JP2004352989A - フォトレジスト組成物およびそれらの調製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 重合、精製、エステル交換反応、精製、触媒除去、および溶媒交換のステップを含む、高められた純度と低多分散性のポリマーの無水の液相調製方法。得られた溶液中のポリマーを、さらなる処理ステップ無しに、直接使用してフォトレジスト組成物を調製することができる。
【選択図】 なし
Description
以下の参考文献を、一般的な背景的情報として開示する。
2.フォトレジストおよび光学用途のための、低光学濃度のポリマーおよびコポリマーを調製する方法が開示されている(特許文献6参照)。
3.フォトレジストおよび光学用途のための低光学濃度のポリマーおよびコポリマーを作製する方法が開示されている(特許文献7参照)。
4.感光性酸発生剤およびヒドロキシスチレンとアクリレート、メタクリレートまたはアクリレートとメタクリレートとの混合物との反応生成物を含むポリマーを含有するフォトレジスト組成物を作製する方法が開示されている(特許文献4参照)。
5.保護ポリマー(protected polymer)を脱保護するための水性エステル交換反応が開示されている(Barclayの特許文献8参照)。
6.保護基のないヒドロキシスチレンの重合が開示されている(特許文献9参照)。
7.ある種のポリマーの多分散性を制御するために使用される連鎖移動剤が開示されている(特許文献10参照)。
8.ある種のポリマーの多分散性を制御するために使用される連鎖移動剤が開示されている(特許文献11参照)。
このステップでは、式IIIの置換スチレンモノマー
水素;
フッ素、塩素または臭素;
式CnHxFy(式中、nは1から4の整数、xおよびyは0から2n+1の整数、xとyの合計は2n+1である)を有するアルキル基またはフルオロアルキル基;並びに
フェニルまたはトリル
からなる群から選択され、
ii)R3は、
水素;および
メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル、i−ブチルまたはt−ブチル;
からなる群から選択され、
iii)R4は、メチル、エチル、n−プロピル、i−プロピル、n−ブチル、
i−ブチル、t−ブチル、t−アミル、ベンジル、シクロヘキシル、9−アントラセニル、2−ヒドロキシエチル、シンナミル、アダマンチル、メチルまたはエチルアダマンチル、イソボルニル、2−エトキシエチル、n−ヘプチル、n−ヘキシル、2−ヒドロキシプロピル、2−エチルブチル、2−メトキシプロピル、2−(2−メトキシエトキシル)、オキソテトラヒドロフラン、ヒドロキシトリメチルプロピル、オキソ−オキサトリシクロノニル、2−ナフチル、2−フェニルエチル、フェニルなど
からなる群から選択され、
iv)R5は、直鎖または分枝鎖のC1〜C5アルキルである。
モノデシルマレアート
2−ヒドロキシエチルメタクリレート
イソデシルメタクリレート
ヒドロキシプロピルメタクリレート
イソブチルメタクリレート
ラウリルメタクリレート
ヒドロキシプロピルアクリレート
メチルアクリレート
t−ブチルアミノエチルメタクリレート
イソシアナトエチルメタクリレート
トリブチルスズメタクリレート
スルホエチルメタクリレート
ブチルビニルエーテルブロックトメタクリル酸
シラン
ゾニールTM
ゾニールTA
t−ブチルメタクリレート
2−フェノキシエチルメタクリレート
アセトアセトキシエチルメタクリレート
2−フェノキシエチルアクリレート
2−エトキシエトキシエチルアクリレート
β−カルボキシエチルアクリレート
無水マレイン酸
イソボルニルメタクリレート
イソボルニルアクリレート
メチルメタクリレート
スチレン
エチルアクリレート
2−エチルヘキシルメタクリレート
2−エチルヘキシルアクリレート
グリシジルメタクリレート
n−ブチルアクリレート
アクロレイン
2−ジエチルアミノエチルメタクリレート
アリルメタクリレート
トール油のビニルオキサゾリンエステル
アクリロニトリル
メタクリル酸
ステアリルメタクリレート
meso−メタクリレート
イタコン酸
アクリル酸
n−ブチルメタクリレート
エチルメタクリレート
ヒドロキシエチルアクリレート
アクリルアミド
が含まれる。
ステップ1の重合後、そして、ステップ3のエステル交換反応より前に、ステップ1からのポリマーを精製手順にかける。その手順は、同タイプのカルボン酸性アルコール溶媒(第1の溶媒)を使用して、多段階の分別プロセスによってポリマーを精製する。ステップ1のポリマー混合物に追加の第1の溶媒を加え、得られたスラリーを力強く攪拌し、および/または沸騰する(約66℃)まで数分間加熱し、次いで25℃と同程度まで低く冷却し、置いておく。これが、スラリーに相分離を生じさせ、次いで遠心分離、ろ過、デカンテーションあるいは同様な手段によって液体を取り除く。このプロセスを、さらなる精製が認められなくなるまで、例えば、デカントされた溶媒の小サンプルが蒸発乾燥により、実質的に残留物を示さなくなるまで、少なくとももう1回繰り返す。この分別プロセス、すなわち加熱、冷却、分離、および溶媒置換を、一般的に、2から10回行う。
エステル交換反応のステップでは、ステップ2からのポリマー/溶媒混合物を、前記アルコール溶媒中、触媒作用を及ぼす量のエステル交換反応触媒の存在下でエステル交換反応の条件にかける。触媒は、ポリマー、または前記アルキルアクリレートモノマーIIと、または前記共重合性モノマー(EUCM)と実質的に反応しないようなものである。触媒は、(無水)アンモニア、リチウムメトキシド、リチウムエトキシド、リチウムイソプロポキシド、ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、ナトリウムイソプロポキシド、カリウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムイソプロポキシド、セシウムメトキシド、セシウムエトキシド、セシウムイソプロポキシド、およびそれらの組合せからなる群から選択され、カルボン酸性アルコキシドアニオンはカルボン酸性アルコール溶媒と類似している。また、触媒は、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化セシウムおよびそれらの組合せのようなアルカリ金属水酸化物とすることができることも理解されたい。使用されるモノマーが−OR5である−ORの場合、触媒はHClのような鉱酸などの強酸である。
この精製ステップは、触媒除去のステップ(5)の前に行う。このステップ4によれば、アルコール溶液中でポリマーに、第2層が形成されるまで、前記アルコール溶媒と不混和の第2の溶媒を加える。次いで、この混合物を力強く攪拌し、あるいは沸点まで数分間加熱し、次いで冷えるまで置いておく。分離している第2層が形成され、次いでそれをデカンテーションまたは類似の手段で除去し、さらなる精製が認められなくなるまで、例えば、蒸発乾燥によって、デカントされた第2の(非アルコール)溶媒の小サンプルが残留物を全く示さなくなるまで、このプロセスを繰り返す。このようにして、副生成物および低重量平均分子量の材料を除去する。
ステップ3で使用される触媒の性質を考慮すると、それを系から除去することが重要である。このステップでは、陽イオン交換樹脂、好ましくは酸性陽イオン交換樹脂を使用して、所望の最終結果を達成する。好ましくは、水素型のスルホン化スチレン/ジビニルベンゼン陽イオン交換樹脂のような酸性イオン交換樹脂を、本方法で利用する。適当な酸性交換樹脂、例えば酸性イオン交換樹脂のAMBERLYST15は、RohmおよびHaas Companyから入手可能である。これらのAMBERLYST樹脂は通常、ナトリウムと鉄を80,000から200,000ppbほど含む。本発明の方法で利用される前に、イオン交換樹脂を水で処理し、次いで鉱酸溶液で処理して金属イオンレベルを下げる必要がある。ポリマー溶液から触媒を除去する場合、ポリマー溶液の溶媒と同じ、または少なくとも相溶性がある溶媒で交換樹脂をすすぐことが重要である。ステップ(c)の手順は、特許文献21および22に開示されている手順と同様のものであってもよい。
