JPH05298624A - 複合型薄膜磁気ヘッド - Google Patents
複合型薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH05298624A JPH05298624A JP4099468A JP9946892A JPH05298624A JP H05298624 A JPH05298624 A JP H05298624A JP 4099468 A JP4099468 A JP 4099468A JP 9946892 A JP9946892 A JP 9946892A JP H05298624 A JPH05298624 A JP H05298624A
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- magnetic head
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シールド型MR再生ヘッドと巻線型記録ヘッ
ドの複合型薄膜磁気ヘッドで、MR素子とシールド間の
短絡を防止する。 【構成】 上下シールド(3,5)の面積を減じ、これ
らの磁気ディスク対向面(9)とは反対側の端面が、記
録ヘッドコイル(7)の最外周より磁気ディスク対向面
側にあることを特徴とする。
ドの複合型薄膜磁気ヘッドで、MR素子とシールド間の
短絡を防止する。 【構成】 上下シールド(3,5)の面積を減じ、これ
らの磁気ディスク対向面(9)とは反対側の端面が、記
録ヘッドコイル(7)の最外周より磁気ディスク対向面
側にあることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果素子(以
下、MR素子と呼ぶ)と巻線型ヘッドの複合型薄膜磁気
ヘッドに関する。
下、MR素子と呼ぶ)と巻線型ヘッドの複合型薄膜磁気
ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】記憶部に巻線型ヘッド、再生部にMR素
子を用いた複合型薄膜磁気ヘッドは、それぞれ、記録・
再生特性を独立に最適化できるほか、記録幅を再生幅よ
り広くとることによりオフトラック時の読み取りマージ
ンを増加させる、いわゆるワイドライト・ナローリード
方式が採用できるため、磁気ディスク装置の性能を飛躍
的に向上させることが期待されている。
子を用いた複合型薄膜磁気ヘッドは、それぞれ、記録・
再生特性を独立に最適化できるほか、記録幅を再生幅よ
り広くとることによりオフトラック時の読み取りマージ
ンを増加させる、いわゆるワイドライト・ナローリード
方式が採用できるため、磁気ディスク装置の性能を飛躍
的に向上させることが期待されている。
【0003】図3(a)及び(b)は、従来の複合型薄
膜磁気ヘッドの例を示す平面図及びこの平面図中のA−
A′線での断面図であり、1は基板、2は絶縁層、3は
下シールド、4はMR素子、5は上シールド、6は下ポ
ール、7はコイル、8は上ポールである。
膜磁気ヘッドの例を示す平面図及びこの平面図中のA−
A′線での断面図であり、1は基板、2は絶縁層、3は
下シールド、4はMR素子、5は上シールド、6は下ポ
ール、7はコイル、8は上ポールである。
【0004】図3に示す複合型薄膜磁気ヘッドにおいて
は、絶縁層2を介して下シールド3及び上シールド5に
はさまれたMR素子4からなる再生部と、リング状の磁
気回路を形成する下ポール6及び上ポール8に周囲する
コイル7からなる記録部とから構成されている。下シー
ルド3、及び上シールド5はMR素子4の分解能を向上
させるため、MR素子4直下以外の磁気ディスクから発
する磁束を吸収する目的で配置されているが、その面積
は、コイル7が周回している領域に対して、十分広く設
定される。そのためコイル7をはじめ記録部の素子が形
成される下地面は平坦化され、記録部の素子の形成を容
易にしている。
は、絶縁層2を介して下シールド3及び上シールド5に
はさまれたMR素子4からなる再生部と、リング状の磁
気回路を形成する下ポール6及び上ポール8に周囲する
コイル7からなる記録部とから構成されている。下シー
ルド3、及び上シールド5はMR素子4の分解能を向上
させるため、MR素子4直下以外の磁気ディスクから発
する磁束を吸収する目的で配置されているが、その面積
は、コイル7が周回している領域に対して、十分広く設
定される。そのためコイル7をはじめ記録部の素子が形
成される下地面は平坦化され、記録部の素子の形成を容
易にしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
複合型薄膜磁気ヘッドにおいては、下シールド3及び上
シールド5の面積が広いため、MR素子との短絡を生じ
やすいという欠点があった。すなわち、MR素子4と、
下シールド3或いは上シールド5との間隔は、MR素子
4の分解能を向上させるため、極力狭く設定され、おお
よそ、0.1〜0.5μm の範囲内にある。従って、M
R素子4と下シールド3及び上シールド5の間の絶縁層
