JPH05148308A - ビニルフエノール系重合体の金属除去方法 - Google Patents
ビニルフエノール系重合体の金属除去方法Info
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- JPH05148308A JPH05148308A JP3339727A JP33972791A JPH05148308A JP H05148308 A JPH05148308 A JP H05148308A JP 3339727 A JP3339727 A JP 3339727A JP 33972791 A JP33972791 A JP 33972791A JP H05148308 A JPH05148308 A JP H05148308A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F6/00—Post-polymerisation treatments
- C08F6/02—Neutralisation of the polymerisation mass, e.g. killing the catalyst also removal of catalyst residues
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ビニルフェノール系重合体を溶媒に溶解して
強酸性カチオン交換樹脂に接触させる。 【効果】 ビニルフェノール系重合体の金属含有量を低
減することができ、条件を選べば各種金属を数ｐｐｂま
で低減することができる。
強酸性カチオン交換樹脂に接触させる。 【効果】 ビニルフェノール系重合体の金属含有量を低
減することができ、条件を選べば各種金属を数ｐｐｂま
で低減することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はビニルフェノール系重合
体、すなわちビニルフェノールの単独重合体、ビニルフ
ェノールと他のコモノマーとの共重合体、あるいはそれ
らの改質体ないし誘導体を、溶液状態で強酸性カチオン
交換樹脂に接触させることにより、含有されている例え
ばナトリウム、カリウム、カルシウム、鉄、ニッケル等
の金属不純物を除去する方法に関する。
体、すなわちビニルフェノールの単独重合体、ビニルフ
ェノールと他のコモノマーとの共重合体、あるいはそれ
らの改質体ないし誘導体を、溶液状態で強酸性カチオン
交換樹脂に接触させることにより、含有されている例え
ばナトリウム、カリウム、カルシウム、鉄、ニッケル等
の金属不純物を除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ビニルフェノールの製造法としては、ア
セトキシフェニルメチルカルビノールを脱水する方法、
ヒドロキシ桂皮酸を脱炭酸分解する方法、エチルフェノ
ールを脱水素する方法などが知られている。これらの方
法で得られたビニルフェノールモノマーを、カチオンあ
るいはラジカル重合開始剤の存在下で、単独重合あるい
は他のコモノマーと共重合させることによってビニルフ
ェノール系重合体を得ることも知られている。
セトキシフェニルメチルカルビノールを脱水する方法、
ヒドロキシ桂皮酸を脱炭酸分解する方法、エチルフェノ
ールを脱水素する方法などが知られている。これらの方
法で得られたビニルフェノールモノマーを、カチオンあ
るいはラジカル重合開始剤の存在下で、単独重合あるい
は他のコモノマーと共重合させることによってビニルフ
ェノール系重合体を得ることも知られている。
【０００３】さらに、これらビニルフェノール系重合体
を水素処理する光透過性に優れた改質体の製造法（特開
平１−１０３６０４号）、ビニルフェノール系重合体を
単独、あるいはノボラック型フェノール樹脂と加熱溶融
反応させる可とう性に優れた改質体の製造法（特開昭６
０−５８４０７号、特開昭６０−８１２２８号）、ビニ
ルフェノール系重合体の水酸基の反応による各種エステ
ルおよびエーテル誘導体の製造法、ならびにビニルフェ
ノール系重合体の各種核置換誘導体の製造法等も知られ
ている。
を水素処理する光透過性に優れた改質体の製造法（特開
平１−１０３６０４号）、ビニルフェノール系重合体を
単独、あるいはノボラック型フェノール樹脂と加熱溶融
反応させる可とう性に優れた改質体の製造法（特開昭６
０−５８４０７号、特開昭６０−８１２２８号）、ビニ
ルフェノール系重合体の水酸基の反応による各種エステ
ルおよびエーテル誘導体の製造法、ならびにビニルフェ
ノール系重合体の各種核置換誘導体の製造法等も知られ
ている。
【０００４】これらのビニルフェノール系重合体の製造
においては、一般に出発原料あるいは副資材に例えばナ
トリウム、鉄等の金属が含まれている。また、その製造
操作中にも、製造装置材質、あるいは該製造装置または
環境の汚れに由来する金属の混入も避けることは極めて
困難である。従って従来の方法で製造されるビニルフェ
ノール系重合体中にはナトリウム、鉄等の金属不純物の
存在は避けがたいものである。しかし、従来、ビニルフ
ェノール系重合体からの金属不純物の除去方法は全く知
られていなかった。
においては、一般に出発原料あるいは副資材に例えばナ
トリウム、鉄等の金属が含まれている。また、その製造
操作中にも、製造装置材質、あるいは該製造装置または
環境の汚れに由来する金属の混入も避けることは極めて
困難である。従って従来の方法で製造されるビニルフェ
ノール系重合体中にはナトリウム、鉄等の金属不純物の
存在は避けがたいものである。しかし、従来、ビニルフ
ェノール系重合体からの金属不純物の除去方法は全く知
られていなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ビニルフェノール系重
合体はフォトレジスト、ＩＣ封止材、プリント配線基板
等の素材として非常に有用な物質である。近年、これら
エレクトロニクス分野のデバイスは益々精密化し、高性
能の電気特性を発揮するためには、使用される素材中の
金属の含有量を非常に少量に止める必要が生じている。
従って、ビニルフェノール系重合体をエレクトロニクス
分野等の素材として使用するためには、従来の既知の方
法で製造されたものから金属を除去して、その含有量を
非常に少量にすることが望まれるようになった。
合体はフォトレジスト、ＩＣ封止材、プリント配線基板
等の素材として非常に有用な物質である。近年、これら
エレクトロニクス分野のデバイスは益々精密化し、高性
能の電気特性を発揮するためには、使用される素材中の
金属の含有量を非常に少量に止める必要が生じている。
従って、ビニルフェノール系重合体をエレクトロニクス
分野等の素材として使用するためには、従来の既知の方
法で製造されたものから金属を除去して、その含有量を
非常に少量にすることが望まれるようになった。
【０００６】本発明の目的は、ビニルフェノール系重合