このステップでは、精製されるポリマーは、フォトレジスト相溶性溶媒である第3のまたは非プロトン性/有機溶媒で溶媒交換され、そして、アルコール溶媒は蒸留によって除去される。この第3の溶媒は、ヒドロキシル基またはケト基を有しないグリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類および脂肪族エステル類から選択される少なくとも1種のメンバーである。溶媒の例には、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートやプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)のようなグリコールエーテルアセテート類、並びにエチル−3−エトキシプロピオネート、メチル−3−メトキシプロピオネートのようなエステル類があり、その中でもPGMEAが好ましい。これらの溶媒は、単独でまたはそれらの混合物の形態で使用されてもよい。
次いで、官能基/ヒドロキシル基を保護するために、ステップ6からのほぼ純粋な溶液中のヒドロキシルを含有するポリマー(すなわち第3の溶媒)を追加の反応にかけて、保護基またはブロック基(しばしば酸不安定基と呼ばれる)を有する前記ポリマーを得る。場合によっては、この遮断は、完全に遮断されるか、あるいは部分的に遮断されることができる。このステップでは、ステップ6からの溶液中のポリマーを、非プロトン性溶媒(すなわち第3の溶媒)中、触媒の存在下でビニルエーテル化合物および/またはジアルキルジカルボネートと反応させる。ポリマーをビニルエーテルと反応させるとき、酸触媒の存在下で行い、続いてそこに塩基を加えてそれを中和し、それによって反応が停止する。これは一般的にアセタール化と呼ばれ、アセタール誘導ヒドロキシル含有ポリマーが形成される。ステップ6からのポリマーをジアルキルジカルボネートと反応させる場合、これは反応触媒として使用される塩基触媒の存在下における無水物(ジカルボネート)の使用によるアルコール分解である。
C(R6)(R7)=C(R8)−O−R9
(式中、R6、R7およびR8は、それぞれ独立的に、水素原子または1から6個の炭素原子を含む直鎖状アルキル基、分枝状アルキル基、環状アルキル基もしくは複素環式アルキル基を表し、R9は、ハロゲン原子、アルコキシ基、アラルキルオキシカルボニル基および/またはアルキルカルボニルアミノ基と置換されうる1から10個の炭素原子を含む直鎖状アルキル基、分枝状アルキル基、環状アルキル基もしくは複素環式アルキル基を表す。)内に入るものを含む。
本発明のこのステップにおいて、塩基の使用により酸触媒を不活性化するステップは、重要なステップである。すなわち、ステップ7の反応を終えた後、塩基(例えばトリフェニルスルホニウムアセテートなど)を加え、それによって酸触媒が中和および不活性化されて反応を停止し、そのため貯蔵安定性を有するポリマー溶液を得ることができる。理論上、酸に対して当量の塩基の添加は、酸を不活性化するのに十分であるが、約10%過剰の塩基を加えることによって貯蔵安定性をさらに保証できるので、酸1当量に対して塩基約1.1当量の添加が好ましい。レジストを調製するための添加剤として加えられる別の塩基の量を決定するために、この過剰な塩基が考慮に入れられることになる。
レジスト材料溶液(上記のように調製)に、化学線への露光によって酸を生成し得る光酸発生化合物(光酸発生剤)、並びに必要に応じて塩基および、光学的性質、機械的性質、膜形成特性、基板との接着性などを向上させるための添加剤を、任意選択的に溶液の形で直接的に加えることによって、レジスト材料を単離することなしにレジスト組成物が調製される。必要に応じて溶媒の添加によって、この組成物の粘度を調節する。レジスト組成物を調製するのに使用される溶媒は、必ずしもステップ6で使用されている第3の溶媒の種類に限定されず、レジスト組成物の調製で慣用的に使用される任意の他の溶媒を使用することができる。さらに、化学増幅レジストに慣用的に使用される任意の光酸発生化合物および他の添加剤を使用することもできる。レジスト組成物の全固形分は、溶媒に対して好ましくは9から50重量%、より好ましくは15から25重量%である。
本発明のレジスト組成物のフッ素含有コポリマーは、保護酸性フッ素化アルコール基(protected acidic fluorinated alcohol groups)(例えば、−C(Rf)(Rf’)ORa、式中RaはHではない)または光活性化合物(PAC)から光分解的に生成される酸または塩基との反応によって親水基をもたらすことができる他の酸性基を有する1種または複数種の成分を含むことができる。所与の保護フッ素化アルコール基は、この保護形態の間にフッ素化アルコール基をその酸性度を示すことから防ぐ保護基を含む。画像様露光によって酸が生成される場合に、その酸が、保護酸性フッ素化アルコール基の脱保護および水性条件下での現像に必要な親水性酸性基の生成に触媒作用を及ぼすように、所与の保護酸性基(Ra)は、それが酸不安定であることに基づいて通常選択される。さらに、フッ素含有コポリマーは、保護されない酸官能基(例えば、−C(Rf)(Rf’)ORa、式中Ra=H)も含む。
−C(Rf)(Rf’)O−CH2OCH2R15
(式中、RfおよびRf’は、同一または異なる1から10個の炭素原子のフルオロアルキル基であり、または一緒になった(CF2)n(式中、nは2から10)であり、R15は、H、1から10個の炭素原子の直鎖状アルキル基、または3から10個の炭素原子の分枝状アルキル基である。)
を有する。
本発明のコポリマーを使用し、コポリマーと、少なくとも1種の光活性成分と、化学線への露光によって酸または塩基のいずれかをもたらす化合物とを組み合わせることによって、フォトレジストを作製できる。化学線への露光によって酸が生成される場合、PACは光酸発生剤(PAG)と呼ばれる。化学線への露光によって塩基が生成される場合、PACは光塩基発生剤(PBG)と呼ばれる。いくつかの適当な光酸発生剤が、特許文献23に開示されている。
本発明のコポリマーから誘導されるフォトレジストに、様々な溶解抑制剤を加えることができる。理想的には、遠紫外および極紫外レジスト(例えば、193nmのレジスト)用の溶解抑制剤(DI)は、所与のDI添加剤を含むレジスト組成物の溶解抑制、プラズマエッチングの耐性、接着挙動を含む多数の材料要求を満足させるために、設計/選択されるべきである。いくつかの溶解抑制化合物は、レジスト組成物中で可塑剤としても役立つ。いくつかの適当な溶解抑制剤は、特許文献23に開示されている。
本発明のフォトレジストは、フルオロポリマー中の成分の選択、任意選択の溶解抑制剤および架橋剤の有無、並びに現像剤の選択(現像に使用される溶剤)に応じて、ポジティブワーキングフォトレジストまたはネガティブワーキングフォトレジストのいずれかにすることができる。ポジティブワーキングフォトレジストの場合、画像または照射領域において、レジストポリマーは、現像に使用される溶剤中で、より高い可溶性および/または分散性となるが、ネガティブワーキングフォトレジストの場合、画像または照射領域において、レジストポリマーは、より低い可溶性および/または分散性となる。本発明の好ましい一実施形態では、照射が上記の光活性成分による酸または塩基の発生を生じさせる。酸または塩基は、フルオロアルコールからの保護基の除去に触媒作用を及ぼすことができ、かつ、フルオロアルコール官能基または、以下の構造、
C(Rf)(Rf’)ORa
(式中、RfおよびRf’は、同一または異なる1から10個の炭素原子のフルオロアルキル基であり、または一緒になった(CF2)n(式中、nは2から10)であり、Raは水素または保護官能基である。)
を有する保護フルオロアルコール官能基を含有する少なくとも1種のエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を含むフッ素含有ポリマーに存在する任意選択的に他の酸性基からの保護基の除去に触媒作用を及ぼすことができる。テトラメチルアンモニウムヒドロキシドのような塩基性水溶液中での現像は、ポジ像の形成をもたらすが、有機溶剤または臨界流体(中から低の極性を有する)中での現像は、露光領域が残り、未露光領域が除去されるネガティブワーキング系をもたらすであろう。ポジティブワーキングフォトレジストが好ましい。本発明のネガティブワーキング形態において、種々の異なる架橋剤を、必要に応じて、あるいは任意選択の1種または複数種の光活性成分として使用することができる。(架橋剤は、架橋の結果として現像液中で不溶化を伴う実施形態では必要とされるが、中/低極性を有する有機溶剤および臨界流体中で不溶性である露光領域で極性基が形成される結果として現像溶液中での不溶化を伴う好ましい実施形態では任意選択的である。)適当な架橋剤には、4,4’−ジアジドジフェニルスルフィドおよび3,3’−ジアジドジフェニルスルホンのような様々なビス−アジド類が含まれるが、それだけには限定されない。好ましくは、1種または複数種の架橋剤を含むネガティブワーキングレジスト組成物はまた、UVへの露光によって生成されて、現像液中に可溶性でなく、分散されず、または実質的に膨潤されない架橋ポリマーを生成する反応性種(例えば、ニトレン)と反応することができ、その結果として、ネガティブワーキング特性を組成物に付与するという適当な官能基(例えば、不飽和C=C結合)を含む。