2にピンホール等の欠陥を生じやすく、MR素子4に供
給されるセンス電流が分流して感度の低下を引き起すだ
けでなく、雑音の発生を見ることがあった。
複合型薄膜磁気ヘッドにおいては、下シールド3及び上
シールド5の面積が広いため、MR素子との短絡を生じ
やすいという欠点があった。すなわち、MR素子4と、
下シールド3或いは上シールド5との間隔は、MR素子
4の分解能を向上させるため、極力狭く設定され、おお
よそ、0.1〜0.5μm の範囲内にある。従って、M
R素子4と下シールド3及び上シールド5の間の絶縁層
2にピンホール等の欠陥を生じやすく、MR素子4に供
給されるセンス電流が分流して感度の低下を引き起すだ
けでなく、雑音の発生を見ることがあった。
【0006】それ故に、本発明の技術的課題は、上述の
ようなMR素子4と下シールド3或いは上シールド5と
の間に短絡を生じにくい複合型薄膜磁気ヘッドを提供す
ることにある。
ようなMR素子4と下シールド3或いは上シールド5と
の間に短絡を生じにくい複合型薄膜磁気ヘッドを提供す
ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明によ
れば、下シールドと上シールドとの間に配置されたMR
素子、並びにリング状の磁気回路を形成する下ポールと
上ポールとの間にあって前記下ポールと前記上ポールと
の接続点を周回する様に配置されたコイルを有する複合
型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下シールド及び上シー
ルドの磁気ディスク対向面とは反対側の端面が、前記コ
イルの最外周より前記磁気ディスク対向面側にあること
を特徴とする複合型薄膜磁気ヘッドが得られる。
れば、下シールドと上シールドとの間に配置されたMR
素子、並びにリング状の磁気回路を形成する下ポールと
上ポールとの間にあって前記下ポールと前記上ポールと
の接続点を周回する様に配置されたコイルを有する複合
型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下シールド及び上シー
ルドの磁気ディスク対向面とは反対側の端面が、前記コ
イルの最外周より前記磁気ディスク対向面側にあること
を特徴とする複合型薄膜磁気ヘッドが得られる。
【0008】請求項2記載の発明によれば、前記MR素
子が、上シールドを兼ねる下ポールと前記下シールドと
の間に配置されており、前記下シールドの磁気ディスク
対向面とは反対側の端面が、前記コイルの最外周より前
記磁気ディスク対向面側にあることを特徴とする請求項
1記載の複合型薄膜磁気ヘッドが得られる。
子が、上シールドを兼ねる下ポールと前記下シールドと
の間に配置されており、前記下シールドの磁気ディスク
対向面とは反対側の端面が、前記コイルの最外周より前
記磁気ディスク対向面側にあることを特徴とする請求項
1記載の複合型薄膜磁気ヘッドが得られる。
【0009】請求項3記載の発明によれば、前記下シー
ルドと前記上シールドの少なくとも一方の磁気ディスク
対向面とは反対側の端部が、テーパー加工されているこ
とを特徴とする請求項1記載の複合型薄膜磁気ヘッドが
得られる。
ルドと前記上シールドの少なくとも一方の磁気ディスク
対向面とは反対側の端部が、テーパー加工されているこ
とを特徴とする請求項1記載の複合型薄膜磁気ヘッドが
得られる。
【0010】請求項4記載の発明によれば、前記下シー
ルドの磁気ディスク対向面とは反対側の端部が、テーパ
ー加工されていることを特徴とする請求項2記載の複合
型薄膜磁気ヘッドが得られる。
ルドの磁気ディスク対向面とは反対側の端部が、テーパ
ー加工されていることを特徴とする請求項2記載の複合
型薄膜磁気ヘッドが得られる。
【0011】即ち、本発明の複合型薄膜磁気ヘッドは、
下シールド及び上シールドの間にあるMR素子、並びに
リング状の磁気回路を形成する下ポール及び上ポールの
間にあって、下ポールと上ポールの接続点を周回する様
に配置されたコイルを有する複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、下シールド及び上シールドの磁気ディスク対向面
とは反対側の端面がコイルの最外周より磁気ディスク対
向面側にある。
下シールド及び上シールドの間にあるMR素子、並びに
リング状の磁気回路を形成する下ポール及び上ポールの
間にあって、下ポールと上ポールの接続点を周回する様
に配置されたコイルを有する複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、下シールド及び上シールドの磁気ディスク対向面
とは反対側の端面がコイルの最外周より磁気ディスク対
向面側にある。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0013】図1(a)及び(b)は本発明の第1の実
施例を示す平面図及びこの平面図中のA−A′線での断
面図である。
施例を示す平面図及びこの平面図中のA−A′線での断
