的運動無しで使用
されねばならない。二次元アレイの結像動作期間中の何
等かの運動は、運動方向において、画像をぼやけさせ
る。1つの解決方法は、直線状アレイを使用することで
あるが(例えば、米国特許第4,571,603号)、
例えば白熱電球やア−クランプ等の大面積光源を直線状
アレイ上に結像させる場合には、大きな光損失が発生す
る。別の解決方法は、例えばレ−ザ等の高輝度小面積光
源を使用することであるが、短波長で(青及び紫外線)
大量の光が必要とされる場合には、高価とならざるを得
ない。
刷プレ−トの露光、プリント回路基板の露光及びステレ
オリソグラフィ等の青及び紫外線領域において大量の変
調光を必要とするプロセスにとって特に重要なものであ
る。本発明の別の目的とするところは、大量の光を変調
させることの可能な光変調器を提供することである。大
量の光に対する最良の光源は大きな面積を有しているの
で、例えば、直線状ア−クランプ、光弁とも呼称される
変調器と被露光物質との間の相対的運動を停止させるこ
と無しに従来の変調器を使用することは不可能である。
本発明は、スキャニングしながら、非常に大量の光の変
調を行なうことを可能としている。本発明の更に別の目
的とするところは、殆どのスキャニング方法と適合性の
ある大面積光源に対する変調器を提供することである。
例えば回転又は振動ミラ−又は回転ドラム等の一般的に
使用されているスキャニング方法は、直線状マルチスポ
ット変調器と適合性があるのみである。本発明を使用す
ることにより、それらを二次元変調器と共に使用するこ
とが可能である。
光源を使用可能な光変調器は、好適には変形可能なミラ
−型のものである二次元光弁上に結像される例えばア−
クランプ等の光源を有している。該光弁は、感光性物質
上に結像され且つこの画像は該感光性物質に沿ってスキ
ャンされる。感光性物質上に結像されるべき情報が第1
の行の光弁内に入力され、且つ該光弁の画像が該感光性
物質に沿ってスキャンされると、該第1の行における情
報は、結像されたデ−タを露光される感光性物質と相対
的に静止状態に維持する速度及び方向で、以後の行へ転
送される。多数の行を使用することにより、高光回収効
率、高分解能、及び高デ−タ速度を同時に達成すること
が可能である。このことは、例えばア−クランプや白熱
電球等の大面積光源の低輝度制限を解消している。
電源2から電力が供給され、且つレンズ3を使用して変
形可能なミラ−アレイ4上に結像される。変形可能なミ
ラ−変調器4はテキサスインストルメンツインコ−ポレ
イテッドによって製造販売されている市販の装置であ
り、その動作原理は、米国特許第4,441,791号
に記載されている。ミラ−アレイ4は、レンズ5を使用
して、感光性物質6上に結像される。感光性物質6の位
置は、位置変換器7によって測定される。位置変換器7
は、例えばリニアエンコ−ダ等の市販されている装置と
することが可能である。アレイ4内の変形可能なミラ−
のいずれもが活性化されていない場合には、アレイ4上
に入射される光の全てはレンズ5から他の方向へ反射さ
れ、従って感光性物質6に到達することはない。該ミラ
−の内のいずれか1つが活性化されると、それは、レン
ズ5のアパ−チャ−内に光を反射させ、従って感光性物
質6上に結像される。このタイプの光学系は公知であ
り、従ってその詳細な説明は割愛する。アレイ4は、多
数の行の変形可能なミラ−から構成されており、且つそ
れらの行が感光性物質6の運動方向に対して垂直に延在
するような態様で位置決めされている。
は、駆動回路8を使用して、アレイ4の最初の行内にロ
−ドされる。該駆動回路は、従来公知のものとすること
が可能であり、且つ通常は、変形可能なミラ−アレイの
一部を構成するものである。同様の回路は米国特許第
4,571,603号に記載されている。
は、感光性物質6の運動とアレイ4内での行から行への
デ−タの転送のシ−ケンスとの間の同期に関するもので
ある。デ−タがアレイ4の最初の行内に入力され、且つ
活性化されたミラ−のパタ−ンを形成する。同一のデ−
タパタ−ンが、次の行へ転送される場合に、新たなパタ
−ンがその最初の行内にロ−ドされる。二番目の行か
ら、該デ−タは、パタ−ンを変化させること無しに、三
番目の行へ転送される。このプロセスを図2に示してあ
り、尚図2において、(a)乃至(c)はアレイ4の行
間でのデ−タ転送のシ−ケンスを示している。好適実施
例においては、行数は、約100であるが、各行におけ
るミラ−数は約1000個である。正確な行数及び行当
たりのミラ−数は、使用される光源の寸法及び必要とさ
れるデ−タ速度に依存してい変化する。従って、本発明
は特定の行数及びミラ−数にのみ制限されるべきもので
はない。
と相対的に静止状態に見えるような態様で、行間のデ−
タ転送速度が感光性物質6の運動と同期されていると、
感光性物質6の運動に起因して画像のぼやけが発生する
ことはない。1例として、感光性物質6上に結像された
場合にレンズ5が2倍だけアレイ4の寸法を減少させ且
つ変形可能なミラ−要素の間隔が0.01mmである場合
には、感光性物質6が0.01mmの半分の距離を移動す
る毎に、行間のデ−タ転送が発生すべきである。このこ
とは、アレイ4内の行から行へのデ-タ転送を制御する
ために位置変換器7から供給されるパルスを使用するこ
とによって達成される。
6を移動させることは、アレイ4の画像を感光性物質6
上にスキャニングさせる多数の公知の方法の内の単に1
つの例示的なものに過ぎない。感光性物質6を移動させ
る代わりに、感光性物質6に沿って光をスキャンさせる
ために移動ミラ−を使用することはもう1つの公知の方
法である。この場合には、位置変換器7は、感光性物質
6ではなく、移動ミラ−に取付けられる。別の公知の方
法では、感光性物質6をドラム上に巻着させ且つそのド
ラムをレンズ5の前方で回転させる。感光性物質6の全
体を露光させるためには、通常、感光性物質6を二次元
的に運動させること、又は光をそのように移動させるこ
とが必要である。これら全てのスキャニング方法は、従
来公知のものとすることが可能である。
元光変調器は変形可能なミラ−アレイのみではないこと
に注意すべきである。その他の使用可能な光変調器とし
ては、例えば、二次元液晶アレイ、二次元磁気−光学的
変調器、二次元強誘電体変調器、及び二次元アレイ形状
に製造可能なその他の光変調器等がある。
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例のみに限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ること無しに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
用する本発明の好適実施例に基づいて構成された光変調
・露光装置を示した概略図。
原理を説明するのに有用な説明図。
Claims (9)
- 【請求項1】 光変調・露光装置において、光源が設け
られており、感光性物質が設けられており、複数個の行
の光変調セルを有する二次元光変調器が設けられてお
り、前記光源を前記光変調器上に結像させる手段が設け
られており、前記光変調器を前記感光性物質上に結像さ
せる手段が設けられており、前記光変調器の画像と前記
感光性物質との間で相対的運動を発生する手段が設けら