体から金属を高度に除去するための、容易かつ経済的に
実施しうる方法を提供することにある。
体から金属を高度に除去するための、容易かつ経済的に
実施しうる方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく研究した結果、ビニルフェノール系重合体
を溶媒に溶解して強酸性カチオン交換樹脂に接触させる
ことによって上記目的を容易に達成し得ることを見出し
て本発明を完成した。
を達成すべく研究した結果、ビニルフェノール系重合体
を溶媒に溶解して強酸性カチオン交換樹脂に接触させる
ことによって上記目的を容易に達成し得ることを見出し
て本発明を完成した。
【０００８】従って、本発明の要旨は、ビニルフェノー
ル系重合体を溶媒に溶解して溶液状態にて強酸性カチオ
ン交換樹脂に接触させることを特徴とするビニルフェノ
ール系重合体の金属除去方法に存する。
ル系重合体を溶媒に溶解して溶液状態にて強酸性カチオ
ン交換樹脂に接触させることを特徴とするビニルフェノ
ール系重合体の金属除去方法に存する。
【０００９】本発明方法を適用するビニルフェノール系
重合体としては、次のものが挙げられる。 (a) ｐ−ビニルフェノールあるいはｍ−ビニルフェノー
ル等のビニルフェノール類の単独重合体。必要に応じて
ｐ体あるいはｍ体等の異性体が混在していても差し支え
ない。 (b) ビニルフェノール類と他のコモノマー、例えばスチ
レン、アクリル酸あるいはそのエステル類、メタクリル
酸あるいはそのエステル類、無水マレイン酸、マレイン
酸あるいはそのエステル類、さらにはマレイミド類等と
の共重合体であって、コモノマーの割合が７０モル％以
下、好ましくは５０モル％以下のもの。 (c) 上記(a)あるいは(b)の重合体のフェノール性水酸基
の酢酸、安息香酸等のエステル類、あるいは該重合体の
フェノール性水酸基のメチルエーテル、第３ブチルエー
テル、トリメチルシリルエーテル等のエーテル類。 (d) 上記(a)あるいは(b)の重合体の芳香核のアルキル化
体、ハロゲン化体、メチロール化体等の核置換体。 (e) 上記(a)あるいは(b)の重合体の単独あるいはノボラ
ック型フェノール樹脂との加熱溶融改質体。 (f) 上記(a)あるいは(b)の重合体の水素処理改質体。
重合体としては、次のものが挙げられる。 (a) ｐ−ビニルフェノールあるいはｍ−ビニルフェノー
ル等のビニルフェノール類の単独重合体。必要に応じて
ｐ体あるいはｍ体等の異性体が混在していても差し支え
ない。 (b) ビニルフェノール類と他のコモノマー、例えばスチ
レン、アクリル酸あるいはそのエステル類、メタクリル
酸あるいはそのエステル類、無水マレイン酸、マレイン
酸あるいはそのエステル類、さらにはマレイミド類等と
の共重合体であって、コモノマーの割合が７０モル％以
下、好ましくは５０モル％以下のもの。 (c) 上記(a)あるいは(b)の重合体のフェノール性水酸基
の酢酸、安息香酸等のエステル類、あるいは該重合体の
フェノール性水酸基のメチルエーテル、第３ブチルエー
テル、トリメチルシリルエーテル等のエーテル類。 (d) 上記(a)あるいは(b)の重合体の芳香核のアルキル化
体、ハロゲン化体、メチロール化体等の核置換体。 (e) 上記(a)あるいは(b)の重合体の単独あるいはノボラ
ック型フェノール樹脂との加熱溶融改質体。 (f) 上記(a)あるいは(b)の重合体の水素処理改質体。
【００１０】本発明方法によってビニルフェノール系重
合体から金属を除去するに当たっては、ビニルフェノー
ル系重合体を溶媒に溶解して溶液状態で強酸性カチオン
交換樹脂と接触させる。溶媒としては、ビニルフェノー
ル系重合体を溶解させ、かつ強酸性カチオン交換樹脂と
の接触において安定で自ら分解変質したり、ビニルフェ
ノール系重合体と反応しないものが選択される。この要
件を満たす溶媒としては、ビニルフェノール系重合体の
種類および操作条件にもよるが、一般的にメタノール、
エタノール、イソプロパノール等のアルコール類；酢酸
エチル、乳酸エチル等のエステル類；テトラヒドロフラ
ン、ジオキサン等の環状エーテル類；アセトン、メチル
エチルケトン等のケトン類；エチレングリコールエチル
エーテル、エチレングリコールエチルエーテルアセテー
ト、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレン
グリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート等のアルキレングリコール
エーテルないしエステル類等が適当である。
合体から金属を除去するに当たっては、ビニルフェノー
ル系重合体を溶媒に溶解して溶液状態で強酸性カチオン
交換樹脂と接触させる。溶媒としては、ビニルフェノー
ル系重合体を溶解させ、かつ強酸性カチオン交換樹脂と
の接触において安定で自ら分解変質したり、ビニルフェ
ノール系重合体と反応しないものが選択される。この要
件を満たす溶媒としては、ビニルフェノール系重合体の
種類および操作条件にもよるが、一般的にメタノール、
エタノール、イソプロパノール等のアルコール類；酢酸
エチル、乳酸エチル等のエステル類；テトラヒドロフラ
ン、ジオキサン等の環状エーテル類；アセトン、メチル
エチルケトン等のケトン類；エチレングリコールエチル
エーテル、エチレングリコールエチルエーテルアセテー
ト、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレン
グリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート等のアルキレングリコール
エーテルないしエステル類等が適当である。
【００１１】これらの溶媒のビニルフェノール系重合体
に対する使用量は、一般に溶液粘度が強酸性カチオン交
換樹脂との接触温度において１０ポイズ以下となる量が
適当であって、溶媒量を多くして溶液粘度を下げると金
属の除去の程度が高くなるが、溶媒使用量に関し本発明
者らは次のような知見を得ている。すなわち、溶液粘度
を約１ポイズ以下にすれば極めて高レベルに金属を除去
できることを知見している。従って、溶媒使用量は、好
ましくは、強酸性カチオン交換樹脂との接触温度におい
て溶液粘度が１ポイズ以下となる量である。溶媒の使用
量の上限は、特に制限する必要はないが、溶媒の使用量
をあまり多くしても不経済となるだけであるから、通常
溶液粘度が０．１ポイズ程度になる量用いれば十分であ
る。
に対する使用量は、一般に溶液粘度が強酸性カチオン交
換樹脂との接触温度において１０ポイズ以下となる量が
適当であって、溶媒量を多くして溶液粘度を下げると金
属の除去の程度が高くなるが、溶媒使用量に関し本発明
者らは次のような知見を得ている。すなわち、溶液粘度
を約１ポイズ以下にすれば極めて高レベルに金属を除去
できることを知見している。従って、溶媒使用量は、好
ましくは、強酸性カチオン交換樹脂との接触温度におい
て溶液粘度が１ポイズ以下となる量である。溶媒の使用