面図である。
【0014】図1において、本実施例の複合型薄膜磁気
ヘッドは、絶縁層2を介して下シールド3及び上シール
ド5にはさまれたMR素子4からなる再生部と、リング
状の磁気回路を構成する下ポール6及び上ポール8の接
続点を周回するコイル7からなる記録部とから構成され
ている。コイル7の最外周の位置は、下シールド3及び
上シールド5の右端より磁気ディスク対向面9から後退
しており、下シールド3及び上シールド5の右端部はテ
ーパー状に加工されている。
ヘッドは、絶縁層2を介して下シールド3及び上シール
ド5にはさまれたMR素子4からなる再生部と、リング
状の磁気回路を構成する下ポール6及び上ポール8の接
続点を周回するコイル7からなる記録部とから構成され
ている。コイル7の最外周の位置は、下シールド3及び
上シールド5の右端より磁気ディスク対向面9から後退
しており、下シールド3及び上シールド5の右端部はテ
ーパー状に加工されている。
【0015】下シールド3及び上シールド5は、記録部
の領域より狭く、記録部を形成する下地面には下シール
ド3及び上シールド5による段差が残る。しかし、最も
高精度なパターンが要求されるコイル7に関しては、下
シールド3及び上シールド5の段差がない部分に形成さ
れるため、支障がない。
の領域より狭く、記録部を形成する下地面には下シール
ド3及び上シールド5による段差が残る。しかし、最も
高精度なパターンが要求されるコイル7に関しては、下
シールド3及び上シールド5の段差がない部分に形成さ
れるため、支障がない。
【0016】図1において、コイル7の最外周の磁気デ
ィスク対向面9からの後退量が大きくなると、磁気回路
の経路が長くなり、磁気抵抗が増すため好ましくない。
従って、下シールド3或いは上シールド5の幅には上限
がある。また、下シールド3及び上シールド5の厚さ
は、MR素子4に対するシールド効果の観点から下限が
あるので、10〜20μm が好ましい。
ィスク対向面9からの後退量が大きくなると、磁気回路
の経路が長くなり、磁気抵抗が増すため好ましくない。
従って、下シールド3或いは上シールド5の幅には上限
がある。また、下シールド3及び上シールド5の厚さ
は、MR素子4に対するシールド効果の観点から下限が
あるので、10〜20μm が好ましい。
【0017】下シールド3及び上シールド5の右端部
は、テーパー状に加工されているため、その上に絶縁層
2を介して形成される下ポール6は滑らかな面に形成さ
れ、面粗れによる磁気特性の劣化を防ぐことができる。
は、テーパー状に加工されているため、その上に絶縁層
2を介して形成される下ポール6は滑らかな面に形成さ
れ、面粗れによる磁気特性の劣化を防ぐことができる。
【0018】更に、MR素子4と下シールド3或いは上
シールド5が短絡する可能性がある領域は、上、下シー
ルドのある領域に限定されるので、図3に示す従来の複
合型薄膜磁気ヘッドに比較して、短絡による事故を大幅
に減らすことができる。
シールド5が短絡する可能性がある領域は、上、下シー
ルドのある領域に限定されるので、図3に示す従来の複
合型薄膜磁気ヘッドに比較して、短絡による事故を大幅
に減らすことができる。
【0019】図2(a)及び(b)は、本発明の第2の
実施例を示す平面図及びこの平面図A−A′線での断面
図である。
実施例を示す平面図及びこの平面図A−A′線での断面
図である。
【0020】図2において、本実施例の複合型薄膜磁気
ヘッドは、上シールドを兼ねる下ポール6と下シールド
3との間に配置されたMR素子4からなる再生部と、リ
ング状の磁気回路を構成する下ポール6と上ポール8と
の接続点を周回するコイル7からなる記録部とから構成
されている。コイル7の最外周の位置は、下シールド3
の右端より、磁気ディスク対向面9から後退しており、
下シールド3の右端部はテーパー状に加工されている。
ヘッドは、上シールドを兼ねる下ポール6と下シールド
3との間に配置されたMR素子4からなる再生部と、リ
ング状の磁気回路を構成する下ポール6と上ポール8と
の接続点を周回するコイル7からなる記録部とから構成
されている。コイル7の最外周の位置は、下シールド3
の右端より、磁気ディスク対向面9から後退しており、
下シールド3の右端部はテーパー状に加工されている。
【0021】図2に示す複合型薄膜磁気ヘッドにおいて
は、下ポール6が上シールドを兼ねているため、記録部
を形成する下地面には下シールド3による段差のみが残
り、図1に示す複合型薄膜磁気ヘッドに比較して、記録
部が形成しやすい。しかし、高精度が要求されるコイル
7に関しては下シールド3による段差を避けるため磁気
ディスク対向面9からの後退量は下シールド3の磁気デ
ィスク対向面9からの奥行きより大きくとる。また、第
1の実施例と同様にMR素子4と下シールド3或いは上
シールドを兼ねる下ポール6の短絡する可能性は少な
い。
は、下ポール6が上シールドを兼ねているため、記録部
を形成する下地面には下シールド3による段差のみが残
り、図1に示す複合型薄膜磁気ヘッドに比較して、記録
