JP2000290613A - 熱硬化性接着シート - Google Patents

熱硬化性接着シート

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JP2000290613A
JP2000290613A JP11104687A JP10468799A JP2000290613A JP 2000290613 A JP2000290613 A JP 2000290613A JP 11104687 A JP11104687 A JP 11104687A JP 10468799 A JP10468799 A JP 10468799A JP 2000290613 A JP2000290613 A JP 2000290613A
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Junya Yamamoto
純也 山本
Kazuhito Obata
和仁 小畑
Kenichi Nagao
賢一 長尾
Yoshitsugu Matsuura
佳嗣 松浦
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】低温低圧で熱接着硬化でき、且つポリイミド等
のフィルム材料、金属、シリコン、エポキシ、セラミッ
ク等に対する接着性が硬化時、半硬化時共に優れ、半硬
化時の加工性に優れ、硬化時の耐湿性、耐熱性、高熱伝
導性を併せ持つ熱硬化性接着シートを提供すること。 【解決手段】三層構造からなる接着シートであって、第
1層が、エポキシ樹脂、ゴム成分、及び硬化剤成分から
なり、第2層がエポキシ樹脂、ゴム成分、及び硬化剤成
分からなる組成物に20〜90体積%の無機充填材を添
加してなり、第3層が、エポキシ樹脂、ゴム成分、及び
硬化剤からなる接着剤組成物を基材フィルムに順次塗布
し、半硬化剤状態に熱処理してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品、半導体
部品接着材料として、熱ロール、熱プレス等により低温
低圧で熱接着硬化でき、且つポリイミド等のフィルム材
料、金属、シリコン、エポキシ、セラミック等に対する
接着性が硬化時、半硬化時共に優れ、半硬化時の加工性
に優れ、硬化後の耐湿性、耐熱性、高熱伝導性を併せ持
つ熱硬化性接着シートに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電子部品、半導体部品接着材料の
接着剤としては、ガラスエポキシプリプレグやエポキシ
樹脂に各種ゴムを添加した接着シート材料、液状の接着
剤を塗布して接着する等の方法が取られている。ここで
ガラスエポキシプリプレグを使用した場合、接着条件が
高温で長時間を要する、吸湿後の密着性の確保が困難で
ある、加工時に切断粉が発生する等の問題があった。ま
た、エポキシ樹脂に各種ゴムを添加した接着シート材料
は、接着シート自身の凝集破壊が起こり易い、接着剤の
耐熱性が乏しい等の欠点があった。さらに液状の接着剤
では作業工数が大きい、塗布時のにじみ、ずれ等による
扱いづらさ等の問題があった。また電子部品、半導体部
品接着の分野では小型化、高性能化により発熱量が大き
くなっており、充填材を含まない熱抵抗の大きい熱硬化
性接着シートを用いた場合、各種部品の誤作動の問題が
あった。さらに近年の電子部品、半導体部品の小型化、
高性能化は特に著しく、熱硬化性接着シートはそれに対
応するために充填材添加量の増加が必要となっている。
しかし接着シートの充填材を高密充填した場合、接着硬
化時の接着剤成分の硬化収縮、残溶剤の揮発により接着
剤層にボイドが発生し、吸湿時の耐電圧の低下、マイグ
レーション等の問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる状況に
鑑みてなされたもので、電子部品、半導体部品接着材料
として、低温低圧で熱接着硬化でき、且つポリイミド等
のフィルム材料、金属、シリコン、エポキシ、セラミッ
ク等に対する接着性が硬化時、半硬化時共に優れ、半硬
化時の加工性に優れ、硬化後の耐湿性、耐熱性、高熱伝
導性を併せ持つ熱硬化性接着シートを提供することを目
的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】かかる目的は本発明によ
れば、第1層として、エポキシ樹脂、ゴム成分、及び硬
化剤成分からなる接着剤組成物を、第2層としてエポキ
シ樹脂、ゴム成分、及び硬化剤成分からなる接着剤成分
