JP3594502B2 - 半導体パッケージの製造方法及びその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子回路基板に実装されるCSP(チップサイズパッケージ)、BGAなどのICチップをインターポーザー基板に搭載してなる半導体パッケージの製造方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
今日、電子回路基板は、あらゆる製品に使用されるようになり、日増しにその性能が向上してきており、ICをこのような電子回路基板に接合するには、フラットパッケージのようなICチップをリードフレーム上にダイボンディングし、ICチップの電極とリードフレームをワイヤボンドによりつなぎ、樹脂成形により封止してパッケージを形成した後に、クリームハンダを回路基板に印刷し、その上にフラットパッケージICを搭載して、リフローするという工程により行うようにしていた。
これらのSMT(表面実装技術:Surface Mount Technology)といわれる工法では、工程が長く、生産に時間を要し、回路基板を小型化するのが困難であった。例えばICチップは、フラットパックに封止された状態では、ICチップの約6〜10倍程度の面積を必要とする。
そこで、近年、回路基板上で用いられる周波数も高くなっており、また、携帯機器の増加から、回路基板やフラットパネルディスプレイにICチップをQFP等のパッケージではなく裸のまま搭載するフリップチップ実装が行われるようになってきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ICチップをそのまま、回路基板に搭載するには次のような問題点がある。ウエハー状態のICチップは半導体用微細プローブを用いて簡単な検査が行われるが、一般的には検査後のICチップには一定数の不良品が混在しており、通常は組立すなわちリードフレームにダイボンディングし、その後、ICチップの電極とリードフレームが金やアルミニウムのワイヤでワイヤーボンディングされ、樹脂モールドされた後に本格的な機能検査が行われる。また、必要に応じて高温中で通電試験を行うバーンインテストも実施される。この為、その外形がほぼICチップと同等で、インターポーザー基板上に一旦実装することでICチップの機能を検査し、その性能を保証したCSP(Chip Size Package)、BGA(Ball Grid Array)等が用いられるようになってきている。
【0004】
このCSP、BGAとよばれるパッケージには下記のようなものがある。従来の電子機器の回路基板へICチップを接合する第1の従来例の方法として、特願平03−164849号、特開平08−250529号公報等により開示されているように、ICチップをインターポーザーと呼ばれる樹脂基板上にダイボンディングし、ワイヤーボンダーによりICチップと基板が接合される。これを樹脂によりモールドまたは、ポッティングして樹脂封止することにより形成される。その後、基板にICチップが実装される面の反対側に金属ボールを取り付けて完成する。
【0005】
また、第2の従来例としては、ポリイミドフィルムをインターポーザー基板として用い、ポリイミドフィルムのテープ上に形成された電極パターンを利用してICチップと接合する構造が特願平03−291822号、特開平08−250553号公報に示されている。
上記CSPでは、裏面にランドまたはボールを1〜0.5mmピッチで形成し、これをマザー基板との接合に用いるようにしている。このため、0.5mm以下のQFPではリードの脚曲がり、半田印刷での不良品が削減可能である。
【0006】
このように、アセンブリを行い電子機器を組み立てるユーザー側では、一般に、ベアICを用いることは上記理由から困難を伴う。そこで、ICチップとほぼ同等のサイズと実装が容易なCSP、BGAを従来のフラットパック並みのコストで供給することが望まれている。従来のCSPはTAB(TAPE AUTOMATED BONDING)、ワイヤーボンド、フリップチップ実装を用いた3形態に分類できるが、この中でフリップチップ実装を用いたものが最も薄型化、小型化、軽量化が可能である。
【0007】
しかしながら、フリップチップ実装を用いたCSPでは生産性が低いという欠点を有している。すなわち、フリップチップ実装にはICチップのバンプに導電性ペーストを転写、乾燥し、それをインターポーザー基板に実装し、ICチップとインターポーザー基板の間に封止材を流し込むことで完成する。ところが、このような形態では導電性ペーストを転写乾燥した後のICチップとインターポーザー基板の強度は殆ど無く、トレイなどを用いたバッチ処理となる。また、これら一連の工程では十数時間の時間を要することになり、生産性が悪いという欠点を抱えていた。
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みて、CSP、BGAを生産する際にICチップをインターポーザー基板に生産性良くかつ高信頼性で接合できる半導体パッケージの製造方法及び装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第1態様によれば、短冊状又は連続的な媒体に、バンプが電極に形成されたICチップを貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上の上記ICチップとインターポーザー基板を接合する第2工程と、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離するかまたは上記媒体の一部と一緒に一体的に打ち抜く若しくは切り抜く第3工程と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造方法を提供する。
【0009】