本発明のフォトレジストは、任意選択の追加の成分を含むことができる。任意選択の成分の例には、解像度エンハンサー、接着促進剤、残渣還元剤(residue reducers)、コーティング助剤、可塑剤、およびTg(ガラス転移温度)改質剤が含まれるが、それだけには限定されない。
画像様露光
本発明のフォトレジスト組成物は、電磁スペクトルの紫外領域、特にそれらの波長≦365nmに感受性である。本発明のレジスト組成物の画像様露光を、365nm、248nm、193nm、157nm、およびより低波長を含むが、それだけには限定されない多くの異なるUV波長で行うことができる。画像様露光は、好ましくは、245nm、193nm、157nm、またはより低波長の紫外光で行われ、好ましくは193nm、157nm、またはより低波長の紫外光で行われ、最も好ましくは157nmまたはより低波長の紫外光で行われる。画像様露光を、レーザーもしくは同等の装置を用いてデジタル方式で、またはフォトマスクの使用を伴う非デジタル方式で行うことができる。レーザーでのデジタル画像形成が好ましい。本発明の組成物のデジタル画像形成のための適当なレーザー装置には、UV出力が193nmのアルゴン−フッ素エキシマレーザー、UV出力が248nmのクリプトン−フッ素エキシマレーザー、および出力が157nmのフッ素(F2)レーザーがあるが、それだけには限定されない。画像様露光にとってより低波長のUV光の使用はより高解像度(より低い解像限界)に対応するので、より低波長(例えば、193nmまたは157nmまたはより低波長)の使用は、より高波長(例えば、245nmまたはより高波長)の使用に比べて一般的に好ましい。
本発明のレジスト組成物中のフッ素含有コポリマーは、UV光への画像様露光に続く現像のために十分な官能基を含む必要がある。水性現像が、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液、または水酸化アンモニウム溶液のような塩基性現像剤を使用できるように、官能基は酸または保護酸であることが好ましい。本発明のレジスト組成物中の好ましいフッ素含有コポリマーは、少なくとも1種の下記構造単位、
−C(Rf)(Rf’)OH
(式中、RfおよびRf’は、同一または異なる1から10個の炭素原子のフルオロアルキル基であり、または一緒になった(CF2)n(式中、nは2から10)である。)
のフルオロアルコール含有モノマーからなる酸含有コポリマーまたはホモポリマーである。酸性フルオロアルコール基のレベルは、水性アルカリ現像剤中での優れた現像に必要な量を最適化することにより、所与の組成物に対して決定される。
本発明で使用される基板は、例示的にはシリコン、酸化ケイ素、オキシ窒化ケイ素(silicone oxynitiride)、窒化ケイ素、または半導体製造に使用される他の様々な材料とすることができる。
以下の実施例では、下記の略語、
ASM − p−アセトキシスチレンモノマー
t−BPP − tert−ブチルペルオキシピバレート
THF − テトラヒドロフラン
GPC − ゲル浸透クロマトグラフィー
GC − ガスクロマトグラフィー
FTIR − フーリエ変換赤外分光法
NMR − 核磁気共鳴分光法、通常、プロトン、1H;
および/または炭素13、13C核のいずれか
DSC − 示差走査熱分析
UV−Vis − 紫外−可視分光法
を使用する。
以下のもの、
NMR:1Hおよび13CのNMRスペクトルを、それぞれ400および100MHzで5mmプローブを用いてBruker400MHz分光計に記録した。
GPC:GPCを、屈折率検出を備えたWatersゲル浸透クロマトグラフで行った。
GC:GC分析を、DB−1カラムを備えたHewlett Packard 5890型シリーズIIガスクロマトグラフで行った。
FTIR:FTIRを、Mattson GenesisシリーズFTIRで記録した。
DSC:Perkin Elmer 7700 DSCを使用して、本発明のコポリマーおよびターポリマーのTg(ガラス転移温度)を測定した。加熱速度を、一般的に、50℃から400℃の温度範囲にわたって10℃/分で維持した。窒素または空気の流量を20mL/分で維持する。
サンプルのUV−Visは、Hewlett Packard Vectra 486/33VL UV−Vis分光光度計を用いて行われた。
を含む種々の分析技術を使用して本発明のコポリマーおよびターポリマーを特徴付けた。
RAFTを用いた低多分散性ポリマー
4−ヒドロキシスチレンのホモポリマー
重合
コンデンサー、機械式スターラー、窒素吸入口、およびサーモウェルを取り付けられた四つ口の1リットル丸底フラスコに、4−アセトキシスチレン(ASM)(250.33g、1.5204モル)および1−メトキシ−2−プロパノール(PGME)(269.4g)を加えた。加熱マントルと温度調節器を用いて反応器を100℃まで加熱した。次いで、PGME28.1g中に溶解されたS−シアノメチル−S−ドデシルトリチオカルボネート(CDTC)(2.66g、0.83ミリモル)およびt−ブチルペルオキシアセテート(tBPA)(0.214g、OMS中75wt%、0.12ミリモル)を加えた。反応器を100℃で24.0時間保持した。次いで、反応器を室温まで冷却した。得られたポリマーの分析から、重量平均分子量14,400および多分散性1.114が示された(第1表)。
上記で得られたポリマー溶液546gにPGME283gを加えて、ポリマーの濃度を30wt%に調節した。次いで、固体ポリマーを、メタノール中に沈殿させることによって単離し(10:1、メタノール:ポリマー溶液)、粗いフリットに通してろ過し、メタノールで洗浄し、真空乾燥した(55℃、20トール(2.7kPa)、24時間)。116.5gの淡黄色の固形物が得られた。
コンデンサー/Barrettレシーバー、機械式スターラー、窒素吸入口、およびサーモウェルを取り付けられた四つ口の1リットル丸底フラスコに、上記で得られた固形物111.34g、メタノール(218.66g)、およびナトリウムメトキシドのメタノール溶液(メタノール中25wt%、1.02g)を加えた。反応器を加熱して還流させ、留出物を連続的に取り去り、6時間還流を保持した。反応を通して、連続的に反応器に対して留出物をメタノールで置換した。次いで反応器を室温まで冷却した。得られた溶液をアンバーリストA15樹脂のカラム(1インチ×11インチ(2.54cm×27.94cm)、10mL/分)に通して、触媒を除去した。次いで、固体ポリマーを水中に沈殿させることによって単離し(10:1、水:ポリマー溶液)、粗いフリットに通してろ過し、水で洗浄し、真空乾燥した(55℃、20トール(2.7kPa)、3日間)。75.35gの微細な白色固形物が得られた(収率91.4%、全収率41.3%)。この固形物の分析から、重量平均分子量12,820が多分散性1.198と共に示された。熱、分子量、および光学濃度のデータを第2表に示す。
4−アセトキシスチレンのホモポリマー
反応10033−161
重合
コンデンサー、機械式スターラー、窒素吸入口、およびサーモウェルを取り付けられた四つ口の1リットル丸底フラスコに、4−アセトキシスチレン(ASM)(250.56g、1.5205モル)および1−メトキシ−2−プロパノール(PGME)(273.5g)を加えた。加熱マントルと温度調節器を用いて反応器を100℃まで加熱した。次いで、PGME20.7g中に溶解させたS−シアノメチル−S−ドデシルトリチオカルボネート(CDTC)(2.63g、0.83ミリモル)および1,1−ジ(t−ブチルペルオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン(TMCH)(0.56g、0.18ミリモル)を加えた。反応器を100℃で26.4時間保持した。次いで、反応器を室温まで冷却した。得られたポリマー溶液の分析から、重量平均分子量23,036および多分散性1.294が示された(第3表)。ASMのポリマーへの転化率をガスクロマトグラフ法で分析し、83.12%となった。
4−ヒドロキシスチレンとスチレンとのコポリマー
反応10033−177
重合