れており、前記運動の方向は前記光変調セルの行の方向
に対して実質的に垂直であり、前記行の内の最初のもの
に前記感光性物質上に結像されるべきデ−タをシフト入
力させる手段が設けられており、且つデ−タが前記行の
内で最後のものからシフト出力される迄前記感光性物質
と相対的にデ−タパタ−ンの画像を実質的に静止状態に
維持する速度で前記デ−タを前記最初の行から前記変調
器の以後の行へ転送させる手段が設けられており、結像
されるべき全てのデ−タが前記光変調器を介して通過さ
れる迄このシ−ケンスを継続させることを特徴とする光
変調・露光装置。 - 【請求項2】 請求項1において、前記二次元光変調器
が電気的制御型の変形可能なミラ−からなるアレイであ
り、且つ前記光変調器の結像動作は、前記デ−タによっ
て活性化された変形可能なミラ−のみが前記感光性物質
に光を到達させるような態様で行なわれることを特徴と
する光変調・露光装置。 - 【請求項3】 請求項1において、前記二次元光変調器
は液晶型であることを特徴とする光変調・露光装置。 - 【請求項4】 請求項1において、前記二次元光変調器
が磁気−光学型であることを特徴とする光変調・露光装
置。 - 【請求項5】 請求項1において、前記二次元光変調器
が強誘電体型であることを特徴とする光変調・露光装
置。 - 【請求項6】 請求項1において、前記二次元光変調器
は、50乃至100個の行を有しており、各行が100
乃至5000個のセルを有することを特徴とする光変調
・露光装置。 - 【請求項7】 請求項1又は2において、前記光源が直
線状ア−クランプであることを特徴とする光変調・露光
装置。 - 【請求項8】 請求項1において、前記光源が直線状白
熱電球であることを特徴とする光変調・露光装置。 - 【請求項9】 請求項1において、前記感光性物質が液
体状であることを特徴とする光変調・露光装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/546,902 US5049901A (en) | 1990-07-02 | 1990-07-02 | Light modulator using large area light sources |
US546902 | 1990-07-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05341630A true JPH05341630A (ja) | 1993-12-24 |
JPH06100829B2 JPH06100829B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=24182508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15207991A Expired - Lifetime JPH06100829B2 (ja) | 1990-07-02 | 1991-06-25 | 大面積光源用の光変調器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5049901A (ja) |
JP (1) | JPH06100829B2 (ja) |
BE (1) | BE1004579A5 (ja) |
DE (1) | DE4121509A1 (ja) |
GB (1) | GB2246644B (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4807583A (en) * | 1986-06-04 | 1989-02-28 | Lucas Industries Public Limited Company | Fuel pumping apparatus |
DE4400449A1 (de) * | 1993-01-08 | 1994-09-08 | Fuji Heavy Ind Ltd | Kraftstoffdrucksteuerverfahren und -system für einen Motor mit Kraftstoffdirekteinspritzung |
JP2002072491A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-12 | Airex Inc | プリント基板製造装置 |
JP2004516493A (ja) * | 1999-09-17 | 2004-06-03 | バージス プリント ゲーエムベーハー ズュステーメ ヒュア ディー ドゥルックインドゥストリー | 画像システムの非均質性を補償する装置および方法 |
JP2007500366A (ja) * | 2003-07-29 | 2007-01-11 | コダック グラフィック コミュニケーションズ カナダ カンパニー | 不均一な光弁 |
JP2007515309A (ja) * | 2003-11-03 | 2007-06-14 | パンチ グラフィックス プレプレス ジャーマニー ゲーエムベーハー | デジタル露光する装置および方法 |
Families Citing this family (117)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2251511A (en) * | 1991-01-04 | 1992-07-08 | Rank Brimar Ltd | Display device. |
US5208818A (en) * | 1991-12-12 | 1993-05-04 | Creo Products Inc. | Laser system for recording data patterns on a planar substrate |
US5247180A (en) * | 1991-12-30 | 1993-09-21 | Texas Instruments Incorporated | Stereolithographic apparatus and method of use |
CA2087625C (en) * | 1992-01-23 | 2006-12-12 | William E. Nelson | Non-systolic time delay and integration printing |
US5459492A (en) * | 1993-08-30 | 1995-10-17 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for printing stroke and contone data together |
GB9318804D0 (en) * | 1993-09-10 | 1993-10-27 | Ici Plc | Optical data recordal |
US5521748A (en) * | 1994-06-16 | 1996-05-28 | Eastman Kodak Company | Light modulator with a laser or laser array for exposing image data |