本発明の第2態様によれば、短冊状又は連続的な媒体にICチップを貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極にバンプを形成する第2工程と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板を、第2工程の上記媒体上の上記ICチップと接合する第3の工程と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く第4工程と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装方法を提供する。
【0010】
本発明の第3態様によれば、短冊状または連続的な媒体にICチップを貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極にバンプを形成する第2工程と、
上記媒体上の上記ICチップの表面、または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板の電極に、熱硬化性接着剤または熱硬化性シートまたは異方性導電膜を貼り付け、上記インターポーザー基板を、上記媒体上の上記ICチップと加熱、加圧接合する第3工程と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く第4工程とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装方法を提供する。
【0011】
本発明の第4態様によれば、上記媒体は短冊状または連続的な金属媒体である第2態様に記載の半導体パッケージの製造の実装方法を提供する。
【0012】
本発明の第5態様によれば、短冊状または連続的な金属媒体に、エポキシ樹脂を含む接着剤を塗布するかまたはエポキシ樹脂を含むシートを貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上に上記ICチップをダイボンディングする第2工程と、
上記ICチップ上の電極にバンプを形成するとともに、このとき、上記ICチップにバンプを形成する際の加熱により上記第1工程で貼り付けた上記エポキシ樹脂を含む接着剤またはシートを硬化する第3工程と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く第4の工程とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装方法を提供する。
【0013】
本発明の第6態様によれば、上記第4工程において、上記インターポーザー基板を上記第3工程後の上記ICチップと接合する前に、上記媒体上の上記ICチップの表面または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板の電極に、熱硬化性接着剤若しくはシートまたは異方性導電膜を貼り付けたのち、上記インターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと加熱、加圧して接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記金属媒体から剥離または上記金属媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く第5態様に記載の半導体パッケージの製造の実装方法を提供する。
【0014】
本発明の第7態様によれば、短冊状又は連続的な媒体に、バンプがICチップの電極に形成された上記ICチップを貼り付ける貼付装置と、
上記媒体上の上記ICチップとインターポーザー基板を接合する接合装置と、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離するかまたは上記媒体の一部と一緒に一体的に打ち抜く若しくは切り抜く分離装置と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造装置を提供する。
【0015】
本発明の第8態様によれば、短冊状又は連続的な媒体にICチップを貼り付ける貼付装置と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極にバンプを形成するバンプ形成装置と、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板を、第2工程の上記媒体上の上記ICチップと接合する接合装置と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く分離装置と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装装置を提供する。
【0016】
本発明の第9態様によれば、短冊状または連続的な媒体にICチップを貼り付ける貼付装置と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極にバンプを形成するバンプ形成装置と、上記媒体上の上記ICチップの表面、または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板の電極に、熱硬化性接着剤または熱硬化性シートまたは異方性導電膜を貼り付け、上記インターポーザー基板を、上記媒体上の上記ICチップと加熱、加圧接合する装置と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く分離装置とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装装置を提供する。
【0017】
