JPH05267842A - 金属ベース基板の製造方法 - Google Patents

金属ベース基板の製造方法

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JPH05267842A
JPH05267842A JP4062038A JP6203892A JPH05267842A JP H05267842 A JPH05267842 A JP H05267842A JP 4062038 A JP4062038 A JP 4062038A JP 6203892 A JP6203892 A JP 6203892A JP H05267842 A JPH05267842 A JP H05267842A
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JP
Japan
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epoxy resin
copper foil
varnish
foil
metal base
Prior art date
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Pending
Application number
JP4062038A
Other languages
English (en)
Inventor
Teiichi Inada
偵一 稲田
Shigeharu Ariga
茂晴 有家
Hiromi Senba
広美 仙波
Seiji Mimori
誠司 三森
Kazuhito Obata
和仁 小畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05267842A publication Critical patent/JPH05267842A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】放熱性と絶縁特性に優れた金属ベース基板を、
効率良く製造する方法を提供すること。 【構成】25℃で液状のエポキシ樹脂100重量部と重
量平均分子量が15,000以上のエポキシ樹脂20〜
55重量部と無機フィラー300〜500重量部と有機
溶剤と、上記エポキシ樹脂の硬化剤よりなるワニスを銅
箔の接着処理面に塗布し、まず、銅箔裏面より乾燥させ
た後、さらに少なくともワニスの塗膜面から乾燥させた
絶縁層付銅箔を作製し、次に、この絶縁層付銅箔と金属
板を重ね合わせ加圧加熱により一体化すること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属ベースプリント配
線板に用いられる金属ベース基板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高電圧で駆動するパワートランジ
スタやハイブリッドICを高密度にプリント配線板に実
装する例が増加し、熱処理の問題が重要になってきた。
このため、放熱性に優れた金属ベース基板が使用されて
いる。この製造方法としては、ガラス布に熱伝導性向上
のためにセラミックス粒子を添加した有機溶剤含有エポ
キシ樹脂を含浸塗布したのち、半硬化状態にしたプリプ
レグを銅箔と金属板の間に配置して加圧加熱一体化する
方法がある。この方法による金属ベース基板では、ガラ
ス布への含浸性を保持するために、ワニスにセラミック
ス粒子を多量に添加することができず、放熱性の問題が
ある。
【0003】この解決策として、セラミックス粒子を多
量に添加した有機溶剤含有ワニスを銅箔に塗布し、通常
の乾燥炉で乾燥した絶縁層付銅箔を金属板と重ね合わせ
加圧加熱一体化する方法がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の技術による金属ベース基板では、放熱性は良好
であるが、溶剤や空気に起因するボイドが発生し、絶縁
特性が低下するという課題があった。
【0005】本発明は、放熱性と絶縁特性に優れた金属
ベース基板を、効率良く製造する方法を提供することを
目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の金属ベース基板
の製造方法は、25℃で液状のエポキシ樹脂100重量
部と重量平均分子量が15,000以上のエポキシ樹脂
20〜55重量部と無機フィラー300〜500重量部
と有機溶剤と、上記エポキシ樹脂の硬化剤よりなるワニ
スを銅箔の接着処理面に塗布し、まず、銅箔裏面より乾
燥させた後、さらに少なくともワニスの塗膜面から乾燥
させた絶縁層付銅箔を作製し、次に、この絶縁層付銅箔
と金属板を重ね合わせ加圧加熱により一体化したことを
特徴とするものである。
【0007】本発明のワニスに用いる25℃で液状のエ
ポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシのエ
ピコート812、828、834(油化シェル株式会社
製、商品名)、ビスフェノールF型エポキシのYDF−
170(東都化成株式会社製、商品名)、ノボラック型
エポキシのDEN−431(ダウケミカル株式会社製、
商品名)、ESCN001(住友化学株式会社製、商品
名)、アミノエポキシのELM−120(住友化学株式
会社製、商品名)、ポリエポキシのディナコールEX−
411(ナガセ化成株式会社製、商品名)などが使用可
能である。また、重量平均分子量が15,000以上の
エポキシ樹脂としては、フェノトートYP−40、YP
−50(東都化成株式会社製、商品名)、PKHH(ユ
ニオンカーバイド株式会社製、商品名)、OL−53−
L−32(油化シェル株式会社製、商品名)などが使用
可能である。
【0008】熱伝導性の向上のための無機フィラーとし
ては、Al23、SiC、BN、SiO2などのセラミ
ックス粒子を使用することが可能である。エポキシ樹脂
の硬化剤としては特に制限するものではないが、ワニス
ライフの長い潜在性の高いものが好ましい。この例とし
ては、三級アミン、酸無水物、イミダゾール化合物、ポ
リフェノール樹脂、マスクイソシアネートなどの一種以
上を使用することができる。また、ワニスに使用する有
機溶剤としては、上記したエポキシ樹脂と硬化剤が溶解
すれば特に制限するものではなく、例えば、アセトン、
MEK、トルエン、キシレン、メチルグリコール、酢酸
セロソルブ、ジメチルホルムアミドなどの単独又は混合
して使用することが可能である。
【0009】上記成分を含有するワニスの製造法として
は、らいかい器、三本ロール及びビーズミルなどを組合
わせて行うことができる。なお、無機フィラーの分散を
十分に行う混練法ならば、どのような方法でも良い。ま
た、ワニスの作製後、真空脱気によりワニス中の空気を
除去することが好ましい。
【0010】25℃で液状のエポキシ樹脂を使用した理
由は、無機フィラーの分散性向上と架橋密度向上であ
る。また、重量平均分子量15,000以上のエポキシ
樹脂を使用した理由は、硬化物の可とう性向上のためで
あり、20重量部未満では外形加工時に端部にクラック
が発生する場合がある。また、55重量部を越えると、
銅箔との引き剥し強さが低下するので、20〜55重量
部が好ましい。
【0011】また、無機フィラーは300重量部未満で
は、熱抵抗が1.5℃/W以上(膜厚150μm)とな
り、放熱性の点で好ましくない。また、500重量部を
越えると絶縁破壊電圧のバラツキが大きくなるので、3
00〜500重量部の範囲が好ましい。
【0012】次に、図1に示すように、バーコータのワ
ニス溜めにワニス1を入れ、18〜70μm の銅箔2の
接着処理面3に塗膜を形成後、銅箔裏面から赤外線ヒー
タ5で乾燥させる。なお、これは赤外線ヒータに限定す
るものではなく、熱風や加熱したロールや板を接触させ
る方式を用いても良い。次に、少なくともワニスの塗膜
面から乾燥させるために乾燥炉6に入り、所定の加熱を
行って半硬化状態の絶縁層付銅箔7を作製する。
【0013】次に、絶縁層付銅箔7の絶縁層面と金属板
8を接触させ、プレスにより加圧加熱一体化することに
より金属ベース基板を得ることができる。金属板8とし
ては、アルミ板、銅板、鉄板などを使用することがで
き、必要に応じて、その接着面を研磨、エッチングやシ
ランカップリング剤処理、プライマー塗布などを行って
も良い。
【0014】
【作用】本発明によれば、25℃で液状のエポキシ樹脂
が主成分であるため、多量の無機フィラー分散が容易か
つ良好な有機溶剤含有ワニスを得ることができる。ま
た、重量平均分子量が15,000以上のエポキシ樹脂
を含有するため、可とう性に優れた絶縁層を得ることが
できる。さらに乾燥工程で、まず、銅箔裏面より加熱す
るため、銅箔近傍の塗工膜中の空気及び溶剤分が揮散し
やすく、ボイドの少ない塗膜を得ることができる。この
ため、絶縁特性と放熱性いずれも優れた金属ベース基板
を作製することができる。
【0015】
【実施例】実施例1〜4 (1)表1に示した材料のうち、液状エポキシと無機フ
ィラーと有機溶剤(MEK/メチルグリコール=2/
1)をらいかい器で混合する。次に、その他の材料を添
加したのち、ビーズミルで混練し、さらに上記有機溶剤
で粘度1500±250cps(25℃)に調整し、真
空脱気する。
【0016】
【表1】 (2)図1に示す装置を使用して、厚さ35μm の銅箔
に、乾燥後の塗膜厚が70μm になるように塗工後、銅
箔裏面から100℃/2分乾燥し、塗膜面から120℃
/2分と145℃/4分間乾燥した。 (3)厚さ1.0mmt のアルミ板の#600のベルトサ
ンダーで研磨、洗浄後、上記絶縁層付銅箔と重ね合わ