DE19545625C1 (de) * | 1995-12-07 | 1997-11-13 | Agfa Gevaert Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Aufzeichnung von Bildern mittels elektronischer Bildsignale |
DE19545821A1 (de) * | 1995-12-08 | 1997-06-12 | Friedrich Dipl Ing Luellau | Vorrichtung zum Belichten von Druckplatten |
US5933183A (en) * | 1995-12-12 | 1999-08-03 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Color spatial light modulator and color printer using the same |
DE19602289A1 (de) * | 1996-01-23 | 1997-07-24 | Roland Man Druckmasch | Druckvorrichtung |
DE19602307A1 (de) * | 1996-01-23 | 1997-07-24 | Roland Man Druckmasch | Druckmaschine |
US6268893B1 (en) | 1996-03-11 | 2001-07-31 | American Bank Note Holographics | Method and apparatus for a fringe direct writing system |
IL117632A (en) * | 1996-03-24 | 1999-10-28 | Scitex Corp Ltd | Apparatus and method for printing |
USRE37376E1 (en) * | 1996-08-16 | 2001-09-18 | Creo Products Inc. | Method for rapid imaging of thermographic materials by extending exposure time in a single beam laser scanner |
US6072518A (en) * | 1997-05-21 | 2000-06-06 | Creo Products Inc. | Method for rapid imaging of thermographic materials by extending exposure time in a single beam laser scanner |
IL119099A (en) * | 1996-08-20 | 1999-05-09 | Scitex Corp Ltd | Apparatus and method for recording an image |
WO1998029782A1 (de) * | 1996-12-31 | 1998-07-09 | Luellau Friedrich | Verfahren zur ansteuerung einer belichtungsvorrichtung |
US5900981A (en) * | 1997-04-15 | 1999-05-04 | Scitex Corporation Ltd. | Optical system for illuminating a spatial light modulator |
DE19716240C2 (de) * | 1997-04-18 | 2003-12-04 | Mivatec Gmbh | Fotoplott-Verfahren und Anordnung zur Aufzeichnung eines computergespeicherten Rasterbildes auf einen ebenen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger |
DE19830896A1 (de) | 1998-07-10 | 2000-06-08 | Mivatec Gmbh | Fotoplott-Verfahren zur hochenergetischen Aufzeichnung eines computergespeicherten Rasterbildes auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger |
US6303986B1 (en) | 1998-07-29 | 2001-10-16 | Silicon Light Machines | Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die |
US6204875B1 (en) | 1998-10-07 | 2001-03-20 | Barco Graphics, Nv | Method and apparatus for light modulation and exposure at high exposure levels with high resolution |
US6222577B1 (en) | 1999-01-26 | 2001-04-24 | Presstek, Inc. | Multiple-beam, diode-pumped imaging system |
US6529262B1 (en) | 1999-04-14 | 2003-03-04 | Ball Semiconductor, Inc. | System and method for performing lithography on a substrate |
US6087069A (en) * | 1999-04-16 | 2000-07-11 | Presstek, Inc. | Lithographic imaging and cleaning of printing members having boron ceramic layers |
DE19944759A1 (de) * | 1999-09-17 | 2001-03-22 | Basys Print Gmbh Systeme Fuer | Verfahren zur Synchronisation von Positionier- und Belichtungsvorgängen |
US6700598B1 (en) | 2000-04-25 | 2004-03-02 | Cortron Corporation | Digital imaging system employing non-coherent light source |
JP2001330912A (ja) | 2000-05-18 | 2001-11-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置 |
US6509955B2 (en) | 2000-05-25 | 2003-01-21 | Ball Semiconductor, Inc. | Lens system for maskless photolithography |