本発明の第10態様によれば、上記媒体は短冊状または連続的な金属媒体である第8態様に記載の半導体パッケージの製造の実装方法を提供する。
【0018】
本発明の第11態様によれば、短冊状または連続的な金属媒体に、エポキシ樹脂を含む接着剤を塗布するかまたはエポキシ樹脂を含むシートを貼り付ける装置と、
上記媒体上に上記ICチップをダイボンディングするダイボンディング装置と、
上記ICチップ上の電極にバンプを形成するとともに、このとき、上記ICチップにバンプを形成する際の加熱により上記第1工程で貼り付けた上記エポキシ樹脂を含む接着剤またはシートを硬化するバンプ形成装置と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く接合分離装置とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装装置を提供する。
【0019】
本発明の第12態様によれば、上記接合分離装置は、上記インターポーザー基板を上記第3工程後の上記ICチップと接合する前に、上記媒体上の上記ICチップの表面または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板の電極に、熱硬化性接着剤若しくはシートまたは異方性導電膜を貼り付けたのち、上記インターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと加熱、加圧して接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記金属媒体から剥離または上記金属媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く第11に記載の半導体パッケージの製造の実装装置を提供する。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置を図1から図5を参照しながら説明する。
【0021】
図1において(1)に示す第1の工程で短冊状または連続的な媒体2に、電極1aを有し吸着部材3に吸着保持されたICチップ1を貼り付ける。上記媒体2の例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリイミドをベースとして糊付加工したもの、ステンレス鋼、銅、鉄、アルミニウムなどの金属ベースに糊付加工したものなどが使用される。一実施例としては、例えば、25〜38μmのPET若しくはポリイミドに、11μm若しくは20μmの厚さの糊を付けたものが使用される。上記媒体2としては、可撓性を有してリールに巻きつけて取り扱えること、薄く、熱伝導の妨げにならないこと、高温(例えば150℃)でも接着力を保持することができることといった機能を有するものである。上記粘着層を有する媒体2を形成する方法としては、ベースに糊付け加工して形成する方法の代わりに、ベースにペーストをディスペンスして形成する方法、シート状の糊フィルムをベースに貼り付けて形成する方法などがある。このようにして、媒体2の表面に粘着層を形成しておけば、ICチップ1の貼り付けはより容易となる。なお、図1の(1)において、3aは吸着部材3の吸引通路、3bはICチップ1と媒体2との密着を良くするために、ICチップ1を加熱する内蔵加熱ヒータである。この内蔵加熱ヒータ3bは無くすこともできる。
【0022】
次いで、図1の(2)の第2工程において、媒体2上のICチップ1上の電極1aにバンプ(突起電極)1bを形成する。すなわち、内蔵ヒータ4cにより所定温度まで加熱されたステージ4b上に載置されたICチップ1において、ICチップ1のAl(アルミニウム)パッド電極1aにワイヤボンディング装置4により図5のごとき動作によりバンプ1bを形成する。あるいは、ワイヤ4aをワイヤボンディング装置4のキャピラリ4bでクランプして、上方に引き上げることにより、金ワイヤ4aを引きちぎり、図7のようなバンプ形状としてもよい。
【0023】
なお、上記した第1工程及び第2工程の代わりに、第1工程において、図1の右側の大きな括弧内に示すように、バンプ1bがICチップ1の電極1aに予め形成されたICチップ1を、吸着部材3により媒体2上に貼り付けるようにして、第2工程を不要としてもよい。
【0024】
次いで、図2の(3)に示す第3工程で、媒体2上のICチップ1の表面にに熱硬化性シート5を貼り付ける。熱硬化性シート5の代わりに、熱硬化性接着剤を塗布したり、または異方性導電膜を貼り付けるようにしてもよい。熱硬化性シート5及び熱硬化性接着剤の最低限必要な条件としては、IC1とインターポーザーを強固に接合することである。この第3工程では、熱硬化性樹脂シート5にスリット5cを入れてから貼付けツール6で熱圧着したのち、図8に示すように、カッター120でほぼICチップ1の大きさにカットし、内蔵ヒータ6aにより80〜120℃に熱せられた、貼付けツール6により5〜10kgf/cm2程度の圧力で、熱硬化性樹脂シート5をICチップ1に貼り付ける。この後、熱硬化性樹脂シート5のセパレータ(剥離シート)5aを剥がすことにより第3工程が完了する。熱硬化性樹脂シート5を貼り付ける代わりに熱硬化性接着剤を塗布する場合には、ICチップ1上に、熱硬化性接着剤をほぼICチップ1の大きさに塗布する。また、熱硬化性シート5に代えてほぼICチップ1の大きさにカットした異方性導電膜を用いて熱硬化性シート5と同様に熱圧着して貼り付けるようにしてもよい。この場合、異方性導電膜に含まれる導電粒子として、ニッケル粒子の表面に金メッキを施したものを用いると、接続抵抗値を低下せしめることができ、尚好適である。
【0025】