部が形成しやすい。しかし、高精度が要求されるコイル
7に関しては下シールド3による段差を避けるため磁気
ディスク対向面9からの後退量は下シールド3の磁気デ
ィスク対向面9からの奥行きより大きくとる。また、第
1の実施例と同様にMR素子4と下シールド3或いは上
シールドを兼ねる下ポール6の短絡する可能性は少な
い。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は下シール
ドと上シールドの大きさを制限し、MR素子と下シール
ド或いは上シールド間の短絡の可能性を減少させること
ができるので、信頼性の高い複合型薄膜磁気ヘッドを得
ることができる。
ドと上シールドの大きさを制限し、MR素子と下シール
ド或いは上シールド間の短絡の可能性を減少させること
ができるので、信頼性の高い複合型薄膜磁気ヘッドを得
ることができる。
【図1】図1は本発明の第1の実施例を示し、(a)は
平面図、(b)は(a)のA−A′線での断面図であ
る。
平面図、(b)は(a)のA−A′線での断面図であ
る。
【図2】図2は本発明の第2の実施例を示し、(a)は
平面図、(b)は(a)のA−A′線での断面図であ
る。
平面図、(b)は(a)のA−A′線での断面図であ
る。
【図3】従来の複合型薄膜磁気ヘッドの一例を示し、
(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′線での断面
図である。
(a)は平面図、(b)は(a)のA−A′線での断面
図である。
1 基板 2 絶縁層 3 下シールド 4 MR素子 5 上シールド 6 下ポール 7 コイル 8 上ポール 9 磁気ディスク対向面
Claims (4)
- 【請求項1】 下シールドと上シールドとの間に配置さ
れたMR素子、並びにリング状の磁気回路を形成する下
ポールと上ポールとの間にあって前記下ポールと前記上
ポールとの接続点を周回する様に配置されたコイルを有
する複合型薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下シールド及
び上シールドの磁気ディスク対向面とは反対側の端面
が、前記コイルの最外周より前記磁気ディスク対向面側
にあることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項2】 前記MR素子が、上シールドを兼ねる下
ポールと前記下シールドとの間に配置されており、前記
下シールドの磁気ディスク対向面とは反対側の端面が、
前記コイルの最外周より前記磁気ディスク対向面側にあ
ることを特徴とする請求項1記載の複合型薄膜磁気ヘッ
ド。 - 【請求項3】 前記下シールドと前記上シールドの少な
くとも一方の磁気ディスク対向面とは反対側の端部が、
テーパー加工されていることを特徴とする請求項1記載
の複合型薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項4】 前記下シールドの磁気ディスク対向面と
は反対側の端部が、テーパー加工されていることを特徴
とする請求項2記載の複合型薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4099468A JP2768372B2 (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
US08/311,709 US5555147A (en) | 1992-04-20 | 1994-09-23 | MR/inductive combined thin film magnetic head capable of reducing occurrence of a short circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4099468A JP2768372B2 (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05298624A true JPH05298624A (ja) | 1993-11-12 |
JP2768372B2 JP2768372B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=14248148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4099468A Expired - Fee Related JP2768372B2 (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | 複合型薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5555147A (ja) |
JP (1) | JP2768372B2 (ja) |
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