量の上限は、特に制限する必要はないが、溶媒の使用量
をあまり多くしても不経済となるだけであるから、通常
溶液粘度が０．１ポイズ程度になる量用いれば十分であ
る。
【００１２】本発明方法に用いる強酸性カチオン交換樹
脂としては、一般に市販されている種々の強酸性カチオ
ン交換樹脂を用いることができるが、スチレン／ジビニ
ルベンゼン架橋重合体のスルホン化物が好ましく用いら
れる。強酸性カチオン交換樹脂には、多孔質のポーラス
型と非孔質のゲル型があるが、本発明はポーラス型のみ
ならず驚くべきことにゲル型も使用できる。強酸性カチ
オン交換樹脂は予め酸処理によってナトリウム等を充分
に除去してＨ+の置換度を高めておくことが好ましい。
脂としては、一般に市販されている種々の強酸性カチオ
ン交換樹脂を用いることができるが、スチレン／ジビニ
ルベンゼン架橋重合体のスルホン化物が好ましく用いら
れる。強酸性カチオン交換樹脂には、多孔質のポーラス
型と非孔質のゲル型があるが、本発明はポーラス型のみ
ならず驚くべきことにゲル型も使用できる。強酸性カチ
オン交換樹脂は予め酸処理によってナトリウム等を充分
に除去してＨ+の置換度を高めておくことが好ましい。
【００１３】ビニルフェノール系重合体と強酸性カチオ
ン交換樹脂の接触は、かきまぜ回分方式および固定床流
通方式等が可能であるが、固定床流通方式がより好まし
い。接触時間は固定床流通方式において通常、ＬＨＳＶ
＝０．２〜５ｈｒ-1の範囲であるが、特にこれに限定す
る必要はない。接触処理の温度は０〜１００℃が適当で
あり、好ましくは１０〜５０℃である。低温ではビニル
フェノール系重合体溶液の粘度は高くなり金属の除去の
程度が低くなるので、粘度を低下させるために多量の溶
媒が必要となる。一方高温では溶液の粘度が低下して金
属の除去は容易となるが、ビニルフェノール系重合体あ
るいは溶媒の変質、あるいは強酸性カチオン交換樹脂か
らの酸の溶出あるいは強酸性カチオン交換樹脂の劣化を
生じることがある。
ン交換樹脂の接触は、かきまぜ回分方式および固定床流
通方式等が可能であるが、固定床流通方式がより好まし
い。接触時間は固定床流通方式において通常、ＬＨＳＶ
＝０．２〜５ｈｒ-1の範囲であるが、特にこれに限定す
る必要はない。接触処理の温度は０〜１００℃が適当で
あり、好ましくは１０〜５０℃である。低温ではビニル
フェノール系重合体溶液の粘度は高くなり金属の除去の
程度が低くなるので、粘度を低下させるために多量の溶
媒が必要となる。一方高温では溶液の粘度が低下して金
属の除去は容易となるが、ビニルフェノール系重合体あ
るいは溶媒の変質、あるいは強酸性カチオン交換樹脂か
らの酸の溶出あるいは強酸性カチオン交換樹脂の劣化を
生じることがある。
【００１４】本発明の実施において、強酸性カチオン交
換樹脂に併せてアニオン交換樹脂あるいはキレート樹脂
を使用してビニルフェノール系重合体に含まれるアニオ
ン、強酸性カチオン交換樹脂から溶出した酸等を補捉す
ることができる。アニオン交換樹脂あるいはキレート樹
脂の併用に当たっては、これらの樹脂を強酸性カチオン
交換樹脂と混床あるいは直列の２床式にして使用でき
る。また、イオン交換樹脂接触処理工程の前後にミクロ
フィルターを付設してビニルフェノール系重合体に含ま
れる不溶性の不純物およびイオン交換樹脂から流出する
恐れのある微粒子をろ過除去しても良い。また、本発明
のビニルフェノール系重合体の精製に使用して金属除去
能力の低下した強酸性カチオン交換樹脂は溶媒、水、酸
等で洗浄処理することにより再生して繰り返し使用する
ことが可能である。
換樹脂に併せてアニオン交換樹脂あるいはキレート樹脂
を使用してビニルフェノール系重合体に含まれるアニオ
ン、強酸性カチオン交換樹脂から溶出した酸等を補捉す
ることができる。アニオン交換樹脂あるいはキレート樹
脂の併用に当たっては、これらの樹脂を強酸性カチオン
交換樹脂と混床あるいは直列の２床式にして使用でき
る。また、イオン交換樹脂接触処理工程の前後にミクロ
フィルターを付設してビニルフェノール系重合体に含ま
れる不溶性の不純物およびイオン交換樹脂から流出する
恐れのある微粒子をろ過除去しても良い。また、本発明
のビニルフェノール系重合体の精製に使用して金属除去
能力の低下した強酸性カチオン交換樹脂は溶媒、水、酸
等で洗浄処理することにより再生して繰り返し使用する
ことが可能である。
【００１５】以上に説明した方法によって金属を除去し
たビニルフェノール系重合体は、溶液状態のいわゆるワ
ニスの状態で各種用途に使用しても良いし、あるいは溶
液を純水に投入して重合体を沈澱させ、ついでろ過・乾
燥する方法、もしくは溶液を減圧加熱処理して溶媒を除
いて乾燥する方法等によって精製品としても良い。
たビニルフェノール系重合体は、溶液状態のいわゆるワ
ニスの状態で各種用途に使用しても良いし、あるいは溶
液を純水に投入して重合体を沈澱させ、ついでろ過・乾
燥する方法、もしくは溶液を減圧加熱処理して溶媒を除
いて乾燥する方法等によって精製品としても良い。
【００１６】
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明する。本発明は、これらの実施例に限定されるもの
ではない。また、以下の実施例において、割合あるいは
百分率は、特記しない限り重量基準である。そして吸光
係数は、重合体を１．０×１０-4ｇ／ｍｌ濃度のエタノ
ール溶液にし、１ｃｍ長さセルを用いて、波長２４８ｎ
ｍで分光光度計により測定したものである。
説明する。本発明は、これらの実施例に限定されるもの
ではない。また、以下の実施例において、割合あるいは
百分率は、特記しない限り重量基準である。そして吸光
係数は、重合体を１．０×１０-4ｇ／ｍｌ濃度のエタノ
ール溶液にし、１ｃｍ長さセルを用いて、波長２４８ｎ
ｍで分光光度計により測定したものである。
【００１７】実施例１ ポリｐ−ビニルフェノール（重量平均分子量５０００）
を特開平１−１０３６０４号の方法に従ってニッケルを
触媒として温度１９０℃、水素圧７０ｋｇ／ｃｍ2で３
時間水素処理を行って得られたものであって、ナトリウ
ム含有量が２５９ｐｐｂ、鉄含有量が１５０ｐｐｂ、ニ
ッケル含有量が４４ｐｐｂであるポリｐ−ビニルフェノ
ールの水素処理改質体（吸光系数９７０ｃｍ2／ｇ）を
メタノール／イソプロパノール（１０／９０）の混合溶
媒に溶解し、それを１μｍのフィルターでろ過して、樹
脂分３３％で、２５℃での粘度が１．４ポイズである溶
液を調整した。
を特開平１−１０３６０４号の方法に従ってニッケルを
触媒として温度１９０℃、水素圧７０ｋｇ／ｃｍ2で３
時間水素処理を行って得られたものであって、ナトリウ
ム含有量が２５９ｐｐｂ、鉄含有量が１５０ｐｐｂ、ニ
ッケル含有量が４４ｐｐｂであるポリｐ−ビニルフェノ
ールの水素処理改質体（吸光系数９７０ｃｍ2／ｇ）を
メタノール／イソプロパノール（１０／９０）の混合溶
媒に溶解し、それを１μｍのフィルターでろ過して、樹
