JPS58220240A - 磁気抵抗効果型磁気ヘツド - Google Patents

磁気抵抗効果型磁気ヘツド

Info

Publication number
JPS58220240A
JPS58220240A JP10139482A JP10139482A JPS58220240A JP S58220240 A JPS58220240 A JP S58220240A JP 10139482 A JP10139482 A JP 10139482A JP 10139482 A JP10139482 A JP 10139482A JP S58220240 A JPS58220240 A JP S58220240A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
magnetic field
shield layer
conductive
permalloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10139482A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Yoneda
弘 米田
Takeshi Sawada
武 沢田
Tetsuya Kaneko
哲也 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP10139482A priority Critical patent/JPS58220240A/ja
Publication of JPS58220240A publication Critical patent/JPS58220240A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気抵抗効果型磁気ヘッドに係り、さらに詳し
“くは反磁界を減少させ、短波長の再生能力を著るしく
増大させた磁気抵抗効果型磁気ヘッドに関するものであ
る。
磁気抵抗効果型磁気ヘッド(以下MRヘッドと言う)は
磁気抵抗効果−子(MR素子)を用いた磁気ヘッドであ
る。MR素子は抗効値が磁界の強さに依存して変化する
特性を利用したもので、再生出力が記録媒体の走行速度
に依存せず、磁気信号の波長のみによって決まるため、
低速でも十分な再生出力が得られ、I C(Integ
lated C1rcuit集積回路)と同様な薄膜技
術で製造することができるため、マルチトラック化が容
易であるなど利点を有し、最近では磁気記録再生装置の
再生用ヘッドとして注目を集めている。
このようなMRヘッドに使用されるMR素子の単体とし
ての再生特性は印加磁界の偶数関数とな多線形性が悪い
。そこで、MR素子にバイアス磁界を加え、再生特性の
うち線形性のよい領域を動作領域に選んで使用している
又、短波長までの再生に使用する場合には分解能を上げ
るためにMR素子の両側に磁性体からなるシールド層を
設けて使用している。
このような構造を有するMRヘッドにおいて、従来から
用いられているバイアス磁界を印加する方法としては永
久磁石を設は外部からMR素子に磁界を印加する方法と
、MR素子の近傍に導電層を設け、ここに電流を流して
バイアス磁界を発生させる方法がある。
永久磁石を用いる方法はシールド層が設けられている場
合にはMR素子自体に有効な磁界を加えることが困難で
、MR素子以外の部分にも磁界による影響を与えてしま
う欠点があった。
”一方、電流を流すことによルバイアス磁界を発生させ
る方法を採用したMRヘッドは第1図及び第2図に示す
ような構造を採用している。
(3) 両図において、符号1で示すものは基板で、この基板1
上にシールド層2及び導電層3を形成しこの導電層3上
にMR素子4及びリード線部5゜5を形成しである。こ
のMR素子4土には更にシールド層6を形成し、一番外
側から保護板1を重ねることによシMRヘッドを構成し
ている。
第2図においては各部間の絶縁を保つための絶縁層を符
号10で示しである。
第2図において符号8で示すものは保護板1を固定する
ための接着層、符号9は磁気記録媒体の摺動面を示す。
このような構造をもつMRヘッドは導電層3に電流を流
すことによりバイアス磁界を発生させることができ、シ
ールド層2.6によりシールド効果をも満足させること
ができる。
このような構造のもとでは磁気記録媒体に記録された磁
気信号の波長がλがMR素子1とシールド層2,6との
間の間隔Gll G2(Gl>62)に等しい時、再生
州内は極小となる。これは間隔G1.G2を従来のリン
グ型磁気ヘッドのギャップに対応させ(4) て考えると容易に理解できる。
このような構造のため、使用できる信号波長をλとする
と前述した間隔G1. ’G2との関係は次の(1)式
となる。
λ〉G□>G2    曲・−・・・・曲−(1)この
(1)式は使用すべき竺長λを小さくしたい場合にはG
□を小さくする必要があることを示している。
間隔G1は導電層3の厚みと、絶縁層1oの厚み2層分
との和である。
ところで、導電層3の厚みはバイアス磁界を発生する丸
めの電流量を確保する必要から下限がある。又、絶縁層
1oの厚みにも絶縁性確保のためにやはり下限がある。
      − この結果、従来の構造においては実際には間隔G1を2
μm以下とすることは困難である。この、ため(1)式
