JPH05166884A - 半導体電子部品 - Google Patents

半導体電子部品

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Publication number
JPH05166884A
JPH05166884A JP33496791A JP33496791A JPH05166884A JP H05166884 A JPH05166884 A JP H05166884A JP 33496791 A JP33496791 A JP 33496791A JP 33496791 A JP33496791 A JP 33496791A JP H05166884 A JPH05166884 A JP H05166884A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
outer lead
bonding tool
bonding
electrode pad
electronic component
Prior art date
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Pending
Application number
JP33496791A
Other languages
English (en)
Inventor
Masakazu Nakazono
正和 中園
Mitsuyoshi Tanimoto
光良 谷本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP33496791A priority Critical patent/JPH05166884A/ja
Publication of JPH05166884A publication Critical patent/JPH05166884A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3421Leaded components

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】このTCP1´は複数のアウタリ−ド5…を有
し、このアウタリ−ド5の端子部5aはボンディングツ
−ル9を用いてプリント基板2の配線パタ−ンの電極パ
ッド6に押圧されることで上記電極パッド6に接合され
るものであって、上記アウタリ−ド5の端子部5aの下
面側には、上記ボンディングツ−ル9により押圧される
ことで上記電極パッド6と当接して変形する突起部10
が形成されているものである。 【効果】 上記ボンディングツ−ルとプリント基板との
平行度に狂いがあっても、上記突起部が変形することに
よりこの狂いを吸収することができるので、導電不良を
生じることが少なくなるという効果がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、プリント基
板に実装されるTCP(テ−プキャリアパッケ−ジ)等
の半導体電子部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最近のLSIの多端子狭ピッチ化に対応
するLSIパッケ−ジ(半導体電子部品)として、従来
のプラスチックQFP(4方向に端子が突出してなるプ
ラスチック半導体パッケ−ジ)よりさらに多端子狭ピッ
チ化を図ることができるTCP(テ−プキャリアパッケ
−ジ)が登場している。
【0003】図4に、このTCP1がプリント基板2に
実装された状態を示す。このTCP1はTAB(Tape A
utomated Bonnding )の技術を用いて製造されるもので
ある。つまり、半導体チップ3をフィルムキャリア4に
インナ−リ−ドボンディングした後、この半導体チップ
3をアウタリ−ド5と共に打ち抜き(パンチング)、つ
いで、このアウタリ−ド5を外部端子の形にフォ−ミン
グする。
【0004】次に、このようにして製造されたTCP1
を上記プリント基板2に実装する工程を説明する。この
工程は、上記TCP1のアウタリ−ド5を上記プリント
基板2の配線パタ−ンの各電極パッド6…に接続するも
ので、一般にアウタリ−ドボンディング工程と称されて
いる。
【0005】このアウタリ−ドボンディング工程には、
上記アウタリ−ド5と電極パッド6とを接合する接合材
として、図5(a)に示すようにハンダ材7を使用する
場合と図5(b)に示すように導電粒子入り接着剤8
(異方性導電接着剤等)を使用する場合とがある。
【0006】このボンディング工程を図5(a)例にと
って説明する。上記プリント基板2の電極パッド6上に
はあらかじめハンダ材7が供給されている。このハンダ
材7は、ディスペンス法、印刷法、メッキ法等の手段に
より供給される。
【0007】ついで、上記電極パッド6と上記アウタリ
−ド5とを対向位置決めして、両者を当接させた後、上
記アウタリ−ド5をボンディングツ−ル9によって加熱
しつつ押圧する。このことによって、上記アウタリ−ド
5と電極パッド6はハンダ材7によって電気的、機械的
に接合される。
【0008】なお、図5(b)に示す、導電粒子入り接
着剤8を使用する場合においても、図5(a)と同様
に、ボンディングツ−ル9を用いてアウタリ−ド5を加
熱加圧することにより上記電極パッド6に接続する。こ
のとき、上記接着剤8の導電粒子8a…が互いに接触す
ることによって、上記アウタリ−ド5と電極パッド6と
は電気的に接続されると共に、上記接着剤8が硬化する
ことにより両者は機械的に接合される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のTC
P1はアウタリ−ドボンディングの際に、以下に説明す
るような問題点がある。
【0010】上記TCP1は、アウタリ−ド5のリ−ド
ピッチが0.3μm以下と狭ピッチである。したがっ
て、このアウタリ−ド5に対応する各電極パッド6も狭
ピッチであり、このため各電極パッド6上にハンダ材7
を供給することが困難ということがある。
【0011】すなわち、上記各電極パッド6上にハンダ
材7を供給する方法として印刷方法やディスペンス方法