脂分３３％で、２５℃での粘度が１．４ポイズである溶
液を調整した。
【００１８】また、市販のハイポーラス型強酸性カチオ
ン交換樹脂（三菱化成ＲＣＰ１６０Ｈ：スチレン／ジビ
ニルベンゼン架橋重合体のスルホン化物）６０ｍ１を、
内径２０ｍｍのガラス製吸着カラムに充填し、３％塩酸
１lで処理した後、流出水のｐＨが７になるまで水洗し
た。この吸着カラムをクラス１００の空気吹きだし口を
備えたクリーンベンチ内にセットして、ミクロポンプに
よってテフロンチューブを通して電子工業用（ＥＬ）メ
タノール５００ｍｌ、次いでＥＬメタノール／イソプロ
パノール（１２：５）の混合溶媒５００ｍｌを供給して
洗浄した。
ン交換樹脂（三菱化成ＲＣＰ１６０Ｈ：スチレン／ジビ
ニルベンゼン架橋重合体のスルホン化物）６０ｍ１を、
内径２０ｍｍのガラス製吸着カラムに充填し、３％塩酸
１lで処理した後、流出水のｐＨが７になるまで水洗し
た。この吸着カラムをクラス１００の空気吹きだし口を
備えたクリーンベンチ内にセットして、ミクロポンプに
よってテフロンチューブを通して電子工業用（ＥＬ）メ
タノール５００ｍｌ、次いでＥＬメタノール／イソプロ
パノール（１２：５）の混合溶媒５００ｍｌを供給して
洗浄した。
【００１９】次いで、上記ポリｐ−ビニルフェノールの
水素処理改質体の溶液をミクロポンプによってＬＨＳＶ
＝０．２ｈｒ-1の流速で吸着カラムに供給した。吸着カ
ラム内を該溶液で充分に置換した後、ポリエチレン製容
器（予め純水、次いでＥＬメタノールで洗浄したもの）
に処理流を捕集した。この間クリーンベンチ内温度は２
５℃であった。処理液の樹脂分中のナトリウムは２５ｐ
ｐｂ、鉄は３０ｐｐｂ、ニッケルは２９ｐｐｂであっ
た。これらの数値はすべて樹脂分中の含有量で示したも
のである（以下においても同じである）。
水素処理改質体の溶液をミクロポンプによってＬＨＳＶ
＝０．２ｈｒ-1の流速で吸着カラムに供給した。吸着カ
ラム内を該溶液で充分に置換した後、ポリエチレン製容
器（予め純水、次いでＥＬメタノールで洗浄したもの）
に処理流を捕集した。この間クリーンベンチ内温度は２
５℃であった。処理液の樹脂分中のナトリウムは２５ｐ
ｐｂ、鉄は３０ｐｐｂ、ニッケルは２９ｐｐｂであっ
た。これらの数値はすべて樹脂分中の含有量で示したも
のである（以下においても同じである）。
【００２０】上記ポリｐ−ビニルフェノールの水素処理
改質体および処理液の樹脂分中の各金属含有量はフレー
ムレス原子吸光分析計により測定した。
改質体および処理液の樹脂分中の各金属含有量はフレー
ムレス原子吸光分析計により測定した。
【００２１】実施例２〜４ 実施例１で調整したと同様の樹脂分３３％のポリｐ−ビ
ニルフェノールの水素処理改質体の溶液を、ＥＬメタノ
ールで希釈して希釈率を変えた他は実施例１と同様にし
て、２５℃で強酸性カチオン交換樹脂に通した。この実
験結果を表１に実施例１の結果と併せて示した。
ニルフェノールの水素処理改質体の溶液を、ＥＬメタノ
ールで希釈して希釈率を変えた他は実施例１と同様にし
て、２５℃で強酸性カチオン交換樹脂に通した。この実
験結果を表１に実施例１の結果と併せて示した。
【００２２】実施例５ 実施例１で調整したと同様の樹脂分３３％のポリｐ−ビ
ニルフェノールの水素処理改質体の溶液を、温度４０
℃、ＬＨＳＶ＝１．０ｈｒ-1とした他は実施例１と同様
にして強酸性カチオン交換樹脂に通した。実験結果を表
１に示した。
ニルフェノールの水素処理改質体の溶液を、温度４０
℃、ＬＨＳＶ＝１．０ｈｒ-1とした他は実施例１と同様
にして強酸性カチオン交換樹脂に通した。実験結果を表
１に示した。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１から分かるように、処理液の粘度が１
ポイズよりも低い場合には、樹脂分中の各金属含有量を
数ｐｐｂと極めて低い値にすることができる。
ポイズよりも低い場合には、樹脂分中の各金属含有量を
数ｐｐｂと極めて低い値にすることができる。
【００２５】実施例６および７ 実施例１で用いたと同様のポリｐ−ビニルフェノールの
水素処理改質体であるが、ナトリウム含有量が２６３ｐ
ｐｂ、カリウム含有量が１２ｐｐｂ、鉄含有量が１３６
ｐｐｂ、ニッケル含有量が６０ｐｐｂであるポリｐ−ビ
ニルフェノールの水素処理改質体（吸光係数９９０ｃｍ
2／ｇ）を実施例１と同様にメタノール／イソプロパノ
ール（１０／９０）の混合溶媒を用いて、樹脂分３３％
で、２５℃での粘度が１．４ポイズである溶液を調整し
た。
水素処理改質体であるが、ナトリウム含有量が２６３ｐ
ｐｂ、カリウム含有量が１２ｐｐｂ、鉄含有量が１３６
ｐｐｂ、ニッケル含有量が６０ｐｐｂであるポリｐ−ビ
ニルフェノールの水素処理改質体（吸光係数９９０ｃｍ
2／ｇ）を実施例１と同様にメタノール／イソプロパノ
ール（１０／９０）の混合溶媒を用いて、樹脂分３３％
で、２５℃での粘度が１．４ポイズである溶液を調整し
た。
【００２６】次いで、市販のゲル型強酸性カチオン交換
樹脂（三菱化成ＳＫ１Ｂ：スチレン／ジビニルベンゼン
架橋重合体のスルホン化物）６０ｍｌを内径２０ｍｍの
ガラス製吸着カラムに充填し、３％塩酸５lで処理した
後、流出水のｐＨが７になるまで水洗した。この吸着カ
ラムを用いて、以後の操作は実施例１と同様にして、た
だしＬＨＳＶ＝１．２ｈｒ-1として、上記ポリｐ−ビニ
ルフェノールの水素処理改質体の溶液を処理した。この
実験結果を実施例６として表２に示した。
樹脂（三菱化成ＳＫ１Ｂ：スチレン／ジビニルベンゼン
架橋重合体のスルホン化物）６０ｍｌを内径２０ｍｍの
ガラス製吸着カラムに充填し、３％塩酸５lで処理した
後、流出水のｐＨが７になるまで水洗した。この吸着カ
ラムを用いて、以後の操作は実施例１と同様にして、た
だしＬＨＳＶ＝１．２ｈｒ-1として、上記ポリｐ−ビニ
ルフェノールの水素処理改質体の溶液を処理した。この
実験結果を実施例６として表２に示した。
【００２７】また、上記ポリｐ−ビニルフェノールの水
素処理改質体の溶液をＥＬメタノールで希釈して樹脂分
１３％の溶液となし、それを上記と同様に処理した。こ
の実験結果を実施例７として表２に示した。
素処理改質体の溶液をＥＬメタノールで希釈して樹脂分
１３％の溶液となし、それを上記と同様に処理した。こ
の実験結果を実施例７として表２に示した。
【００２８】
【表２】
【００２９】表２から分かるように、溶液粘度１ポイズ
以下の実施例７は溶液粘度１ポイズ以上の実施例６より
も格段に優れた結果であった。
以下の実施例７は溶液粘度１ポイズ以上の実施例６より
も格段に優れた結果であった。
【００３０】実施例８ ポリｐ−ビニルフェノール（重量平均分子量５０００）
をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解し、樹
脂分３３％の溶液とした。この溶液の２５℃における粘
度は０．４５ポイズであった。実施例１と同様にして、
ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に上記ポリｐ−
ビニルフェノールの溶液を２５℃、ＬＨＳＶ＝２．０ｈ
ｒ-1で通した。
をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解し、樹
脂分３３％の溶液とした。この溶液の２５℃における粘
度は０．４５ポイズであった。実施例１と同様にして、
ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に上記ポリｐ−
ビニルフェノールの溶液を２５℃、ＬＨＳＶ＝２．０ｈ
ｒ-1で通した。
【００３１】本実験においては、上記ポリｐ−ビニルフ
ェノールの溶液の樹脂分中のナトリウム含有量が２３３
ｐｐｂ、鉄含有量が３０ｐｐｂであったのに対し、ハイ
ポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に通した処理後の溶
液の樹脂分中のナトリウム含有量は３ｐｐｂ、鉄含有量
は６ｐｐｂであった。
ェノールの溶液の樹脂分中のナトリウム含有量が２３３
ｐｐｂ、鉄含有量が３０ｐｐｂであったのに対し、ハイ
ポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に通した処理後の溶
液の樹脂分中のナトリウム含有量は３ｐｐｂ、鉄含有量
は６ｐｐｂであった。
【００３２】実施例９ ｐ−ビニルフェノール／メタクリル酸メチル（５５：４
５（モル比））の共重合体（重量平均分子量８６００）
をイソプロパノールに溶解し、樹脂分１５％の溶液とし
た。この溶液の２５℃における粘度は０．５５ポイズで
あった。実施例１と同様にして、ハイポーラス型強酸性
カチオン交換樹脂に上記ｐ−ビニルフェノール／メタク
リル酸メチル共重合体の溶液を２５℃、ＬＨＳＶ＝１．
２ｈｒ-1で通した。
５（モル比））の共重合体（重量平均分子量８６００）
をイソプロパノールに溶解し、樹脂分１５％の溶液とし
た。この溶液の２５℃における粘度は０．５５ポイズで
あった。実施例１と同様にして、ハイポーラス型強酸性
カチオン交換樹脂に上記ｐ−ビニルフェノール／メタク
リル酸メチル共重合体の溶液を２５℃、ＬＨＳＶ＝１．
２ｈｒ-1で通した。
【００３３】本実験においては、上記ｐ−ビニルフェノ
ール／メタクリル酸メチル共重合体の溶液の樹脂分中の
ナトリウム含有量が５２５ｐｐｂ、鉄含有量が１１２ｐ
ｐｂであったのに対し、ハイポーラス型強酸性カチオン
交換樹脂に通した処理後の溶液の樹脂分中のナトリウム
含有量は８ｐｐｂ、鉄含有量も８ｐｐｂであった。
ール／メタクリル酸メチル共重合体の溶液の樹脂分中の
ナトリウム含有量が５２５ｐｐｂ、鉄含有量が１１２ｐ
ｐｂであったのに対し、ハイポーラス型強酸性カチオン
交換樹脂に通した処理後の溶液の樹脂分中のナトリウム
含有量は８ｐｐｂ、鉄含有量も８ｐｐｂであった。
【００３４】実施例１０ ｐ−ビニルフェノール／スチレン（７０：３０（モル
比））の共重合体（重量平均分子量１４００）をエチレ
ングリコールモノエチルエーテルに溶解し、樹脂分２０
％の溶液とした。この溶液の２５℃における粘度は０．
３３ポイズであった。実施例１と同様にして、ハイポー
ラス型強酸性カチオン交換樹脂に上記ｐ−ビニルフェノ
ール／スチレン共重合体の溶液を２５℃、ＬＨＳＶ＝
１．２ｈｒ-1で通した。
比））の共重合体（重量平均分子量１４００）をエチレ
ングリコールモノエチルエーテルに溶解し、樹脂分２０
％の溶液とした。この溶液の２５℃における粘度は０．
３３ポイズであった。実施例１と同様にして、ハイポー
ラス型強酸性カチオン交換樹脂に上記ｐ−ビニルフェノ
ール／スチレン共重合体の溶液を２５℃、ＬＨＳＶ＝
１．２ｈｒ-1で通した。
【００３５】本実験においては、上記ｐ−ビニルフェノ
ール／スチレン共重合体の溶液の樹脂分中のナトリウム
含有量が２７５ｐｐｂ、鉄含有量が１５１ｐｐｂであっ
たのに対し、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に
通した処理後の溶液の樹脂分中のナトリウム含有量は
４．５ｐｐｂ、鉄含有量は８ｐｐｂであった。
ール／スチレン共重合体の溶液の樹脂分中のナトリウム
含有量が２７５ｐｐｂ、鉄含有量が１５１ｐｐｂであっ
たのに対し、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に
通した処理後の溶液の樹脂分中のナトリウム含有量は
４．５ｐｐｂ、鉄含有量は８ｐｐｂであった。
【００３６】実施例１１ 臭素化ポリｐ−ビニルフェノール（臭素置換度１．５／
核、重量平均分子量６５００）をエタノールに溶解し、
樹脂分３１％の溶液とした。この溶液の２５℃における
粘度は０．３５ポイズであった。実施例１と同様にし
て、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に上記臭素
化ポリｐ−ビニルフェノールの溶液を２５℃、ＬＨＳＶ
＝１．２ｈｒ-1で通した。
核、重量平均分子量６５００）をエタノールに溶解し、
樹脂分３１％の溶液とした。この溶液の２５℃における
粘度は０．３５ポイズであった。実施例１と同様にし
て、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に上記臭素
化ポリｐ−ビニルフェノールの溶液を２５℃、ＬＨＳＶ
＝１．２ｈｒ-1で通した。
【００３７】本実験においては、上記臭素化ポリｐ−ビ
ニルフェノールの溶液の樹脂分中のナトリウム含有量が
３１２ｐｐｂ、鉄含有量が２７０ｐｐｂであったのに対
し、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に通した処
理後の溶液の樹脂分中のナトリウム含有量は８ｐｐｂ、
鉄含有量は１０ｐｐｂであった。
ニルフェノールの溶液の樹脂分中のナトリウム含有量が
３１２ｐｐｂ、鉄含有量が２７０ｐｐｂであったのに対
し、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂に通した処
理後の溶液の樹脂分中のナトリウム含有量は８ｐｐｂ、
鉄含有量は１０ｐｐｂであった。
【００３８】実施例１２ トリメチルシリル化ポリｐ−ビニルフェノール（シリル
化度０．１／ＯＨ基、重量平均分子量５９００）をジオ
キサンに溶解し、樹脂分１４％の溶液とした。この溶液
の１５℃における粘度は０．３０ポイズであった。実施
例１と同様にして、ハイポーラス型強酸性カチオン交換
樹脂に上記トリメチルシリル化ポリｐ−ビニルフェノー
ルの溶液を１５℃、ＬＨＳＶ＝１．５ｈｒ-1で通した。
化度０．１／ＯＨ基、重量平均分子量５９００）をジオ
キサンに溶解し、樹脂分１４％の溶液とした。この溶液
の１５℃における粘度は０．３０ポイズであった。実施
例１と同様にして、ハイポーラス型強酸性カチオン交換