次いで、図2の(4)に示す第4工程で短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板7を、第2工程の媒体2上のICチップ1と加熱、加圧接合する。この第4工程を詳細に説明すると、上記第2工程でバンプ1bが形成されたICチップ1を、内蔵ヒータ8dにより熱せられたステージ8c上に載置し、この載置されたICチップ1に対して、内蔵ヒータ8aにより熱せられた接合ツール8に吸着されたインターポーザー基板7を、インターポーザー基板7の電極7aがICチップ1の電極1aに対応するようにアライメントし、接合ツール8によりインターポーザー基板7をICチップ1に対して押圧する。このとき、ICチップ1の電極1a上のバンプ1bはインターポーザー基板7の電極7a上でバンプ1bの頭部が図9のごとく変形しながら押しつけられていく。このとき印加する荷重は、バンプ1bの外径により変わるが、2段になっているバンプ1bの上段側のバンプ頭部が必ず変形する程度の荷重を加えることが必要である。この荷重は最低でも20(gf)を必要とする。最大では、100(gf)を越えることもある。
【0026】
このとき、インターポーザー基板7としては、アラミド不織布積層エポキシ基板、セラミック多層基板、ガラス布積層エポキシ基板(ガラエポ基板)や、ガラス布積層ポリイミド樹脂基板、若しくは、ポリイミド基板上に所望の回路が形成された基板などが用いられる。これらの基板は、熱履歴や、裁断、加工により、反りやうねりを生じており、必ずしも完全な平面ではない。そこで、第5工程において、平行度を所定の精度範囲内にそれぞれ管理された接合ツール8とステージ8cとで、熱と荷重をインターポーザー基板7に直接またはICチップ1を介してインターポーザー基板7に間接的にかつ局所的に印加することにより、その部分のインターポーザー基板7の反りが矯正される。また、ICチップ1は、アクティブ面の中心を凸として反っているが、これをインターポーザー基板7との接合時に20gf以上の強い荷重で加圧することで、インターポーザー基板7とICチップ1の両方の反りやうねりを矯正することができる。
【0027】
こうして、インターポーザー基板7の反りが矯正された状態で、140〜230℃の熱がICチップ1とインターポーザー基板7の間の熱硬化性樹脂シート5若しくは熱硬化性樹脂接着剤に数秒〜20秒程度印加されて、この熱硬化性樹脂シート5若しくは熱硬化性樹脂接着剤が硬化されて硬化層50となる。この後、接合ツール8が上昇し、ICチップ1と熱硬化性樹脂シート5若しくは熱硬化性樹脂接着剤の温度は、急激に低下することにより熱硬化性樹脂シート5若しくは熱硬化性樹脂接着剤は流動性を失い硬化層50となり、ICチップ1は、インターポーザー基板7に硬化層50により固定される。また、ICチップ側すなわちステージ8cを加熱しておくと、接合ヘッドすなわちインターポーザー基板7を吸着する接合ツール8の温度を低下することができる。
【0028】
図2の(5)に示す第5工程では、媒体2から剥離する、または一体的に打ち抜く、若しくは切り抜く工程がある。この第5工程では、例えば、打ち抜き金型9a,9bにより、インターポーザー基板7に接合された上記ICチップ1を媒体2から媒体2の一部とともに剪断により打ち抜いたり、レーザーをICチップ1の外形に沿って照射して媒体2を切り抜くことにより、インターポーザー基板7に接合された上記ICチップ1を媒体2の一部とともに媒体2から切り取る。または、カッティングソウによってカットしても良い。また、インターポーザー基板7に接合された上記ICチップ1を載せた媒体2を、図10に示すようなローラ130の回りに回動させるときに、媒体2は弾性があるためローら130に追随して回動する一方、ICチップ1は媒体2のような弾性は無いため130に追随して回動することができず、媒体2からICチップ1が剥がれることを利用して、ICチップ1を媒体2から剥離するようにしてもよい。
【0029】
なお、第3工程においてICチップ1の表面に熱硬化性シート5などを貼り付ける又は熱硬化性接着剤を塗布する代わりに、図2の(4)に示す第4工程で供給されるインターポーザー基板7の電極7aに、熱硬化性シート5を貼り付け、又は熱硬化性接着剤を塗布し、又は、異方性導電膜を貼り付けるようにしてもよい。すなわち、上記第1実施形態の変形例として、図2の(5)のようにインターポーザー基板7を一枚ずつ接合ツール8で供給するのではなく、図3に示すごとくインターポーザー基板7を連続的に供給することでより生産性を向上することが可能である。具体的には、図3中のAに示すようにリードフレームなどの連続体からなるインターポーザー基板7には、第3工程において、熱硬化性樹脂シート5が貼付けツール6により圧着されて貼り付けられる。これが第4工程に送られ、上記第4工程の説明と同様にICチップ1とインターポーザー基板7が接合ツール8により圧着される。これが第5工程に向けて媒体2と平行して搬送される。
【0030】
上記第1実施形態によれば、CSP、BGAを形成するのに多くの工程を要していた従来の工程、例えば、ICのハンドリング、ダイスピック、トレイ詰め、バンプ形成、トレイ収納、接合、トレイからIC取り出し、実装工程とといった種々の工程を大幅に短縮し、生産性良く製造することが可能となる。また、ICチップ1を従来は1ケずつ搬送する場合に比べて、媒体2を用いてICチップ1を連続的に供給することができることにより、搬送ロス時間を大幅に低減することができる。すなわち、ICチップ上のバンプ形成、ICチップとインターポーザー基板との接合、打ち抜きなどをインラインで搬送ロスが無く、効率的に生産性よく接合することができる。
【0031】
また、ICチップ1とインターポーザー基板7を接合するのに従来要した工程の多く、例えば、スダッドバンプボンディングにおいては、Agペースト転写、加熱による導電性接着剤の硬化、封止樹脂の塗布、封止樹脂の硬化工程、を無くすることができ、生産性が非常に良くなる。また、接合材料として導電粒子の無い熱硬化性シート5や熱硬化性接着剤を用いた場合には、従来例で示した方法に比べ安価なICパッケージを提供することができる。