コンデンサー、機械式スターラー、窒素吸入口、およびサーモウェルを取り付けられた四つ口の1リットル丸底フラスコに、4−アセトキシスチレン(ASM)(212.50g、1.29モル)、スチレン(23.86g、0.23モル)、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)(273.09g)、S−シアノメチル−S−ドデシルトリチオカルボネート(CDTC)(7.05g、2.22ミリモル)、および1,1−ジ(t−ブチルペルオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン(TMCH)(1.46g、0.48ミリモル)を加えた。加熱マントルと温度調節器を用いて反応器を100℃まで加熱した。反応器を100℃で25.8時間保持した。次いで、反応器を室温まで冷却した。得られたポリマーの分析から、重量平均分子量10,782および多分散性1.205が示された(第4表)。ASMの転化率は98.02%、スチレンは95.43%であった。
非溶剤としてメタノールを用いる逆沈殿(reverse precipitation)を使用して上記生成物を精製した。攪拌される反応器に、濃厚な固形物が形成されるまでメタノールをゆっくり加えた(351.0g)。攪拌機を停止させ、この固形物を30分間沈殿させた。次いで、上部溶液層418.8gを吸引によって除去した。得られた固形物にPGMEA(679.1g)を加え、固形物が完全に溶解されるまでこの混合物を攪拌した。再度、攪拌される反応器に、濃厚な固形物が形成されるまでメタノールをゆっくり加えた(190.9g)。攪拌機を停止させ、この固形物を30分間沈殿させた。次いで、上部溶液層221.2gを吸引によって除去した。得られた固形物にPGMEA(87.2g)を加え、固形物が完全に溶解するまでこの混合物を攪拌した。最後に、攪拌した反応器に、濃厚な固形物が形成されるまでメタノールをゆっくり加えた(174.4g)。攪拌機を停止させ、この固形物を30分間沈殿させた。次いで、上部溶液層344.5gを吸引によって除去した。得られた固形物にメタノール(326.1g)を加えて、固形分を30wt%に調節した。
コンデンサー/Barrettレシーバー、機械式スターラー、窒素吸入口、およびサーモウェルを取り付けられた上記の反応器に、ナトリウムメトキシドのメタノール溶液(メタノール中25wt%、1.98g)を加えた。反応器を加熱して還流させ、留出物を連続的に取り去り、4.3時間還流を保持した。反応を通して、連続的に反応器に対して留出物をメタノールで置換した。次いで反応器を室温まで冷却した。得られた溶液をアンバーリストA15樹脂のカラム(1インチ×11インチ(2.54cm×27.94cm)、8mL/分)に通して、触媒を除去した。次いで、固体ポリマーを水中に沈殿させることによって単離し(10:1、水:ポリマー溶液)、粗いフリットに通してろ過し、水で洗浄し、真空乾燥した(55℃、20トール(2.7kPa)、3日間)。159.9gの微細な白色固体が得られた(全収率88.2%)。この固形物の分析から、重量平均分子量10,051が多分散性1.210と共に示された。
Claims (3)
- 溶液中に低多分散性のポリマーを含有するフォトレジスト組成物の液相調製方法であって、
(A)チオカルボニルチオ連鎖移動剤の存在下で、置換スチレンモノマーを単独で、またはアルキルアクリレート、1種もしくは複数種のエチレン性不飽和共重合性モノマーおよびそれらの混合物からなる群から選択される1種もしくは複数種のモノマーと組み合わせて、第1の溶媒中、開始剤の存在下で、十分な時間、十分な温度および圧力で重合させて、ポリマーと第1の溶媒との混合物を形成するステップ、
(B)分別によってポリマーと第1の溶媒との混合物を任意選択的に精製するステップであって、前記混合物に追加の第1の溶媒を加え、前記混合物を加熱および/または攪拌し、その混合物を沈殿させ、第1の溶媒をデカントし、そしてさらに第1の溶媒を加えて、この分別を少なくとももう1回繰り返すステップ、
(C)前記ポリマーをエステル交換反応させるステップであって、触媒存在下、十分な時間、十分な温度および圧力で、前記第1の溶媒の沸点でポリマーを還流させ、ヒドロキシル含有ポリマーおよび第1の溶媒を含む反応混合物を形成するステップ、
(D)ステップ(C)からの前記反応混合物を任意選択的に精製するステップであって、第2の溶媒を、前記第2の溶媒が混和しない前記反応混合物と混合し、層を分離させ、前記第2の溶媒および溶解した任意の副生成物および低い重量平均分子量のポリマーを除去するステップ、
(E)前記ポリマーをイオン交換物質に通して、そこから触媒を除去し、それによって実質的に触媒を含まないヒドロキシル含有ポリマー溶液を提供するステップ、
(F)ステップ(E)からの前記ポリマーに、フォトレジスト相溶性である第3の溶媒を加え、次いで第1の溶媒を、前記第1の溶媒の少なくとも沸点の温度で十分な時間蒸留して、実質的にすべての前記第1の溶媒を除去して、前記第3の溶媒の実質的に純粋なポリマー溶液を提供するステップ、
を含むことを特徴とする方法。 - 実質的に無水で純粋なポリマーの液相調製方法であって、
(A)1種または複数種の置換スチレンを、開始剤の存在する溶媒中、チオカルボニルチオ化合物と組み合わせて、十分な時間、十分な温度および圧力で重合させて、ポリ(置換スチレン)と溶媒との混合物を形成するステップ、
(B)ステップ(A)の前記混合物をエステル交換反応させるステップであって、触媒存在下、十分な時間、十分な温度および圧力で、前記溶媒の沸点で前記混合物を還流させ、ポリマーおよび溶媒を含む反応混合物を形成するステップ、
(C)ステップ(B)の前記反応混合物をイオン交換物質に通して、そこから触媒を除去し、それによって実質的に触媒を含まないポリマー溶液を提供するステップ、
(D)ステップ(C)からの前記ポリマー溶液に第2の溶媒を加え、次いで第1の溶媒を、前記第1の溶媒の少なくとも沸点の温度で十分な時間蒸留して、実質的にすべての前記第1の溶媒を除去して、前記第2の溶媒の実質的に純粋なポリマー溶液を提供するステップ、
を含むことを特徴とする方法。
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---|---|---|---|
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005085301A1 (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | レジスト用重合体、レジスト組成物、およびパターン製造方法、並びにレジスト用重合体用原料化合物 |
JP2007002039A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Mitsui Chemicals Inc | オレフィン系重合体およびその製造方法 |
JP2007002038A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Mitsui Chemicals Inc | ポリオレフィン鎖含有マクロチオカルボニル化合物 |
EP1755000A2 (en) | 2005-08-16 | 2007-02-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Positive resist composition and a pattern forming method using the same |
WO2007029871A1 (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-15 | Jsr Corporation | 感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
JP2007091882A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Jsr Corp | 樹脂の合成法 |
JP2007102070A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Jsr Corp | スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法 |