からこの構造で使用できる信号波長は2μm以上となシ
、これ以下の短波長の再生ができないという欠点があっ
た。
このような欠点を改良するために導電層3とシールド層
2とを入れ換えてG1を小さくしようとする構造が提案
されたが、導電層aがMR素子4から離れてしまいバイ
アス磁界を与える効率が悪くなってしまう。又、導電層
3を流れる電流を作る磁界がシールド層によってシール
ド作用を受け、MR素子の磁界が加わらないことになシ
、バイアス磁界を十分に印加することができないという
欠点があった。
本発明は以上のような従来の欠点を除去するためになさ
れたもので、MR素子に対するバイアス磁界を容易に加
えることができると共に、短波長の磁気信号の再生を可
能にしたMRヘッドを提供することを目的としている。
本発明においては上記の目的を達成するためにMR素子
の近傍に絶縁層を介して、シールド層としての機能と、
バイアス磁界発生のだめの電流量流す電流路としての機
能を果たす導電性シールド層な形成した構造を採用して
いる。
以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
第3図は本発明の一実施例を説明するもので、図中第1
図及び第2図と同一部分には同一符号を付しである。
第3図に示す実施例にあってはガラスやシリコン(Si
 )等からなる非磁性の基板1上に、蒸着法。
EB (Electron Beamr:エレクトロン
ビーム)蒸着法。
スパッタリング法等の薄膜堆積法と、フォトリングラフ
ィ技術によって導電性シールド層11が形成されている
。この導電性シールド層11はハ−マロイ、センダスト
、アモルファス磁性体等の導電性の高透磁率磁性材料か
らなシ、この上に、SiO□、 #、0.等からなる絶
縁層10が形成され、この絶縁層10の上にパーマロイ
等からなるMR素子4が形成されている。MR素子4の
上側には同じく絶縁層10が形成され、その上側にはパ
ーマロイ、センダスト、アモルファス磁性体、Mn−Z
nフェライト等の高透磁率磁性材料からなるシールド層
2が形成され、更にその上に水ガラス。
低融点ガラス、エポキシ樹脂等からなる接着層8を介し
て保護板7が接着されてする。
(7) このように、MR素子4の近傍に絶縁層を介して配置さ
れた導電性シールド層11を有するため、これにトラッ
ク方向、第3図においては紙面に垂直な方向へ電流を流
すことによfi、MR素子4の幅方向にバイアス磁界を
加えることができる。
即ち、導電性シールド層11はシールド層としての機能
とバイアス磁界用の電流を流す導電層としての機能との
両方の機能を備えている。
このような構造を採用すると、MR素子4の厚みが0.
05μmと極めて薄いことからMR素子4と導電性シー
ルド層11及びシールド層2との間の間隔G、、G、は
ほぼ絶縁層10の厚みによって決定される。
この結果、絶縁層10の厚みを0.25〜0.45μm
とすれば、G、、G2を0.3〜0.5μm程度と小さ
くすることができる。G1.G2を小さくすることがで
きれば前述した(1)式から磁気信号の波長λ゛を従来
の2μ・程度よシはる′ア・に短かいものとすることが
でき、短波長の再生が可能となる。
又、MR素子4の近傍に導電性シールド層11(8) を設けたことによりバイアス磁界を効率よく発生するこ
とができる。
更に導電性シールド層11に電流を流すためのリード部
を導電性シールド層11と兼用して一体的に形成すれば
層構造を減少させることができ製造工程の簡略化が計れ
る。
ところで、導電性シールド層11の材質としては前述し
たいくつかの材料のうちパーマロイが望ましい。これは
導電率がパーマロイが小さく、耐食性がよく製造が容易
であることによる9例えば78パーマpイの導電率は5
5μ釦町センダスト100μΩm、アモルファス磁性体
15.0μΩ国で、パーマロイの導電率が一番小さい。
一方、第3図に示す実施例において基板1を廁−Znフ
ェライト、Ni−Znフェライト等の磁性材から構成す
ると、シールド効果が更に高まり、導電性シールド層1
1に流す電流がバイアス磁界を発生する効率を高める効
果がある。
ただし、基板1の導電性が問題となる場合には導電性シ
ールド層11との間に絶縁層を設ける必要がある゛。
第4図は本発明の他の実施例を説明するもので、本実施
例にあっては第3図と比較して明らかなようにシールド
層2と導電性シールド層11との配置を入れ換えた構造
を採用している。
このような構造を採用すると第3図に示した実施例と同
様の効果が得られる他に各層を形成する上で平面性を確
実に保つ効果がある。又、基板1f Mn −Znフエ
□ライト、センダスト等の磁性材料で構成すると、シー
ルド層2を省略することができ、層構造を減少させ簡略
化できる。
第5図は本発明の更に他の実施例全説明するもので、本
実施例にあってはMR素子4な挾んで絶縁層10金介し
て導電性シールド層11.11を設けである。
このような構造を採用すると2つの導電性シールド層に
バイアス磁界用の電流金流すことができる。
ただし、2つの導電性シールド層11.11にはそれぞ
れ逆向きの電流を流しMR素子4に対しては同一方向の
バイアス磁界が加わるように構成されている。
この結果、バイアス磁界発生の効果が2倍となり大きな
バイアス磁界を加えることを可能にしている。換言すれ