樹脂に上記トリメチルシリル化ポリｐ−ビニルフェノー
ルの溶液を１５℃、ＬＨＳＶ＝１．５ｈｒ-1で通した。
【００３９】本実験においては、上記トリメチルシリル
化ポリｐ−ビニルフェノールの溶液の樹脂分中のナトリ
ウム含有量が１４０ｐｐｂ、鉄含有量が９５ｐｐｂであ
ったのに対し、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂
に通した処理後の溶液の樹脂分中のナトリウム含有量は
６ｐｐｂ、鉄含有量は７ｐｐｂであった。
化ポリｐ−ビニルフェノールの溶液の樹脂分中のナトリ
ウム含有量が１４０ｐｐｂ、鉄含有量が９５ｐｐｂであ
ったのに対し、ハイポーラス型強酸性カチオン交換樹脂
に通した処理後の溶液の樹脂分中のナトリウム含有量は
６ｐｐｂ、鉄含有量は７ｐｐｂであった。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、ビニルフェノール系重
合体に含有されているナトリウム、カリウム、カルシウ
ム、鉄、ニッケル等のアルカリ金属、アルカリ土類金
属、遷移金属等広い範囲の金属不純物の含有量を低減す
ることができる。特に溶液粘度を１ポイズ以下として本
発明を実施すれば、金属不純物の含有量をおしなべて数
ｐｐｂまで低減することができる。本発明方法によって
得られる高純度の精製品は、フォトレジスト、ＩＣ封止
材、プリント配線基板、接着剤等のエレクトロニクスを
中心とする精密デバイスの素材として好適に使用するこ
とができる。
合体に含有されているナトリウム、カリウム、カルシウ
ム、鉄、ニッケル等のアルカリ金属、アルカリ土類金
属、遷移金属等広い範囲の金属不純物の含有量を低減す
ることができる。特に溶液粘度を１ポイズ以下として本
発明を実施すれば、金属不純物の含有量をおしなべて数
ｐｐｂまで低減することができる。本発明方法によって
得られる高純度の精製品は、フォトレジスト、ＩＣ封止
材、プリント配線基板、接着剤等のエレクトロニクスを
中心とする精密デバイスの素材として好適に使用するこ
とができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 ビニルフェノール系重合体を溶媒に溶解
して溶液状態にて強酸性カチオン交換樹脂に接触させる
ことを特徴とするビニルフェノール系重合体の金属除去
方法。 - 【請求項２】ビニルフェノール系重合体を溶媒に溶解し
た溶液の粘度が、強酸性カチオン交換樹脂との接触温度
において、１ポイズ以下である請求項１記載の方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3339727A JPH0768296B2 (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | ビニルフェノール系重合体の金属除去方法 |
| US07/980,310 US5288850A (en) | 1991-11-28 | 1992-11-23 | Process for removing metals from vinylphenol polymers |
| EP92120310A EP0544324B1 (en) | 1991-11-28 | 1992-11-27 | Process for removing metals from vinylphenol polymers |
| DE69208051T DE69208051T2 (de) | 1991-11-28 | 1992-11-27 | Verfahren zur Entfernung von Metallen aus Vinylphenolpolymeren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3339727A JPH0768296B2 (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | ビニルフェノール系重合体の金属除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05148308A true JPH05148308A (ja) | 1993-06-15 |
| JPH0768296B2 JPH0768296B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=18330239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3339727A Expired - Fee Related JPH0768296B2 (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | ビニルフェノール系重合体の金属除去方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5288850A (ja) |
| EP (1) | EP0544324B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0768296B2 (ja) |
| DE (1) | DE69208051T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10237125A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-08 | Maruzen Petrochem Co Ltd | ビニルフェノール系重合体の金属除去法 |
| JP2004352989A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-12-16 | E I Du Pont De Nemours & Co | フォトレジスト組成物およびそれらの調製方法 |
| JP2011178959A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Nippon Soda Co Ltd | 両親媒性化合物の製造方法 |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3630422B2 (ja) * | 1991-12-18 | 2005-03-16 | クラリアント・ファイナンス・（ビーブイアイ）・リミテッド | ノボラック樹脂中の金属イオンの低減 |
| US5580949A (en) * | 1991-12-18 | 1996-12-03 | Hoechst Celanese Corporation | Metal ion reduction in novolak resins and photoresists |
| KR100242920B1 (ko) * | 1992-03-06 | 2000-03-02 | 잰대머 | 저수준의 금속이온을 갖는 포토레지스트(rhotoresists having a low level of metal ions) |