DE10031162A1 (de) * | 2000-06-27 | 2002-01-10 | Heidelberger Druckmasch Ag | System zur Belichtung einer Druckform |
US6493867B1 (en) | 2000-08-08 | 2002-12-10 | Ball Semiconductor, Inc. | Digital photolithography system for making smooth diagonal components |
US6537738B1 (en) | 2000-08-08 | 2003-03-25 | Ball Semiconductor, Inc. | System and method for making smooth diagonal components with a digital photolithography system |
US6433934B1 (en) | 2000-08-11 | 2002-08-13 | Yakov Reznichenko | Illumination system for use in imaging systems |
US6480259B1 (en) * | 2000-09-28 | 2002-11-12 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for printing monochromatic images using a spatial light modulator having a selectable light source |
AU772208B2 (en) * | 2000-10-06 | 2004-04-22 | Northfield Corporation | Web Burster/inserter |
JP2002120400A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び装置 |
US6512625B2 (en) | 2000-11-22 | 2003-01-28 | Ball Semiconductor, Inc. | Light modulation device and system |
US6473237B2 (en) | 2000-11-14 | 2002-10-29 | Ball Semiconductor, Inc. | Point array maskless lithography |
EP1206115A3 (en) | 2000-11-14 | 2004-02-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image recording method and image recording apparatus |
US6433917B1 (en) | 2000-11-22 | 2002-08-13 | Ball Semiconductor, Inc. | Light modulation device and system |
US6930797B2 (en) * | 2001-02-27 | 2005-08-16 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for printing high resolution images using multiple reflective spatial light modulators |
US6753898B2 (en) * | 2001-03-29 | 2004-06-22 | Masanori Kubota | Method and apparatus for high speed digitized exposure |
US6707591B2 (en) | 2001-04-10 | 2004-03-16 | Silicon Light Machines | Angled illumination for a single order light modulator based projection system |
JP2002307754A (ja) | 2001-04-16 | 2002-10-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録方法及び装置 |
US6637329B1 (en) | 2001-05-15 | 2003-10-28 | Creo Products Inc. | Method for improving registration of images on opposing sides of a printing medium |
US6782205B2 (en) | 2001-06-25 | 2004-08-24 | Silicon Light Machines | Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing |
US6747781B2 (en) | 2001-06-25 | 2004-06-08 | Silicon Light Machines, Inc. | Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle |
JP5144863B2 (ja) * | 2001-06-29 | 2013-02-13 | 株式会社オーク製作所 | 多重露光描画方法及び多重露光描画装置 |
JP4728536B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2011-07-20 | 株式会社オーク製作所 | 多重露光描画方法及び多重露光描画装置 |
US20030025979A1 (en) * | 2001-07-31 | 2003-02-06 | Ball Semiconductor, Inc. | Surface distortion compensated photolithography |
US6965387B2 (en) * | 2001-08-03 | 2005-11-15 | Ball Semiconductor, Inc. | Real time data conversion for a digital display |
JP4320694B2 (ja) | 2001-08-08 | 2009-08-26 | 株式会社オーク製作所 | 多重露光描画装置および多重露光式描画方法 |
US6829092B2 (en) | 2001-08-15 | 2004-12-07 | Silicon Light Machines, Inc. | Blazed grating light valve |
US6980321B2 (en) * | 2001-08-20 | 2005-12-27 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for printing high resolution images using multiple reflective spatial light modulators |