JP2007238646A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-20 | Toyo Gosei Kogyo Kk | ジチオエステル誘導体及び連鎖移動剤並びにこれを用いたラジカル重合性重合体の製造方法 |
JP2007241287A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Dongjin Semichem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、ディスプレイ及びそのパターン形成方法 |
JP2009069547A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Jsr Corp | 着色層形成用感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
JP2009521539A (ja) * | 2005-12-22 | 2009-06-04 | デュポン・エレクトロニック・ポリマーズ・エル・ピー | 安定なフォトレジスト組成物の製造法 |
JP2010065081A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Jsr Corp | 新規重合体及びその製造方法 |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7776505B2 (en) * | 2001-11-05 | 2010-08-17 | The University Of North Carolina At Charlotte | High resolution resists for next generation lithographies |
US7312281B2 (en) * | 2002-04-19 | 2007-12-25 | Dupont Electronic Polymers L.P. | Anhydrous, liquid phase process for preparing hydroxyl containing polymers of enhanced purity |
US7696292B2 (en) * | 2003-09-22 | 2010-04-13 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Low-polydispersity photoimageable acrylic polymers, photoresists and processes for microlithography |
JP3694692B2 (ja) * | 2003-12-11 | 2005-09-14 | 丸善石油化学株式会社 | レジスト用ポリマー溶液およびその製造方法 |
KR101129948B1 (ko) | 2003-12-16 | 2012-03-26 | 듀퐁 일렉트로닉 폴리머스 엘피 | 중합체 정제방법 |
JP4452563B2 (ja) * | 2004-06-14 | 2010-04-21 | 富士フイルム株式会社 | ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
JP4485922B2 (ja) * | 2004-11-18 | 2010-06-23 | 東京応化工業株式会社 | ネガ型レジスト組成物 |
CN101025567B (zh) * | 2005-10-07 | 2011-12-14 | Jsr株式会社 | 固化性树脂组合物、固化膜的形成方法以及固化膜 |
US20070092829A1 (en) * | 2005-10-21 | 2007-04-26 | Christoph Noelscher | Photosensitive coating for enhancing a contrast of a photolithographic exposure |
JP4554665B2 (ja) | 2006-12-25 | 2010-09-29 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、該パターン形成方法に用いられる多重現像用ポジ型レジスト組成物、該パターン形成方法に用いられるネガ現像用現像液及び該パターン形成方法に用いられるネガ現像用リンス液 |
US8530148B2 (en) | 2006-12-25 | 2013-09-10 | Fujifilm Corporation | Pattern forming method, resist composition for multiple development used in the pattern forming method, developer for negative development used in the pattern forming method, and rinsing solution for negative development used in the pattern forming method |
US8637229B2 (en) | 2006-12-25 | 2014-01-28 | Fujifilm Corporation | Pattern forming method, resist composition for multiple development used in the pattern forming method, developer for negative development used in the pattern forming method, and rinsing solution for negative development used in the pattern forming method |
US8153346B2 (en) | 2007-02-23 | 2012-04-10 | Fujifilm Electronic Materials, U.S.A., Inc. | Thermally cured underlayer for lithographic application |
US8206827B2 (en) * | 2007-03-15 | 2012-06-26 | Nanovere Technologies, Llc | Dendritic polyurethane coating |
US8568888B2 (en) | 2007-03-15 | 2013-10-29 | Nanovere Technologies, Inc. | Dendritic polyurethane coating |
JP5162290B2 (ja) * | 2007-03-23 | 2013-03-13 | 富士フイルム株式会社 | レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
US8034547B2 (en) * | 2007-04-13 | 2011-10-11 | Fujifilm Corporation | Pattern forming method, resist composition to be used in the pattern forming method, negative developing solution to be used in the pattern forming method and rinsing solution for negative development to be used in the pattern forming method |
WO2008129964A1 (ja) | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Fujifilm Corporation | パターン形成方法、該パターン形成方法に用いられるレジスト組成物、現像液及びリンス液 |
US8603733B2 (en) | 2007-04-13 | 2013-12-10 | Fujifilm Corporation | Pattern forming method, and resist composition, developer and rinsing solution used in the pattern forming method |
US8476001B2 (en) | 2007-05-15 | 2013-07-02 | Fujifilm Corporation | Pattern forming method |