| SG52770A1 (en) * | 1992-07-10 | 1998-09-28 | Hoechst Celanese Corp | Metal ion reduction in top anti-reflective coatings for photoresists |
| US5830990A (en) * | 1992-07-10 | 1998-11-03 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Low metals perfluorooctanoic acid and top anti-reflective coatings for photoresists |
| WO1994012912A1 (en) * | 1992-11-25 | 1994-06-09 | Hoechst Celanese Corporation | Metal ion reduction in bottom anti-reflective coatings for photoresists |
| WO1994014858A1 (en) * | 1992-12-29 | 1994-07-07 | Hoechst Celanese Corporation | Metal ion reduction in polyhydroxystyrene and photoresists |
| US5476750A (en) * | 1992-12-29 | 1995-12-19 | Hoechst Celanese Corporation | Metal ion reduction in the raw materials and using a Lewis base to control molecular weight of novolak resin to be used in positive photoresists |
| US5571657A (en) * | 1993-09-30 | 1996-11-05 | Shipley Company, Inc. | Modified cation exhange process |
| US5679766A (en) * | 1993-12-07 | 1997-10-21 | Shipley Company, L.L.C. | Purification process of novolar resins using acid treated chelating cation exchange resin |
| US5521052A (en) * | 1994-12-30 | 1996-05-28 | Hoechst Celanese Corporation | Metal ion reduction in novolak resin using an ion exchange catalyst in a polar solvent and photoresists compositions therefrom |
| US5614352A (en) * | 1994-12-30 | 1997-03-25 | Hoechst Celanese Corporation | Metal ion reduction in novolak resins solution in PGMEA by chelating ion exchange resin |
| US5837417A (en) * | 1994-12-30 | 1998-11-17 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Quinone diazide compositions containing low metals p-cresol oligomers and process of producing the composition |
| US5750031A (en) * | 1995-09-26 | 1998-05-12 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Process for producing surfactant having a low metal ion level and developer produced therefrom |
| US5656413A (en) * | 1995-09-28 | 1997-08-12 | Hoechst Celanese Corporation | Low metal ion containing 4,4'-[1-[4-[1-(4-Hydroxyphenyl)-1-methylethyl]phenyl]ethylidene]bisphe nol and photoresist compositions therefrom |
| US5665517A (en) * | 1996-01-11 | 1997-09-09 | Hoechst Celanese Corporation | Acidic ion exchange resin as a catalyst to synthesize a novolak resin and photoresist composition therefrom |
| US6576139B1 (en) | 1996-07-30 | 2003-06-10 | Kenneth C. Hou | Process for purifying photoresist composition employing a filter sheet |
| AU725939B2 (en) * | 1996-07-30 | 2000-10-26 | 3M Innovative Properties Company | Filter sheet and process for purifying photoresist composition employing the filter sheet |
| FR2763330B1 (fr) * | 1997-05-15 | 1999-07-30 | Atochem Elf Sa | Procede de purification de liquides organiques quasi anhydres |
| US5936071A (en) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Clariant Finance (Bvi) Limited | Process for making a photoactive compound and photoresist therefrom |