ば必要なバイアス磁界を得るだめの電流を2つの導電性
シールド層で分担でき、発熱量を小さくすることが可能
となる。
ところで、ここで上述した各実施例において示した導電
性シールド層11の幅について説明する。
とじて示したが、この幅WstiMR素子4のストライ
プ幅(第1図1c WMRで示す)と同一である必要は
なく、導電性シールド層11の幅は次のようにして決定
される。
即ち十分なシールド効果を得るためにはW8はWMRよ
り十分大きい方が望ましい。しかし、バイアス磁界発生
の観点から考えると、導電性シールド層11のうちMR
素子4からはみ出た部分を流れる電流がバイアス磁界発
生のために寄与する割(11) 合は小さい。そヒて、W8 ′f:WMILよりもあま
シ大きくするとバイアス磁界発生の効率が悪くなる。
従って、上述した点と製造上の便宜を考慮すると導電性
シールド層11の幅Wsは次の(2)式で決定される範
囲にあることが望ましい。
WMR≦Ws≦3WMIL   ・・・・・・・・・・
・・・・・ (21上述した各実施例は単一トラックに
適用した場合について示したが、勿論マルチトラック化
した場合についても同様の効果が得られる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、MR素
子に近接して導電性磁性材料からなる電流路を設けた構
造を採用しているため、短波長の再生を可能とし、電流
によるバイアス磁界の印加能力を向上させ、積層される
層の数で減少させ構造を簡単にし製造を容易にすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のMRヘッドの分解斜視図、第2図は従来
のMRヘッドの一部拡大縦断側面図、第3図〜第5図は
本発明のそれぞれ異なった実施例(12) を示す一部拡大縦断側面図である。 1・・・基板      2.6・・・シールド層4・
・・MR素子     1・・・保護板869.接着層
      9・・・磁気記録媒体摺動面10・・・絶
縁層     11・・・導電性シールド層0O N泊9♀− 手続補正書(自発) 昭和57年 9月 1日 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和 57 年特許願 第 101394  号2、発
明の名称 磁気抵抗効果型磁気ヘッド 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 名  称     (100)  キャノン株式会社4
、代理人    電話 03 (26B)2481 (
((D図面 6、補正の内容 別紙の通り 補正の内容 l)明細書第2頁第11行目の「抗効値」を「抵抗値」
に訂正する。 2)図中、第1図、第2図、第4図を別紙の通り補正す
る。 第1図 第2図 第4図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に薄膜堆積法によシ磁気抵抗効果素子を形
    成した磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前記磁気抵
    抗効果素子に近接して導電性シールド層を形成し、この
    導電性シールド層をバイアス磁界発生のための電流路と
    すると共にシールド層を兼ねさせたことを特徴とする磁
    気抵抗効果型磁気ヘッド。
  2. (2)導電性シールド層を磁気抵抗効果素子の一方の側
    に形成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
  3. (3)導電性シールド層を磁気抵抗効果素子を挾んで配
    置し、それぞれの導電性シールド層に流れる電流の向き
    を逆向きになるように構成したことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
  4. (4)  導電性シールド層をパーマロイから形成した
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項〜第3項までの
    いずれか1項記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
JP10139482A 1982-06-15 1982-06-15 磁気抵抗効果型磁気ヘツド Pending JPS58220240A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10139482A JPS58220240A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 磁気抵抗効果型磁気ヘツド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10139482A JPS58220240A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 磁気抵抗効果型磁気ヘツド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58220240A true JPS58220240A (ja) 1983-12-21