を採ることができず、メッキ法に頼ることとなる。しか
し、このメッキ方法では、供給されたハンダ材7の盛り
上がり高さが足らず(20〜50μm程度は必要)、導
電不良が生じる恐れが高い。また、狭ピッチでハンダ材
7が供給されたプリント基板2は非常に高価であるとい
うこともある。
【0012】また、上記TCP1のアウタリ−ド5は3
00ピン以上の多ピンであるため、これを一度に加圧す
る場合には、ボンディングツ−ル9とプリント基板2と
の間にかなり平行度が要求される。また、この平行度
は、ボンディングツ−ル9の熱変形やプリント基板2の
変形等の原因で容易に狂ってしまうということがある。
【0013】また、このことは、導電粒子入り接着剤8
の場合についても同様である。すなわち、上記導電粒子
8aの粒径は数十μmであり、これらの導電粒子8a…
で上記アウタリ−ド5とプリント上記電極パッド6を電
気的に接続するためには、上記ボンディングツ−ル5と
上記プリント基板2との間にかなりの平行度が要求され
るからである。また、上記電膜粒子入り接着剤8は上記
ハンダ材7に比べ供給が困難であるともに高価であると
いうことがある。
【0014】この発明はこのような事情に鑑みて成され
たもので、アウタリ−ドが多端子狭ピッチであっても、
このアウタリ−ドをプリント基板に電気的かつ機械的に
確実に接合することができる半導体電子部品を提供する
ことを目的とするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】この発明は、アウタリ−
ドを有し、このアウタリ−ドの先端部はボンディングツ
−ルを用いて基板の配線パタ−ンに押圧されることで上
記配線パタ−ンに接続される半導体電子部品であって、
上記アウタリ−ドの先端部には、上記ボンディングツ−
ルにより押圧される突起部が形成されていることを特徴
とする。
【0016】
【作用】このような構成によれば、ボンディングツ−ル
によって、上記アウタリ−ドの先端部は上記突起部を変
形させながら上記配線パタ−ンに押圧される。
【0017】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例を
説明する。なお、従来例と同一の構成要素には同一符号
を付してその説明は省略する。
【0018】図1に示すこの発明の半導体電子部品とし
てのTCP(テ−プキャリアパッケ−ジ)1´は、図4
に示すTCP1と基本的には同じ構成を有し、従来例と
同様にTABの技術を利用して製造される。すなわち、
まずフィルムキャリア4に半導体チップ3をインナ−リ
−ドボンディングする。そして、上記半導体チップ3を
上記フィルムキャリア4からアウタリ−ド5と共に打ち
抜く。
【0019】ついで、この発明のTCP1´の製造で
は、上記打ち抜かれたTAB部品のアウタリ−ド5を、
図1(a)に示すようにフォ−ミングする。すなわち、
上記アウタリ−ド5を折曲し、先端部を端子部5aに形
成すると共に、この端子部5aには、ポンチ加工、折り
曲げ加工等により下面側に突出する突起部10を形成す
る。このようにして製造されたTCP1´は、アウタリ
−ドボンディング工程において、プリント基板2に実装
される。
【0020】上記プリント基板2の電極パッド6…上に
は、接合材としての熱硬化性の接着剤11(導電粒子を
含まない)があらかじめ塗布される。そして、上記TC
P1´は、図1(a)に示すように、上記アウタリ−ド
5の端子部5aを上記電極パッド6に供給された接着材
11上に当接させて上記プリント基板2上に位置決め載
置される。
【0021】ついで、図1(b)に示すように、このア
ウタリ−ド5の端子部5aの上方に位置決めされたボン
ディングツ−ル9が下降駆動され、上記端子部5aを電
極パッド6の方向に押圧する。このことで、上記端子部
5aに形成された突起部10の先端は上記電極パッド6
に当たり、上記アウタリ−ド5と電極パッド6の電気的
接続が直接的になされる。
【0022】さらに、上記ボンディングツ−ル9を下降
方向に駆動し、上記端子部5aを押圧すると、上記突起
部10は上記電極パッド6に強く押し付けられ塑性変形
あるいは弾性変形する。
【0023】このアウタリ−ドボンディングは、上記T
CP1´のすべてのあるいは1辺毎の複数のアウタリ−
ド5…について一括的に行われる。したがって、上述の
ように、上記突起部10が変形するまで上記端子部5a
を押圧することにより、上記ボンディングツ−ル9とプ
リント基板2との平行度ずれは上記突起部10の変形量
によって吸収され、ボンディングツ−ル9で押圧された
すべてのアウタリ−ド5と電極パッド6との間で電気的
接続を得ることができる。
【0024】さらに、上記ボンディングツ−ル9は、上
記端子部5aを押圧すると共に、この部分を加熱する。
このことで、上記接着剤11は硬化して上記アウタリ−
ド5は上記の電極パッド6に固定され、機械的接続がな
される。これらの工程ににより上記TCP1´とプリン
ト基板2とは電気的、機械的に接続される。
【0025】なお、上記アウタリ−ド5の端子部5aに
形成される突起部10は図1に示すように、一つだけに
限定されるものではなく、図2に示すように複数個であ
っても良い。
【0026】この場合でもボンディング時には、上記複
数個の突起部10…は、上記電極パッド6と当接して塑
性あるいは弾性変形し、電気的接続を得ると共に、接着
剤11により上記電極パッド6に固定され機械的接続を
得る。
【0027】このような構成によれば、上記突起部10
を変形するまで押圧することにより上記ボンディングツ
−ル9とプリント基板2の平行度の狂いを吸収し、かつ
ハンダ材や導電粒子を介することなく直接上記アウタリ
−ド5と電極パッド6との電気的接続を得ることができ
る。
【0028】したがって、従来例のように接合材(ハン
ダ材、導電粒子入り接着剤)に悩むことなく、通常の接
着剤11を上記TCP1のボンディング位置一帯に塗布
するだけで、確実に各アウタリ−ドと電極パッドとを電
気的、機械的に接続することができるから製品に導電不
良が生じる恐れが少なくなる。なお、この発明は、上記
一実施例に限定されるものではなく、発明の要旨を変更