せ、170℃/20kgf/cm2 /30分の条件で加圧加熱
した。 (4)次に、オーブン中で210℃/10分間加熱し
た。
【0017】比較例1〜2 (1)実施例1と2のワニスを使用して、厚さ35μm
の銅箔に、乾燥後の塗膜厚が70μmのなるように塗工
後、塗膜面から100℃/2分、120℃/2分と14
5℃/4分の乾燥を行った。 (2)実施例1の(3)と(4)の工程を行った。 このようにして得られた金属ベース基板の特性を表2に
示した。
【0018】
【表2】 注1)最小BDV:最小絶縁破壊電圧(DC) 2)半田耐熱性:300℃−30秒
【0019】本発明による金属ベース基板では、比較例
に比べて、絶縁破壊電圧特性及びはんだ耐熱性に優れて
いることが分かる。
【0020】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明による金
属ベース基板には次の効果が得られる。 (1)熱抵抗が低く放熱性に優れていると同時に、絶縁
破壊電圧特性及びはんだ耐熱性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明するための各工程の断
面図である。
【図2】本発明の一実施例を示す金属ベース基板の断面
図である。
【符号の説明】
1.ワニス 2.銅箔 3.銅箔の接着処理面 4.塗膜 5.ヒータ 6.乾燥炉 7.絶縁層付銅箔 8.金属板
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B32B 31/12 7141−4F C09J 163/00 JFM 8830−4J JFN 8830−4J H05K 3/38 E 7011−4E (72)発明者 三森 誠司 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社五所宮工場内 (72)発明者 小畑 和仁 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社五所宮工場内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】25℃で液状のエポキシ樹脂100重量部
    と、重量平均分子量が15,000以上のエポキシ樹脂
    20〜55重量部と、無機フィラー300〜500重量
    部と、有機溶剤と、上記エポキシ樹脂の硬化剤よりなる
    ワニスを銅箔の接着処理面に塗布し、銅箔をワニスの塗
    膜面の裏面から加熱乾燥した後、ワニスの塗膜面から乾
    燥し、この絶縁層付銅箔と金属板を重ね合わせ加圧加熱
    により積層一体化したことを特徴とする金属ベース基板
    の製造方法。
JP4062038A 1992-03-18 1992-03-18 金属ベース基板の製造方法 Pending JPH05267842A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08319466A (ja) * 1995-03-20 1996-12-03 Fujitsu Ltd 接着剤、半導体装置及びその製造方法
EP0973365A2 (en) * 1998-07-17 2000-01-19 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Method of drying copper foil and copper foil drying apparatus
JP2010036356A (ja) * 2008-07-31 2010-02-18 Sumitomo Chemical Co Ltd 積層体及びその製造方法並びに回路基板用部材

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0973365A2 (en) * 1998-07-17 2000-01-19 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Method of drying copper foil and copper foil drying apparatus
EP0973365A3 (en) * 1998-07-17 2002-01-02 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Method of drying copper foil and copper foil drying apparatus
JP2010036356A (ja) * 2008-07-31 2010-02-18 Sumitomo Chemical Co Ltd 積層体及びその製造方法並びに回路基板用部材

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