に20〜90体積%の無機充填材を添加してなる接着剤
組成物を、第3層としてエポキシ樹脂、ゴム成分、及び
硬化剤成分からなる接着剤組成物を基材フィルムに塗布
し、半硬化状態に熱処理して3層構造とした熱硬化性接
着シートにより達成される。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明で用いられるエポキシ樹脂
としては、特に制限するものではないが、好ましくはエ
ポキシ当量250以下の室温で液状のものが好ましく、
エポキシ当量250以下のエポキシ樹脂を用いることに
より、70〜140℃の低温での熱ロール圧着、熱プレ
ス圧着性の向上が計れる。また、硬化後のTgの低下を
防止できる。このようなエポキシ樹脂としてはエピコー
ト828、エピコート815(油化シェル(株)製)、
エピクロン850、エピクロン840(大日本インキ化
学(株)製)等がある。また、フェノールノボラック型
エポキシ樹脂を全エポキシ成分の10〜50%添加する
ことにより、耐熱性(Tg)の向上を図ることができ
る。このようなフェノールノボラック型エポキシには、
ESCN−001(住友化学工業(株)製)、エピクロ
ンN−673(大日本インキ化学(株)製)等がある。
【0006】硬化促進剤としては、各種イミダゾール類
を使用することが望ましい。イミダゾールとしては、2
−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダ
ゾール、1−シアノエチル−4−フェニルイミダゾール
等が挙げられ、2MZ、2E4MZ、2PZ−CN、2
PZ−CNS(四国化成工業(株)製)等がある。重量
平均分子量(Mw)が5万以上のゴム成分の添加はエポ
キシ樹脂、硬化剤成分だけでは半硬化状態での膜特性が
確保できない為である。ゴム成分の添加量が100重量
部未満では、半硬化時に基材フィルムから剥離する時割
れの現象が発生し、170重量部を超えると硬化物の耐
熱性(Tg)が急激に低下するという問題があるため、
添加量は100〜170重量部が好ましい。ゴム成分と
しては分子中に反応性の官能基をもったものが好まし
く、官能基としてはエポキシ基、カルボキシル基、ヒド
ロキシル基、アミノ基などがあげられる。ゴム成分のこ
れら官能基が硬化に関与し、ゴム成分添加による硬化時
の急激なTgの低下を防止させ、さらにエポキシとの相
溶性を向上させる。このようなゴム成分にはHTR−8
60P−3(エポキシ変性アクリルゴム;帝国化学産業
(株)製)等がある。
【0007】無機充填材の材質は放熱性と絶縁性に優れ
たものであれば特に制限はなく、酸化アルミニウム、窒
化アルミニウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素等の一
般に高熱伝導剤と称されるものが使用される。また、無
機充填材は球形であることが好ましい。無機充填材が針
状、鱗片状等の場合、接着剤樹脂中に高密度充填するこ
とが困難となり、その結果絶縁層内に空隙が発生し絶縁
破壊電圧が低下するため好ましくない。無機充填材の添
加量は、20体積%未満の場合には、加熱加圧による圧
着時の流動性が大きく膜厚を均一に保つことが難しく、
90体積%を越える場合には、ワニス粘度上昇等により
基材フィルムへの塗布が困難となる。また成膜後のシー
トに柔軟性が小さく取り扱い時にクラック発生の問題が
ある。このため、添加量は20〜90体積%が好まし
い。使用される無機充填材粒子径は、最大粒径60μm
以下であることが必須である。最大粒径60μm以上の
場合には、内部に空隙を持つ凝集粒子を含むことが多
く、この凝集粒子が耐電圧を低下させるため好ましくな
い。このような無機充填材には、AS−20、AS−5
0(昭和電工(株)製 酸化アルミニウム)等がある。
また、無機充填材の表面改質、分散性向上のため、シラ
ンカップリング剤を添加してもよい。シランカップリン
グ剤には、A−187、A−189、A−1100、A
−1160(日本ユニカー(株)製)等が挙げられる。
また、無機充填材は先に表面改質、分散性向上処理を施
したものを使用しても良い。
【0008】熱硬化性接着シートは、前記の接着剤組成
物をMEK、トルエン等の有機溶剤により溶解し、基材
に塗布し乾燥することで得られる。基材にはPET、ポ
リイミド、ポリエチレン、銅箔等が挙げられ、乾燥温度
に耐えられるものであれば、特に限定させるものではな
い。接着シートの第1層、第3層の膜厚を3μmより厚
くすると、圧着後に絶縁層は第1層、第3層が第2層に
しみ込まず、圧着後にも層構造状態となるために、高熱