KR100989567B1 (ko) | 2007-05-15 | 2010-10-25 | 후지필름 가부시키가이샤 | 패턴형성방법 |
JP4590431B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2010-12-01 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
KR20100017783A (ko) | 2007-06-12 | 2010-02-16 | 후지필름 가부시키가이샤 | 네가티브 톤 현상용 레지스트 조성물 및 이것을 사용한 패턴형성방법 |
US8632942B2 (en) | 2007-06-12 | 2014-01-21 | Fujifilm Corporation | Method of forming patterns |
US8617794B2 (en) | 2007-06-12 | 2013-12-31 | Fujifilm Corporation | Method of forming patterns |
JP4617337B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2011-01-26 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
WO2009152276A2 (en) | 2008-06-10 | 2009-12-17 | University Of North Carolina At Charlotte | Photoacid generators and lithographic resists comprising the same |
US8883912B2 (en) * | 2008-08-11 | 2014-11-11 | University Of Akron | Synthesis of arborescent polymers via controlled inimer-type reversible addition-fragmentation chain transfer (RAFT) polymerization |
JP6297269B2 (ja) * | 2012-06-28 | 2018-03-20 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | ポリマー組成物、このポリマー組成物を含むフォトレジスト、およびこのフォトレジストを含むコーティングされた物品 |
WO2014005011A2 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | Georgia Tech Research Corporation | Positive-tone, chemically amplified, aqueous-developable, permanent dielectric |
JP6031420B2 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-11-24 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | 光酸発生剤を含む末端基を含むポリマー、前記ポリマーを含むフォトレジストおよびデバイスの製造方法 |
JP5937549B2 (ja) | 2012-08-31 | 2016-06-22 | ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー | 光酸発生剤化合物、光酸発生剤化合物を含有する末端基を含むポリマー、および製造方法 |
US20140142252A1 (en) * | 2012-11-19 | 2014-05-22 | Sangho Cho | Self-assembled structures, method of manufacture thereof and articles comprising the same |
US9447220B2 (en) | 2012-11-19 | 2016-09-20 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Self-assembled structures, method of manufacture thereof and articles comprising the same |
US9223214B2 (en) | 2012-11-19 | 2015-12-29 | The Texas A&M University System | Self-assembled structures, method of manufacture thereof and articles comprising the same |
US10078261B2 (en) | 2013-09-06 | 2018-09-18 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Self-assembled structures, method of manufacture thereof and articles comprising the same |
US9405189B2 (en) | 2013-09-06 | 2016-08-02 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Self-assembled structures, method of manufacture thereof and articles comprising the same |
KR102322305B1 (ko) | 2013-12-23 | 2021-11-05 | 사이텍 인더스트리스 인코포레이티드 | 낮은 다분산도 지수(pdi)를 갖는 폴리아크릴로니트릴(pan) 폴리머 및 이로부터 제조된 탄소 섬유 |
DE102016221346A1 (de) | 2016-10-28 | 2018-05-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Herstellung eines Polymerisates durch Nitroxyl-kontrollierte Polymerisation sowie Polymerisat |
KR102409685B1 (ko) * | 2017-09-13 | 2022-06-16 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 레지스트막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
CN111512239B (zh) * | 2018-01-25 | 2024-05-03 | 默克专利股份有限公司 | 光致抗蚀剂去除剂组合物 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6323902A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-02-01 | ヘキスト セラニ−ズ コ−ポレ−シヨン | ポリ(アセトキシスチレン)からポリ(ビニルフエノ−ル)を製造する方法 |
JPH05148309A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Maruzen Petrochem Co Ltd | フオトレジスト用ビニルフエノール系重合体の精製方法 |
JPH05148308A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Maruzen Petrochem Co Ltd | ビニルフエノール系重合体の金属除去方法 |
JPH0641222A (ja) * | 1992-07-22 | 1994-02-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ポリ(m−ヒドロキシスチレン)及びその製造方法 |
JPH0665325A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 単分散性共重合体の製造方法 |