EP1293348B1 (en) * | 2001-09-17 | 2006-12-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image recording method and image recording apparatus |
EP1322105A1 (de) * | 2001-12-18 | 2003-06-25 | Agfa-Gevaert AG | Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen eines hochaufgelösten Bildes in einer Bildebene |
US6800238B1 (en) | 2002-01-15 | 2004-10-05 | Silicon Light Machines, Inc. | Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics |
US6665048B2 (en) | 2002-01-22 | 2003-12-16 | Creo Inc. | Method for imaging a continuously moving object |
US6976426B2 (en) * | 2002-04-09 | 2005-12-20 | Day International, Inc. | Image replication element and method and system for producing the same |
US6870604B2 (en) * | 2002-04-23 | 2005-03-22 | Ball Semiconductor, Inc. | High resolution point array |
JP3938714B2 (ja) * | 2002-05-16 | 2007-06-27 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 露光装置 |
US6767751B2 (en) | 2002-05-28 | 2004-07-27 | Silicon Light Machines, Inc. | Integrated driver process flow |
US6728023B1 (en) | 2002-05-28 | 2004-04-27 | Silicon Light Machines | Optical device arrays with optimized image resolution |
JP4201178B2 (ja) * | 2002-05-30 | 2008-12-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像記録装置 |
US6822797B1 (en) | 2002-05-31 | 2004-11-23 | Silicon Light Machines, Inc. | Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light |
US7164961B2 (en) * | 2002-06-14 | 2007-01-16 | Disco Corporation | Modified photolithography movement system |
US6829258B1 (en) | 2002-06-26 | 2004-12-07 | Silicon Light Machines, Inc. | Rapidly tunable external cavity laser |
US6813059B2 (en) | 2002-06-28 | 2004-11-02 | Silicon Light Machines, Inc. | Reduced formation of asperities in contact micro-structures |
US6714337B1 (en) | 2002-06-28 | 2004-03-30 | Silicon Light Machines | Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response |
US6801354B1 (en) | 2002-08-20 | 2004-10-05 | Silicon Light Machines, Inc. | 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses |
KR101087930B1 (ko) | 2002-08-24 | 2011-11-28 | 매스크리스 리소그래피 인코퍼레이티드 | 연속적인 직접-기록 광 리소그래피 장치 및 방법 |
US6712480B1 (en) | 2002-09-27 | 2004-03-30 | Silicon Light Machines | Controlled curvature of stressed micro-structures |
US6806997B1 (en) | 2003-02-28 | 2004-10-19 | Silicon Light Machines, Inc. | Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction |
US6829077B1 (en) | 2003-02-28 | 2004-12-07 | Silicon Light Machines, Inc. | Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane |
JP4390189B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2009-12-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | パターン描画装置 |
GB2422678B (en) * | 2005-01-25 | 2009-03-11 | Photocentric Ltd | Method of making a photopolymer plate |
US7758799B2 (en) | 2005-04-01 | 2010-07-20 | 3D Systems, Inc. | Edge smoothness with low resolution projected images for use in solid imaging |
WO2006105911A2 (de) * | 2005-04-02 | 2006-10-12 | Punch Graphix Prepress Germany Gmbh | Belichtungsvorrichtung für druckplatten |
JP4753625B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-08-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | パターン描画装置およびブロック数決定方法 |