しない範囲で種々変形可能である。
【0029】上記一実施例では、接合材として接着剤1
1を用いたが、ハンダ材であっても良い。この場合は、
従来例と同様にメッキにより上記各電極パッド6上にハ
ンダの盛り上がりを形成する。
【0030】しかし、この発明によれば、従来例と異な
り、メッキによるハンダ材の盛り上がり高さが低くかつ
ボンディングツ−ル9とプリント基板2との平行度に狂
いがあっても、上記突起部10の作用により確実な電気
的接続を得ることができる。
【0031】また、上記一実施例では、上記突起部10
は端子部5aの下面側に突設されていたが、例えば、図
3に示すように、上面側に突設されているものであって
も良い。
【0032】この場合には、アウタリ−ドボンディング
する際、プリント基板2の電極パッド上にはあらかじめ
接合材としてハンダ材15あるいは導電粒子入り接着剤
16を供給しておく。そして、図3(a)、(b)に示
すように、上記一実施例と同様の工程でボンディングツ
−ル9を用いて上記アウタリ−ド5の端子部5aを上記
電極パッド6の方向に押圧しつつ加熱する。
【0033】この場合でも、上記突起部10は変形し、
上記ボンディングツ−ル6とプリント基板2の平行度の
狂いを有効に吸収する。したがって、上記ハンダ材15
の盛り上がりが低い場合であっても、上記導電粒子入り
接着剤16の導電粒子の粒径が小さい場合であっても、
確実に電気的接続を得ることができるので製品の導電不
良は少なくなる。
【0034】また、上記一実施例および図3に示す他の
実施例では共に、半導体電子部品としてTCP1(1
´)を例に挙げていたが、これに限定されるものではな
く、プラスチックQFPやSOPなどであっても良い。
さらに、上記一実施例では基板としてプリント基板2を
用いていたが、これに限定されるものではなく、他の基
板であっても良い。
【0035】
【発明の効果】以上のべたように、この発明の半導体電
子部品は、アウタリ−ドを有し、このアウタリ−ドの先
端部はボンディングツ−ルを用いて基板の配線パタ−ン
に押圧されることで上記配線パタ−ンに接続される半導
体電子部品であって、上記アウタリ−ドの先端部には、
上記ボンディングツ−ルにより押圧される突起部が形成
されているものである。
【0036】このような構成によれば、上記ボンディン
グツ−ルとプリント基板との平行度に狂いがあっても、
上記突起部が変形することによりこの狂いを吸収するこ
とができるので、導電不良を生じることが少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)はこの発明の一実施例を示す側
断面図。
【図2】同じく、側断面図。
【図3】(a)、(b)は他の実施例を示す側断面図。
【図4】一般的なTCPを示す斜視図。
【図5】(a)、(b)は従来例を示す側断面図。
【符号の説明】
1´…TCP(半導体電子部品)、2…プリント基板、
5…アウタリ−ド、5a端子部(先端部)、6…電極パ
ッド(配線パタ−ン)、9…ボンディングツ−ル、10
…突起部、11…接着剤(接合材)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アウタリ−ドを有し、このアウタリ−ド
    の先端部はボンディングツ−ルを用いて基板の配線パタ
    −ンに押圧されることで上記配線パタ−ンに接続される
    半導体電子部品であって、 上記アウタリ−ドの先端部には、上記ボンディングツ−
    ルにより押圧される突起部が形成されていることを特徴
    とする半導体電子部品。
JP33496791A 1991-12-18 1991-12-18 半導体電子部品 Pending JPH05166884A (ja)

Priority Applications (1)

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JP33496791A JPH05166884A (ja) 1991-12-18 1991-12-18 半導体電子部品

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JP33496791A JPH05166884A (ja) 1991-12-18 1991-12-18 半導体電子部品

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JPH05166884A true JPH05166884A (ja) 1993-07-02

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JP33496791A Pending JPH05166884A (ja) 1991-12-18 1991-12-18 半導体電子部品

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100233995B1 (ko) * 1996-12-11 1999-12-15 전주범 박막형 광로 조절장치 모듈의 제조 방법
KR100254942B1 (ko) * 1996-09-24 2000-05-01 전주범 박막형 광로 조절장치의 패드 연결방법
US9360784B2 (en) 2014-01-09 2016-06-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Magenta toner for developing electrostatic latent images

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100254942B1 (ko) * 1996-09-24 2000-05-01 전주범 박막형 광로 조절장치의 패드 연결방법
KR100233995B1 (ko) * 1996-12-11 1999-12-15 전주범 박막형 광로 조절장치 모듈의 제조 방법
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