伝導率は得られない。このため第1層、第3層の膜厚は
3μm以下が好ましい。乾燥条件としては特に限定され
ないが、接着シートの硬化率を10〜60%に乾燥条件
により調整することが必要である。この時硬化率が10
%未満であると、30℃以上の温度で粘着性を発生させ
てしまい、ブロッキングの発生や、取り扱いのしにくさ
等の弊害が発生してしまう。さらに硬化率が60%を超
えると圧着温度条件が140℃以上、圧力条件が10k
g/cm2 以上と低温低圧での接着が困難になる。した
がって硬化率としては10〜60%が好ましい。
【0009】ここで、硬化率は以下のように定義するも
のとする。 未硬化状態の樹脂組成物のDSCの発熱量=A(J/
g) 乾燥後の半硬化状態の樹脂組成物のDSCの発熱量=B
(J/g) 硬化率(%)=(A−B)/A×100 これにより、圧着温度140℃、圧着圧力10kg/c
2 以下、硬化温度150℃(60分)の低温低圧によ
る圧着が可能となり、ポリイミド等のフィルム材料、金
属、シリコン、セラミック等に対する接着性が硬化時、
半硬化時共に優れ、半硬化時加工性に優れ、硬化時の耐
湿性、耐熱性、高熱伝導性を併せ持つ熱硬化性接着シー
トを得ることができた。
【0010】
【実施例】以下本発明を実施例に基づき、さらに具体的
に説明する。 実施例1 エポキシ樹脂エピコート828を60重量部、硬化剤L
F−2882(大日本インク(株)社製 フェノールノ
ボラック OH基当量118)を40重量部、ゴム成分
HTR−860P−3を150重量部、硬化促進剤2P
Z−CNを1.0重量部を有機溶剤MEK100重量部
に溶解し1時間撹拌し、第1及び第3層用ワニスを作製
した。また、エポキシ樹脂エピコート828を60重量
部、硬化剤LF−2882を40重量部、ゴム成分HT
R−860P−3を150重量部、硬化促進剤2PZ−
CNを1.0重量部、シランカップリング剤A−187
を3.0重量部、無機充填材(AS−50)70体積部
を有機溶剤MEK100重量部に溶解し1時間撹拌した
後、混練機で1時間混練し、第2層用ワニスを作製し
た。これらを順次、膜厚75μmのPET基材上に塗布
し、それぞれ100℃、8分乾燥し、第1層は膜厚2μ
m、第2層は膜厚100μm、第3層は膜厚2μmとし
た3層構造からなる硬化度30%の熱硬化性接着シート
を作成した。評価方法としては、未硬化状態の基材付き
接着シートの30℃の雰囲気での粘着性の有無、10℃
での切断加工時の加工性、及び基材フィルムからの剥離
の有無について確認した。さらに接着品の評価には、熱
硬化性接着シートでポリイミドと電解銅箔とを120
℃、10kg/cm2 で、3分圧着し、その後常圧15
0℃で60分硬化し、評価用の試験片を得た。評価項目
及び結果を表1に示す。
【0011】実施例2〜5 さらに同様の方法により、組成を変えて作成した接着シ
ートの実施例2〜5を表1に示す。
【0012】比較例1〜5 実施例と同様の方法により、作成した接着シートの比較
例1〜5を表2に示す。比較例1はゴム成分が規定より
少ないものであり、切断加工性が低下した。比較例2は
ゴム成分が規定より多いものであれば、耐熱性(Tg)
が低下した。比較例3は無機充填材が規定より多いもの
であり、絶縁破壊電圧性が低下した。比較例4は硬化率
が規定より少ないものであり、ブロッキングが発生し
た。比較例5は硬化率が規定より多いものであり、PC
T後、剥離が発生した。
【0013】実施例6 実施例1と同様な方法により接着シートを作成し、無機
充填材の形状、粒子径について確認した。評価は、熱硬
化性接着シートでアルミニウム板と電解銅箔とを120
℃、10kg/cm2 で、3分圧着し、常圧150℃で
60分硬化し、評価用の試験片を得た。評価項目は絶縁
破壊電圧について調べた。その結果を表3に示す。
【0014】比較例6、7 実施例1と同様な方法により接着シートを作成し、無機
充填材の形状、粒子径について確認した。比較例6は鱗
片状、比較例7は最大粒子径70μmの無機充填材を用
いた。評価は、熱硬化性接着シートでアルミニウム板と
電解銅箔とを120℃、10kg/cm2 、3分圧着
し、その後常圧150℃で60分硬化し、評価用の試験
片を得た。評価項目は絶縁破壊電圧について調べた。そ
の結果を表3に示す。比較例6、7とも絶縁破壊電圧が
低下した。
【0015】比較例8〜9 実施例1と同様な方法により接着シートを作成し、接着
シートの第1、第3層の膜厚について確認した。比較例
8は第1、第3層を無くしたものであり、比較例9は第