US20070153080A1 (en) * | 2005-12-29 | 2007-07-05 | Eastman Kodak Company | High-speed continuous film writer |
US7931460B2 (en) * | 2006-05-03 | 2011-04-26 | 3D Systems, Inc. | Material delivery system for use in solid imaging |
US7467939B2 (en) * | 2006-05-03 | 2008-12-23 | 3D Systems, Inc. | Material delivery tension and tracking system for use in solid imaging |
GB0610606D0 (en) * | 2006-05-30 | 2006-07-05 | Photocentric Ltd | Process and apparatus |
US9415544B2 (en) * | 2006-08-29 | 2016-08-16 | 3D Systems, Inc. | Wall smoothness, feature accuracy and resolution in projected images via exposure levels in solid imaging |
US7614866B2 (en) * | 2007-01-17 | 2009-11-10 | 3D Systems, Inc. | Solid imaging apparatus and method |
US20080181977A1 (en) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Sperry Charles R | Brush assembly for removal of excess uncured build material |
US8003039B2 (en) * | 2007-01-17 | 2011-08-23 | 3D Systems, Inc. | Method for tilting solid image build platform for reducing air entrainment and for build release |
US8105066B2 (en) * | 2007-01-17 | 2012-01-31 | 3D Systems, Inc. | Cartridge for solid imaging apparatus and method |
US8221671B2 (en) * | 2007-01-17 | 2012-07-17 | 3D Systems, Inc. | Imager and method for consistent repeatable alignment in a solid imaging apparatus |
US7731887B2 (en) * | 2007-01-17 | 2010-06-08 | 3D Systems, Inc. | Method for removing excess uncured build material in solid imaging |
US7706910B2 (en) * | 2007-01-17 | 2010-04-27 | 3D Systems, Inc. | Imager assembly and method for solid imaging |
US7771183B2 (en) * | 2007-01-17 | 2010-08-10 | 3D Systems, Inc. | Solid imaging system with removal of excess uncured build material |
US20080226346A1 (en) * | 2007-01-17 | 2008-09-18 | 3D Systems, Inc. | Inkjet Solid Imaging System and Method for Solid Imaging |
US20080170112A1 (en) * | 2007-01-17 | 2008-07-17 | Hull Charles W | Build pad, solid image build, and method for building build supports |
JP5258226B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2013-08-07 | 株式会社オーク製作所 | 描画装置および描画方法 |
DE102007038999A1 (de) | 2007-08-17 | 2009-02-19 | Punch Graphix Prepress Germany Gmbh | Verfahren zur Steigerung des Durchsatzes und zur Reduzierung der Bewegungsunschärfe |
US8048359B2 (en) | 2008-10-20 | 2011-11-01 | 3D Systems, Inc. | Compensation of actinic radiation intensity profiles for three-dimensional modelers |
US8666142B2 (en) * | 2008-11-18 | 2014-03-04 | Global Filtration Systems | System and method for manufacturing |
IL198719A0 (en) * | 2009-05-12 | 2010-02-17 | Orbotech Ltd | Optical imaging system |
DE202010014718U1 (de) | 2010-09-24 | 2011-01-20 | Printprocess Ag | Belichtungsanordnung |
US9075409B2 (en) | 2011-06-28 | 2015-07-07 | Global Filtration Systems | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using linear solidification |
EP2786859B1 (en) | 2011-06-28 | 2019-08-07 | Global Filtration Systems, A DBA of Gulf Filtration Systems Inc. | Apparatus for forming three-dimensional objects using linear solidification |
US8691476B2 (en) | 2011-12-16 | 2014-04-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | EUV mask and method for forming the same |
US9034237B2 (en) | 2012-09-25 | 2015-05-19 | 3D Systems, Inc. | Solid imaging systems, components thereof, and methods of solid imaging |