| EP1076667B1 (en) * | 1998-05-05 | 2004-03-24 | Triquest, L.P. | Preparation of co-and terpolymers of p-hydroxystyrene and alkyl acrylates |
| US6759483B2 (en) * | 1998-05-05 | 2004-07-06 | Chemfirst Electronic Materials L.P. | Preparation of homo-, co- and terpolymers of substituted styrenes |
| JP3348040B2 (ja) * | 1999-06-04 | 2002-11-20 | 群栄化学工業株式会社 | ノボラック型フェノール樹脂 |
| US6787611B2 (en) * | 2000-06-27 | 2004-09-07 | Chemfirst Electronic Materials L.P. | Purification means |
| US6593431B2 (en) | 2000-06-27 | 2003-07-15 | Chemfirst Electronic Materials Lp | Purification means |
| US6864324B2 (en) | 2002-04-19 | 2005-03-08 | Chem First Electronic Materials L.P. | Anhydrous, liquid phase process for preparing hydroxyl containing polymers of enhanced purity |
| US7834113B2 (en) * | 2003-05-08 | 2010-11-16 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Photoresist compositions and processes for preparing the same |
| US20060073411A1 (en) * | 2004-09-28 | 2006-04-06 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Chemically amplified resist composition |
| US20070248913A1 (en) * | 2006-04-24 | 2007-10-25 | Rahman M Dalil | Process for producing film forming resins for photoresist compositions |
| WO2015017295A1 (en) * | 2013-07-29 | 2015-02-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymer purification |
| FR3021551A1 (fr) * | 2014-06-03 | 2015-12-04 | Arkema France | Procede d'elimination d'ions metalliques dans une solution organique visqueuse |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60258206A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-20 | Cosmo Co Ltd | ｐ−ビニルフエノ−ル重合体の低着色改質体の製造方法 |
| US4636540A (en) * | 1985-07-08 | 1987-01-13 | Atlantic Richfield Company | Purification of polymer solutions |
| JPH03128903A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-05-31 | Fine Kurei:Kk | 合成樹脂の改質方法および改質合成樹脂 |
| US4985540A (en) * | 1989-11-20 | 1991-01-15 | Polysar Limited | Process for removing rhodium-containing catalyst residue from hydrogenated nitrile rubber |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP3339727A patent/JPH0768296B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-11-23 US US07/980,310 patent/US5288850A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-27 DE DE69208051T patent/DE69208051T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-11-27 EP EP92120310A patent/EP0544324B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10237125A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-08 | Maruzen Petrochem Co Ltd | ビニルフェノール系重合体の金属除去法 |
| JP2004352989A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-12-16 | E I Du Pont De Nemours & Co | フォトレジスト組成物およびそれらの調製方法 |
| JP2011178959A (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-15 | Nippon Soda Co Ltd | 両親媒性化合物の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0544324A1 (en) | 1993-06-02 |
| JPH0768296B2 (ja) | 1995-07-26 |
| EP0544324B1 (en) | 1996-01-31 |
| DE69208051T2 (de) | 1996-05-30 |
| DE69208051D1 (de) | 1996-03-14 |
| US5288850A (en) | 1994-02-22 |
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