【0032】
さらに、バンプをメッキで形成する方法(従来例3)では、専用のバンプ形成プロセスを半導体メーカー側で備える必要があり、限定されたメーカーでしかバンプの形成ができなかった。ところが、第1実施形態の方法によれば、ワイヤボンディング装置4により、汎用のワイヤボンディング用のICチップ1を用いることができ、ICチップ1の入手が容易である。
【0033】
また、従来の方法によれば、接続抵抗は、バンプと回路基板の電極の間に存在する導電粒子の数に依存していたが、第1実施形態ではバンプ1bをレベリングせずにインターポーザー基板7の電極7aに従来例1、2よりも強い荷重で押しつけて接合するため、介在する粒子数に接続抵抗値が依存せず、安定して接続抵抗値が得られる。
【0034】
また、バンプ1bのレベリングをインターポーザー基板7の接合と同時に行うので、レベリング工程が不要であるばかりでなく、接合時にインターポーザー基板7の反りやうねりを変形させて矯正しながら接合するので、この反りやうねりを軽減させることができる。例えば、従来例1では、10μm/IC、従来例2では、2μm/IC、従来例3でも、1μm/IC(バンプ高さバラツキ±1μm以下)というような、高精度の基板が必要であり、実際上は、LCDに代表されるガラス基板や、セラミック基板が用いられている。ところが、本実施形態によれば、反りを伴うインターポーザー基板7をも用いることができ、より低廉で、汎用性のあるICチップ1の製造方法を提供することができる。
また、従来で必要とした導電性接着剤でICチップと回路基板を接合した後にICチップの下に封止樹脂(アンダーフィルコート)を行う必要がなく工程を短縮することができる。
【0035】
また、ICチップ1とインターポーザー基板7の接合において、特願平8−350733と同様の、または、異方性導電膜を用いた接合方法を利用することで、より効率的なCSPの生産が可能となる。
さらに、第1実施形態の上記変形例として、連続体のインターポーザー基板7を用いることにより、基板の供給をトレーなどの治具を用いることなく容易に供給でき、製造設備を安価にすることができる。
また、上記したこれらの工程を実現する為に、短冊状または連続的な媒体2には、樹脂シートに粘着物質を形成したものを用いると、ICチップ1の貼り付けはより容易となり、尚一層好適である。
【0036】
次に、本発明の第2実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置を図4により説明する。
第2実施形態の第1の工程では、短冊状または連続的な金属媒体2cに、エポキシ樹脂等を含むダイボンディングペースト10をディスペンサ100により塗布する。ダイボンディングペースト10をディスペンサ100により塗布する代わりに、エポキシ樹脂を含むシートを貼り付けるようにしてもよい。
金属媒体2cとしては、可撓性を有すること、及び、酸化しにくいこと(メッキすることなどにより達成可能。)が必要である。
第2工程では、媒体2c上にICチップ1を、ダイボンディングペースト10又はエポキシ樹脂を含むシートを介して、ダイボンディングするとともに、加熱ステージ11または、熱風噴射装置11bによりダイボンディングペースト10又はエポキシ樹脂を含むシートを加熱して硬化する。
第3工程では、第1実施形態の第2工程と同様に、ICチップ1上の電極1aにバンプ1bを形成する。このとき、ICチップ1にバンプ1bを形成する際の加熱により、第1工程で塗布したダイボンディングペースト10又は貼り付けたエポキシ樹脂を含むシートを硬化するようにすれば、上記第2工程を省略することができる。
第4の工程では、第1実施形態の第3工程と同様に、媒体2c上のICチップ1の表面または、第5工程で供給されるインターポーザー基板7に熱硬化性シート5又は接着剤、または異方性導電膜を貼り付ける。
第5工程では、第1実施形態の第4工程と同様に、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板7を、第3工程後のICチップ1と加熱、加圧して接合する。
その後、第6工程において、第1実施形態の第5工程と同様に、インターポーザー基板7に接合された上記ICチップ1を、金属媒体2cと一体的に打ち抜くまたは切り抜く。
【0037】
上記第2実施形態によれば、搬送媒体として金属媒体2cを用いれば、そのまま打ち抜くことにより金属媒体2cの切り取られた部分がICチップ1の放熱部材として機能し、ICチップ1の放熱性を大幅に高めることができる。すなわち、搬送媒体2として金属媒体2cを用い、それをICチップ1の放熱板とすることで、製造工程での搬送媒体とICチップ1の放熱板としての2つの役割を同時に果たすことが可能で、ICチップ1の放熱性を向上させることができるとともに生産性が良くコストダウンを図ることができる。よって、ICチップをCSP化した場合において消費電力が大きい場合には、従来では、ICチップの裏面側にマザー基板への実装後に放熱板を取り付ける必要があったが、本実施形態ではその必要はない。また、金属媒体2cによりICチップ1が補強されるため、ICチップ1の割れ、欠けを防止し、より強固な構造とすることができる。また、ダイボンディングペースト10に代えてエポキシ樹脂を含むシートを貼り付けるようにすれば、バンプ形成工程でこれを硬化することにより、新たな硬化工程が不要となる。
なお、上記第2実施形態においても上記第1実施形態と同様な作用効果を奏することができる。
【0038】
次に、本発明の第3実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置を図5により説明する。
第3実施形態の第1の工程では、短冊状または連続的な金属媒体2cに、エポキシ樹脂を含む接着シート60を剥離シート60aから剥離して、内蔵ヒーター111bにより加熱されたツール111aにより貼り付ける、
