JPH05109041A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

Info

Publication number
JPH05109041A
JPH05109041A JP29189391A JP29189391A JPH05109041A JP H05109041 A JPH05109041 A JP H05109041A JP 29189391 A JP29189391 A JP 29189391A JP 29189391 A JP29189391 A JP 29189391A JP H05109041 A JPH05109041 A JP H05109041A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
medium
coercive force
target
recording medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP29189391A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2725502B2 (ja
Inventor
Shinzo Tsuboi
眞三 坪井
Susumu Otsuka
進 大塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP29189391A priority Critical patent/JP2725502B2/ja
Publication of JPH05109041A publication Critical patent/JPH05109041A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2725502B2 publication Critical patent/JP2725502B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気記録媒体の下層部に低保磁力の磁性層を
形成することにより、高出力および高密度の特性を得
る。 【構成】 基板１上に、ＣｏＣｒＴａにＭｏを添加して
低保磁力層２を形成し、次にＣｏＣｒＴａ合金膜の高保
磁力の垂直磁化膜３を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハ―ド磁気ディスク等
の磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録技術において、現在実用化され
ている長手磁気記録方式よりもさらに高密度化が可能な
高密度記録技術として垂直磁気記録方式が提案され、盛
んに研究開発が進められている。この記録方式の媒体に
は、膜面に対して垂直方向に磁気異方性を有するＣｏＣ
ｒおよびＣｏＣｒＴａ合金等の磁性膜が用いられ、スパ
ッタあるいは蒸着などにより形成されている（日本応用
磁気学会誌、Vol.8 ，No.1，1984，17p ）。ここで、高
出力および高記録密度の特性を得るためには、媒体の磁
気特性で高い垂直磁気異方性を有すると共に、できるだ
け垂直方向の保磁力を高める必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
磁気記録媒体のように垂直方向の保磁力が膜厚方向にほ
ぼ一様な場合、磁気記録媒体の下層部ではヘッドの記録
磁界が低くなるため十分記録できない。従って、再生出
力および記録密度などを改善するために磁気記録媒体の
下層部を低保磁力にする必要がある。本発明の目的は、
磁気記録媒体の下層部分を低保磁力とすることにより再
生出力および記録密度の改善された磁気記録媒体を提供
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に形成
された記録層が低保磁力の磁性層と高保磁力の垂直磁化
膜とからなる磁気記録媒体において、低保磁力の磁性層
がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＭｏを含むこと
を特徴とする磁気記録媒体である。
【０００５】
【作用】ＣｏＣｒＴａ膜は六方最密充填構造をとり、膜
面に対して垂直方向にｃ軸が良好に配向されるので、垂
直異方性磁界および垂直保磁力が高いが、第４元素とし
てＭｏを含有させることにより、低保磁力層を得ること
ができる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
図１は本発明による磁気記録媒体の一例の断面図で、基
板１上に、ＣｏＣｒＴａ＋Ｍｏ合金膜２およびＣｏＣｒ
Ｔａ合金膜３が順次形成されている。本実施例ではＲＦ
マグネトロン方式のスパッタ装置を用いて上記の磁気記
録媒体を作製した。タ―ゲットは低保磁力層用として８
０Ｃｏ−１７Ｃｒ−３Ｔａ（ａｔ％）合金とＭｏチップ
を組み合わせた複合タ―ゲット、高保磁力の垂直磁化膜
用として８０Ｃｏ−１７Ｃｒ−３Ｔａ（ａｔ％）合金タ
―ゲット、および保護膜用としてカ―ボンタ―ゲットを
それぞれ用いた。また、基板はＮｉＰ／Ａｌ基板を用い
た。表１に成膜条件の詳細を示す。
【０００７】
【表１】
【０００８】まず、ＣｏＣｒＴａ合金タ―ゲット上に置
くＭｏチップの個数によりＭｏの添加量を変化させ、種
々のＣｏＣｒＴａ＋Ｍｏ膜（５００オングストローム）
を形成し、ＶＳＭを用いて磁気特性を測定した。図２
に、Ｍｏの添加量に対する保磁力の変化を示す。なお、
組成分析はＥＰＭＡを用いて行った。図２より、Ｍｏ添
加量が３．５ａｔ％以上で低保磁力となることがわか
る。
【０００９】次に、本発明媒体の記録再生特性について
述べる。ここで、低保磁力層（５００オングストロ―
ム）としてＭｏ４ａｔ％添加のＣｏＣｒＴａＭｏ膜を用
い、この低保磁力層上にＣｏＣｒＴａ（１５００オング
ストロ―ム）を形成し、最後にＣ保護膜（３００オング
ストロ―ム）を形成し、本発明の媒体を作製した。さら
に、比較のため同じ基板で低保磁力層なしのＣｏＣｒＴ
ａ合金膜（２０００オングストロ―ム）のみの従来媒体
も作製した。このようにして形成した媒体の磁気特性を
調べた結果を表２に示す。
【００１０】
【表２】
【００１１】次に、本発明の媒体Ａと従来媒体Ｂについ
て、薄膜磁気ヘッドにより、Ｒ／Ｗ特性を比較した結果
を図３に示す。これから本発明の媒体は従来媒体に比べ
て再生出力、記録密度が改善されることがわかった。な
お、本実施例では高保磁力層としてＣｏＣｒＴａを用い
たが、これにさらに別の元素を添加したものであっても
よく、また、ＣｏＮｉ、ＣｏＣｒＷ等であってもよい。
【００１２】
【発明の効果】本発明により媒体の下層部が低保磁力に
なり、再生出力、記録密度等が改善された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
【図２】磁気特性で垂直方向の保磁力（Ｈｃ）のＣｏＣ
ｒＴａ膜へのＭｏ添加量依存性を示した図である。
【図３】本発明媒体の記録密度特性について従来媒体と
比較した図である。
【符号の説明】
１ 基板 ２ ＣｏＣｒＴａ＋Ｍｏ合金膜 ３ ＣｏＣｒＴａ合金膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上に形成された記録層が低保磁力の
    磁性層と高保磁力の垂直磁化膜とからなる磁気記録媒体
    において、低保磁力の磁性層がＣｏＣｒＴａ合金膜に第
    ４元素としてＭｏを含むことを特徴とする磁気記録媒
    体。
JP29189391A 1991-10-14 1991-10-14 磁気記録媒体 Expired - Lifetime JP2725502B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29189391A JP2725502B2 (ja) 1991-10-14 1991-10-14 磁気記録媒体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29189391A JP2725502B2 (ja) 1991-10-14 1991-10-14 磁気記録媒体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05109041A true JPH05109041A (ja) 1993-04-30
JP2725502B2 JP2725502B2 (ja) 1998-03-11