Family

ID=14299520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10139482A Pending JPS58220240A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 磁気抵抗効果型磁気ヘツド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58220240A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5555147A (en) * 1992-04-20 1996-09-10 Nec Corporation MR/inductive combined thin film magnetic head capable of reducing occurrence of a short circuit
US5568335A (en) * 1994-12-29 1996-10-22 International Business Machines Corporation Multi-layer gap structure for high resolution magnetoresistive read head
US6061210A (en) * 1997-09-22 2000-05-09 International Business Machines Corporation Antiparallel pinned spin valve with high magnetic stability

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5555147A (en) * 1992-04-20 1996-09-10 Nec Corporation MR/inductive combined thin film magnetic head capable of reducing occurrence of a short circuit
US5568335A (en) * 1994-12-29 1996-10-22 International Business Machines Corporation Multi-layer gap structure for high resolution magnetoresistive read head
US6061210A (en) * 1997-09-22 2000-05-09 International Business Machines Corporation Antiparallel pinned spin valve with high magnetic stability

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4896235A (en) Magnetic transducer head utilizing magnetoresistance effect
US5218497A (en) Magnetic recording-reproducing apparatus and magnetoresistive head having two or more magnetoresistive films for use therewith
US5402292A (en) Magnetoresistance effect type thin film magnetic head using high coercion films
JPS6114572B2 (ja)
US4734644A (en) Flux cancelling yoke type magnetic transducer head
JPS61120318A (ja) 一体化薄膜磁気ヘツド
JPH0291807A (ja) 複合型薄膜磁気ヘッド
JPS58220240A (ja) 磁気抵抗効果型磁気ヘツド
JPH064832A (ja) 複合型薄膜磁気ヘッド
JPS61104413A (ja) 薄膜磁気ヘツド
JPH03286413A (ja) 磁気抵抗郊果型ヘッド
JPS6258411A (ja) 磁気抵抗効果型磁気ヘツド
JPS61134913A (ja) 磁気抵抗型薄膜ヘツド
JPH026490Y2 (ja)
JPH04159606A (ja) 複合型薄膜磁気ヘッド
JPH0528436A (ja) 磁気抵抗効果型ヘツド
JPS6050607A (ja) 垂直磁気記録再生ヘツド
JPS63138515A (ja) 薄膜磁気ヘッド
US20020018324A1 (en) Ferromagnetic tunneling magneto-resistive head
JPS622363B2 (ja)
JPH0572642B2 (ja)
JPS6326452B2 (ja)
JPH05242433A (ja) 磁気ヘッド
JPH0441413B2 (ja)
JPH0542729B2 (ja)