WO2014140047A2 (en) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | Micronic Mydata AB | Method and device for writing photomasks with reduced mura errors |
JP6453780B2 (ja) | 2013-03-12 | 2019-01-16 | マイクロニック アーベーMycronic Ab | 機械的に形成されるアライメント基準体の方法及び装置 |
WO2014165643A2 (en) | 2013-04-04 | 2014-10-09 | Global Filtration Systems, A Dba Of Gulf Filtration Systems Inc. | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using linear solidification with travel axis correction and power control |
US20150102531A1 (en) | 2013-10-11 | 2015-04-16 | Global Filtration Systems, A Dba Of Gulf Filtration Systems Inc. | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using a curved build platform |
US9586364B2 (en) | 2013-11-27 | 2017-03-07 | Global Filtration Systems | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using linear solidification with contourless object data |
US9527244B2 (en) | 2014-02-10 | 2016-12-27 | Global Filtration Systems | Apparatus and method for forming three-dimensional objects from solidifiable paste |
US11104117B2 (en) | 2014-02-20 | 2021-08-31 | Global Filtration Systems | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using a tilting solidification substrate |
US10144205B2 (en) | 2014-02-20 | 2018-12-04 | Global Filtration Systems | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using a tilting solidification substrate |
WO2015126461A1 (en) | 2014-02-20 | 2015-08-27 | Global Filtration Systems, A Dba Of Gulf Filtration Systems Inc. | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using a tilting solidification substrate |
US9902112B2 (en) | 2015-04-07 | 2018-02-27 | Global Filtration Systems | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using linear solidification and a vacuum blade |
EP3181357B1 (en) | 2015-12-15 | 2018-10-10 | Agfa Nv | Additive manufacturing method using dynamic light projection for flexographic print masters |
EP3182206B1 (en) | 2015-12-15 | 2019-12-04 | Agfa Nv | A method of exposing a print master precursor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2631849A1 (de) * | 1976-07-15 | 1978-01-19 | Agfa Gevaert Ag | Aufzeichnungsvorrichtung |
US4360994A (en) * | 1980-12-01 | 1982-11-30 | Hodges Bonnie E | Concrete crack sealing system |
US4560994A (en) * | 1981-10-08 | 1985-12-24 | Xerox Corporation | Two dimensional electro-optic modulator for printing |
US4571603A (en) * | 1981-11-03 | 1986-02-18 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror electrostatic printer |
JPS58103267A (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-20 | Fujitsu Ltd | 読取方式 |
EP0142579B1 (en) * | 1983-11-01 | 1988-05-18 | Agfa-Gevaert N.V. | Recording apparatus |
JPS63502142A (ja) * | 1986-01-22 | 1988-08-18 | ヒユ−ズ・エアクラフト・カンパニ− | バイポ−ラおよび複素数デ−タ処理用光アナログデ−タ処理システム |
NL8900238A (nl) * | 1989-02-01 | 1990-09-03 | Oce Nederland Bv | Werkwijze en inrichting voor beeldmatige belichting van een lichtgevoelig medium met behulp van een aantal lichtsluiters. |
-
1990