第2工程で金属媒体2c上に接着シート60を介してICチップ1をダイボンディングする。
第3工程にて、第1実施形態の第2工程と同様に、ICチップ1上の電極1aにバンプ1bを形成する。このときにICチップ1にバンプ1bを形成する際の加熱により第1工程で貼り付けたエポキシ樹脂を含むシート60を硬化する。
第4の工程で、第1実施形態の第3工程と同様に、金属媒体2c上のICチップ1の表面または、第5工程で供給されるインターポーザー基板7に熱硬化性シート5又は接着剤、または異方性導電膜を貼り付ける。
第5工程において、第1実施形態の第4工程と同様に、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板7を、第3工程後のICチップ1と加熱、加圧して接合する。
第6工程では、第1実施形態の第5工程と同様に、インターポーザー基板7に接合された上記ICチップ1を、金属媒体2cと一体的に打ち抜くまたは切り抜く。
【0039】
この第3実施形態によれば、金属媒体2cを用いる方法において、エポキシ樹脂によりICチップ1を金属媒体2cに貼り付けることにより、金属媒体2cであっても確実にICチップ1を保持させることができる。
なお、上記第3実施形態においても上記第1実施形態と同様な作用効果を奏することができる。
また、上記第1から第3実施形態の中で、図6の(b)に示すように媒体2,2cに搬送用の送り穴2dを開けたり、図6の(c)のごとく金属枠2eを用いてこれに媒体2を貼り付けてもよい。
このように、媒体2の周囲に金属枠2eをはめたり、搬送用スプレッケット穴2dを開けると、媒体2の搬送をより容易に行うことができ、より生産性を向上させることができる。
【0040】
図6の(d)及び(e)は、金属枠2eを、搬送用スプレッケット穴2dにかかるように媒体2を貼りつける状態を示している。すなわち、図6の(d)では、媒体2自体に搬送用スプレッケット穴2dを設けておき、その搬送用スプレッケット穴2d近傍に金属枠2eを貼り付けている。これに対して、図6の(e)では、媒体2自体ではなく、金属枠2eに搬送用スプレッケット穴2dを設けておき、その金属枠2eを媒体2の端部に位置するように貼り付けている。
【0041】
また、本発明の上記各実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法を実施するための製造装置の一例におけるCSPの製造装置としては、上記各工程に対応する機能を有し、ICチップ1の媒体2,2cへのマウント装置又は貼付装置、ワイヤーボンディングを応用したICチップ1へのバンプ形成装置、熱硬化性接着剤又は熱硬化性シート又は異方性導電膜を貼付装置、インターポーザー基板7をICチップ1と位置合わせし、マウントする装置、前記ICチップ1とインターポーザー基板7を熱圧着する装置、媒体2,2cから接合されたICチップ1とインターポーザー基板7を剥離または切り抜く分離装置などを備える。
【0042】
【発明の効果】
本発明によれば、CSP、BGAを形成するのに多くの工程を要していた従来の工程を大幅に短縮し、生産性良く製造することが可能となる。また、ICチップを従来は1ケずつ搬送する場合に比べて、媒体を用いてICチップを連続的に供給することができることにより搬送ロス時間を大幅に低減することができる。すなわち、ICチップ上のバンプ形成、ICチップとインターポーザー基板との接合、打ち抜きなどをインラインで搬送ロスが無く、効率的に生産性よく接合することができる。
【0043】
また、ICチップとインターポーザー基板を接合するのに従来要した工程の多くを無くすることができ、生産性が非常に良くなる。また、接合材料として導電粒子の無い熱硬化性シートや熱硬化性接着剤を用いた場合には、従来例で示した方法に比べ安価なICパッケージを提供することができる。
さらに、バンプをメッキで形成する方法(従来例3)では、専用のバンプ形成プロセスを半導体メーカー側で備える必要があり、限定されたメーカーでしかバンプの形成ができなかった。ところが、本発明の方法によれば、ワイヤボンディング装置により、汎用のワイヤボンディング用のICチップを用いることができ、ICチップの入手が容易である。
【0044】
従来の方法によれば、接続抵抗は、バンプと回路基板の電極の間に存在する導電粒子の数に依存していたが、本発明ではバンプをレベリングせずにインターポーザー基板の電極に従来例1、2よりも強い荷重で押しつけて接合するため、介在する粒子数に接続抵抗値が依存せず、安定して接続抵抗値が得られる。
また、バンプのレベリングをインターポーザー基板の接合と同時に行うので、レベリング工程が不要であるばかりでなく、接合時にインターポーザー基板の反りやうねりを変形させて矯正しながら接合するので、この反りやうねり軽減させることができる。例えば、従来例1では、10μm/IC、従来例2では、2μm/IC、従来例3でも、1μm/IC(バンプ高さバラツキ±1μm以下)というような、高精度の基板が必要であり、実際上は、LCDに代表されるガラス基板や、セラミック基板が用いられている。ところが、本発明の方法によれば、上記実施形態で説明したごとく、反りを伴うインターポーザー基板を用いることができ、より低廉で、汎用性のあるICチップの接合方法を提供することができる。
【0045】
また、従来で必要とした導電性接着剤でICチップと回路基板を接合した後にICチップのしたに封止樹脂(アンダーフィルコート)を行う必要がなく工程を短縮することができる。
また、連続体のインターポーザー基板を用いることにより基板の供給をトレーなどの治具を用いることなく容易に供給でき製造設備を安価にすることができる。
また、ダイボンディングペーストに代えてエポキシ樹脂を含むシートを貼り付け、バンプ形成工程でこれを硬化することにより、新たな硬化工程が不要となる。