JPH11310611A (ja) * | 1998-04-20 | 1999-11-09 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトレジスト用重合体、これを含むフォトレジスト組成物及びその製造方法 |
JP2000515181A (ja) * | 1996-07-10 | 2000-11-14 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | リビング特性を持つ重合 |
JP2001310913A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-06 | Nippon Soda Co Ltd | m−アルケニルフェノール系共重合体の製造方法 |
JP2002302515A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Gun Ei Chem Ind Co Ltd | レジスト用高分子化合物の製造方法 |
JP2005526885A (ja) * | 2002-04-19 | 2005-09-08 | デュポン・エレクトロニック・テクノロジーズ・エル・ピー | アルコキシスチレンポリマーの精製方法 |
JP2005535737A (ja) * | 2002-04-19 | 2005-11-24 | デュポン・エレクトロニック・テクノロジーズ・エル・ピー | 純度の高いヒドロキシル含有ポリマーを調製するための無水液相方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4679843A (en) * | 1984-12-26 | 1987-07-14 | Prince Corporation | Visor mounting clip |
US4680361A (en) * | 1986-02-20 | 1987-07-14 | Union Carbide Corporation | Novel polymers and crosslinked compositions made therefrom |
US4822862A (en) * | 1987-01-28 | 1989-04-18 | Hoechst Celanese Corporation | Emulsion polymerization of 4-acetoxystyrene and hydrolysis to poly(p-vinylphenol |
US4898916A (en) * | 1987-03-05 | 1990-02-06 | Hoechst Celanese Corporation | Process for the preparation of poly(vinylphenol) from poly(acetoxystyrene) by acid catalyzed transesterification |
US4912173A (en) * | 1987-10-30 | 1990-03-27 | Hoechst Celanese Corporation | Hydrolysis of poly(acetoxystyrene) in aqueous suspension |
US4962147A (en) * | 1988-05-26 | 1990-10-09 | Hoechst Celanese Corporation | Process for the suspension polymerization of 4-acetoxystyrene and hydrolysis to 4-hydroxystyrene polymers |
US5239015A (en) * | 1990-06-29 | 1993-08-24 | Hoechst Celanese Corporation | Process for making low optical density polymers and copolymers for photoresists and optical applications |
US5087772A (en) * | 1990-11-16 | 1992-02-11 | Hoechst Celanese Corporation | Method for preparing 4-hydroxystyrene |
EP0605089B1 (en) * | 1992-11-03 | 1999-01-07 | International Business Machines Corporation | Photoresist composition |
US5304610A (en) * | 1993-01-12 | 1994-04-19 | Hoechst Celanese Corporation | Amphoteric copolymer derived from vinylpyridine and acetoxystyrene |
US5789522A (en) * | 1996-09-06 | 1998-08-04 | Shipley Company, L.L.C. | Resin purification process |
ATE262542T1 (de) * | 1998-05-05 | 2004-04-15 | Triquest L P | Herstellung von co- und terpolymeren von p- hydroxystyrol und alkylacrylaten |
US6759483B2 (en) * | 1998-05-05 | 2004-07-06 | Chemfirst Electronic Materials L.P. | Preparation of homo-, co- and terpolymers of substituted styrenes |
US5945251A (en) * | 1998-05-08 | 1999-08-31 | Olin Corporation | Process for producing purified solutions of blocked polyhydroxystyrene resins |
US6414110B1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-07-02 | Triquest Lp | Purification means |
US6593431B2 (en) * | 2000-06-27 | 2003-07-15 | Chemfirst Electronic Materials Lp | Purification means |
US6737486B2 (en) * | 2002-07-16 | 2004-05-18 | Eastman Kodak Company | Polymerization process |
-
2004
- 2004-05-07 JP JP2004139039A patent/JP4825405B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-07 US US10/841,387 patent/US20040248039A1/en not_active Abandoned
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- 2004-05-07 US US10/840,971 patent/US20040242798A1/en not_active Abandoned
- 2004-05-08 CN CNA2004100595672A patent/CN1550896A/zh active Pending
- 2004-05-08 KR KR1020040032487A patent/KR101055032B1/ko active IP Right Grant
- 2004-05-10 EP EP04252708A patent/EP1479700A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6323902A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-02-01 | ヘキスト セラニ−ズ コ−ポレ−シヨン | ポリ(アセトキシスチレン)からポリ(ビニルフエノ−ル)を製造する方法 |
JPH05148309A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Maruzen Petrochem Co Ltd | フオトレジスト用ビニルフエノール系重合体の精製方法 |