Family

ID=17774820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29189391A Expired - Lifetime JP2725502B2 (ja) 1991-10-14 1991-10-14 磁気記録媒体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2725502B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5763071A (en) * 1996-03-11 1998-06-09 Seagate Technology, Inc. High areal density magnetic recording medium with dual magnetic layers

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5763071A (en) * 1996-03-11 1998-06-09 Seagate Technology, Inc. High areal density magnetic recording medium with dual magnetic layers

Also Published As

Publication number Publication date
JP2725502B2 (ja) 1998-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH11149628A (ja) 垂直磁気記録媒体
US5851628A (en) Magnetic recording medium and method for manufacturing the same
JP2991672B2 (ja) 磁気記録媒体
JP2539349B2 (ja) 垂直磁気記録媒体
JP2725502B2 (ja) 磁気記録媒体
JP3625865B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置
JP3050305B2 (ja) 垂直磁気記録媒体及びその製造方法
JP2725506B2 (ja) 磁気記録媒体
JP3045797B2 (ja) 垂直磁気記録媒体
JP3052406B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JP3520751B2 (ja) 垂直磁気記録媒体及びその製造方法及びそれを使用した記憶装置
JPH09265619A (ja) 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置
JP3013598B2 (ja) 磁気記録媒体
JP2990975B2 (ja) 磁気記録媒体
JP2002183927A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH0831639A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH06187628A (ja) 磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JP2732153B2 (ja) 金属薄膜型磁気記録媒体
JPH05109042A (ja) 磁気記録媒体
JPH05334644A (ja) 磁気記録媒体
JPH1040527A (ja) 磁気記録媒体
JP2000268342A (ja) 磁気記録媒体
JP2002216339A (ja) 垂直磁気記録媒体
JPH05135342A (ja) 磁気記録媒体
JPH09305951A (ja) 磁気記録媒体及び磁気記録方法

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091205

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205

Year of fee payment: 13

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205

Year of fee payment: 13

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205

Year of fee payment: 13

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101205

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111205

Year of fee payment: 14

EXPY Cancellation because of completion of term