【0046】
また、搬送媒体として金属媒体を用いれば、そのまま打ち抜くことにより金属媒体の切り取られた部分がICチップの放熱部材として機能し、ICチップの放熱性をが大幅に高めることができる。すなわち、搬送媒体として金属媒体を用い、それをICチップの放熱板とすることで、製造工程での搬送媒体とICチップの放熱板としての2つの役割を同時に果たすことが可能で、ICチップの放熱性を向上させることができるとともに生産性が良くコストダウンを図ることができる。よって、ICチップをCSP化した場合において消費電力が大きい場合には、従来では、ICチップの裏面側にマザー基板への実装後に放熱板を取り付ける必要があったが、本発明ではその必要はない。また、金属媒体によりICチップが補強されるため、ICチップの割れ、欠けを防止し、より強固な構造とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(1),(2)は、本発明の第1実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置において、インターポーザー基板とのICチップの接合方法を示す概略一部断面図である。
【図2】(3)から(5)は、本発明の第1実施形態におけるCSPの製造方法及びその製造装置においてインターポーザー基板とのICチップの接合方法を示す概略一部断面図である。
【図3】本発明の第1実施形態の変形例における、インターポーザー基板への熱硬化性樹脂シートの供給及びインターポーザー基板とのICチップの接合方法を示す概略一部断面図である。
【図4】本発明の第2実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置において、インターポーザー基板とのICチップの接合方法を示す概略一部断面図である。
【図5】本発明の第3実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置において、インターポーザー基板とのICチップの接合方法を示す断面図である。
【図6】(a),(b),(c)は、それぞれ、本発明の上記第1から3実施形態で使用する媒体の各種形態を示す概略斜視図、(d),(e)は、それぞれ、本発明の上記第1から3実施形態で使用する媒体の各種形態を示す概略断面図である。
【図7】本発明の第3実施形態にかかる半導体パッケージの製造方法及びその装置の一例におけるCSPの製造方法及びその製造装置において、ワイヤをワイヤボンディング装置のキャピラリでクランプして、上方に引き上げることにより、金ワイヤが引きちぎられて形成されたバンプ形状を示す図である。
【図8】図2の(3)に示す第3工程で、熱硬化性樹脂シートにスリットを入れてから貼付けツールで熱圧着したのち、カッターでほぼICチップの大きさにカットする状態を示す説明図である。
【図9】(A),(B)は図2の第4工程において、ICチップの電極上のバンプがインターポーザー基板の電極上でバンプの頭部が変形しながら押しつけられていく前後の状態を示す説明図である。
【図10】ICチップ1を媒体2から剥離する装置の説明図である。
【符号の説明】
1…ICチップ、1a…Al(アルミニウム)パッド電極、1b…バンプ、2…媒体、2c…金属媒体、2d…搬送用の送り穴、2e…金属枠、3…吸着部材、3a…吸引通路、4…ワイヤボンディング装置、4a…金ワイヤ、4b…キャピラリ、5…熱硬化性シート、5a…セパレータ(剥離シート)、6…貼付けツール、6a…内蔵ヒータ、7…インターポーザー基板、7a…電極、8…接合ツール、8a…内蔵ヒータ、8c…ステージ、8d…内蔵ヒータ、9a,9b…打ち抜き金型、10…ダイボンディングペースト、11…加熱ステージ、11b…熱風噴射装置、50…硬化層、60…接着シート、100…ディスペンサ、111a…加熱ツール、111b…内蔵ヒーター。
Claims (12)
- 短冊状又は連続的な媒体(2)に、バンプ(1b)が電極(1a)に形成されたICチップ(1)を貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上の上記ICチップとインターポーザー基板(7)を接合する第2工程と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離するかまたは上記媒体の一部と一緒に一体的に打ち抜く若しくは切り抜く第3工程と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 短冊状又は連続的な媒体(2)にICチップ(1)を貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極(1a)にバンプ(1b)を形成する第2工程と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板(7)を、第2工程の上記媒体上の上記ICチップと接合する第3の工程と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く第4工程と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装方法。 - 短冊状または連続的な媒体(2)にICチップ(1)を貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極(1a)にバンプ(1b)を形成する第2工程と、