JPH05148308A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Maruzen Petrochem Co Ltd | ビニルフエノール系重合体の金属除去方法 |
JPH0641222A (ja) * | 1992-07-22 | 1994-02-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ポリ(m−ヒドロキシスチレン)及びその製造方法 |
JPH0665325A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 単分散性共重合体の製造方法 |
JP2000515181A (ja) * | 1996-07-10 | 2000-11-14 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | リビング特性を持つ重合 |
JPH11310611A (ja) * | 1998-04-20 | 1999-11-09 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトレジスト用重合体、これを含むフォトレジスト組成物及びその製造方法 |
JP2001310913A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-06 | Nippon Soda Co Ltd | m−アルケニルフェノール系共重合体の製造方法 |
JP2002302515A (ja) * | 2001-04-04 | 2002-10-18 | Gun Ei Chem Ind Co Ltd | レジスト用高分子化合物の製造方法 |
JP2005526885A (ja) * | 2002-04-19 | 2005-09-08 | デュポン・エレクトロニック・テクノロジーズ・エル・ピー | アルコキシスチレンポリマーの精製方法 |
JP2005535737A (ja) * | 2002-04-19 | 2005-11-24 | デュポン・エレクトロニック・テクノロジーズ・エル・ピー | 純度の高いヒドロキシル含有ポリマーを調製するための無水液相方法 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005085301A1 (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | レジスト用重合体、レジスト組成物、およびパターン製造方法、並びにレジスト用重合体用原料化合物 |
US8614283B2 (en) | 2004-03-08 | 2013-12-24 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Resist polymer, resist composition, process for pattern formation, and starting compounds for production of the resist polymer |
US8241829B2 (en) | 2004-03-08 | 2012-08-14 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Resist polymer, resist composition, process for pattern formation, and starting compounds for production of the resist polymer |
US8049042B2 (en) | 2004-03-08 | 2011-11-01 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Resist polymer, resist composition, process for pattern formation, and starting compounds for production of the resist polymer |
JP2007002039A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Mitsui Chemicals Inc | オレフィン系重合体およびその製造方法 |
JP2007002038A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Mitsui Chemicals Inc | ポリオレフィン鎖含有マクロチオカルボニル化合物 |
EP1755000A2 (en) | 2005-08-16 | 2007-02-21 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Positive resist composition and a pattern forming method using the same |
WO2007029871A1 (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-15 | Jsr Corporation | 感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
JP5013102B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2012-08-29 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
JP2007091882A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Jsr Corp | 樹脂の合成法 |
JP4650630B2 (ja) * | 2005-10-07 | 2011-03-16 | Jsr株式会社 | スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法 |
JP2007102070A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Jsr Corp | スペーサー用感放射線性樹脂組成物、スペーサー、およびその形成方法 |
JP2009521539A (ja) * | 2005-12-22 | 2009-06-04 | デュポン・エレクトロニック・ポリマーズ・エル・ピー | 安定なフォトレジスト組成物の製造法 |
JP4688697B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-05-25 | 東洋合成工業株式会社 | ジチオエステル誘導体及び連鎖移動剤並びにこれを用いたラジカル重合性重合体の製造方法 |
JP2007238646A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-09-20 | Toyo Gosei Kogyo Kk | ジチオエステル誘導体及び連鎖移動剤並びにこれを用いたラジカル重合性重合体の製造方法 |
JP2007241287A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Dongjin Semichem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、ディスプレイ及びそのパターン形成方法 |
JP2009069547A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Jsr Corp | 着色層形成用感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
JP2010065081A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Jsr Corp | 新規重合体及びその製造方法 |
Also Published As
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---|---|
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