1、第3層の膜厚を4μmとしたものである。これらの
熱硬化性接着シートでアルミニウム板と電解銅箔とを1
20℃、10kg/cm2 で、3分圧着しその後常圧1
50℃で60分硬化し、評価用の試験片を得た。これら
の熱抵抗及び絶縁破壊電圧を測定し熱伝導率を得た。そ
の結果を実施例1とあわせて表4に示す。比較例8は絶
縁破壊電圧が低下し、比較例9は熱伝導率が大きくなっ
た。
【0016】
【表1】
【0017】
【表2】
【0018】
【表3】
【0019】
【表4】
【0020】
【発明の効果】本発明によれば、電子部品、半導体部品
接着材料として、低温低圧で圧着し熱接着硬化でき、且
つポリイミド等のフィルム材料、金属、シリコン、エポ
キシ、セラミック等に対する接着性が硬化時、半硬化時
共に優れ、半硬化時の加工性に優れ、硬化時の耐湿性、
耐熱性、高熱伝導性を併せ持つ熱硬化性接着シートの提
供が可能となった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B32B 27/38 B32B 27/38 C08J 5/12 CFC C08J 5/12 CFC C08L 63:00 (72)発明者 長尾 賢一 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社五所宮工場内 (72)発明者 松浦 佳嗣 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社五所宮工場内 Fターム(参考) 4F071 AA33 AA42 AB18 AB22 AB27 AC12 AE02 AH12 BA02 BB13 BC02 4F100 AA00C AA00H AB17E AH03H AK41A AK49E AK53B AK53C AK53D AK53K AL05B AL05C AL05D AN00B AN00C AN00D AT00A BA04 BA05 BA07 BA10A BA10D BA10E BA13 CA02 CA02B CA02C CA02D CA23C DE04C DE04H EJ08 GB41 JA07B JA07C JA07D JD04 JJ01 JJ03 YY00B YY00C YY00D 4J004 AA05 AA13 AB05 CA06 CB03 CE01 FA05 4J040 DF061 EC002 GA05 GA07 GA11 GA13 JA09 JB02 KA03 KA16 KA42 LA01 LA06 LA07 LA08 NA19 NA20

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1層として、エポキシ樹脂、ゴム成分、
    及び硬化剤成分からなる接着剤組成物を、第2層として
    エポキシ樹脂、ゴム成分、及び硬化剤成分からなる接着
    剤成分に20〜90体積%の無機充填材を添加してなる
    接着剤組成物を、第3層としてエポキシ樹脂、ゴム成
    分、及び硬化剤からなる接着剤組成物を基材フィルムに
    塗布し、半硬化状態に熱処理して3層構造とした熱硬化
    性接着シート。
  2. 【請求項2】第1層、及び第3層の厚さが3μm以下で
    ある請求項1記載の熱硬化性接着シート。
  3. 【請求項3】第1層、第2層、及び第3層の接着剤成分
    が、エポキシ樹脂及び硬化剤成分100重量部に対し、
    重量平均分子量が5万以上のゴム成分100〜170重
    量部、硬化促進剤0.3〜2.5重量部からなる請求項
    1又は2記載の熱硬化性接着シート。
  4. 【請求項4】エポキシ樹脂がエポキシ当量250以下で
    あり、且つ室温で液状である請求項1〜3のいずれかに
    記載の熱硬化性接着シート。
  5. 【請求項5】分子量5万以上のゴム成分が、エポキシ基
    を1〜10モル%含有するアクリルゴムである請求項1
    〜4のいずれかに記載の熱硬化性接着シート。
  6. 【請求項6】無機充填材が球形である請求項1〜5のい
    ずれかに記載の熱硬化性接着シート。
  7. 【請求項7】無機充填材の最大粒子径が60μm以下で
    ある請求項1〜6のいずれかに記載の熱硬化性接着シー
    ト。
  8. 【請求項8】基材フィルムに塗布した後の熱処理による
    半硬化状態の硬化率が10〜60%である請求項1〜7
    のいずれかに記載の熱硬化性接着シート。
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