上記媒体上の上記ICチップの表面、または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板(7)の電極に、熱硬化性接着剤または熱硬化性シート(5)または異方性導電膜を貼り付け、上記インターポーザー基板を、上記媒体上の上記ICチップと加熱、加圧接合する第3工程と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く第4工程とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装方法。 - 上記媒体は短冊状または連続的な金属媒体(2c)である請求項2に記載の半導体パッケージの製造の実装方法。
- 短冊状または連続的な金属媒体に、エポキシ樹脂を含む接着剤を塗布するかまたはエポキシ樹脂を含むシートを貼り付ける第1の工程と、
上記媒体上に上記ICチップをダイボンディングする第2工程と、
上記ICチップ上の電極にバンプを形成するとともに、このとき、上記ICチップにバンプを形成する際の加熱により上記第1工程で貼り付けた上記エポキシ樹脂を含む接着剤またはシートを硬化する第3工程と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く第4の工程とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装方法。 - 上記第4工程において、上記インターポーザー基板を上記第3工程後の上記ICチップと接合する前に、上記媒体上の上記ICチップの表面または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板の電極に、熱硬化性接着剤若しくはシートまたは異方性導電膜を貼り付けたのち、上記インターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと加熱、加圧して接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記金属媒体から剥離または上記金属媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く請求項5に記載の半導体パッケージの製造の実装方法。
- 短冊状又は連続的な媒体(2)に、バンプ(1b)がICチップ(1)の電極(1a)に形成された上記ICチップを貼り付ける貼付装置と、上記媒体上の上記ICチップとインターポーザー基板(7)を接合する接合装置と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離するかまたは上記媒体の一部と一緒に一体的に打ち抜く若しくは切り抜く分離装置と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造装置。 - 短冊状又は連続的な媒体(2)にICチップ(1)を貼り付ける貼付装置と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極(1a)にバンプ(1b)を形成するバンプ形成装置と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板(7)を、第2工程の上記媒体上の上記ICチップと接合する接合装置と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く分離装置と
を備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装装置。 - 短冊状または連続的な媒体(2)にICチップ(1)を貼り付ける貼付装置と、
上記媒体上の上記ICチップ上の電極(1a)にバンプ(1b)を形成するバンプ形成装置と、
上記媒体上の上記ICチップの表面、または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板(7)の電極に、熱硬化性接着剤または熱硬化性シート(5)または異方性導電膜を貼り付け、上記インターポーザー基板を、上記媒体上の上記ICチップと加熱、加圧接合する装置と、
上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜く若しくは切り抜く分離装置とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装装置。 - 上記媒体は短冊状または連続的な金属媒体(2c)である請求項8に記載の半導体パッケージの製造の実装方法。
- 短冊状または連続的な金属媒体に、エポキシ樹脂を含む接着剤を塗布するかまたはエポキシ樹脂を含むシートを貼り付ける装置と、
上記媒体上に上記ICチップをダイボンディングするダイボンディング装置と、
上記ICチップ上の電極にバンプを形成するとともに、このとき、上記ICチップにバンプを形成する際の加熱により上記第1工程で貼り付けた上記エポキシ樹脂を含む接着剤またはシートを硬化するバンプ形成装置と、
短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記媒体から剥離または上記媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く接合分離装置とを備えることを特徴とする半導体パッケージの製造の実装装置。 - 上記接合分離装置は、上記インターポーザー基板を上記第3工程後の上記ICチップと接合する前に、上記媒体上の上記ICチップの表面または、短冊状または連続体で供給されるインターポーザー基板の電極に、熱硬化性接着剤若しくはシートまたは異方性導電膜を貼り付けたのち、上記インターポーザー基板を、上記第3工程後の上記ICチップと加熱、加圧して接合したのち、上記インターポーザー基板に接合された上記ICチップを上記金属媒体から剥離または上記金属媒体の一部と一体的に打ち抜くまたは切り抜く請求項11に記載の半導体パッケージの製造の実装装置。
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