- 1990-07-02 US US07/546,902 patent/US5049901A/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-06-25 GB GB9113707A patent/GB2246644B/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-25 JP JP15207991A patent/JPH06100829B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-28 DE DE4121509A patent/DE4121509A1/de not_active Withdrawn
- 1991-07-01 BE BE9100623A patent/BE1004579A5/fr not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4807583A (en) * | 1986-06-04 | 1989-02-28 | Lucas Industries Public Limited Company | Fuel pumping apparatus |
DE4400449A1 (de) * | 1993-01-08 | 1994-09-08 | Fuji Heavy Ind Ltd | Kraftstoffdrucksteuerverfahren und -system für einen Motor mit Kraftstoffdirekteinspritzung |
JP2004516493A (ja) * | 1999-09-17 | 2004-06-03 | バージス プリント ゲーエムベーハー ズュステーメ ヒュア ディー ドゥルックインドゥストリー | 画像システムの非均質性を補償する装置および方法 |
JP2002072491A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-03-12 | Airex Inc | プリント基板製造装置 |
JP2007500366A (ja) * | 2003-07-29 | 2007-01-11 | コダック グラフィック コミュニケーションズ カナダ カンパニー | 不均一な光弁 |
JP2007515309A (ja) * | 2003-11-03 | 2007-06-14 | パンチ グラフィックス プレプレス ジャーマニー ゲーエムベーハー | デジタル露光する装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5049901A (en) | 1991-09-17 |
GB2246644B (en) | 1994-10-26 |
BE1004579A5 (fr) | 1992-12-15 |
DE4121509A1 (de) | 1992-01-09 |
GB9113707D0 (en) | 1991-08-14 |
GB2246644A (en) | 1992-02-05 |
JPH06100829B2 (ja) | 1994-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH05341630A (ja) | 大面積光源用の光変調器 | |
JP3255825B2 (ja) | 画像データ露光用レーザ又はレーザアレイを備えた光変調器 | |
TW594433B (en) | Pattern writing apparatus and pattern writing method | |
CA2087625C (en) | Non-systolic time delay and integration printing | |
US6215547B1 (en) | Reflective liquid crystal modulator based printing system | |
US6753898B2 (en) | Method and apparatus for high speed digitized exposure | |
US5684620A (en) | High resolution imaging system and method of imaging using the same | |
US7126624B2 (en) | Image recording method and image recording apparatus | |
US6590632B2 (en) | Image recording method and image recording apparatus | |
US5479289A (en) | Method and apparatus for preparing imaged light | |
JP2001305664A (ja) | プリンタ | |
US6731321B2 (en) | Image recording method and image recording apparatus | |
JP4017337B2 (ja) | 画像記録方法及び装置 | |
US20020057328A1 (en) | Image recording method and image recording apparatus | |
JP2006098730A (ja) | 画像露光装置および画像露光方法 | |
JPH02221920A (ja) | 複数のlalcセルのレーザによる同時書込みのための方法及び装置 | |
JP2001287403A (ja) | プリンタ | |
JP2003050370A (ja) | 画像形成装置 | |
JP2002154238A (ja) | 画像記録方法及び装置 | |
JP2004050483A (ja) | 画像露光装置および画像露光方法 | |
CA2416178A1 (en) | Process and apparatus for the manufacture of a photographic print | |
JP2001322306A (ja) | 画像形成システム内の記録媒体を露光するシステムと方法 | |
JP2002036629A (ja) | 画像形成装置 | |
JPH09258339A (ja) | 画像形成装置 | |
WO2000059207A1 (en) | Light distribution device for fiber optic-based imaging system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212 Year of fee payment: 13 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212 Year of fee payment: 13 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081212 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091212 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101212 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 17 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 17 |